RU1827400C - Механизм пр молинейного перемещени детали при нанесении покрытий в вакууме - Google Patents
Механизм пр молинейного перемещени детали при нанесении покрытий в вакуумеInfo
- Publication number
- RU1827400C RU1827400C SU914952538A SU4952538A RU1827400C RU 1827400 C RU1827400 C RU 1827400C SU 914952538 A SU914952538 A SU 914952538A SU 4952538 A SU4952538 A SU 4952538A RU 1827400 C RU1827400 C RU 1827400C
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- biplates
- vacuum
- coating
- movement
- application
- Prior art date
Links
Landscapes
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Abstract
Изобретение касаетс нанесени покрытий в вакууме и чистых технологических средах . Цель изобретени - повышение точности позиционировани при обеспечении возможности контрол величины перемещени . Поставленна цель достигаетс тем. что упругие элементы выполнены в виде бипластин, жестко св занных между собой, с возможностью подачи на бипластины электрического.напр - жени регулируемой величины, причем бипластины могут быть выполнены из металлов с различными коэффициентами линейного расширени или в виде биморфов - одна пластина металлическа , а друга -пьезокерами- ческа , а угол наклона пластин к горизонтали будет 40-50°. 2 ил.
Description
Изобретение касаетс нанесени покрытий в вакууме и чистых технологических средах.
Цель изобретени - повышение точности позиционировани при обеспечении возможности контрол величины перемещени .
Введение в механизм пр молинейного перемещени биметаллических пластин или биморфов обеспечивает изменение кривизны бипластин при подаче на них электрического напр жени регулируемой величины, а следовательно, возможность перемещени стержн в прецизионном возвратно-поступательном режиме работы, что и позвол ет достичь указанную в формуле изобретени цель - повышение точности позиционировани при обеспечении возможности контрол величины перемещени .
На фиг. 1 изображен механизм с биметаллическими пластинами; на фиг. 2 - механизм с биморфами.
Механизм пр молинейного перемещени содержит корпус 1, внутри которого расположен подвижный стержень 2 на опорах в виде упругих пружин 3. Упругие пружины 3 выполнены в виде бипластин 4 с углом наклона к горизонтали 40-50°, жестко св занных между собой с возможностью подачи на них электрического напр жени регулируемой величины от источника напр жени 5. Бипластины 4 (фиг. 1} выполнены из металлов с различными коэффициентами линейного расширени или в виде биморфов (фиг. 2) - одна пластина 6 - металлическа , а друга 7 пьезокерамическа . Углы наклона бипластин к горизонта л е 40-50° выбраны таким образом , чтобы перемещение стержн 2 было максимальным.
(Л
С
со го -ч
4 О О
Механизм пр молинейного перемещени детали при нанесении покрытий в вакууме работает следующим образом.
При подаче на бипластины 4 электрического напр жени регулируемой величины от источника тока 5. происходит их изгиб, который показан на фиг. 1, 2 пунктирной линией. При этом стержень 2 начинает строго пр молинейно перемещатьс .
В первом механизме {фиг. 1) изгиб бип- ластин происходит в виду того, что пластины (биметаллические) имеют различные коэффициенты линейного расширени , за счет прохождени по ним электрического тока они нагреваютс и изгибаютс .
Во втором механизме (фиг. 2) изгиб бип- ластин 4 происходит в виду того, что одна из них - 7, пьезокерамическа . При подаче на пьезопластину 7 электрического напр жени происходит уменьшение или увеличение ее длины (пьезоэффект) что в совокупности обеспечивает изгиб бипластины 4 (биморфа) на заданную величину, в соответствии с величиной поданного элект0
рического напр жени и, как следствие пр молинейное перемещение стержн 2.
Применение предложенного механизма пр молинейного перемещени детали при нанесении покрытий в вакууме позвол ет повысить точность позиционировани при обеспечении возможности контрол величины перемещени .
Устройство целесообразно использовать при создании экологически чистого технологического оборудовани электронной техники .
Claims (1)
- Формула изобретениМеханизм пр молинейного перемещени 5 детали при нанесении покрытий в вакууме, содержащий корпус с жестко закрепленными на нем бипластинами, источник электрического тока, к клеммам которого подключены бипластины, и деталь, отличающийс тем, что, с целью расширени эксплуатационных возможностей, деталь выполнена в виде стержн и установлена на бипластины внутри полого корпуса, а пластины выполнены из металлов и закреплены на корпусе под углом 40-50°.05ф&9.14&&е.2
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU914952538A RU1827400C (ru) | 1991-06-28 | 1991-06-28 | Механизм пр молинейного перемещени детали при нанесении покрытий в вакууме |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU914952538A RU1827400C (ru) | 1991-06-28 | 1991-06-28 | Механизм пр молинейного перемещени детали при нанесении покрытий в вакууме |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU1827400C true RU1827400C (ru) | 1993-07-15 |
Family
ID=21583019
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU914952538A RU1827400C (ru) | 1991-06-28 | 1991-06-28 | Механизм пр молинейного перемещени детали при нанесении покрытий в вакууме |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU1827400C (ru) |
-
1991
- 1991-06-28 RU SU914952538A patent/RU1827400C/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР Мг 337448, кл. С 23 С 14/50, 1972. Авторское свидетельство СССР №497551. кл. Н 05 К 3/00, 1973. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN101726825B (zh) | 透镜驱动单元以及包括该透镜驱动单元的相机模块 | |
EP1721382B1 (en) | Small piezoelectric or electrostrictive linear motor | |
US20080297923A1 (en) | Piezoelectric actuator and lens driving device | |
JP2002130114A (ja) | アクチュエータ装置 | |
US3952215A (en) | Stepwise fine adjustment | |
JP2005529358A (ja) | デジタルカメラ光学系のための圧電アクチュエータ | |
JP2010525571A5 (ru) | ||
JP3218851B2 (ja) | 電気−機械変換素子を使用した駆動装置の駆動方法 | |
RU1827400C (ru) | Механизм пр молинейного перемещени детали при нанесении покрытий в вакууме | |
CN112236692B (zh) | 具有可变形透镜的透镜装置及包括该透镜装置的光学系统 | |
US3688135A (en) | Piezoelectrically actuated lever switch | |
CN113348394B (zh) | 形状记忆驱动的线性致动器和具有这种线性致动器的光学系统 | |
US20070035205A1 (en) | Actuator | |
US7608979B2 (en) | Driving device and driving system | |
JP2004153999A (ja) | 圧電アクチュエータ | |
US7671512B2 (en) | Impact drive actuator | |
KR100683930B1 (ko) | 초소형 압전 리니어 모터 | |
KR101134280B1 (ko) | 압전 리니어 모터 | |
KR100752698B1 (ko) | 압전 구동기 및 이를 포함하는 렌즈 구동 장치 | |
JP5326244B2 (ja) | 圧電素子を用いた駆動装置及びその駆動方法 | |
KR100818495B1 (ko) | 렌즈 이송장치 | |
CN216531506U (zh) | 光学致动器、摄像模组及电子设备 | |
JPH04147107A (ja) | 駆動機構を有する機器 | |
KR20230001178A (ko) | 카메라 엑추에이터 및 이를 포함하는 카메라 모듈 | |
JP3816601B2 (ja) | 圧電アクチュエータ |