RU188916U1 - Fiber Optic Relay - Google Patents

Fiber Optic Relay Download PDF

Info

Publication number
RU188916U1
RU188916U1 RU2018146735U RU2018146735U RU188916U1 RU 188916 U1 RU188916 U1 RU 188916U1 RU 2018146735 U RU2018146735 U RU 2018146735U RU 2018146735 U RU2018146735 U RU 2018146735U RU 188916 U1 RU188916 U1 RU 188916U1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
key
optical fiber
fiber
cantilever
signal
Prior art date
Application number
RU2018146735U
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Максим Анатольевич Одноблюдов
Original Assignee
федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого" (ФГАОУ ВО "СПбПУ")
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого" (ФГАОУ ВО "СПбПУ") filed Critical федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого" (ФГАОУ ВО "СПбПУ")
Priority to RU2018146735U priority Critical patent/RU188916U1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU188916U1 publication Critical patent/RU188916U1/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light

Abstract

Полезная модель относится к устройствам волоконно-оптических линий передачи информации и может быть использована в качестве устройства для прерывания оптического сигнала. Заявленное реле волоконно-оптической линии связи состоит из корпуса, в котором установлен блок ключа, а с противоположных торцов смонтированы первый и второй наконечники. В первом наконечнике размещено оптическое волокно для входного сигнала и со стороны, обращенной внутрь корпуса, установлена первая коллимирующая линза, а во втором наконечнике размещено оптическое волокно для выходного оптического сигнала и со стороны, обращенной внутрь корпуса, установлена вторая коллимирующая линза. Блок ключа расположен между первым и вторым наконечниками и состоит из втулки, к нижнему основанию которой прикреплена плата с двумя контактами, к которым припаяны первый и второй электроды. Также блок ключа включает основание ключа толщиной 1,6 мкм, выполненное в виде гетероструктуры на подложке из оксида кремния, состоящей из прилегающих друг к другу чередующихся слоев Cr/Cu/Cr, и приклеенное к плате, и подвижный гибкий упругий кантилевер ключа толщиной 1 мкм, образованный отслоенными одноименными краями верхних слоев гетероструктуры. Первая и вторая коллимирующая линзы, кантилевер ключа, оптическое волокно для входного сигнала и оптическое волокно для выходного сигнала расположены соосно друг другу. Технический результат - обеспечение прерывания оптического сигнала в одном канале передачи данных без возможности его передачи в другом канале. 2 ил.The invention relates to devices for fiber-optic data transmission lines and can be used as a device for interrupting an optical signal. The claimed relay of the fiber-optic communication line consists of a case in which a key block is installed, and the first and second tips are mounted from opposite ends. An optical fiber for the input signal and a side facing the inside of the body is placed in the first tip, a first collimating lens is installed, and an optical fiber for the output optical signal is placed in the second tip and a second collimating lens is installed from the side facing the inside of the body. The key block is located between the first and second tips and consists of a sleeve, to the lower base of which a board with two contacts is attached, to which the first and second electrodes are soldered. The key block also includes a key base 1.6 μm thick, made in the form of a heterostructure on a silicon oxide substrate consisting of alternating alternating Cr / Cu / Cr layers adjacent to each other, and glued to the board, and a movable flexible elastic cantilever key of 1 μm formed by the detached edges of the upper layers of the heterostructure with the same name. The first and second collimating lenses, the cantilever key, the optical fiber for the input signal, and the optical fiber for the output signal are aligned coaxially with each other. The technical result is the provision of interruption of the optical signal in one data channel without the possibility of its transmission in another channel. 2 Il.

Description

Полезная модель относится к устройствам волоконно-оптических линий передачи информации и может быть использована в качестве устройства для прерывания оптического сигнала.The invention relates to devices for fiber-optic data transmission lines and can be used as a device for interrupting an optical signal.

Известны коммутаторы оптических сигналов, предназначенные для закрытия одного канала передачи оптических сигналов с одновременным открытием другого канала передачи оптических сигналов. Один из принципов действия таких коммутаторов основан на движении кантилевера, активируемого электростатически. Например, известен МЭМС-переключатель [Уваров И.В., Наумов В.В., Королева О.М., Ваганова Е.И., Амиров И.И. МЭМС-переключатели электростатического типа с низким напряжением срабатывания. Труды ФТИАН, М.: Наука, 2017, т. 26, С. 55-63]. Переключатель представляет собой однополюсный ключ с нормально разомкнутыми контактами. Металлический кантилевер располагается над управляющим и коммутируемым электродами (также металлическими). На свободном конце кантилевера находится контактный выступ. При приложении напряжения между кантилевером и электродом управления кантилевер притягивается к электроду за счет электростатических сил, замыкая коммутируемый электрод. После отключения напряжения кантилевер возвращается в исходное состояние. В таком переключателе осуществляется контакт металл-металл. Кантилевер выполнен с контактным выступом в виде полупроводниковой многослойной структуры из слоев Cr/Al/Cr толщинами 10/60/10, 15/90/15 и 20/120/20 нм на оксидной подложке. Known switches optical signals, designed to close one channel of transmission of optical signals with the simultaneous opening of another channel of transmission of optical signals. One of the principles of such switches is based on the movement of a cantilever that is activated electrostatically. For example, known MEMS switch [Uvarov I.V., Naumov V.V., Koroleva OM, Vaganova E.I., Amirov I.I. MEMS switches of electrostatic type with low voltage operation. Proceedings of FTIAN, M .: Nauka, 2017, V. 26, P. 55-63]. The switch is a single-pole key with normally open contacts. The metal cantilever is located above the control and switched electrodes (also metal). At the free end of the cantilever is a contact ledge. When a voltage is applied between the cantilever and the control electrode, the cantilever is attracted to the electrode by electrostatic forces, closing the switched electrode. After switching off the voltage, the cantilever returns to its original state. In such a switch is a metal-to-metal contact. The cantilever is made with a contact protrusion in the form of a semiconductor multilayer structure of Cr / Al / Cr layers with thicknesses of 10/60/10, 15/90/15 and 20/120/20 nm on the oxide substrate.

Такой коммутатор и подобные им устройства прерывают передачу оптического сигнала в одном канале передачи данных, но при этом открывают другой канал для его передачи.Such a switch and similar devices interrupt the transmission of an optical signal in one data channel, but at the same time open another channel to transmit it.

Известны устройства, перенаправляющие оптические сигналы из одного канала передачи данных в другой. Например, известен оптический переключатель, состоящий из платформы и оптоволокна, которое установлено в V – образном пазе. Элемент переключателя размещен на платформе. Переключатель состоит из платформы, на которой установлен кантилевер, на кантилевере установлена рама, в которую помещается зеркало. Пара электродов закреплена на платформе. При подаче напряжения между электродом и кантилевером возникает электростатическое усилие, и зеркало, установленное в рамке кантилевера, перемещается в вертикальном направлении [US20050025412 (A1), МПК 1-7: G02B6/3514, опубл. 02.03.2005].Devices are known that redirect optical signals from one data channel to another. For example, a known optical switch consisting of a platform and an optical fiber, which is installed in a V-shaped groove. The switch element is located on the platform. The switch consists of a platform on which a cantilever is installed, a frame is installed on the cantilever, into which the mirror is placed. A pair of electrodes mounted on the platform. When a voltage is applied between the electrode and the cantilever, an electrostatic force occurs, and the mirror mounted in the cantilever frame moves in the vertical direction [US20050025412 (A1), IPC 1-7: G02B6 / 3514, publ. 02.03.2005].

Таким образом, известные коммутаторы оптического сигнала не реализуют прерывание оптического сигнала как таковое, а реализуют переключение оптического сигнала между каналами.  Thus, the known switches of the optical signal do not implement the interruption of the optical signal as such, but implement the switching of the optical signal between the channels.

Известны микрореле, предназначенные для закрытия цепи постоянных токов или канала передачи СВЧ-волн [например, Л. Белов, М. Житникова, Микроэлектромеханические компоненты радиочастотного диапазона//Электроника: НТБ, 2006, №8, С.18-25]. Одна из групп таких микрореле представляют собой классические микрореле с резистивным соединением. Такие микрореле состоят из копланарного волновода, мембраны, выполняющей роль кантилевера, расположенной над волноводом, управляющего электрода, актуатора, контактных площадок. Мембраны выполняют из материалов с высокой проводимостью для радиочастотных сигналов. Центральный электрод обеспечивает подачу управляющего сигнала, а также служит обкладкой конденсатора, образуемого сигнальной линией и плоскостью заземления. Мембрана перемещается вверх и вниз под воздействием управляющего электростатического поля, обеспечивая перекрытие и открытие волновода.Known micro relay intended to close the circuit of direct currents or the transmission channel of microwave waves [eg L. Belov, M. Zhitnikova, Microelectromechanical components of the radio frequency range // Electronics: NTB, 2006, № 8, P.18-25]. One of the groups of such micro-relays are classic micro-relays with a resistive connection. Such micro-relays consist of a coplanar waveguide, a membrane that acts as a cantilever located above the waveguide, a control electrode, an actuator, and contact pads. The membranes are made of materials with high conductivity for radio frequency signals. The central electrode provides a control signal, and also serves as a plate for a capacitor formed by the signal line and the ground plane. The membrane moves up and down under the influence of the control electrostatic field, providing overlap and opening of the waveguide.

Такие устройства реализуют прерывание передачи сигнала без его переключения на другой канал, но не оптического сигнала. Such devices implement interruption of signal transmission without switching it to another channel, but not an optical signal.

Техническая проблема заключается в создании волоконно-оптического устройства для прерывания оптического сигнала.A technical problem is to create a fiber optic device for interrupting an optical signal.

Техническая проблема достигается тем, что реле волоконно-оптической линии связи состоит из корпуса, в котором установлен блок ключа, а с противоположных торцов смонтированы первый и второй наконечники, при этом в первом наконечнике размещено оптическое волокно для входного сигнала и со стороны, обращенной внутрь корпуса, установлена первая коллимирующая линза, а во втором наконечнике размещено оптическое волокно для выходного оптического сигнала и со стороны, обращенной внутрь корпуса, установлена вторая коллимирующая линза, и при этом блок ключа расположен между первым и вторым наконечником и состоит из втулки, к нижнему основанию которой прикреплена плата с двумя контактами, к которым припаяны первый и второй электроды, прикрепленного к плате основания ключа толщиной 1,6 мкм, выполненное в виде гетероструктуры на подложке из оксида кремния, образованной прилегающими друг к другу чередующимися слоями Cr/Cu/Cr, и подвижного гибкого упругого кантилевера ключа толщиной 1 мкм, образованного отслоенными одноименными краями верхних слоев гетероструктуры, а первая и вторая коллимирующая линзы, кантилевер ключа, оптическое волокно для входного сигнала и оптическое волокно для выходного сигнала расположены соосно друг другу.The technical problem is achieved by the fact that the relay of a fiber-optic communication line consists of a housing in which a key block is installed, and the first and second tips are mounted from opposite ends, while the first tip contains an optical fiber for the input signal from the side facing the inside , the first collimating lens is installed, and in the second tip there is an optical fiber for the output optical signal and from the side facing the inside of the body, the second collimating lens is mounted, and the key block is located between the first and second handpieces and consists of a sleeve, to the lower base of which a board with two contacts is attached, to which the first and second electrodes are attached to the base plate of the key 1.6 μm thick, made in the form of a heterostructure on an oxide substrate silicon formed by alternating alternating layers of Cr / Cu / Cr, and a movable flexible elastic cantilever key with a thickness of 1 μm, formed by detached like edges of the upper layers of the heterostructure, and the first and second count Ymir lens cantilever key fiber optic input and fiber optic output are aligned with each other.

Технический результат заключается в обеспечении прерывания оптического сигнала в одном канале передачи данных без возможности его передачи в другом канале.The technical result is to provide an interruption of the optical signal in one data channel without the possibility of its transmission in another channel.

На фиг. 1 показано реле волоконно-оптической линии связи в разрезе.FIG. 1 shows a fiber optic relay in section.

На фиг. 2 показан блок ключа реле волоконно-оптической линии связи в разрезе.FIG. 2 shows a key block for a fiber-optic relay link in section.

Реле волоконно-оптической линии связи содержит корпус 1, два наконечника 2 и 3, оптическое волокно 4 для входного сигнала, оптическое волокно 5 для выходного сигнала, две коллимирующих линзы 6 и 7, блок ключа 8.Relay fiber-optic communication line includes a housing 1, two tips 2 and 3, the optical fiber 4 for the input signal, the optical fiber 5 for the output signal, two collimating lenses 6 and 7, the key block 8.

Наконечники 2 и 3 установлены в корпусе напротив друг друга. В наконечнике 2 размещено оптическое волокно 4 для входного оптического сигнала, а со стороны, обращенной внутрь корпуса, установлена коллимирующая линза 6. В наконечнике 3 размещено оптическое волокно 5 для выходного оптического сигнала и со стороны, обращенной внутрь корпуса, установлена коллимирующая линза 7. Блок ключа 8 установлен в корпусе.The tips 2 and 3 are installed in the housing opposite each other. An optical fiber 4 for the input optical signal is placed in the tip 2, and a collimating lens 6 is installed on the side facing the inside of the body. An optical fiber 5 for the output optical signal is placed on the tip 3 and a collimating lens 7 is mounted on the side facing the inside of the body 7. Block Key 8 is installed in the case.

Блок ключа 8 состоит из втулки 9, к нижнему основанию которой прикреплена плата 10 с двумя контактами, к которым припаяны электроды 11 и 12, основания ключа 13 и кантилевера ключа 14.The key block 8 consists of a sleeve 9, to the lower base of which is attached a board 10 with two contacts, to which electrodes 11 and 12 are soldered, the base of the key 13 and the cantilever of the key 14.

Ключ выполнен в виде многослойной полупроводниковой гетероструктуры на подложке из оксида кремния SiO2. Многослойная полупроводниковая гетероструктура состоит из повторяющихся слоев Cr/Cu/Cr, прилегающих друг к другу с одного края. Несколько верхних слоев гетероструктуры с другого края отслоены. Отслоенные края образуют подвижный гибкий упругий кантилевер ключа 14, а не отслоенная часть гетероструктуры образует основание ключа 13.The key is made in the form of a multilayer semiconductor heterostructure on a substrate of silicon oxide SiO 2 . A multilayer semiconductor heterostructure consists of repetitive Cr / Cu / Cr layers adjacent to each other at one edge. Several upper layers of the heterostructure from the other edge are peeled off. The peeled edges form a movable flexible elastic cantilever of the key 14, and the non-peeled part of the heterostructure forms the base of the key 13.

Основание ключа 13 приклеено к плате 10. Толщина межэлектродного зазора составляет около 0,8 мкм.The base of the key 13 is glued to the plate 10. The thickness of the interelectrode gap is about 0.8 microns.

Толщины кантилевера и основания ключа соотносятся между собой как 1 : 1,6.The thickness of the cantilever and the base of the key correlate with each other as 1: 1.6.

Коллимирующие линзы 6 и 7, кантилевер ключа 14, оптическое волокно 4 для входного оптического сигнала и оптическое волокно 5 для выходного оптического сигнала расположены соосно друг другу.The collimating lenses 6 and 7, the cantilever key 14, the optical fiber 4 for the input optical signal and the optical fiber 5 for the output optical signal are aligned coaxially with each other.

Устройство работает следующим образом. На оптическое волокно 4 для оптического входного сигнала от внешнего источника подается оптический сигнал, который попадает на коллимирующую линзу 6 и преобразуется в коллимированный пучок. The device works as follows. An optical signal is fed to the optical fiber 4 for an optical input signal from an external source, which is transmitted to the collimating lens 6 and converted into a collimated beam.

Если на плату ключа 10 от внешнего блока питания подается постоянное напряжение, то между кантилевером ключа 14 и основанием ключа 13 возникает электростатическая сила притяжения. В результате этого кантилевер ключа 14 прижимается к основанию ключа 13, позволяя оптическому сигналу беспрепятственно достигать коллимирующей линзы 7. Коллимирующая линза 7 затем вводит оптический сигнал в оптическое волокно 5.If a constant voltage is applied to the key board 10 from an external power supply, then an electrostatic attraction force arises between the cantilever key 14 and the base of the key 13. As a result, the cantilever key 14 is pressed against the base of the key 13, allowing the optical signal to reach the collimating lens 7 without hindrance. The collimating lens 7 then introduces the optical signal into the optical fiber 5.

Если на плату ключа 10 от внешнего блока питания не подается постоянное напряжение, то между кантилевером ключа 14 и основанием ключа 13 не возникает электростатическая сила притяжения. В результате этого кантилевер ключа 14 не прижимается к основанию ключа 13 и не позволяет оптическому сигналу достигать коллимирующей линзы 7.If a constant voltage is not supplied to the key board 10 from the external power supply, then an electrostatic attraction force does not occur between the cantilever key 14 and the base of the key 13. As a result, the cantilever key 14 is not pressed against the base of the key 13 and does not allow the optical signal to reach the collimating lens 7.

Таким образом, реализуется прерывание оптического сигнала в канале передачи данных без возможности его передачи в другом канале.Thus, the interruption of the optical signal in the data transmission channel without the possibility of its transmission in another channel is realized.

Предлагаемое реле волоконно-оптической линии связи характеризуется быстродействием за счет гибкости и упругости кантилевера, выполненного из полупроводниковой гетероструктуры. Гибкость и упругость кантилевера достигается за счет соотношения толщин основания ключа и кантилевера ключа как 1,6 : 1, а также за счет возникновения упругих напряжений между слоями хрома и меди полупроводниковой гетероструктуры. Также реле волоконно-оптической линии связи характеризуется вибростойкостью за счет отсутствия движущихся механических частей и эластичности слоев полупроводниковой гетероструктуры.The proposed relay of the fiber-optic communication line is characterized by speed due to the flexibility and elasticity of the cantilever made of a semiconductor heterostructure. The flexibility and elasticity of the cantilever is achieved due to the ratio of the base thicknesses of the key and the key cantilever as 1.6: 1, as well as due to the appearance of elastic stresses between the chromium and copper layers of the semiconductor heterostructure. Also, the relay of the fiber-optic communication line is characterized by vibration resistance due to the absence of moving mechanical parts and the elasticity of the layers of the semiconductor heterostructure.

Claims (1)

Реле волоконно-оптической линии связи, состоящее из корпуса, в котором установлен блок ключа, а с противоположных торцов смонтированы первый и второй наконечники; в первом наконечнике размещено оптическое волокно для входного сигнала, и со стороны, обращенной внутрь корпуса, установлена первая коллимирующая линза, а во втором наконечнике размещено оптическое волокно для выходного оптического сигнала, и со стороны, обращенной внутрь корпуса, установлена вторая коллимирующая линза; при этом блок ключа расположен между первым и вторым наконечником и состоит из втулки, к нижнему основанию которой прикреплена плата с двумя контактами, к которым припаяны первый и второй электроды, прикрепленного к плате основания ключа толщиной 1,6 мкм, выполненного в виде полупроводниковой гетероструктуры на подложке из оксида кремния, образованной прилегающими друг к другу чередующимися слоями Cr/Cu/Cr, и подвижного гибкого упругого кантилевера ключа толщиной 1 мкм, образованного отслоенными одноименными краями верхних слоев гетероструктуры; а первая и вторая коллимирующая линзы, кантилевер ключа, оптическое волокно для входного сигнала и оптическое волокно для выходного сигнала расположены соосно друг другу. Relay fiber-optic communication line, consisting of a case in which a key block is installed, and the first and second tips are mounted from opposite ends; An optical fiber for the input signal is placed in the first tip, and a first collimating lens is installed on the side facing the inside of the body, and an optical fiber for the output optical signal is placed in the second tip, and a second collimating lens is mounted on the side facing the inside of the body; the key block is located between the first and second handpieces and consists of a sleeve, to the bottom base of which a board with two contacts is attached, to which the first and second electrodes are attached to the base board of the key 1.6 μm thick, made in the form of a semiconductor heterostructure on a silicon oxide substrate formed by alternating alternating layers of Cr / Cu / Cr adjacent to each other and a movable flexible elastic cantilever of a key 1 μm thick formed by detached like edges of the upper layers of a heterostruc kturs; and the first and second collimating lenses, the cantilever of the key, the optical fiber for the input signal and the optical fiber for the output signal are aligned with each other.
RU2018146735U 2018-12-26 2018-12-26 Fiber Optic Relay RU188916U1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2018146735U RU188916U1 (en) 2018-12-26 2018-12-26 Fiber Optic Relay

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2018146735U RU188916U1 (en) 2018-12-26 2018-12-26 Fiber Optic Relay

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU188916U1 true RU188916U1 (en) 2019-04-29

Family

ID=66430819

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2018146735U RU188916U1 (en) 2018-12-26 2018-12-26 Fiber Optic Relay

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU188916U1 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU197019U1 (en) * 2019-12-10 2020-03-25 федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого" (ФГАОУ ВО "СПбПУ") Fiber optic relay
RU2753158C1 (en) * 2020-11-18 2021-08-12 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники" High-sensitivity bolometer

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU1123010A1 (en) * 1983-03-05 1984-11-07 Предприятие П/Я М-5619 Optical fibre switch
JPH11119129A (en) * 1997-10-20 1999-04-30 Tdk Corp Optical switch and its manufacture
US20050025412A1 (en) * 2001-06-13 2005-02-03 Yoshihiro Hirata Optical switch
RU2537510C2 (en) * 2012-10-30 2015-01-10 Открытое акционерное общество "Концерн радиостроения "Вега" Method for connection between electronic modules for transmitting optical signals

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU1123010A1 (en) * 1983-03-05 1984-11-07 Предприятие П/Я М-5619 Optical fibre switch
JPH11119129A (en) * 1997-10-20 1999-04-30 Tdk Corp Optical switch and its manufacture
US20050025412A1 (en) * 2001-06-13 2005-02-03 Yoshihiro Hirata Optical switch
RU2537510C2 (en) * 2012-10-30 2015-01-10 Открытое акционерное общество "Концерн радиостроения "Вега" Method for connection between electronic modules for transmitting optical signals

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU197019U1 (en) * 2019-12-10 2020-03-25 федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого" (ФГАОУ ВО "СПбПУ") Fiber optic relay
RU2753158C1 (en) * 2020-11-18 2021-08-12 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники" High-sensitivity bolometer

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU188916U1 (en) Fiber Optic Relay
US6154586A (en) Optical switch mechanism
KR101230284B1 (en) Rf mems switch a flexible and free switch membrane
US20020125117A1 (en) Microelectromechanical system (MEMS) digital electrical isolator
EP1287399B1 (en) Micro-mechanical waveguide optical devices
US6506989B2 (en) Micro power switch
US6977569B2 (en) Lateral microelectromechanical system switch
US5774604A (en) Using an asymmetric element to create a 1XN optical switch
AU594818B2 (en) Piezoelectric switch
CA2323189A1 (en) Dual motion electrostatic actuator design for mems micro-relay
KR100631204B1 (en) Mems switch and manufacturing method of it
KR20040110064A (en) Anchorless electrostatically activated micro electromechanical system switch
US20100012471A1 (en) Micro-Machined Relay
MX2013011270A (en) Rf mems crosspoint switch and crosspoint switch matrix comprising rf mems crosspoint switches.
US20040027029A1 (en) Lorentz force microelectromechanical system (MEMS) and a method for operating such a MEMS
WO2003015128A2 (en) An electromechanical switch and method of fabrication
KR20040049796A (en) Contact switch and apparatus provided with contact switch
KR20100078424A (en) Rf switch using mems
CA2968353C (en) Multichannel relay assembly with in line mems switches
JP4842041B2 (en) switch
ATE354171T1 (en) MICROELECTROMECHANICAL HF SWITCH
JP2009016161A (en) Switch and wireless terminal using this
JP5130291B2 (en) Electromechanical element and electrical equipment using the same
US11630266B2 (en) Adiabatic optical switch using a waveguide on a MEMS cantilever
Kumar et al. RF MEMS switch with enhanced reliability

Legal Events

Date Code Title Description
QB9K Licence granted or registered (utility model)

Free format text: LICENCE FORMERLY AGREED ON 20200212

Effective date: 20200212

QB9K Licence granted or registered (utility model)

Free format text: LICENCE FORMERLY AGREED ON 20201126

Effective date: 20201126