RU199542U1 - Hyperspectral optical microscope attachment - Google Patents

Hyperspectral optical microscope attachment Download PDF

Info

Publication number
RU199542U1
RU199542U1 RU2020110450U RU2020110450U RU199542U1 RU 199542 U1 RU199542 U1 RU 199542U1 RU 2020110450 U RU2020110450 U RU 2020110450U RU 2020110450 U RU2020110450 U RU 2020110450U RU 199542 U1 RU199542 U1 RU 199542U1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
hyperspectral
matrix
optical
possibility
attachment
Prior art date
Application number
RU2020110450U
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Мария Павловна Сорокина-Аксеновская
Андрей Николаевич Фирсанов
Алексей Николаевич Надточий
Ираклий Пантикоевич Цоцонава
Original Assignee
Общество с ограниченной ответственностью "Русская Индустриальная Компания"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Общество с ограниченной ответственностью "Русская Индустриальная Компания" filed Critical Общество с ограниченной ответственностью "Русская Индустриальная Компания"
Priority to RU2020110450U priority Critical patent/RU199542U1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU199542U1 publication Critical patent/RU199542U1/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/12Generating the spectrum; Monochromators
    • G01J3/14Generating the spectrum; Monochromators using refracting elements, e.g. prisms
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/18Arrangements with more than one light path, e.g. for comparing two specimens

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)

Abstract

Полезная модель относится к области оптического приборостроения и касается гиперспектральной насадки для оптического микроскопа. Гиперспектральная насадка содержит корпус, выполненный с возможностью установки на входе видеовыхода штатного микроскопа. Внутри корпуса последовательно установлены светоделительный кубик, выполненный с возможностью подачи части падающего на него оптического излучения на фотоприемную матрицу, а остальной части на щель, за которой последовательно установлены коллиматор, призма, проекционный объектив и приемная матрица гиперспектрометра. Технический результат заключается в обеспечении возможности одновременного построения гиперспектрального и видеоизображений и получения оптического спектра во всех точках наблюдаемого изображения. 3 з.п. ф-лы, 1 ил.The utility model relates to the field of optical instrumentation and concerns a hyperspectral attachment for an optical microscope. The hyperspectral attachment contains a housing designed to be installed at the video output input of a standard microscope. Inside the housing, a beamsplitter cube is sequentially installed, made with the possibility of supplying a part of the incident optical radiation to the photodetector matrix, and the rest to the slit, behind which a collimator, a prism, a projection lens and a hyperspectrometer receiving matrix are sequentially installed The technical result consists in providing the possibility of simultaneous construction of hyperspectral and video images and obtaining an optical spectrum at all points of the observed image. 3 C.p. f-ly, 1 dwg

Description

Техническое решение относится к области применения гиперспектральной технологии в оптической микроскопии.The technical solution relates to the field of hyperspectral technology application in optical microscopy.

Известно (GB, патент 2497650, опубл. 19.06.2013) акустооптическое (АО) устройство. Оно содержит кристалл АО-взаимодействия для приема и распространения светового луча в направлении оптического распространения (OPD). На одной поверхности кристалла АО-взаимодействия расположен пьезоэлектрический преобразователь, преднаначенный для приема электрического сигнала и излучения акустической волны в кристалл АО-взаимодействия, на пьезоэлектрическом преобразователе расположен электрод, выполняющий функцию ввода электрического сигнала в пьезоэлектрический преобразователь. Электрод представляет собой узорчатый электрод, который включает в себя множество различных поперечных краевых положений, охватывающих диапазон положений, по меньшей мере, пяти процентов от средней высоты (Havg) электрода.Known (GB, patent 2497650, publ. 19.06.2013) acousto-optic (AO) device. It contains an AO interaction crystal for receiving and propagating a light beam in the optical propagation direction (OPD). On one surface of the AO interaction crystal, there is a piezoelectric transducer designed to receive an electric signal and emit an acoustic wave into the AO interaction crystal; an electrode is located on the piezoelectric transducer, which performs the function of inputting an electric signal into the piezoelectric transducer. The electrode is a patterned electrode that includes a plurality of different lateral edge positions spanning a range of positions of at least five percent of the average height (Havg) of the electrode.

Известно (WO, заявка 2007/115074, опубл. 11.10.2007) акустооптическое (АО) устройство для генерирования высокоаподизированного акустического волнового поля, содержащее кристалл пьезоэлектрического преобразователя для излучения акустической волны, имеющий заземляющий электрод, расположенный на одной стороне пьезоэлектрического кристалла, и узорчатый электродный слой, расположенный на стороне пьезоэлектрического кристалла напротив заземляющего электрода. Узорчатый электродный слой включает в себя непрерывную область вблизи его центра и прерывистую область, рисунок в прерывистой области, включающий в себя множество разнесенных элементов, электрически соединенных с непрерывной областью. Кристалл взаимодействия АО, который принимает акустическую волну, прикреплен к заземляющему электроду или слою узорчатого электрода. Размеры элементов в шаблоне достаточно малы, чтобы обеспечить условие тонкой структуры в дальнем поле для акустической волны в кристалле АО взаимодействия, лежащем в области прерывистой области, начинающейся <5 мм, измеренной на границе раздела между пьезоэлектрическим кристаллом и кристалл взаимодействия АО.It is known (WO, application 2007/115074, publ. 11.10.2007) an acousto-optic (AO) device for generating a highly apodized acoustic wave field, containing a crystal of a piezoelectric transducer for emitting an acoustic wave, having a ground electrode located on one side of the piezoelectric crystal, and a patterned electrode a layer located on the side of the piezoelectric crystal opposite the ground electrode. The patterned electrode layer includes a continuous region near its center and a discontinuous region, a pattern in the discontinuous region including a plurality of spaced apart elements electrically connected to the continuous region. An AO interaction crystal that receives the acoustic wave is attached to a ground electrode or patterned electrode layer. The dimensions of the elements in the template are small enough to provide the condition of a fine structure in the far field for an acoustic wave in an AO interaction crystal lying in the discontinuous region beginning <5 mm, measured at the interface between the piezoelectric crystal and the AO interaction crystal.

Известна (WO, заявка 2009/029950, опубл. 05.03.2009) система дистанционного формирования изображения, содержащая: акустооптический перестраиваемый фильтр (AOTF), содержащий кристалл пьезоэлектрического преобразователя для излучения акустической волны, заземляющий электрод которого расположен на одной стороне указанного пьезоэлектрического кристалла; узорчатый электродный слой, расположенный на стороне указанного пьезоэлектрического кристалла напротив упомянутого заземляющего электрода, причем указанный узорчатый электродный слой включает в себя непрерывную область вблизи его центра и прерывистую область, причем рисунок в упомянутой прерывистой области содержит множество разнесенных элементов, электрически соединенных с указанная непрерывная область и кристалл АО-взаимодействия, принимающий упомянутую акустическую волну, прикрепленную к указанному заземляющему электроду или указанному слою узорчатого электрода, причем размеры элементов упомянутых элементов в указанном шаблоне достаточно малы, чтобы обеспечить состояние в тонкой структуре в дальнем поле для упомянутой акустической волны в указанной Кристалл взаимодействия АО, лежащий в основе упомянутой несплошной области начала <10 мм, измеренный от границы раздела между пьезоэлектрическим кристаллом и кристаллом взаимодействия АО, упомянутый АОФТ для настраиваемой передачи по меньшей мере одной оптической длины волны от оптического луча, падающего на упомянутый кристалл АО, содержащий диапазон оптических длин волн; радиочастотный (РЧ) источник питания, обеспечивающий переменную РЧ-частоту, соединенную между указанными электродами, для настройки длины волны передачи упомянутого AOTF, и датчик изображения, соединенный для приема упомянутой, по меньшей мере, одной длины волны, передаваемой упомянутым AOTF.Known (WO, application 2009/029950, publ. 03/05/2009) a remote imaging system comprising: an acousto-optic tunable filter (AOTF) containing a piezoelectric transducer crystal for emitting an acoustic wave, the ground electrode of which is located on one side of the said piezoelectric crystal; a patterned electrode layer located on the side of said piezoelectric crystal opposite said ground electrode, said patterned electrode layer including a continuous region near its center and a discontinuous region, the pattern in said discontinuous region comprising a plurality of spaced apart elements electrically connected to said continuous region and an AO interaction crystal receiving said acoustic wave attached to said ground electrode or said layer of a patterned electrode, and the dimensions of the elements of said elements in said template are small enough to provide a state in a fine structure in the far field for said acoustic wave in said AO interaction crystal underlying said discontinuous onset region <10 mm, measured from the interface between the piezoelectric crystal and the AO interaction crystal, said AOFT for tunable transmission at least at least one optical wavelength from an optical beam incident on said AO crystal containing a range of optical wavelengths; a radio frequency (RF) power supply providing a variable RF frequency connected between said electrodes for adjusting the transmission wavelength of said AOTF; and an image sensor connected to receive said at least one wavelength transmitted by said AOTF.

Известно (RU, патент 2626061, опубл. 27.01.2016) устройство для получения изображений оптически прозрачных фазовых микрообъектов в произвольных узких спектральных интервалах, состоящее из связанных оптически и расположенных последовательно светового микроскопа, работающего напросвет, 4f-системы, состоящей из пары линз и размещенного между ними экрана с двумя круглыми отверстиями разного диаметра, матричного приемника излучения, причем между световым микроскопом и 4f-системой последовательно установлены поляризатор и монохроматор изображений и оптическая система для разделения светового пучка на два и их последующего сведения.It is known (RU, patent 2626061, publ. 01/27/2016) a device for obtaining images of optically transparent phase micro-objects in arbitrary narrow spectral intervals, consisting of an optically connected and sequentially arranged light microscope operating on the light, 4f-system, consisting of a pair of lenses and placed between them a screen with two round holes of different diameters, a matrix radiation detector, and between the light microscope and the 4f-system, a polarizer and an image monochromator and an optical system are sequentially installed for dividing the light beam into two and their subsequent reduction.

Недостатком всех выше приведенных технических решений следует признать тот факт, что известные решения позволяют получать интерференционные картины микрообъектов с малым количеством линий, что не обеспечивает возможности выделения слабоконтрастных объектов. Дополнительным минусом указанных методов является высокая стоимость реализации, ввиду необходимости выращивания высококачественных акустооптических кристаллов большого размера и их прецизионной обработки, что ограничивает возможности массового использованияThe disadvantage of all the above technical solutions is the fact that the known solutions make it possible to obtain interference patterns of micro-objects with a small number of lines, which does not provide the possibility of identifying low-contrast objects. An additional disadvantage of these methods is the high cost of implementation, due to the need to grow high-quality acousto-optic crystals of large size and their precision processing, which limits the possibilities of mass use.

Известен также (US, патент 8837045, опубл. 16.09.2014) дифракционно-фазовый микроскоп, содержащий некогерентный во времени источник освещающего луча для освещения образца, линзу объектива для сбора света от источника, прошедшего через образец, и формирования изображения на выходном отверстии, решетку для ретрансляции пучка нулевого порядка и для дифракции изображения на дифрагированный пучок первого порядка, первую линзу Фурье для преобразования луча нулевого порядка и дифрагированного луча первого порядка в соответствующие поля преобразования Фурье в плоскости преобразования Фурье, пространственную маску преобразования Фурье для фильтрации нижних частот одного из луча нулевого порядка и луча первого порядка в плоскости преобразования Фурье, вторую линзу Фурье для рекомбинации луча нулевого порядка и дифрагированного луча первого порядка на детекторе фокальной плоскости.It is also known (US, patent 8837045, publ. 09/16/2014) a diffraction-phase microscope containing a time-incoherent source of an illuminating beam for illuminating the sample, an objective lens for collecting light from a source that has passed through the sample and forming an image at the exit aperture, a grating for retransmission of a zero-order beam and for diffraction of an image onto a first-order diffracted beam, the first Fourier lens for transforming a zero-order beam and a first-order diffracted beam into the corresponding Fourier transform fields in the Fourier transform plane, a spatial Fourier transform mask for filtering the low frequencies of one of the zero beam and a first order beam in the Fourier transform plane, a second Fourier lens for recombination of a zero order beam and a first order diffracted beam on a focal plane detector.

Недостатком известного технического решения следует признать сложность реализации предлагаемого метода и интерпретации результатов, а также высокая стоимость изделия за счет большого количества дорогих оптико-механических компонентов, что ограничивает возможности массового использования.The disadvantage of the known technical solution is the complexity of the implementation of the proposed method and interpretation of the results, as well as the high cost of the product due to the large number of expensive optical-mechanical components, which limits the possibilities of mass use.

Техническая проблема, решаемая с использованием разработанной технического решения, состоит в обеспечении возможности применения гиперспектральной технологии к оптической микроскопии.The technical problem solved using the developed technical solution is to provide the possibility of applying hyperspectral technology to optical microscopy.

Технический результат, достигаемый при реализации разработанной гиперспектральной насадки, состоит в обеспечении возможности получения оптического спектра во всех точках наблюдаемого изображения микрообъекта в сочетании со специализированным спектральным анализомThe technical result achieved by the implementation of the developed hyperspectral attachment consists in providing the possibility of obtaining an optical spectrum at all points of the observed image of a micro-object in combination with specialized spectral analysis

Для достижения указанного технического результата предложено использовать разработанную гиперспектральную насадку. Разработанная насадка содержитTo achieve the specified technical result, it is proposed to use the developed hyperspectral attachment. The developed nozzle contains

корпус, выполненный с возможностью установки на входе видеовыхода штатного оптического микроскопа, в одной из торцевых поверхностей которого выполнена щель для входа оптического излучения, внутри корпуса последовательно установлены светоделительный кубик, выполненный с возможностью подачи части падающего на него оптического излучения на фотоприемную матрицу, а остальной части - на щель, за которой последовательно установлены коллиматор, призма, проекционный объектив и приемная матрица гиперспектрометра.a housing made with the possibility of installation at the input of the video output of a standard optical microscope, in one of the end surfaces of which a slit for the entrance of optical radiation is made, a beam-splitting cube is sequentially installed inside the housing, made with the possibility of supplying a part of the optical radiation incident on it to the photodetector matrix, and the rest - on a slit, behind which a collimator, a prism, a projection lens and a receiving matrix of the hyperspectrometer are sequentially installed.

В некоторых вариантах реализации разработанной насадки, в качестве приемной гиперспектральной матрицы может быть использовано фотоприемное устройство на базе sCMOS сенсора.In some embodiments of the developed nozzle, a photodetector based on an sCMOS sensor can be used as a receiving hyperspectral matrix.

В предпочтительном варианте реализации светоделительный кубик выполнен с возможностью подачи на фотоприемную матрицу 50% падающего на него излучения.In a preferred embodiment, the beam splitter cube is configured to supply 50% of the incident radiation to the photodetector array.

Выход приемной матрицы гиперспектрометра может быть подключен к персональному компьютеру.The output of the receiving matrix of the hyperspectrometer can be connected to a personal computer.

Конструктивно оптическая часть гиперспектрометра смонтирована на место установки цифровой камеры визуальной насадки микроскопа.Structurally, the optical part of the hyperspectrometer is mounted on the site of the digital camera of the visual microscope attachment.

Схема компоновки элементов гиперспектральной насадки приведена на рисунке, при этом использованы следующие обохачения: плоскость изображения цифровой камеры визуальной насадки 1 микроскопа; светоделительный кубик 2; фото приемная матрица 3; щель 4; коллиматорующий объектив 5; призма 6; проекционный объектив 7; приемная матрица гиперспектрометра 8.The layout diagram of the elements of the hyperspectral attachment is shown in the figure, with the following gouging used: the image plane of the digital camera; visual attachment 1 of the microscope; beam splitting cube 2; photo receiving matrix 3; slit 4; collimating lens 5; prism 6; projection lens 7; hyperspectrometer receiving array 8.

Формирование изображения исследуемой поверхности в гиперспектрометре осуществляют путем сканирования поверхности за счет движения предметного столика микроскопа с использованием сканирующего устройства. Гиперспектрометр в один момент времени регистрирует узкий отрезок поверхности, поперек движению столика. Формирование изображения узкого отрезка поверхности производят посредством щели 4, которуют устанавливают в плоскости изображения визуальной насадки 1 микроскопа. После коллимирующего объектива 5 гиперспектральной насадки изображение щели 4 в параллельных лучах попадает на призму 6 и проекционный объектив 7, где происходит разложение в спектр, и затем проецируется на фотоприемную матрицу 3. Таким образом, на матрице формируют срез гиперкуба, для определенной пространственной координаты X.Formation of an image of the investigated surface in a hyperspectrometer is carried out by scanning the surface due to the movement of the microscope stage using a scanning device. The hyperspectrometer registers at one time a narrow section of the surface, across the movement of the stage. The formation of an image of a narrow section of the surface is carried out by means of a slit 4, which is installed in the image plane of the visual attachment 1 of the microscope. After the collimating lens 5 of the hyperspectral attachment, the image of the slit 4 in parallel beams falls on the prism 6 and the projection lens 7, where it is decomposed into a spectrum, and then projected onto the photodetector matrix 3. Thus, a hypercube slice is formed on the matrix, for a certain spatial coordinate X.

Светоделительный кубик 2, установленный до плоскости изображения цифровой камеры визуальной насадки, обеспечивает двухканальную систему построения изображений: видеоканал с плоскостью изображения на чувствительной площадке фото приемной матрицы 3 и гиперспектральный канал с плоскостью изображения на приемной матрице гиперспектрометра 8.Beamsplitter cube 2, installed up to the image plane of the digital camera of the visual attachment, provides a two-channel imaging system: a video channel with an image plane on the sensitive area of the photo receiving matrix 3 and a hyperspectral channel with an image plane on the receiving matrix of the hyperspectrometer 8.

Claims (5)

1. Гиперспектральная насадка для оптического микроскопа, характеризуемая тем, что она содержит1. A hyperspectral attachment for an optical microscope characterized by the fact that it contains корпус, выполненный с возможностью установки на входе видеовыхода штатного микроскопа, в одной из торцевых поверхностей которого выполнена щель для входа оптического излучения, внутри которого последовательно установлены светоделительный кубик, выполненный с возможностью подачи части падающего на него оптического излучения на фотоприемную матрицу, а остальной части - на щель, за которой последовательно установлены коллиматор, призма, проекционный объектив и приемная матрица гиперспектрометра.a housing made with the possibility of installation at the input of the video output of a standard microscope, in one of the end surfaces of which there is a slit for the entrance of optical radiation, inside which a beam-splitting cube is sequentially installed, made with the possibility of supplying a part of the optical radiation incident on it to the photodetector matrix, and the rest - on a slit, behind which a collimator, a prism, a projection lens and a receiving matrix of the hyperspectrometer are sequentially installed. 2. Насадка по п. 1, отличающаяся тем, что в качестве гиперспектральной матрицы использовано фотоприемное устройство на базе sCMOS сенсора.2. A nozzle according to claim 1, characterized in that a photodetector based on an sCMOS sensor is used as the hyperspectral matrix. 3. Насадка по п. 1, отличающаяся тем, что светоделительный кубик выполнен с возможностью подачи на фотоприемную матрицу 50% падающего на него излучения.3. A nozzle according to claim 1, characterized in that the beam-splitting cube is configured to supply 50% of the incident radiation to the photodetector matrix. 4. Насадка по п. 1, отличающаяся тем, что выход приемной матрицы гиперспектрометра подключен к персональному компьютеру.4. A nozzle according to claim 1, characterized in that the output of the receiving matrix of the hyperspectrometer is connected to a personal computer.
RU2020110450U 2020-03-12 2020-03-12 Hyperspectral optical microscope attachment RU199542U1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2020110450U RU199542U1 (en) 2020-03-12 2020-03-12 Hyperspectral optical microscope attachment

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2020110450U RU199542U1 (en) 2020-03-12 2020-03-12 Hyperspectral optical microscope attachment

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU199542U1 true RU199542U1 (en) 2020-09-07

Family

ID=72421389

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2020110450U RU199542U1 (en) 2020-03-12 2020-03-12 Hyperspectral optical microscope attachment

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU199542U1 (en)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6337472B1 (en) * 1998-10-19 2002-01-08 The University Of Texas System Board Of Regents Light imaging microscope having spatially resolved images
US6495818B1 (en) * 1998-07-21 2002-12-17 The Institute For Technology Development Microscopic hyperspectral imaging scanner
WO2009141622A1 (en) * 2008-05-21 2009-11-26 Ntnu Technology Transfer As Underwater hyperspectral imaging
CN209311320U (en) * 2018-10-11 2019-08-27 中国科学院西安光学精密机械研究所 A kind of built-in scan type high microspectrum imaging system

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6495818B1 (en) * 1998-07-21 2002-12-17 The Institute For Technology Development Microscopic hyperspectral imaging scanner
US6337472B1 (en) * 1998-10-19 2002-01-08 The University Of Texas System Board Of Regents Light imaging microscope having spatially resolved images
WO2009141622A1 (en) * 2008-05-21 2009-11-26 Ntnu Technology Transfer As Underwater hyperspectral imaging
CN209311320U (en) * 2018-10-11 2019-08-27 中国科学院西安光学精密机械研究所 A kind of built-in scan type high microspectrum imaging system

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102424799B1 (en) Systems and Methods for Hyperspectral Imaging Instrumentation
CN112840202B (en) Multipole illumination system and overlay metrology system
US11002601B2 (en) Spectroscopic microscope and spectroscopic observation method
WO2019027748A1 (en) Overlay metrology using multiple parameter configurations
KR20180130105A (en) System and method for spectral tuning of broadband light sources
JPH03504046A (en) Raman analyzer
US9684106B2 (en) System, method and apparatus for phase contrast enhanced multiplexing of images
JP2007522445A (en) Method and apparatus for multi-mode spectral image analysis
JP2013531816A5 (en)
US10634607B1 (en) Snapshot ellipsometer
WO2017150062A1 (en) Spectrometry device
CN105765437A (en) Microscope with acousto-optical device
JP4895519B2 (en) Microscope equipment
RU199542U1 (en) Hyperspectral optical microscope attachment
US11346719B2 (en) Fourier-transform hyperspectral imaging system
RU2608012C2 (en) Two-channel diffraction phase-contrast microscope
RU2758003C1 (en) Method for registration of holographic images of objects
RU2673784C1 (en) Two-component general track interferometer
RU2626061C1 (en) Method and device for registering images of phase microobjects in arbitrary narrow spectral intervals
TWI829373B (en) Coherent raman spectroscopy system and method thereof
RU2101744C1 (en) Color visualizer of fields of optical density
Petrov et al. Ghost imaging with auxiliary multiplex channels: a review of the latest results
TW202415940A (en) Coherent raman spectroscopy system and method thereof
JP2020085545A (en) Optical space measuring device
JP2006038577A (en) Time-resolved spectrograph

Legal Events

Date Code Title Description
MM9K Utility model has become invalid (non-payment of fees)

Effective date: 20210313