RU187416U1 - DEVICE FOR PLAYING STRESSED-DEFORMED STATES - Google Patents

DEVICE FOR PLAYING STRESSED-DEFORMED STATES Download PDF

Info

Publication number
RU187416U1
RU187416U1 RU2018141304U RU2018141304U RU187416U1 RU 187416 U1 RU187416 U1 RU 187416U1 RU 2018141304 U RU2018141304 U RU 2018141304U RU 2018141304 U RU2018141304 U RU 2018141304U RU 187416 U1 RU187416 U1 RU 187416U1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
membrane
rod
housing
axis
stem
Prior art date
Application number
RU2018141304U
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Геннадий Генрихович Левин
Владимир Леонидович Минаев
Алексей Дмитриевич Иванов
Геннадий Николаевич Вишняков
Original Assignee
Федеральное государственное унитарное предприятие "ВСЕРОССИЙСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ОПТИКО-ФИЗИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЙ" (ФГУП "ВНИИОФИ")
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное унитарное предприятие "ВСЕРОССИЙСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ОПТИКО-ФИЗИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЙ" (ФГУП "ВНИИОФИ") filed Critical Федеральное государственное унитарное предприятие "ВСЕРОССИЙСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ОПТИКО-ФИЗИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЙ" (ФГУП "ВНИИОФИ")
Priority to RU2018141304U priority Critical patent/RU187416U1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU187416U1 publication Critical patent/RU187416U1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/16—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. optical strain gauge
    • G01B11/161—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. optical strain gauge by interferometric means
    • G01B11/164—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. optical strain gauge by interferometric means by holographic interferometry

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

Полезная модель относится к устройствам контролируемого воспроизведения напряженно-деформированных состояний и может быть использована для метрологического обеспечения (поверки/калибровки) бесконтактных средств измерений деформаций и перемещений, а также устройств, применяемых для дефектоскопии, в том числе, на основе спекл-интерферометрии. Сущность: устройство содержит корпус, съемную мембрану (4), воздействующий на мембрану шток (5) и средство (8) перемещения штока, соединенное с ним рычажной передачей. Мембрана (4) закреплена на корпусе посредством прижимной шайбы, по всему периметру прижимающей ее к корпусу. Шток (5) установлен в направляющей (7), жестко закрепленной внутри корпуса перпендикулярно плоскости мембраны (4) вдоль оси прижимной шайбы. Технический результат: повышение точности воспроизведения напряженно-деформированных состояний. 3 з.п. ф-лы, 3 ил.

Figure 00000001
The utility model relates to devices for the controlled reproduction of stress-strain states and can be used for metrological support (verification / calibration) of non-contact measuring instruments for deformations and displacements, as well as devices used for defectoscopy, including based on speckle interferometry. Essence: the device comprises a housing, a removable membrane (4), a rod (5) acting on the membrane and a rod displacement means (8) connected to it by a lever transmission. The membrane (4) is fixed to the housing by means of a clamping washer, which presses it to the housing along the entire perimeter. The rod (5) is installed in the guide (7), rigidly fixed inside the housing perpendicular to the plane of the membrane (4) along the axis of the pressure plate. Effect: increasing the accuracy of the reproduction of stress-strain states. 3 s.p. f-ly, 3 ill.
Figure 00000001

Description

Полезная модель относится к измерительной технике, а именно к устройствам контролируемого воспроизведения напряженно-деформированных состояний, и может быть использована для метрологического обеспечения (поверки/калибровки) бесконтактных средств измерений деформации и перемещений, а также устройств, применяемых для дефектоскопии, в том числе, на основе спекл-интерферометрии.The utility model relates to measuring equipment, namely to devices for the controlled reproduction of stress-strain states, and can be used for metrological support (verification / calibration) of non-contact measuring instruments for deformation and displacements, as well as devices used for defectoscopy, including based speckle interferometry.

Из уровня техники известно деформируемое зеркало, обеспечивающее возможность локально изменять фазу отраженного излучения и содержащее зеркальную поверхность и ряд расположенных позади нее толкателей, оснащенных пьезодвигателями, которые позволяют деформировать зеркальную поверхность с высокой степенью точности (см. патент ЕР 1923730, кл. G02B 26/06, опубл. 21.05.2008). Основными недостатками известного устройства являются небольшой диапазон перемещений отражающей поверхности и наличие гистерезиса при управлении пьезодвигателями. Кроме того, устройство предназначено для изменения волнового фронта падающего излучения и ввиду гладкой структуры поверхности с его помощью невозможно проводить калибровку спекл-интерферометров по причине отсутствия спекл-структур на такой поверхности.A deformable mirror is known from the prior art that makes it possible to locally change the phase of reflected radiation and contains a mirror surface and a series of pushers located behind it, equipped with piezoelectric motors, which allow the mirror surface to be deformed with a high degree of accuracy (see patent EP 1923730, class G02B 26/06 published on 05.21.2008). The main disadvantages of the known device are a small range of movements of the reflecting surface and the presence of hysteresis when controlling piezoelectric motors. In addition, the device is designed to change the wavefront of the incident radiation and, due to the smooth surface structure, it is impossible to calibrate speckle interferometers due to the absence of speckle structures on such a surface.

Наиболее близким по технической сущности к предлагаемой полезной модели является устройство воспроизведения напряженно-деформированных состояний, содержащее корпус, съемную мембрану, воздействующий на нее шток, и соединенное с ним рычажной передачей средство перемещения указанного штока в виде микрометрического винта, (Журавлев О.А., Комаров С.Ю., Сергеев Р.Н. Нагрузочное устройство для тестирования мобильных цифровых спекл-интерферометров деформационных перемещений // Вестник СамГУ. 2013. №9/2 (110). С. 87-96). Основными недостатками этого устройства являются высокое усилие, создаваемое микрометрическим винтом на мембрану, которое снижает точность задания смещения, а также наличие неконтролируемых ошибок при перемещении элементов конструкции, в том числе, из-за невозвратной деформации материала мембраны.The closest in technical essence to the proposed utility model is a device for reproducing stress-strain states, comprising a housing, a removable membrane, a rod acting on it, and a means for moving said rod in the form of a micrometer screw connected to it by a lever transmission (Zhuravlev O.A., Komarov S.Yu., Sergeev RN Load device for testing mobile digital speckle interferometers of deformation movements // Bulletin of SamSU. 2013. No. 9/2 (110). P. 87-96). The main disadvantages of this device are the high force generated by the micrometer screw on the membrane, which reduces the accuracy of the offset, as well as the presence of uncontrolled errors when moving structural elements, including due to the irreparable deformation of the membrane material.

Технической проблемой является устранение указанных недостатков и создание надежной и удобной в использовании меры воспроизведения напряженно-деформированных состояний. Технический результат заключается в повышении точности воспроизведения напряженно-деформированных состояний. Поставленная проблема решается, а технический результат достигается тем, что в устройстве воспроизведения напряженно-деформированных состояний, содержащем корпус, съемную мембрану, воздействующий на нее шток, и средство перемещения указанного штока, соединенное с ним рычажной передачей, мембрана закреплена посредством прижимной шайбы, по всему периметру прижимающей ее к корпусу, а шток установлен в направляющей, жестко закрепленной внутри корпуса перпендикулярно плоскости мембраны вдоль оси прижимной шайбы. Средство перемещения штока предпочтительно выполнено в виде микрометрического винта, ось которого параллельна оси штока. Со стороны мембраны шток предпочтительно снабжен наконечником в виде шарика. Противоположный от мембраны конец штока предпочтительно оборудован стеклянным переходником с отполированной плоской контактной поверхностью, перпендикулярной оси штока, а на корпусе установлен кронштейн для установки, по меньшей мере, одной измерительной головки, обеспечивающей возможность взаимодействия щупа этой головки со стеклянным переходником штока.The technical problem is the elimination of these shortcomings and the creation of reliable and easy-to-use measures for reproducing stress-strain states. The technical result consists in increasing the accuracy of the reproduction of stress-strain states. The problem is solved, and the technical result is achieved by the fact that in the device for reproducing stress-strain states, comprising a housing, a removable membrane, a rod acting on it, and means for moving said rod connected to it by a lever gear, the membrane is fixed by means of a clamping washer, throughout the perimeter presses it against the housing, and the rod is mounted in a guide rigidly fixed inside the housing perpendicular to the plane of the membrane along the axis of the pressure washer. The tool for moving the rod is preferably made in the form of a micrometer screw, the axis of which is parallel to the axis of the rod. On the membrane side, the stem is preferably provided with a ball-shaped tip. The end of the stem opposite from the membrane is preferably equipped with a glass adapter with a polished flat contact surface perpendicular to the axis of the stem, and a bracket is mounted on the housing for mounting at least one measuring head, allowing the probe of this head to interact with the glass stem adapter.

На фиг. 1 представлен общий вид предлагаемого устройства;In FIG. 1 shows a General view of the proposed device;

на фиг. 2 - его вид со стороны мембраны;in FIG. 2 - its view from the side of the membrane;

на фиг. 3 - продольный разрез А-А по фиг. 2.in FIG. 3 is a longitudinal section AA of FIG. 2.

Предлагаемое устройство представляет собой массивный корпус 1, к которому при помощи как минимум восьми винтов 2 и массивной шайбы 3 прижимается круглая съемная мембрана 4. Мембрана 4 надежно фиксируется по всему периметру и центрируется относительно прижимной шайбы 3 по пазам и штифтам. Для применения устройства со спекл-интерферометрами необходима возможность использовать его со сменными мембранами 4, которые обладают различными свойствами поверхности, имитирующими характеристики реального объекта измерений (шероховатость и волнистость поверхности; наличие дефектов, раковин и отверстий; толщина и модуль упругости материала; твердость поверхности).The proposed device is a massive case 1, to which, using at least eight screws 2 and a massive washer 3, a round removable membrane 4 is pressed. The membrane 4 is securely fixed around the perimeter and is centered relative to the clamping washer 3 along the grooves and pins. To use the device with speckle interferometers, it is necessary to be able to use it with interchangeable membranes 4, which have various surface properties that mimic the characteristics of the real measurement object (surface roughness and waviness; the presence of defects, sinks and holes; thickness and elastic modulus of the material; surface hardness).

Внешняя сторона мембраны 4 является рабочей для проведения поверки/калибровки средств измерений, а на внутреннюю воздействует стальной шток 5 с наконечником 6 в виде стального закаленного шарика (в этом случае касание мембраны 4 происходит в одной точке). Шток 5 установлен в направляющей 7, которая жестко закреплена в корпусе вдоль оси прижимной шайбы 3. При перемещении шток 5 поперчено деформирует мембрану 4, тем самым воспроизводя поле деформаций на ее внешней стороне. Корпус 1 вместе направляющей 7 и шайба 3 выполняются на одном токарном процессе при изготовлении меры, что позволяет использовать шайбу 3 как базовую поверхность для точного нахождения точки приложения усилия с внешней стороны мембраны 4. Таким образом, происходит центрирование всех основных элементов конструкции на одной оси, что впоследствии позволяет осуществлять двойной контроль деформируемой мембраны 4 и дает возможность оценить дополнительные деформации, связанные с внутренним сжатием материала мембраны 4 и штока 5. Это техническое решение повышает точность и дает возможность использовать дополнительные измерительные устройства для передачи единицы измерений деформации (сдвига) в точке нагружения.The outer side of the membrane 4 is working for verification / calibration of measuring instruments, and the inner stem is affected by a steel rod 5 with a tip 6 in the form of a steel hardened ball (in this case, the contact of the membrane 4 occurs at one point). The rod 5 is installed in the guide 7, which is rigidly fixed in the housing along the axis of the clamping washer 3. When moving the rod 5 transversely deforms the membrane 4, thereby reproducing the deformation field on its outer side. The housing 1 together with the guide 7 and the washer 3 are carried out on the same turning process in the manufacture of measures, which allows the washer 3 to be used as the base surface for accurately finding the point of application of force from the outside of the membrane 4. Thus, all the main structural elements are centered on one axis, which subsequently allows for dual control of the deformable membrane 4 and makes it possible to evaluate additional deformations associated with the internal compression of the material of the membrane 4 and rod 5. This is technical the solution improves accuracy and makes it possible to use additional measuring devices to transfer units of strain (shear) at the point of loading.

Усилие для деформации мембраны 4 создается средством перемещения в виде параллельного штоку 5 прецизионного микрометрического винта 8 и передается к штоку через рычажный привод 9. Микрометрические винты, как правило, имеют нормированную предельную нагрузку, которую можно прикладывать к оси перемещений, при которой в процессе вращения винта сохраняются точностные характеристики микроподачи. Это условие необходимо для минимизации люфтов винта 8, а также для предотвращения деформации резьбы и плавной работы механизма. Использование в конструкции рычажного привода 9 позволяет уменьшить усилие на резьбе микрометрического винта 8, а также регулировать поперечную деформацию мембраны 4 с меньшим шагом, что особенно важно для повышения точности воспроизведения ее деформации.The force for deformation of the membrane 4 is created by means of movement in the form of a precision micrometer screw 8 parallel to the stem 5 and transmitted to the rod through a lever actuator 9. Micrometric screws, as a rule, have a normalized ultimate load, which can be applied to the axis of movement, during which the rotor rotates the precision characteristics of the micro feed are maintained. This condition is necessary to minimize the backlash of the screw 8, as well as to prevent deformation of the thread and smooth operation of the mechanism. Use in the design of the lever actuator 9 can reduce the force on the thread of the micrometer screw 8, as well as adjust the transverse deformation of the membrane 4 with a smaller step, which is especially important to increase the accuracy of reproduction of its deformation.

Противоположный от мембраны конец штока 5 оборудован стеклянным переходником 10 с отполированной плоской контактной поверхностью (с высокими требованиями плоскостности и шероховатости), перпендикулярной оси штока 5. Контактная поверхность стеклянного переходника 10 является базовой поверхностью для измерения перемещения штока 5. Для контроля перемещения штока 5 на корпусе 1 установлен кронштейн 11 для установки измерительной головки 12 (механический измеритель перемещений линейного сдвига - индикатор часового типа), обеспечивающей возможность взаимодействия щупа этой головки со стеклянным переходником 10. Измерительная головка 12 находится на одной оси со штоком 5. Устройство обеспечивает возможность установки и большего числа измерительных головок 12 на одной оси со штоком 5, что обеспечивает возможность дополнительного контроля деформируемой мембраны 4 и позволяет проводить поверку или калибровку меры при помощи других, сторонних средств измерений и позиционировать их относительно деформированной мембраны 4 с высокой точностью.The end of the stem 5 opposite from the membrane is equipped with a glass adapter 10 with a polished flat contact surface (with high requirements for flatness and roughness) perpendicular to the axis of the stem 5. The contact surface of the glass adapter 10 is the base surface for measuring the movement of the stem 5. To control the movement of the stem 5 on the body 1, a bracket 11 is installed for installing the measuring head 12 (a mechanical linear displacement meter - a dial indicator), which provides the possibility of the interaction of the probe of this head with a glass adapter 10. The measuring head 12 is located on the same axis with the rod 5. The device provides the ability to install a larger number of measuring heads 12 on the same axis with the rod 5, which provides additional control of the deformable membrane 4 and allows calibration or calibrate the measure using other, third-party measuring instruments and position them relative to the deformed membrane 4 with high accuracy.

Поскольку трение щупа головки 12 о микронеровности может приводить к биениям и скачкам показаний при измерениях, контактная поверхность штока 5 должна соответствовать высоким требованиям, что особенно важно при воспроизведении малых деформаций материала, сопоставимых с наружными шероховатостями изделия, которые могут доходить до десятков микрометров. Наличие в конструкции устройства стеклянного переходника 10 позволяет контактировать штоку 5 с контрольной измерительной головкой 12 по плоской ровной поверхности, шероховатость и волнистость которой не будут влиять на показания измерений головки 12 во время перемещений. Для этих целей в качестве стеклянного переходника 10 может быть использована мера плоскостности с нормированными характеристиками поверхности. Это техническое решение позволяет добиться точности измерений деформации мембраны, которая превышает значения высоты микронеровности деталей, из которых изготовлена мера.Since the friction of the probe head 12 about microroughness can lead to beating and jumps in the readings during measurements, the contact surface of the rod 5 must meet high requirements, which is especially important when reproducing small deformations of the material, comparable with the external roughness of the product, which can reach tens of micrometers. The presence in the device design of a glass adapter 10 allows the rod 5 to contact the control measuring head 12 on a flat, flat surface, the roughness and waviness of which will not affect the readings of the measurements of the head 12 during movements. For these purposes, as a glass adapter 10 can be used a measure of flatness with normalized surface characteristics. This technical solution allows to achieve the accuracy of the measurements of the deformation of the membrane, which exceeds the height of the microroughness of the parts from which the measure is made.

Предлагаемое устройство работает следующим образом.The proposed device operates as follows.

Усилие деформации задается поворотом микрометрического винта 8, который через рычажный привод 9 перемешает шток 5, деформирующий мембрану 4. Величина перемещения штока 5 контролируется показаниями измерительной головки 12.The deformation force is set by turning the micrometer screw 8, which through the lever drive 9 mixes the rod 5, deforming the membrane 4. The amount of movement of the rod 5 is controlled by the readings of the measuring head 12.

Таким образом, предлагаемое устройство позволяет значительно повысить точность и стабильность воспроизведения напряженно-деформированных состояний, расширить диапазон воспроизведения смещения и обеспечивает возможность испытывать различные материалы, что позволяет использовать его для настройки, калибровки и поверки бесконтактных оптических приборов в оптической электронной спекл-интерферометрии, где перемещения и деформации изделий имеют значения порядка нескольких микрометров.Thus, the proposed device can significantly improve the accuracy and stability of the reproduction of stress-strain states, expand the range of reproduction of displacement and provides the opportunity to test various materials, which allows you to use it to configure, calibrate and verify non-contact optical devices in optical electronic speckle interferometry, where the movement and product deformations are of the order of several micrometers.

Claims (4)

1. Устройство воспроизведения напряженно-деформированных состояний, содержащее корпус, съемную мембрану, воздействующий на нее шток и средство перемещения указанного штока, соединенное с ним рычажной передачей, отличающееся тем, что мембрана закреплена посредством прижимной шайбы, по всему периметру прижимающей ее к корпусу, а шток установлен в направляющей, жестко закрепленной внутри корпуса перпендикулярно плоскости мембраны вдоль оси прижимной шайбы.1. A device for reproducing stress-strain states, comprising a housing, a removable membrane, a rod acting on it, and means for moving said rod connected to it by a lever transmission, characterized in that the membrane is fixed by means of a pressure washer that presses it against the housing along the entire perimeter, and the rod is mounted in a guide rigidly fixed inside the housing perpendicular to the plane of the membrane along the axis of the clamping washer. 2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что средство перемещения штока выполнено в виде микрометрического винта, ось которого параллельна оси штока.2. The device according to claim 1, characterized in that the means for moving the rod is made in the form of a micrometer screw, the axis of which is parallel to the axis of the rod. 3. Устройство по п.1, отличающееся тем, что со стороны мембраны шток снабжен наконечником в виде шарика.3. The device according to claim 1, characterized in that on the membrane side the rod is equipped with a tip in the form of a ball. 4. Устройство по п.1, отличающееся тем, что противоположный от мембраны конец штока оборудован стеклянным переходником с отполированной плоской контактной поверхностью, перпендикулярной оси штока, а на корпусе установлен кронштейн для установки по меньшей мере одной измерительной головки, обеспечивающей возможность взаимодействия щупа этой головки со стеклянным переходником штока.4. The device according to claim 1, characterized in that the end of the stem opposite from the membrane is equipped with a glass adapter with a polished flat contact surface perpendicular to the axis of the stem, and a bracket for installing at least one measuring head is installed on the housing, allowing the probe to interact with this probe with glass stem adapter.
RU2018141304U 2018-11-23 2018-11-23 DEVICE FOR PLAYING STRESSED-DEFORMED STATES RU187416U1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2018141304U RU187416U1 (en) 2018-11-23 2018-11-23 DEVICE FOR PLAYING STRESSED-DEFORMED STATES

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2018141304U RU187416U1 (en) 2018-11-23 2018-11-23 DEVICE FOR PLAYING STRESSED-DEFORMED STATES

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU187416U1 true RU187416U1 (en) 2019-03-05

Family

ID=65678977

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2018141304U RU187416U1 (en) 2018-11-23 2018-11-23 DEVICE FOR PLAYING STRESSED-DEFORMED STATES

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU187416U1 (en)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2453823C1 (en) * 2011-01-31 2012-06-20 Любовь Ивановна Миронова Loading device
RU2483277C1 (en) * 2011-11-24 2013-05-27 Федеральное государственное бюджетное учреждение "Арктический и Антарктический научно-исследовательский институт" (ФГБУ "ААНИИ") Strain gauge

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2453823C1 (en) * 2011-01-31 2012-06-20 Любовь Ивановна Миронова Loading device
RU2483277C1 (en) * 2011-11-24 2013-05-27 Федеральное государственное бюджетное учреждение "Арктический и Антарктический научно-исследовательский институт" (ФГБУ "ААНИИ") Strain gauge

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
О.А.Журавлев и др. Нагрузочное устройство для тестирования мобильных цифровых спекл-интерферометров деформационных перемещений / Вестник СамГУ, 2013, N9/2(110), стр.87-96. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7098668B2 (en) Digital measuring head
US6493957B1 (en) Ball step gauge
US10507560B2 (en) Apparatus movable by a coordinate measuring machine for positioning a measuring instrument with respect to a workpiece
US20090158826A1 (en) Material testing apparatus with non-contact sensor
CN113504128B (en) Method and device for measuring Young's modulus of elasticity of material by using cantilever beam or extensional beam
CN101182994A (en) Non-contact type measurement indirect tensile strain method
US6694797B2 (en) Dial indicator calibration apparatus
RU187416U1 (en) DEVICE FOR PLAYING STRESSED-DEFORMED STATES
KR100859642B1 (en) Apparatus for measuring straightness in addition to differences of step and angle of two objects and shaft alignment method using same
Jäger Three-dimensional nanopositioning and nanomeasuring machine with a resolution of 0.1 nm
Kim et al. An interferometric calibration system for various linear artefacts using active compensation of angular motion errors
Buetefisch et al. Novel design for an ultra high precision 3D micro probe for CMM applications
US6226883B1 (en) Gauging head and apparatus for the linear dimension checking of mechanical pieces and associated machining process
CN210952723U (en) Micro deformation measuring instrument
CN103471834A (en) Device for accurately measuring bending rigidity in high-and-low temperature environment
CN110243290B (en) Three-degree-of-freedom nanometer positioning platform capable of reading displacement rotation information in real time through optical interference method
CN109115826B (en) Thermal expansion measuring instrument and using method
CN203606113U (en) Device accurately measuring flexural rigidity in high- and low-temperature environment
CN107655600B (en) Tension measuring device based on optical fiber interferometer
Stedman Machine for the rapid and accurate measurement of profile
CN103487330A (en) Flexural rigidity testing device
CN208860242U (en) A kind of novel dial gauge calibrating installation
Zeng et al. Standard measuring device for thickness of silicon wafer based on laser compensation system
KR100975440B1 (en) Apparatus for measuring straightness in addition to differences of step and angle of two objects and shaft alignment method using same
JPH03210402A (en) Horizontal type precision length measuring instrument

Legal Events

Date Code Title Description
QB9K Licence granted or registered (utility model)

Free format text: LICENCE FORMERLY AGREED ON 20200630

Effective date: 20200630

QZ91 Changes in the licence of utility model

Effective date: 20200630

QZ91 Changes in the licence of utility model

Effective date: 20200630