RU1827400C - Механизм пр молинейного перемещени детали при нанесении покрытий в вакууме - Google Patents

Abstract

Изобретение касаетс  нанесени  покрытий в вакууме и чистых технологических средах . Цель изобретени  - повышение точности позиционировани  при обеспечении возможности контрол  величины перемещени . Поставленна  цель достигаетс  тем. что упругие элементы выполнены в виде бипластин, жестко св занных между собой, с возможностью подачи на бипластины электрического.напр - жени  регулируемой величины, причем бипластины могут быть выполнены из металлов с различными коэффициентами линейного расширени  или в виде биморфов - одна пластина металлическа , а друга  -пьезокерами- ческа , а угол наклона пластин к горизонтали будет 40-50°. 2 ил.

Description

Изобретение касаетс  нанесени  покрытий в вакууме и чистых технологических средах.

Цель изобретени  - повышение точности позиционировани  при обеспечении возможности контрол  величины перемещени .

Введение в механизм пр молинейного перемещени  биметаллических пластин или биморфов обеспечивает изменение кривизны бипластин при подаче на них электрического напр жени  регулируемой величины, а следовательно, возможность перемещени  стержн  в прецизионном возвратно-поступательном режиме работы, что и позвол ет достичь указанную в формуле изобретени  цель - повышение точности позиционировани  при обеспечении возможности контрол  величины перемещени .

На фиг. 1 изображен механизм с биметаллическими пластинами; на фиг. 2 - механизм с биморфами.

Механизм пр молинейного перемещени  содержит корпус 1, внутри которого расположен подвижный стержень 2 на опорах в виде упругих пружин 3. Упругие пружины 3 выполнены в виде бипластин 4 с углом наклона к горизонтали 40-50°, жестко св занных между собой с возможностью подачи на них электрического напр жени  регулируемой величины от источника напр жени  5. Бипластины 4 (фиг. 1} выполнены из металлов с различными коэффициентами линейного расширени  или в виде биморфов (фиг. 2) - одна пластина 6 - металлическа , а друга  7 пьезокерамическа . Углы наклона бипластин к горизонта л е 40-50° выбраны таким образом , чтобы перемещение стержн  2 было максимальным.

(Л

С

со го -ч

4 О О

Механизм пр молинейного перемещени  детали при нанесении покрытий в вакууме работает следующим образом.

При подаче на бипластины 4 электрического напр жени  регулируемой величины от источника тока 5. происходит их изгиб, который показан на фиг. 1, 2 пунктирной линией. При этом стержень 2 начинает строго пр молинейно перемещатьс .

В первом механизме {фиг. 1) изгиб бип- ластин происходит в виду того, что пластины (биметаллические) имеют различные коэффициенты линейного расширени , за счет прохождени  по ним электрического тока они нагреваютс  и изгибаютс .

Во втором механизме (фиг. 2) изгиб бип- ластин 4 происходит в виду того, что одна из них - 7, пьезокерамическа  . При подаче на пьезопластину 7 электрического напр жени  происходит уменьшение или увеличение ее длины (пьезоэффект) что в совокупности обеспечивает изгиб бипластины 4 (биморфа) на заданную величину, в соответствии с величиной поданного элект0

рического напр жени  и, как следствие пр молинейное перемещение стержн  2.

Применение предложенного механизма пр молинейного перемещени  детали при нанесении покрытий в вакууме позвол ет повысить точность позиционировани  при обеспечении возможности контрол  величины перемещени .

Устройство целесообразно использовать при создании экологически чистого технологического оборудовани  электронной техники .

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   Механизм пр молинейного перемещени  5 детали при нанесении покрытий в вакууме, содержащий корпус с жестко закрепленными на нем бипластинами, источник электрического тока, к клеммам которого подключены бипластины, и деталь, отличающийс  тем, что, с целью расширени  эксплуатационных возможностей, деталь выполнена в виде стержн  и установлена на бипластины внутри полого корпуса, а пластины выполнены из металлов и закреплены на корпусе под углом 40-50°.

   0

   5

   ф&9.1

   4&&е.2