RU1803877C - Магниторазр дный преобразователь - Google Patents
Магниторазр дный преобразовательInfo
- Publication number
- RU1803877C RU1803877C SU904867857A SU4867857A RU1803877C RU 1803877 C RU1803877 C RU 1803877C SU 904867857 A SU904867857 A SU 904867857A SU 4867857 A SU4867857 A SU 4867857A RU 1803877 C RU1803877 C RU 1803877C
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- working chamber
- magnetic circuit
- detachable
- magnetic
- parts
- Prior art date
Links
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
Использование: магниточувствитель- ные вакуумные приборы. Сущность изобретени : цилиндрическа рабоча камера выполнена немагнитной и снабженной осевыми отверсти ми. Разъемный магнитопро- вод также выполнен с отверсти ми и его части контактируют между собой. В отверсти х камеры и магнитопровода размещены заборный патрубок и гермоввод. 3 ил.
Description
Изобретение относитс к технике получени глубокого вакуума и может быть ис- пользовано в магниточувствительных вакуумных приборах.
Целью изобретени вл етс повышение технологичности сборки преобразовател .
На фиг.1 изображен общий вид предлагаемого насоса; на фиг.2 - вид А на один торец рабочей камеры; на фиг.З - вид В на второй торец рабочей камеры.
Рабоча камера предлагаемого преобразовател выполнена из немагнитного материала , например, ковара в виде стакана 1 с крышкой 2, сваренные по торцевому бурту кольцевым швом 3. Внутри камеры на крышке 2 жестко закреплен катод 4 (например, сваркой), а на дне стакана, напротив катода 4 размещен (приварен) катод 5. В крышку 2 вп;а н (вварен) заборный патрубок 6 (напри- мёр, штенгель). В дне стакана 1 установлен высоковольтный гермоввод 7, к стержню 8 которого между катодами 4 и 5 приварен анод 9 в виде, например, пустотелого цилиндра .
Магнитна система предлагаемого преобразовател включает в себ два посто н- . ных магнита 10 и 11 в виде сплошных
цилиндров и два магнитопровода 12 и 13 в виде стаканов. Магниты выполнены оксидно- бариевыми, мэгиитопроводы 12 и 13 -сплав 29НК, Магниты друк к другу направлены разноименными полюсами. Магниты 10 и 11 на магнитопроводах 12 и 13 удерживаютс магнитными сплавами.
В магнитопроводах 12 и 13 выполнены, соответственно, отверсти 14 и 15 дл патрубка 6 и дл стержн 8 гермоввода 7. Дл предотвращени пр мого контакта стержн 8 с магнитопроводом 13 на стержне.8 установлена изолирующа втулка 16. Магнито- проводы 12 и 13 имеют равные между собой внутренние диамеры цилиндрических частей и, соответственно, равные между собой наружные диаметры этих цилиндрических частей . Соединены между собой э™ магнито- проводы 12 и 13 встык, при этом они контактируют между собой торцевыми кольцевыми плоскост ми. Стаканы магнитопро-. водов 12 и 13 выполнены таким образом, что плоскость 17 контакта их цилиндрических частей в собранном преобразователе находитс за пределами рабочей камеры преоб- разовател . т.е. эта плоскость 17 смещена в сторону заборного патрубка 6. Путь магнитИ
00
о
со
00
VI VI
ного потока на фиг:1 показан штриховой линией.
Между торцом каждого магнита 10 и 11, обращенным к р абочей камере, и самой камерой имеетс гарантированный воздушный зазор 18 и 19, соответственно. Эти зазоры 18 и 19 позвол ют обеспечить плотный контакт доведенных торцевых кольцевых плоскостей магнитопроводов 12 и 13 без упора магнитов 10 и 11 в крышку 2 и стакан 1 рабочей камеры, соответственно. Эти зазоры 18 и 19 должны быть минимально возможными, но гарантированными. Реально их принимают пор дка 0,1 мм, что составл ет (0,5-1)% от рассто ни между магнитами. Смещение плоскости 17 контакта магнитопроводов 12 и 13 за пределы рабочей камеры позвол ет извлечь магнит 10 из стакана магнитопровода 12 даже в случае , когда преобразователь установлен на вакуумированном приборе. Дл сн ти магнита 10 при условии, что переместить маг- нитопровод 12 вдоль патрубка 6 невозможно, т.к. преобразователь уже установлен на вакуумируемом приборе (например , электростатическом гироскопе), необходимо осуществить следующую последовательность технологических операций:
1) отсоединить (отпа ть) стержень 8 гер- моввода 7 от источника высокого напр жени (на фигурах не показан);
2) сн ть магнитопровод 13 с преобразовател . Дл этого необходимым (и довольно значительным) усилием переместить магнитопровод 13 вдоль стержн 8 (на фиг,1 это направление вниз);
3) повернуть магнитопровод 12 вокруг оси заборного патрубка 6 на 180°. Дл этого имеетс зазор между магнитопроводом 12 и стенкой патрубка 6.
Нужно отметить, что этот поворот можно осуществить только в том случае, если плоскость 17 находитс вне пределов рабочей камеры преобразовател ;
4) извлечь из магнитопровода 12 магнит 10.
При подаче на анод 9 через стержень 8 гермоввода 7 высокого напр жени (например , 1,0-2,0 кВ) между анодом 9 и катодами 4 и 5 (они соединены с корпусом прибора и землей) зажигаетс тлеющий разр д. Под действием электрического пол свободные элктроды ускор ютс , но движутс к аноду не пр молинейно, а по сложной траектории, котора определ етс воздействием магнитного пол .
В результате столкновени с движущимис с большими скорост ми электронами молекулы остаточного газа ионизируютс .
Поскольку магнитное поле слабо вли ет на поведение положительных ионов в виде их большой массы, то они с ускорением дви- .жутс практически по пр молинейным траектори м к катодам.
Образующиес в результате ионизации молекул электроны начинают двигатьс , как и первичные электроны, но винтообразным траектори м принима участие в поддер0 жании разр да.
Ускоренные электрическим полем положительные ионы бомбардируют катод, вызыва эмиссию вторичных электронов, которые, в свою очередь, также ускор ютс
5 и ионизируют газ. Кроме того, полна бомбардировка катода вызывает распыление материала, из которого он изготовлен. Непрерывно возобновл ема пленка напыл емого материала сорбирует, либо
0 замуровывает, молекулы газа, попавшие на ее поверхность.
Величина тока разр да дает информацию о глубине вакуума в преобразователе (и в вакуумируемом приборе).
5 По сравнению с прототипом предлагаемое изобретение позвол ет повысить технологичность сборки, что обусловлено;
t) на рабочей камере вместо двух кольцевых сварных швов по периметру цилинд0 рического корпуса осталс один;
2) сварные швы в местах установки гер-. моввода и заборного патрубка выполн ютс на плоскости, а не по лини м пересечени цилиндров, как это имело место в прототи5 пе.
Кроме того, конструкци позвол ет легко снимать и устанавливать магниты без применени инструментов, что обеспечивает ее высокую ремонтопригодность.
0 На предпри тии ЦНИИ Электроприбор предлагаемый преобразователь испытан . Получены положительные результаты. В насто щее врем разрабатываетс техническа документаци дл использовани
Claims (3)
- 5 изобретени в серийном производстве. Формула изобретени 1. Магниторазр дный преобразователь , содержащий цилиндрическую рабочую камеру, магнитную систему в виде двух0 одинаковых посто нных магнитов, расположенных на внутренних основани х разъемного цилиндрического магнитопровода, заборный патрубок ,, анод, размещенный в рабочей камере на стержне высоковольтно5 го гермоввода, и катод, расположенный в рабочей камере, отличающийс тем, что, с целью повышени технологичности сборки, рабоча камера выполнена из немагнитного материала и снабжена осевыми отверсти ми на основани х, в основани хчастей разъемного цилиндрического маг- нитопровода также выполнены осевые отверсти , а кра частей разъемного цилиндрического магнитопровода контактируют между собой, при этом заборный патрубок и высоковольтный гермоввод размещены в осевых отверсти х частей разъемного цилиндрического магнитопровода и осевых отверсти х камеры.
- 2. Преобразователь по п.1, от л и ч а ю- щ и и с тем, что торцы частей разъемногоцилиндрического магнитопровода выполнены с ровными диаметрами и кинематически замкнуты, а высота магнитной системы превышает суммарную высоту посто нных маг нитов и цилиндрической рабочей камеры.
- 3. Преобразователь по п.2, отличающийс тем, что, с целью повышени ремонтопригодности, часть разъемного цилиндрического магнитопровода со стороны заборного патрубка выполнена высотой меньшей;чем высота посто нного магнита.Во вФиг.З
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU904867857A RU1803877C (ru) | 1990-09-21 | 1990-09-21 | Магниторазр дный преобразователь |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU904867857A RU1803877C (ru) | 1990-09-21 | 1990-09-21 | Магниторазр дный преобразователь |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU1803877C true RU1803877C (ru) | 1993-03-23 |
Family
ID=21536951
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU904867857A RU1803877C (ru) | 1990-09-21 | 1990-09-21 | Магниторазр дный преобразователь |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU1803877C (ru) |
-
1990
- 1990-09-21 RU SU904867857A patent/RU1803877C/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Данилевский Д.Ф. и др. Миниатюрный магниторазр дный насос. - Электронна промышленность, 1984, № 7, с. 19-20. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0523699B1 (en) | Charged particle beam apparatus, ionpump and method of pumping | |
US4169031A (en) | Magnetron sputter cathode assembly | |
US4452686A (en) | Arc plasma generator and a plasma arc apparatus for treating the surfaces of work-pieces, incorporating the same arc plasma generator | |
CN109786205B (zh) | 电子回旋共振离子源 | |
EP0622621B1 (en) | Opposed magnet ionization gauge | |
RU2004120251A (ru) | Плазменный ускоритель | |
DE3377037D1 (en) | Cylindrical cathode for magnetically-enhanced sputtering | |
US3151259A (en) | Plasma accelerator system | |
US5548183A (en) | Magnetic field immersion type electron gun | |
US2820142A (en) | Charged-particle accelerator | |
US3792214A (en) | Vacuum interrupter for high voltage application | |
JP2008234880A (ja) | イオン源 | |
US4672323A (en) | Device for measuring the internal pressure of an operationally built built-in vacuum switch | |
RU1803877C (ru) | Магниторазр дный преобразователь | |
US7947965B2 (en) | Ion source for generating negatively charged ions | |
US3384772A (en) | Method and apparatus for controlling breadown voltage in vacuum | |
US2184740A (en) | Mercury arc oscillator | |
US3239133A (en) | Pump | |
US3949230A (en) | Ion beam source | |
US3271001A (en) | Quick acting valve | |
US2791371A (en) | Radio frequency ion pump | |
GB762365A (en) | Improvements in and relating to ionic vacuum pumping apparatus | |
RU2773038C1 (ru) | Импульсный нейтронный генератор | |
RU2034657C1 (ru) | Электроимпульсное дробильное устройство | |
US4622453A (en) | Electron beam gun mounting on a work chamber |