RU1830445C - Интерференционный способ контрол радиуса кривизны оптических сферических поверхностей - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к контрольно- измерительной технике и может быть использовано при контроле радиуса кривизны вогнутых оптических сферических поверхностей , в частности пробных стекол. Цель изобретени  - повышение точности контрол . Образцовую пропускающую осевую синтезированную голограмму устанавливают перед контролируемой поверхностью и освещают соосным с ней когерентным колли- мированным пучком света. С помощью голограммы в ее симметричных пор дках дифракции в проход щем свете из коллими- рованного пучка формируют два направленных на контролируемую поверхность гомоцентрических пучка света с центрами, расположенными на расчетном рассто нии 2Р один от другого, и по муаровой картине, возникающей при совмещении на голограмме двух пучков света, полученных отражением гомоцентрических пучков света, полученных отражением гомоцентрических пучков от контролируемой поверхности, оп- редел ют величину. и знак отступлени  контролируемого радиуса от расчетного рассто ни  2Р между центрами гомоцентрических пучков, а также форму контролируемой поверхности. 1 ил. сл

Description

Изобретение относитс  к измерительной технике и предназначено дл  контрол  радиуса кривизны оптических сферических поверхностей, в частности пробных стекол.

Цель изобретени  - повышение точности .

Предлагаемый способ по сн етс  чертежом .

Располагают на общей подложке 1 соос- но первую и вторую пропускающие образцовые осевые синтезированные голограммы 2 и 3. устанавливают их перед контролируемой поверхностью 4, освещают коллимированным когерентным пучком 5 света, направл   его параллельно их общей

оси ОХ, формируют из пучка 5 эталонный пучок б отражением от эталонной поверхности 7, образуют из коллимированного пучка 5 в проход щем свете с помощью голограмм 2 и 3 в их отличных от нулевых пор дков дифракции, соответственно, первый и второй гомоцентрические пучки 8, 9 света, у которых центры 10, 11, соответственно, расположены на расчетном рассто нии Pa-Pi, один от другого на общей оси ОХ голограмм 2, 3 и, по меньшей мере, один из которых, например, 8 - сход щийс . Направл ют пучок 8 света на поверхность 4 и полученный из него отражением от нее пучок 12 света с центром 11 направл ют на голограмму 2, с

00 W

о

4

сл

помощью которой преобразуют его в прошедшей сквозь голограмму 2 в обратном свете ходе лучей квазиколлимировэнный пучок 14 света.

Направл ют пучок 9 на поверхность 4 и получают из него отражением от поверхности 4 пучок 15 с центром 16 направл ют на голограмму 3, с помощью которой преобразуют его в прошедший сквозь голограмму 3 в обратном ходе лучей квэзиколлимирован- ный пучок 17 света. Совмещают с эталонным пучком 6 света оба пучка 14, 17 и регистрируют с помощью светоделител  18 и объектива 19 на экране 20 одновременно две интерференционные картины 21, 22 сопоставл ют их и по взаимному искривлению интерференционных полос суд т о величине и знаке отступлени  А контролируемого радиуса R от расчетного рассто ни  Pa-Pi между центрами 10, 11 пучков 8, 9, образованных голограммами в пр мом ходе лучей, т.е. определ ют Д R - (Ра - Pi).

Claims (1)

1. Формула изобретени  Интерференционный способ контрол  радиуса кривизны оптических сферических поверхностей, заключающийс  в том, что освещают образцовую осевую синтезированную голограмму, расположенную на подножке, освещают контролируемую поверхность и суд т о несоответствии радиуса кривизны контролируемой поверхности параметру синтезированной голограммы, о т- .личающийс  тем, что, с целью повышени  точности, предварительно размещают на подложке соосно с первой образцовой осевой голограммой вторую пропускающую образцовую осевую синтезированную голограмму и устанавливают голограммы перед

   контролируемой поверхностью на одной

   оси, голограммы освещают коллимированным

   пучком когерентного излучени , параллельно

   их оси формируют из коллимированного пучка

   эталонный пучок, контролируемую поверхность освещают двум  гомоцентрическими пучками, соответствующими нулевым пор дкам дифракции соответственно первой и второй голограммы, центры которых расположены на расчетном рассто нии друг от друга на оси голограмм и по крайнем мере один из которых  вл етс  сход щимс , при сравнении радиуса кривизны с параметром синтезированной голограммы направл ют

   отраженные от контролируемой поверхности первый и второй гомоцентрические пучки на соответственно первую и вторую грлограммы, выдел ют за голограммами и в обратном ходе квазиколлимированные пучки,

   каждый из пучков совмещают с эталонным пучком до образовани  интерференционной картины, регистрируют одновременно две интеференционные картины и определ ют взаимное искривление дифференционных

   полос, а в качестве расчетного параметра, по которому суд т о знаке и величине отступлени  контролируемого радиуса, выбирают рассто ние между центрами первого и второго гомоцентрических пучков.

   5 ft

   % П з

   Ц 16