RU184241U1 - DEVICE FOR MEASURING BRIGHTNESS COEFFICIENT IN THE INFRARED RANGE OF LENGTH OF WAVES - Google Patents
DEVICE FOR MEASURING BRIGHTNESS COEFFICIENT IN THE INFRARED RANGE OF LENGTH OF WAVES Download PDFInfo
- Publication number
- RU184241U1 RU184241U1 RU2018110203U RU2018110203U RU184241U1 RU 184241 U1 RU184241 U1 RU 184241U1 RU 2018110203 U RU2018110203 U RU 2018110203U RU 2018110203 U RU2018110203 U RU 2018110203U RU 184241 U1 RU184241 U1 RU 184241U1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- sample
- optical
- radiation
- mirror
- irradiating
- Prior art date
Links
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims abstract description 43
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 31
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 22
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 20
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims abstract description 12
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims abstract description 11
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims abstract description 10
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 5
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 8
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000002457 bidirectional effect Effects 0.000 description 1
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 description 1
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000012804 iterative process Methods 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 238000012795 verification Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/02—Details
- G01J1/04—Optical or mechanical part supplementary adjustable parts
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/55—Specular reflectivity
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
Полезная модель относится к области оптических измерений и касается устройства измерений коэффициента яркости материала в инфракрасном диапазоне длин волн. Устройство включает в себя на поворотной платформе источник облучения и зеркальную оптическую систему облучения образца с обеспечением фокусировки потока, зеркальную оптическую систему сбора и фокусировки отраженного потока, приемник излучения и оптический столик с черным экраном. Источник облучения и приемник излучения выполнены с возможностью регулирования телесных углов соответственно облучающего и принимаемого потоков излучения. Образец устанавливается по центру оптического столика, а поворотная платформа источника облучения с оптической системой облучения образца выполнена перемещаемой относительно центра образца в плоскости измерений. Технический результат заключается в повышении точности, упрощении юстировки и процедуры измерений. 3 ил. The invention relates to the field of optical measurements and relates to a device for measuring the brightness coefficient of a material in the infrared wavelength range. The device includes, on a turntable, an irradiation source and a specular optical specimen irradiation system providing focusing of the flow, a mirrored optical system for collecting and focusing the reflected flux, a radiation receiver and an optical table with a black screen. The irradiation source and the radiation receiver are configured to adjust the solid angles of the irradiating and received radiation fluxes, respectively. The sample is mounted in the center of the optical stage, and the rotary platform of the irradiation source with the optical system for irradiating the sample is made movable relative to the center of the sample in the measurement plane. The technical result consists in increasing accuracy, simplifying alignment and measurement procedures. 3 ill.
Description
Полезная модель относится к области оптических измерений, в частности к определению двунаправленной характеристики отражения материалов - коэффициента яркости, представляющего собой отношение энергетической яркости отражающей поверхности исследуемого материала к энергетической яркости совершенного рассеивателя при одинаковых угловых расположениях источника облучения и приемника излучения (Фиг. 1). Коэффициент яркости необходим при решении задач определения полей яркости эффективного излучения тел сложной формы при наличии внешних источников облучения.The utility model relates to the field of optical measurements, in particular, to the determination of a bi-directional reflection characteristic of materials - a brightness coefficient, which is the ratio of the energy brightness of the reflecting surface of the material under study to the energy brightness of a perfect diffuser at the same angular positions of the radiation source and radiation receiver (Fig. 1). The brightness coefficient is necessary in solving problems of determining the brightness fields of the effective radiation of bodies of complex shape in the presence of external sources of radiation.
Известно устройство для измерений двунаправленных отражательных характеристик материалов - гониофотометр (И.А. Непогодин, К.И. Мальчонок, Д.Т. Тиранов, В.А. Невзоров. Оптика и спектроскопия. 1966. Т. 20, вып. 4, С. 701-708). Облучение образца материала здесь осуществляется с использованием когерентных источников излучения. Недостатками устройства являются невозможность получения спектральных зависимостей отражательных характеристик, а также необходимость учета влияния поляризации излучения.A device for measuring the bidirectional reflective characteristics of materials is a goniophotometer (I. A. Nepogodin, K. I. Malchonok, D. T. Tiranov, V. A. Nevzorov. Optics and spectroscopy. 1966. T. 20,
Известно устройство для измерений коэффициента яркости материалов, принятое за прототип (В.В. Витковский, А.Б. Корнилов и др. Оптический журнал. 2002 г. т. 70. №: 6 С. 27-32), которое включает источник облучения на поворотной платформе, оптическую систему облучения образца и сбора отраженного излучения на основе сферических зеркал, образец с черным экраном и приемник излучения. Основным недостатком этого устройства является ограниченность применения, связанная с:A device is known for measuring the brightness coefficient of materials adopted for the prototype (V.V. Vitkovsky, A. B. Kornilov and other Optical Journal. 2002, vol. 70. No.: 6 S. 27-32), which includes an irradiation source on a turntable, an optical system for irradiating a sample and collecting reflected radiation based on spherical mirrors, a sample with a black screen and a radiation receiver. The main disadvantage of this device is the limited application associated with:
- возможностью измерений только при одном угле отражения,- the ability to measure only at one angle of reflection,
- неопределенностью гониометрической схемы поворота платформы источника облучения,- the uncertainty of the goniometric pattern of rotation of the platform of the radiation source,
- отсутствием опоры для образца и черного экрана, из-за чего может не обеспечиваться жесткость расположения образца относительно источника облучения при его повороте.- lack of support for the sample and the black screen, because of which the rigidity of the sample relative to the radiation source during rotation can not be ensured.
Задачей и техническим результатом полезной модели является создание устройства измерений коэффициента яркости в инфракрасном диапазоне длин волн, позволяющего обеспечить условия параксиальности падающего и отраженного потоков излучения, упростить юстировку измерительного устройства, достичь инвариантности размеров образца от размеров телесных углов осветителя и приемника, повысить точность измерений, включая материалы с ярко выраженным пиком отражения и облегчить процедуру измерений в диапазонах углов облучения и наблюдения, измеряемых от нормали до касательной к поверхности.The objective and technical result of the utility model is to create a device for measuring the brightness coefficient in the infrared wavelength range, which allows to ensure the paraxiality of the incident and reflected radiation fluxes, to simplify the adjustment of the measuring device, to achieve invariance of the sample sizes from the dimensions of the solid angles of the illuminator and receiver, and to increase the measurement accuracy, including materials with a pronounced reflection peak and facilitate the measurement procedure in the ranges of the angles of irradiation and observation, from eryaemyh from the normal to the tangent to the surface.
Решение задачи и указанный технический результат достигаются тем, что в устройстве измерений коэффициента яркости материала в инфракрасном диапазоне длин волн, содержащем расположенные на поворотной платформе источник облучения и зеркальную оптическую систему облучения образца с обеспечением фокусировки потока, зеркальную оптическую систему сбора и фокусировки отраженного потока, приемник излучения, черный экран с образцом, источник облучения и приемник излучения выполнены с возможностью регулирования телесных углов соответственно облучающего и принимаемого потоков излучения, установлен оптический столик с черным экраном, образец расположен по центру оптического столика, поворотная платформа источника облучения с оптической системой облучения образца выполнена перемещаемой относительно центра образца в плоскости измерений.The solution of the problem and the indicated technical result are achieved by the fact that in the device for measuring the brightness coefficient of the material in the infrared wavelength range containing the radiation source located on the rotary platform and the specular optical irradiation system for the sample to ensure focusing the flow, a mirrored optical system for collecting and focusing the reflected flux, receiver radiation, a black screen with a sample, the radiation source and the radiation receiver are made with the possibility of regulation of solid angles, respectively but the irradiating and receiving radiation fluxes, an optical stage with a black screen is installed, the sample is located in the center of the optical stage, the rotary platform of the radiation source with the optical system for irradiating the sample is made movable relative to the center of the sample in the measurement plane.
Устройство измерений коэффициента яркости в инфракрасном диапазоне длин волн (Δλ=1-15 мкм) поясняется фиг. 1-3, на которых представлены:The device for measuring the brightness coefficient in the infrared wavelength range (Δλ = 1-15 μm) is illustrated in FIG. 1-3, on which are presented:
На фиг. 1 - схема падающего и отраженного потоков излучения при определении коэффициента яркости материала;In FIG. 1 is a diagram of incident and reflected radiation fluxes when determining the brightness coefficient of a material;
на фиг. 2 - оптическая схема предлагаемого устройства,in FIG. 2 is an optical diagram of the proposed device,
на фиг. 3 - влияние размера отверстия приемника излучения на результат измеренияin FIG. 3 - the effect of the hole size of the radiation receiver on the measurement result
Предлагаемое устройство (Фиг. 2) содержит источник облучения 1, оптическую систему облучения образца, состоящую из сферических зеркал 2 и 4, столик 11 с черным экраном 6 для крепления на нем образца 5 (эталона), оптическую систему сбора и фокусировки отраженного потока, состоящую из сферического зеркала 7, и приемник излучения 9. Оптический столик 11 позволяет расположить и закрепить образец по центру столика, что позволит осуществлять поворот платформы с источником излучения относительно центра образца. Черный экран (6) на оптическом столике необходим для поглощения облучаемого потока, не попавшего в контур образца. Источник облучения 1 и приемник излучения 9, выполнены с возможностью регулирования телесных углов за счет отверстий 3 и 8 соответственно облучающего и принимаемого потоков излучения. Поворотная платформа 10, на которой закреплены источник облучения 1 с оптической системой облучения образца, выполнена перемещаемой относительно центра образца 5.The proposed device (Fig. 2) contains an
Обеспечение параксиальности потока облучения образца и сбора отраженного излучения в приемнике осуществляют за счет выбора геометрии расположения основных элементов оптической системы устройства при условии минимизации угла между направлением потока и основной оптической осью. Кроме того, наряду с решением проблемы параксиальности потоков рассматривалась проблема учета дифракции на малых отверстиях, решение которой осуществляется за счет регулирования отверстия 3 (Фиг. 2). Для обеспечения удаления источника от отверстия осветителя и в то же время для проецирования источника на срез отверстия устанавливается сферическое зеркало 2, что необходимо для фокусировки излучателя на срез отверстия.The paraxiality of the sample irradiation flow and the collection of reflected radiation in the receiver is ensured by choosing the location geometry of the main elements of the device’s optical system, provided that the angle between the flow direction and the main optical axis is minimized. In addition, along with the solution of the problem of paraxiality of flows, the problem of accounting for diffraction by small holes was considered, which is solved by adjusting the hole 3 (Fig. 2). To ensure that the source is removed from the illuminator’s hole and at the same time, to project the source onto the hole cut, a
Использование сферических зеркал 4, 7 в оптических системах соответственно облучения образца и сбора отраженного излучения, позволяет избежать хроматической аберрации линз, поскольку сферической аберрацией при условиях, когда потоки близки к параксиальным, можно пренебречь. Это позволяет использовать для юстировки системы в инфракрасном диапазоне юстировку, выполняемую в видимом диапазоне. В то же время наличие на зеркалах алюминиевого покрытия с высоким коэффициентом отражения 95% в ИК-области не приведет к увеличению потерь по сравнению с линзами.The use of
Наличие на оптическом столике 11 черного экрана 6 позволяет осуществлять выбор размеров образца только из условия непревышения поперечных сечений падающих и отраженных потоков, но достаточных для формирования общепринятых оптических свойств материалов. В этом случае исчезает необходимость подбора размеров образца по характеристикам приемника.The presence on the optical table 11 of a
Размещение источника облучения 1 с оптической системой облучения на поворотной платформе 10 углового перемещения относительно центра образца позволяет осуществлять процедуру измерения коэффициента яркости в широком диапазоне углов падения и наблюдения, измеряемых от нормали до касательной к поверхности.Placing the
Основным методическим аспектом измерений коэффициента яркости материалов, включая материалы с ярко выраженным пиком отражения, является учет его зависимости от
где
Условия (1) при измерении диффузных покрытий реализуются без затруднений, а в случае материалов, имеющих сильно выраженный зеркальный пик или близких к идеальному зеркалу, требуют специального рассмотрения. Это обусловлено тем, что угол рассеивания для указанных покрытий определяется в процессе измерений итерационно путем многократного уменьшения телесного угла источника
Имеющееся противоречие условия (2) со вторым соотношением условий (1) разрешается при равенстве угла измерения и угла источника (
Для формирования итерационного процесса необходимо учесть сильную при узких зеркальных пиках зависимость β от
где ρ(ψ) - коэффициент отражения поверхности зеркала, который измеряется известными методами.where ρ (ψ) is the reflection coefficient of the mirror surface, which is measured by known methods.
Для зеркально-диффузных отражений определение аналогичного коэффициента требует отдельного рассмотрения с учетом точности результата интегрирования общей яркости.For mirror-diffuse reflections, the determination of a similar coefficient requires a separate consideration, taking into account the accuracy of the result of integrating the overall brightness.
Измерения при первоначальном источнике излучения и соответствующем телесном угле
Зеркальная. Ширина зеркального пика приблизительно соответствует
Диффузная. Средняя ширина зеркального максимума много больше
Зеркально-диффузная. Последовательность измерений зависит от отношения средней ширины зеркального максимума к
Указанные качественные признаки видов поверхностей позволяют не только оценить свойства зеркальности исследуемых материалов, но и определить практическую применимость полученных результатов измерений.The indicated qualitative characteristics of the types of surfaces make it possible not only to evaluate the specular properties of the studied materials, but also to determine the practical applicability of the obtained measurement results.
В рамках представленного устройства (Фиг. 2) измерения осуществляют следующим образом. Поток от источника облучения 1 с помощью сферического зеркала 2 попадает на регулируемое по ширине отверстие 3 и далее на сферическое зеркало 4. Сформированный зеркалом 4 поток направляется на исследуемый образец 5, расположенный на столике 11 с черным экраном 6. Отраженный от образца поток собирается сферическим зеркалом 7 на входном отверстии 8 приемника излучения 9, при этом не попавший в контур образца поток поглощается черным экраном (6). Отверстие 3 осветителя 1 и входное отверстие 8 приемника излучения 9, имеющие прямоугольную форму сечения и с очень острыми краями, расположены в фокусах соответствующих зеркал 4 и 7, поэтому угловые расхождения падающего и измеряемого потоков (
где а - ширина отверстия 3 осветителя (а=1-4 мм);where a is the width of the
b - ширина отверстия 8 приемника (b=1-7 мм);b is the width of the
h - высота отверстий 3 и 8 (h=7 мм);h is the height of the
ƒ - фокусное расстояние зеркал 2 и 7 (ƒ=252 мм).ƒ is the focal length of
Устройство осуществляет измерение коэффициента яркости в диапазоне длин волн Δλ=l-15 мкм по углу падения при дискретных значениях углов отражения θ=θ0:The device measures the brightness coefficient in the wavelength range Δλ = l-15 μm by the angle of incidence at discrete values of the reflection angles θ = θ 0 :
где ρ- коэффициент отражения плоского зеркала (эталона) при нормальном падении потока;where ρ is the reflection coefficient of a flat mirror (standard) with a normal flow drop;
I0, I - сигналы от приемника с учетом принятых соотношений размеров образца и поперечных сечений падающего и измеряемого отраженного потоков.I 0 , I - signals from the receiver, taking into account the accepted ratios of the dimensions of the sample and the cross sections of the incident and measured reflected flows.
ψ, β - углы падения и отражения потоков излучения (Фиг.1);ψ, β are the angles of incidence and reflection of radiation fluxes (Figure 1);
В устройстве регулировка телесных углов
Таким образом, создано устройство измерений коэффициента яркости в инфракрасном диапазоне длин волн, позволяющее обеспечить условия параксиальности падающего и отраженного потоков излучения, упростить юстировку измерительного устройства, достичь инвариантности размеров образца от размеров телесных углов осветителя и приемника, повысить точность измерений, включая материалы с ярко выраженным пиком отражения и облегчить процедуру измерений в диапазонах углов облучения и наблюдения, измеряемых от нормали до касательной к поверхности.Thus, a device was created for measuring the brightness coefficient in the infrared wavelength range, which allows to ensure the paraxiality of the incident and reflected radiation fluxes, simplify the adjustment of the measuring device, achieve sample size invariance from the dimensions of the solid angles of the illuminator and receiver, and increase the measurement accuracy, including materials with pronounced peak reflection and facilitate the measurement procedure in the ranges of irradiation and observation angles, measured from normal to tangent to the surface .
Предлагаемое устройство обеспечивает получение полной информации о коэффициенте яркости материалов.The proposed device provides complete information about the brightness coefficient of materials.
Claims (1)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2018110203U RU184241U1 (en) | 2016-10-28 | 2016-10-28 | DEVICE FOR MEASURING BRIGHTNESS COEFFICIENT IN THE INFRARED RANGE OF LENGTH OF WAVES |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2018110203U RU184241U1 (en) | 2016-10-28 | 2016-10-28 | DEVICE FOR MEASURING BRIGHTNESS COEFFICIENT IN THE INFRARED RANGE OF LENGTH OF WAVES |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU184241U1 true RU184241U1 (en) | 2018-10-18 |
Family
ID=63858951
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2018110203U RU184241U1 (en) | 2016-10-28 | 2016-10-28 | DEVICE FOR MEASURING BRIGHTNESS COEFFICIENT IN THE INFRARED RANGE OF LENGTH OF WAVES |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU184241U1 (en) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4368982A (en) * | 1980-06-09 | 1983-01-18 | Avery International Corporation | Retroreflectometer |
US6774987B2 (en) * | 1999-01-13 | 2004-08-10 | Nikon Corporation | Surface inspection method, surface inspection apparatus, and recording medium and data signal for providing surface inspection program |
US9146156B2 (en) * | 2011-06-29 | 2015-09-29 | Kla-Tencor Corporation | Light source tracking in optical metrology system |
-
2016
- 2016-10-28 RU RU2018110203U patent/RU184241U1/en active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4368982A (en) * | 1980-06-09 | 1983-01-18 | Avery International Corporation | Retroreflectometer |
US6774987B2 (en) * | 1999-01-13 | 2004-08-10 | Nikon Corporation | Surface inspection method, surface inspection apparatus, and recording medium and data signal for providing surface inspection program |
US9146156B2 (en) * | 2011-06-29 | 2015-09-29 | Kla-Tencor Corporation | Light source tracking in optical metrology system |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Витковский В.В. и др. "Экспериментальное определение двунаправленных отражательных характеристик материалов" ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ, т. 70, No 6, 2003 г., стр. 27-32. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7298468B2 (en) | Method and measuring device for contactless measurement of angles or angle changes on objects | |
CN107462405B (en) | Broadband differential confocal Infrared Lens element refractive index measurement method and device | |
CN103162831B (en) | broadband polarization spectrometer and optical measurement system | |
CN102155990B (en) | Debugging method of echelle grating spectrograph | |
US7755775B1 (en) | Broadband optical metrology with reduced wave front distortion, chromatic dispersion compensation and monitoring | |
CN102809428A (en) | Method for adjusting small echelle grating spectrometer | |
KR20180087691A (en) | Microspot spectroscopic ellipsometer with 4-reflectors | |
JPH07509315A (en) | Spectrometer for Renzometer | |
JP2017500555A (en) | Reflective optical elements, in particular measuring structures for measuring the optical properties of microlithography | |
CN107782697A (en) | The confocal Infrared Lens element refractive index measurement method of broadband and device | |
CN105911716B (en) | Optical path adjusting device and method for measured lens in transfer function test | |
RU184241U1 (en) | DEVICE FOR MEASURING BRIGHTNESS COEFFICIENT IN THE INFRARED RANGE OF LENGTH OF WAVES | |
JP5857499B2 (en) | measuring device | |
CN104634742A (en) | Optical path of multispectral polarization scanning radiometer based on reflecting telescope system | |
Pettit et al. | Spectral energy-curve of sun-spots | |
CN108489613B (en) | A kind of volume holographic grating type space heterodyne Raman spectroscopy instrument light channel structure | |
RU2688961C1 (en) | Device for measuring bidirectional infrared radiation brightness coefficient of materials | |
US20050134847A1 (en) | Apparatus and method for optical characterization of a sample over a broadband of wavelengths with a small spot size | |
CN102494772B (en) | Alignment method applied to preposed optical system with wide field of view | |
US20230392924A1 (en) | Condenser unit for providing directed lighting of an object to be measured positioned in a measured object position, imaging device and method for recording a silhouette contour of at least one object to be measured in a measuring field using an imaging device and use of an attenuation element | |
Zeng et al. | JPSS-1 VIIRS solar diffuser witness sample BRF calibration using a table-top goniometer at NASA GSFC | |
CN102967367A (en) | Ultraviolet two-dimensional full-spectrum high-resolution optical system | |
CN102539120B (en) | Measuring method for spectral reflectance of off-axis R-C system | |
Sablowski et al. | Comparing modal noise and FRD of circular and non‐circular cross‐section fibres | |
Koch et al. | High-resolution Czerny-Turner scatterometer for BRDF measurements |