RU185041U1 - Делительная машина маятникового типа для изготовления штриховых структур на выпуклых цилиндрических поверхностях - Google Patents

Делительная машина маятникового типа для изготовления штриховых структур на выпуклых цилиндрических поверхностях Download PDF

Info

Publication number
RU185041U1
RU185041U1 RU2018107313U RU2018107313U RU185041U1 RU 185041 U1 RU185041 U1 RU 185041U1 RU 2018107313 U RU2018107313 U RU 2018107313U RU 2018107313 U RU2018107313 U RU 2018107313U RU 185041 U1 RU185041 U1 RU 185041U1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
carriage
tool
oscillations
dividing
cutter
Prior art date
Application number
RU2018107313U
Other languages
English (en)
Inventor
Анатолий Васильевич Лукин
Андрей Николаевич Мельников
Original Assignee
Акционерное общество "Научно-производственное объединение "Государственный институт прикладной оптики" (АО "НПО ГИПО")
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Акционерное общество "Научно-производственное объединение "Государственный институт прикладной оптики" (АО "НПО ГИПО") filed Critical Акционерное общество "Научно-производственное объединение "Государственный институт прикладной оптики" (АО "НПО ГИПО")
Priority to RU2018107313U priority Critical patent/RU185041U1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU185041U1 publication Critical patent/RU185041U1/ru

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q16/00Equipment for precise positioning of tool or work into particular locations not otherwise provided for
    • B23Q16/02Indexing equipment
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/18Diffraction gratings

Abstract

Полезная модель может быть использована для изготовления штриховых структур на выпуклых цилиндрических поверхностях с большой стрелкой прогиба (более 10 мм), например мастер-матриц дифракционных оптических элементов, применяемых для изготовления пленочных концентраторов солнечной энергии и решеток-поляризаторов. Делительная машина маятникового типа для изготовления штриховых структур содержит станину, делительную каретку, резцовую каретку, выполненную в виде физического маятника, привод делительной каретки, выполненный с возможностью электронного управления процессом ее линейного перемещения, привод резцовой каретки, выполненный в виде автоколебательного спускового регулятора, механизм подъема и опускания резца, расположенный на резцовой каретке, блок управления указанными приводами, а также механизмом подъема и. опускания резца, и измерительную систему линейного перемещения делительной каретки в плоскости, перпендикулярной плоскости угловых автоколебаний резцовой каретки. Ось угловых автоколебаний резцовой каретки закреплена на опорах вращения, при этом резцовая каретка снабжена противовесом, расположенным ниже оси угловых автоколебаний резцовой каретки, причем противовес резцовой каретки и механизм подъема и опускания резца расположены на резцовой каретке противоположно относительно оси угловых автоколебаний резцовой каретки. Техническим результатом является обеспечение возможности изготовления штриховых структур на выпуклых цилиндрических поверхностях со стрелкой прогиба более 10 мм за счет угловых автоколебаний резцовой каретки с большой амплитудой, а также изменения места расположения механизма подъема и опускания резца. 1 з.п. ф-лы, 5 ил.

Description

Полезная модель относится к области станкостроения, а именно к делительным машинам, и может быть использована для изготовления штриховых структур на выпуклых цилиндрических поверхностях с большой стрелкой прогиба (более 10 мм), например мастер-матриц дифракционных оптических элементов, применяемых для изготовления пленочных концентраторов солнечной энергии и решеток-поляризаторов.
Известна делительная машина для изготовления вогнутых и выпуклых дифракционных решеток [Harada Т., Kita Т. Mechanically ruled aberration-corrected concave gratings // Applied Optics. 1980. Vol. 19. No. 23. Pp. 3987-3993.].
Делительная машина содержит станину, делительную и резцовую каретки, приводы перемещения делительной и резцовой кареток, механизмы подъема и опускания алмазного резца и цилиндрических направляющих резцовой каретки, механизм поворота алмазного резца, блок управления приводами перемещения делительной и резцовой кареток и датчик линейного перемещения делительной каретки. Привод перемещения делительной каретки выполнен с возможностью электронного управления процессом перемещения для обеспечения нарезания штриховых структур. Механизм подъема и опускания цилиндрических направляющих резцовой каретки выполнен с возможностью электронного управления процессом перемещения в целях обеспечения концентричности поверхностей цилиндрических направляющих и сферической подложки изготавливаемой штриховой структуры.
Основными недостатками аналога являются конструктивно-технологические ограничения по величине стрелки прогиба изготавливаемых штриховых структур на неплоских поверхностях -не более 10 мм, и сложность конструкции делительной машины, так как она содержит пять систем управления, задействованных в процессе нарезания штриховой структуры на неплоских поверхностях.
Прототипом является делительная машина маятникового типа для изготовления периодических штриховых структур, например мастер-матриц дифракционных оптических элементов [Беляков Ю.М, Лукин А.В., Мельников А.Н. Устойчивость функционирования делительной машины маятникового типа к воздействию внешних факторов // Оптический журнал. 2007. Т. 74. №3. С. 23-28].
Данная делительная машина для изготовления периодических штриховых структур, преимущественно дифракционных решеток, содержит станину, делительную и резцовую каретки, приводы перемещения делительной и резцовой кареток, механизм подъема и опускания алмазного резца, блок управления приводами перемещения делительной и резцовой кареток, а также механизмом подъема и опускания алмазного резца, и датчик линейного перемещения делительной каретки. Резцовая каретка выполнена в виде маятника, закрепленного не менее чем на двух опорах с трением упругости, а привод перемещения резцовой каретки - в виде привода обеспечения угловых автоколебаний резцовой каретки. Механизм подъема и опускания алмазного резца расположен на резцовой каретке ниже оси угловых автоколебаний резцовой каретки. На делительной каретке закреплена подложка изготавливаемой штриховой структуры, а на резцовой каретке -алмазный резец для нарезания штрихов.
Основным недостатком прототипа являются ограниченные функциональные возможности, так как данная делительная машина обеспечивает изготовление мастер-матриц дифракционных оптических элементов на выпуклых цилиндрических поверхностях с небольшой стрелкой прогиба - не более 0,2 мм - из-за того, что механизм подъема и опускания алмазного резца расположен ниже оси угловых автоколебаний резцовой каретки, а также из-за наличия опор с трением упругости, ограничивающих амплитуду угловых автоколебаний резцовой каретки в пределах ±1°.
Техническим результатом полезной модели является расширение функциональных возможностей делительной машины маятникового типа, а именно, обеспечение возможности изготовления штриховых структур на выпуклых цилиндрических поверхностях с большой стрелкой прогиба.
Технический результат достигается за счет того, что в делительной машине маятникового типа для изготовления штриховых структур на выпуклых цилиндрических поверхностях, содержащей станину с расположенными на ней резцовой кареткой, выполненной в виде маятника, с приводом ее перемещения, выполненным с возможностью обеспечения угловых автоколебаний резцовой каретки относительно ее оси, которая закреплена на опорах вращения, расположенных на станине, и делительной кареткой с приводом и датчиком ее перемещения, установленной с возможностью линейного перемещения относительно станины в плоскости, перпендикулярной плоскости угловых автоколебаний резцовой каретки, установленный на резцовой каретке алмазный резец с механизмом его подъема и опускания для нарезания штриха и блок управления указанными приводами и механизмом, согласно настоящей полезной модели, резцовая каретка снабжена противовесом, расположенным на ее конце ниже оси угловых автоколебаний резцовой каретки, при этом алмазный резец с механизмом его подъема и опускания установлен на противоположном конце резцовой каретки относительно оси ее угловых автоколебаний. Противовес резцовой каретки выполнен с возможностью регулирования по массе и моменту инерции.
Сущность полезной модели поясняется чертежами (фиг. 1 - фиг. 5).
На фиг. 1 изображена функциональная схема предлагаемой делительной машины маятникового типа для изготовления штриховых структур на выпуклых цилиндрических поверхностях, на которой стрелками показана возможность линейного перемещения делительной каретки и угловых автоколебаний резцовой каретки.
На фиг. 2 изображены вид сбоку на делительную каретку и траектория движения алмазного резца при формировании штриха в меридиональном сечении световой зоны выпуклой рабочей поверхности подложки изготавливаемой штриховой структуры (световая зона заключена между точками б и г касания лезвия алмазного резца с выпуклой рабочей поверхностью подложки), при этом показаны делительная каретка, механизм подъема и опускания алмазного резца.
На фиг. 3 изображено расположение делительной каретки во время работы предлагаемой делительной машины в начальном положении А, при этом нарезка штриховой структуры выполняется в начальной краевой световой зоне выпуклой рабочей поверхности подложки.
На фиг. 4 изображено расположение делительной каретки во время работы предлагаемой делительной машины в среднем положении Б, при этом нарезка штриховой структуры выполняется в средней световой зоне выпуклой рабочей поверхности подложки.
На фиг. 5 изображено расположение делительной каретки во время работы предлагаемой делительной машины в конечном положении В, при этом нарезка штриховой структуры выполняется в конечной краевой световой зоне выпуклой рабочей поверхности подложки.
Делительная машина маятникового типа для изготовления штриховых структур на выпуклых цилиндрических поверхностях содержит станину 1, делительную каретку 2, резцовую каретку 3, приводы 4 и 5 перемещения, соответственно, делительной и резцовой кареток, механизм 6 подъема и опускания алмазного резца 7, блок 8 управления приводами 4, 5 и механизмом 6 подъема и опускания алмазного резца 7, датчик 9 линейного перемещения делительной каретки 2, представляющий собой прецизионный энкодер, встроенный в состав высокоточного устройства линейного перемещения модели V-551. Вход датчика 9 линейного перемещения делительной каретки 2 сопряжен с делительной кареткой 2, а выход подключен к входу блока 8 управления, первый выход которого подключен к входу привода 4, сопряженного с делительной кареткой 2. Второй выход блока 8 управления подключен к входу механизма 6 подъема и опускания алмазного резца 7, а третий выход - к входу привода 5, выход которого сопряжен с резцовой кареткой 3.
Делительная каретка 2 с приводом 4 и датчиком 9 расположена на станине 1 и установлена на опорах 12 с возможностью линейного перемещения относительно станины 1. На делительной каретке 2 закреплена подложка 10 формируемой штриховой структуры с выпуклой цилиндрической рабочей поверхностью. Делительная каретка 2 может быть снабжена телескопическим механизмом 15, установленным на станине 1, для подстройки расположения подложки 10 штриховой структуры относительно алмазного резца 7 во время осуществления юстировочной операции, проводимой до нарезки штриховой структуры. Опоры 12 линейного перемещения размещены на платформе 17 телескопического механизма 15. Привод 4 выполнен с возможностью электронного управления процессом линейного перемещения делительной каретки 2 и построен на основе использования высокоточного устройства линейного перемещения модели V-551.
Резцовая каретка 3 с приводом 5 ее перемещения также расположена на станине 1. На резцовой каретке 3, выполненной в виде маятника, установлен алмазный резец 7 с механизмом 6 его подъема и опускания для нарезания штриха. Механизм 6 подъема и опускания алмазного резца 7, расположенный на резцовой каретке 3, построен на основе использования типового управляемого электромагнита с напряжением питания постоянного тока, равным 27 В. Привод 5 перемещения резцовой каретки 3 предназначен для обеспечения поперечного движения - подачи алмазного резца 7 в виде незатухающих угловых колебаний, что достигается в режиме угловых автоколебаний резцовой каретки 3. Привод 5 выполнен с возможностью обеспечения угловых автоколебаний резцовой каретки 3 относительно ее оси 14, которая закреплена на опорах 11 вращения, расположенных на станине 1. Опоры 11 вращения с осью 14 обеспечивают большую амплитуду угловых автоколебаний резцовой каретки 3 (в пределах ±20°). В плоскости, перпендикулярной плоскости угловых автоколебаний резцовой каретки 3, осуществляется линейное перемещение делительной каретки 2 относительно станины 1. Резцовая каретка 3 выполнена в виде вертикально расположенной рамы и может быть снабжена телескопическим механизмом 16 для подстройки своих геометрических размеров по высоте в условиях конкретных размеров подложки 10 изготавливаемой штриховой структуры. Резцовая каретка 3 снабжена противовесом 13, расположенным на ее конце ниже оси 14 угловых автоколебаний резцовой каретки 3. Противовес 13 резцовой каретки 3 выполнен с возможностью регулирования по массе и моменту инерции для того, чтобы резцовая каретка 3 обладала динамическими свойствами маятника с центром масс, расположенным ниже геометрической оси угловых автоколебаний резцовой каретки 3. Регулируемый противовес 13 позволяет подбирать частоту угловых автоколебаний резцовой каретки 3 с целью достижения оптимальной производительности нарезки штрихов.
Алмазный резец 7 с механизмом 6 его подъема и опускания установлен на противоположном конце резцовой каретки 3 относительно оси 14 ее угловых автоколебаний. Резцовая каретка 3 вместе с алмазным резцом 7 совершает воспроизводимые быстрые, по отношению к линейному перемещению делительной каретки 2, угловые автоколебания с большой амплитудой в плоскости качания. Причем траектория движения алмазного резца 7 в своем рабочем ходе практически равна радиусу кривизны выпуклой рабочей поверхности подложки 10. Путем подбора нагружения и установки регулируемого упора (на всех фигурах упор не показан) достигается плавное вхождение алмазного резца 7 в рабочий слой, нанесенный на выпуклую рабочую поверхность подложки 10, что исключает скол алмазного резца 7.
Перед началом работы делительной машины предварительно рассчитывают амплитуду и частоту угловых автоколебаний резцовой каретки 3 исходя из требуемых размеров изготавливаемой на выпуклой рабочей поверхности подложки 10 штриховой структуры, геометрических размеров и динамических свойств резцовой каретки 3.
Делительная машина работает следующим образом.
Дифракционный оптический элемент формируют непосредственно в материале подложки - в стекле или в металле, либо в тонком металлическом слое, нанесенном, как правило, методом вакуумного испарения на выпуклую рабочую поверхность подложки 10 изготавливаемой штриховой структуры. Дифракционный оптический элемент используется в качестве мастер-матрицы для последующего изготовления методом горячего тиснения или полимерной репликации пленочных концентраторов солнечной энергии и решеток-поляризаторов.
В исходном нерабочем положении узлов и механизмов делительной машины делительная каретка 2, резцовая каретка 3 с противовесом 13, механизм 6 подъема и опускания алмазного резца 7 находятся в статическом состоянии и расположены в вертикальной плоскости, при этом алмазный резец 7 поднят (см. фиг. 1, на которой стрелками показана возможность линейного перемещения делительной каретки и угловых автоколебаний резцовой каретки).
Предварительно, до операции нарезки штрихов мастер-матрицы дифракционного оптического элемента, осуществляют технологические операции по юстировке подложки 10 и алмазного резца 7.
В результате юстировки подложки 10 обеспечивается движение ее выпуклой рабочей поверхности по заданной траектории.
В результате юстировки алмазного резца 7 устанавливаются требуемая величина технологического зазора между режущей кромкой лезвия алмазного резца 7 и выпуклой рабочей поверхностью подложки 10 в исходном состоянии; необходимая величина нагружения на алмазный резец 7 и требуемая пространственная ориентация режущей кромки лезвия алмазного резца 7.
При включении делительной машины блок 8 управления, с помощью привода 5 перемещения резцовой каретки 3, выводит резцовую каретку 3, выполненную в виде маятника на опорах 11 вращения, в режим угловых автоколебаний.
Делительная машина готова к операции нарезки штрихов мастер-матрицы дифракционного оптического элемента.
Цикл нарезки штрихов мастер-матрицы дифракционного оптического элемента рассмотрим на примере нарезки штриховой структуры в меридиональном сечении световой зоны, расположенной между точками б и г касания лезвия алмазного резца 7 с выпуклой рабочей поверхностью подложки 10 (см. фиг. 2, на которой резцовая каретка 3 не показана).
Блок 8, подавая управляющие сигналы, синхронизирует работу трех основных систем - привода 4 перемещения делительной каретки 2, привода 5 перемещения резцовой каретки 3 и механизма 6 подъема и опускания алмазного резца 7.
На механизм 6 подан управляющий сигнал, поэтому алмазный резец 7 поднят и находится в нерабочем крайнем левом положении а вне указанной световой зоны выпуклой рабочей поверхности подложки 10, при этом делительная каретка 2 расположена неподвижно.
Далее резцовая каретка 3 перемещает механизм 6 с алмазным резцом 7 в положение б, совпадающее с началом световой зоны выпуклой рабочей поверхности подложки 10.
С блока 8 на механизм 6 поступает управляющий сигнал, в результате чего алмазный резец 7 опускается, переходя в свое рабочее положение, и начинает формировать штрих последовательно и непрерывно от положения б, проходя положение в, до положения г включительно, совпадающего с окончанием световой зоны выпуклой рабочей поверхности подложки 10.
Затем, в положении г, с блока 8 на механизм 6 поступает управляющий сигнал, в результате чего алмазный резец 7 поднимается, переходя в свое нерабочее положение.
Далее резцовая каретка 3 перемещает механизм 6 с алмазным резцом 7 в крайнее правое положение д вне указанной световой зоны выпуклой рабочей поверхности подложки 10.
Достигнув крайнего правого положения д, резцовая каретка 3 с механизмом 6 подъема и опускания алмазного резца 7 останавливается.
Таким образом, механизм 6 с алмазным резцом 7, пройдя траекторию своего движения от положения а до положения д, завершил рабочий ход.
Достигнув крайнего правого положения д, механизм 6 с алмазным резцом 7 начинает перемещаться в противоположном направлении -от положения д к положению а, совершая холостой ход. За время выполнения резцовой кареткой 3 холостого хода, делительная каретка 2 с подложкой 10 совершает линейное перемещение на расстояние, равное периоду штриховой структуры. При этом величина линейного перемещения делительной каретки 2 контролируется датчиком 9.
В момент достижения алмазным резцом 7 положения а, делительная каретка 2 с подложкой 10 останавливается, переместившись на линейное расстояние, равное периоду штриховой структуры.
Далее описанный выше цикл перемещения алмазного резца 7 -от положения а до положения д - при работе делительной машины повторяется.
Процесс нарезки всей штриховой структуры выполняется аналогично процессу, описанному выше, при этом делительная каретка 2 с подложкой 10 проходит последовательно траекторию (с соответствующими остановками на момент нанесения каждого штриха) от своего начального положения А (см. фиг. 3) через среднее положение Б (см. фиг. 4) до своего конечного положения В (см. фиг. 5).
Предлагаемая делительная машина маятникового типа для изготовления штриховых структур на выпуклых цилиндрических поверхностях, по сравнению с аналогом, является более эффективной по энергетическим затратам в пересчете на формирование одного штриха, поскольку используется автоколебательный режим движения резцовой каретки 3.
Использование предлагаемой делительной машины маятникового типа обеспечит возможность изготовления штриховых структур на выпуклых цилиндрических поверхностях с большой стрелкой прогиба (например, 50 мм), в частности, мастер-матриц дифракционных оптических элементов, применяемых для изготовления пленочных концентраторов солнечной энергии и решеток-поляризаторов, за счет угловых автоколебаний резцовой каретки с большой амплитудой, а также изменения места расположения механизма подъема и опускания алмазного резца на резцовой каретке.

Claims (2)

1. Делительная машина маятникового типа для изготовления штриховых структур на выпуклых цилиндрических поверхностях, содержащая станину с расположенными на ней резцовой кареткой, выполненной в виде маятника, с приводом ее перемещения, выполненным с возможностью обеспечения угловых автоколебаний резцовой каретки относительно ее оси, которая закреплена на опорах вращения, расположенных на станине, и делительной кареткой с приводом и датчиком ее перемещения, установленной с возможностью линейного перемещения относительно станины в плоскости, перпендикулярной плоскости угловых автоколебаний резцовой каретки, установленный на резцовой каретке алмазный резец с механизмом его подъема и опускания для нарезания штриха и блок управления указанными приводами и механизмом, отличающаяся тем, что резцовая каретка снабжена противовесом, расположенным на ее конце ниже оси угловых автоколебаний резцовой каретки, при этом алмазный резец с механизмом его подъема и опускания установлен на противоположном конце резцовой каретки относительно оси ее угловых автоколебаний.
2. Делительная машина по п. 1, отличающаяся тем, что противовес резцовой каретки выполнен с возможностью регулирования по массе и моменту инерции.
RU2018107313U 2018-02-27 2018-02-27 Делительная машина маятникового типа для изготовления штриховых структур на выпуклых цилиндрических поверхностях RU185041U1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2018107313U RU185041U1 (ru) 2018-02-27 2018-02-27 Делительная машина маятникового типа для изготовления штриховых структур на выпуклых цилиндрических поверхностях

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2018107313U RU185041U1 (ru) 2018-02-27 2018-02-27 Делительная машина маятникового типа для изготовления штриховых структур на выпуклых цилиндрических поверхностях

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU185041U1 true RU185041U1 (ru) 2018-11-19

Family

ID=64325325

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2018107313U RU185041U1 (ru) 2018-02-27 2018-02-27 Делительная машина маятникового типа для изготовления штриховых структур на выпуклых цилиндрических поверхностях

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU185041U1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU192433U1 (ru) * 2019-05-31 2019-09-17 Акционерное общество "Научно-производственное объединение "Государственный институт прикладной оптики" (АО "НПО ГИПО") Делительная машина маятникового типа для изготовления штриховых структур на вогнутых поверхностях

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU1682123A1 (ru) * 1989-06-01 1991-10-07 Предприятие П/Я Г-4671 Способ нарезани штрихов дифракционных решеток и устройство дл его осуществлени
RU2027578C1 (ru) * 1990-09-17 1995-01-27 Научно-производственное объединение "Государственный институт прикладной оптики" Делительная машина для нарезания дифракционных решеток
RU2036770C1 (ru) * 1990-05-22 1995-06-09 Научно-производственное объединение "Государственный институт прикладной оптики" Делительная машина для изготовления дифракционных решеток
RU2130374C1 (ru) * 1998-05-26 1999-05-20 Научно-производственное объединение "Государственный институт прикладной оптики" (Федеральный научно-производственный центр) Делительная машина для изготовления периодических штриховых структур, преимущественно дифракционных решеток (варианты)
WO2009083631A1 (es) * 2007-12-28 2009-07-09 Universidade De Santiago De Compostela Procedimiento de obtención de redes de difracción de fase en un sustrato mediante ablación láser de un blanco
RU127674U1 (ru) * 2012-09-17 2013-05-10 Российская Федерация, от имени которой выступает Министерство промышленности и торговли Российской Федерации (Минпромторг России) Делительная машина

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU1682123A1 (ru) * 1989-06-01 1991-10-07 Предприятие П/Я Г-4671 Способ нарезани штрихов дифракционных решеток и устройство дл его осуществлени
RU2036770C1 (ru) * 1990-05-22 1995-06-09 Научно-производственное объединение "Государственный институт прикладной оптики" Делительная машина для изготовления дифракционных решеток
RU2027578C1 (ru) * 1990-09-17 1995-01-27 Научно-производственное объединение "Государственный институт прикладной оптики" Делительная машина для нарезания дифракционных решеток
RU2130374C1 (ru) * 1998-05-26 1999-05-20 Научно-производственное объединение "Государственный институт прикладной оптики" (Федеральный научно-производственный центр) Делительная машина для изготовления периодических штриховых структур, преимущественно дифракционных решеток (варианты)
WO2009083631A1 (es) * 2007-12-28 2009-07-09 Universidade De Santiago De Compostela Procedimiento de obtención de redes de difracción de fase en un sustrato mediante ablación láser de un blanco
RU127674U1 (ru) * 2012-09-17 2013-05-10 Российская Федерация, от имени которой выступает Министерство промышленности и торговли Российской Федерации (Минпромторг России) Делительная машина

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU192433U1 (ru) * 2019-05-31 2019-09-17 Акционерное общество "Научно-производственное объединение "Государственный институт прикладной оптики" (АО "НПО ГИПО") Делительная машина маятникового типа для изготовления штриховых структур на вогнутых поверхностях

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN100410625C (zh) 开口凸轮的轮廓曲线测量装置
RU185041U1 (ru) Делительная машина маятникового типа для изготовления штриховых структур на выпуклых цилиндрических поверхностях
CN102483579A (zh) 物体移动装置、物体处理装置、曝光装置、物体检查装置及元件制造方法
US20170017168A1 (en) Lithography machine workpiece table and vertical position initialization method thereof
CN104536126B (zh) 一种基于压电叠块的六自由度次镜调节机构
CN106291855A (zh) 可实现五自由度的手动调整机构
CN103963033A (zh) 基于应力刚化原理的刚度频率可调一维微动平台
RU185039U1 (ru) Делительная машина маятникового типа для изготовления штриховых структур на неплоских рабочих поверхностях
CN100389917C (zh) 阿基米德螺线式菲涅耳透镜的金刚石车削加工方法及装置
RU192433U1 (ru) Делительная машина маятникового типа для изготовления штриховых структур на вогнутых поверхностях
RU2687515C1 (ru) Делительная машина маятникового типа для изготовления штриховых структур на выпуклых цилиндрических поверхностях
RU2130374C1 (ru) Делительная машина для изготовления периодических штриховых структур, преимущественно дифракционных решеток (варианты)
RU185038U1 (ru) Делительная машина маятникового типа для формирования штриховых структур на неплоских рабочих поверхностях
CN203630384U (zh) 一种大尺寸光栅制造设备
CN105158895B (zh) 用于天文望远镜镜面位置调整的微位移促动器
RU185040U1 (ru) Делительная машина маятникового типа для формирования штриховых структур на выпуклых цилиндрических поверхностях
CN102589467B (zh) 一种凸非球面光学元件的面型检测装置
RU2687514C1 (ru) Делительная машина маятникового типа для формирования штриховых структур на выпуклых цилиндрических поверхностях
RU2725324C1 (ru) Делительная машина маятникового типа для изготовления штриховых структур на вогнутых поверхностях
CN101182109B (zh) 多刀玻璃切割机
CN104536073A (zh) 一种具有阿贝误差校正功能的光栅刻刀主动调整装置
RU2691821C1 (ru) Делительная машина маятникового типа для изготовления штриховых структур на неплоских рабочих поверхностях
RU2687516C1 (ru) Делительная машина маятникового типа для изготовления штриховых структур на неплоских рабочих поверхностях
RU192399U1 (ru) Делительная машина маятникового типа для формирования штриховых структур на вогнутых поверхностях
RU2725321C1 (ru) Делительная машина маятникового типа для формирования штриховых структур на вогнутых поверхностях

Legal Events

Date Code Title Description
MG9K Termination of a utility model due to grant of a patent for identical subject

Ref document number: 2687515

Country of ref document: RU

Effective date: 20190520