Claims (3)
1. Способ получения изображений внутренней структуры объектов, заключающийся в том, что дифракционно-ограниченное немонохроматическое излучение расщепляют на опорное и объектное излучения, фокусируют пучок объектного излучения в точке, расположенной внутри исследуемого трехмерного объекта, в обратном ходе лучей проектируют рассеянное объектом излучение на плоскость, оптически сопряженную с плоскостью фокусировки пучка объектного излучения, осуществляют конфокальную пространственную фильтрацию рассеянного излучения, сдвигают частоту опорного, либо объектного, либо рассеянного излучения, пространственно совмещают опорное и рассеянное излучения с образованием, в результате интерференции, суммарного излучения, детектируют переменную составляющую интенсивности суммарного излучения на частоте, равной сдвигу частоты опорного, объектного или рассеянного излучение, выполняют сканирование точки фокусировки объектного пучка в плоскости фокусировки, повторяя для каждой позиции сканирования детектирование переменной составляющей интенсивности суммарного излучения, отличающийся тем, что суммарное излучение подвергают пространственному спектральному разложению, а в процессе детектирования измеряют амплитуду и фазу переменной составляющей интенсивности суммарного излучения одновременно для всех спектральных компонент, выделенных при спектральном разложении, производят математическую обработку результатов измерения и получают одномерное изображение внутренней структуры объекта по оси фокусировки пучка объектного излучения для каждой позиции сканирования.1. The method of obtaining images of the internal structure of objects, which consists in the fact that diffraction-limited non-monochromatic radiation is split into reference and object radiation, the object radiation beam is focused at a point located inside the three-dimensional object under study, the radiation scattered by the object is projected onto a plane, optically conjugated to the focus plane of the object radiation beam, confocal spatial filtering of the scattered radiation is carried out, the hour is shifted From the reference, or object, or scattered radiation, the reference and scattered radiation are spatially combined with the formation, as a result of interference, of the total radiation, a variable component of the total radiation intensity is detected at a frequency equal to the frequency shift of the reference, object or scattered radiation, scanning of the focus point of the object beam in the focusing plane, repeating for each scan position the detection of a variable component of the intensity of the total radiation , characterized in that the total radiation is subjected to spatial spectral decomposition, and in the process of detection, the amplitude and phase of the variable component of the intensity of the total radiation are measured simultaneously for all spectral components extracted during spectral decomposition, mathematical processing of the measurement results is performed and a one-dimensional image of the internal structure of the object along the axis is obtained focusing the beam of object radiation for each scan position.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что выполняют сканирование точки фокусировки объектного пучка по линии и получают двумерное изображение объекта на цилиндрической поверхности, опирающейся на линию сканирования. 2. The method according to p. 1, characterized in that they scan the focal point of the object beam along the line and get a two-dimensional image of the object on a cylindrical surface, based on the scan line.
3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что выполняют двумерное сканирование точки фокусировки объектного пучка и получают трехмерное изображение внутренней структуры объекта. 3. The method according to p. 1, characterized in that perform a two-dimensional scan of the focus point of the object beam and get a three-dimensional image of the internal structure of the object.