RU1803877C - Магниторазр дный преобразователь - Google Patents

Магниторазр дный преобразователь

Info

Publication number
RU1803877C
RU1803877C SU904867857A SU4867857A RU1803877C RU 1803877 C RU1803877 C RU 1803877C SU 904867857 A SU904867857 A SU 904867857A SU 4867857 A SU4867857 A SU 4867857A RU 1803877 C RU1803877 C RU 1803877C
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
working chamber
magnetic circuit
detachable
magnetic
parts
Prior art date
Application number
SU904867857A
Other languages
English (en)
Inventor
Борис Ефимович Ландау
Валерий Николаевич Цветков
Светлана Евгеньевна Попкова
Станислав Соломонович Гуревич
Original Assignee
Центральный научно-исследовательский институт "Электроприбор"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Центральный научно-исследовательский институт "Электроприбор" filed Critical Центральный научно-исследовательский институт "Электроприбор"
Priority to SU904867857A priority Critical patent/RU1803877C/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU1803877C publication Critical patent/RU1803877C/ru

Links

Landscapes

  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

Использование: магниточувствитель- ные вакуумные приборы. Сущность изобретени : цилиндрическа  рабоча  камера выполнена немагнитной и снабженной осевыми отверсти ми. Разъемный магнитопро- вод также выполнен с отверсти ми и его части контактируют между собой. В отверсти х камеры и магнитопровода размещены заборный патрубок и гермоввод. 3 ил.

Description

Изобретение относитс  к технике получени  глубокого вакуума и может быть ис- пользовано в магниточувствительных вакуумных приборах.
Целью изобретени   вл етс  повышение технологичности сборки преобразовател .
На фиг.1 изображен общий вид предлагаемого насоса; на фиг.2 - вид А на один торец рабочей камеры; на фиг.З - вид В на второй торец рабочей камеры.
Рабоча  камера предлагаемого преобразовател  выполнена из немагнитного материала , например, ковара в виде стакана 1 с крышкой 2, сваренные по торцевому бурту кольцевым швом 3. Внутри камеры на крышке 2 жестко закреплен катод 4 (например, сваркой), а на дне стакана, напротив катода 4 размещен (приварен) катод 5. В крышку 2 вп;а н (вварен) заборный патрубок 6 (напри- мёр, штенгель). В дне стакана 1 установлен высоковольтный гермоввод 7, к стержню 8 которого между катодами 4 и 5 приварен анод 9 в виде, например, пустотелого цилиндра .
Магнитна  система предлагаемого преобразовател  включает в себ  два посто н- . ных магнита 10 и 11 в виде сплошных
цилиндров и два магнитопровода 12 и 13 в виде стаканов. Магниты выполнены оксидно- бариевыми, мэгиитопроводы 12 и 13 -сплав 29НК, Магниты друк к другу направлены разноименными полюсами. Магниты 10 и 11 на магнитопроводах 12 и 13 удерживаютс  магнитными сплавами.
В магнитопроводах 12 и 13 выполнены, соответственно, отверсти  14 и 15 дл  патрубка 6 и дл  стержн  8 гермоввода 7. Дл  предотвращени  пр мого контакта стержн  8 с магнитопроводом 13 на стержне.8 установлена изолирующа  втулка 16. Магнито- проводы 12 и 13 имеют равные между собой внутренние диамеры цилиндрических частей и, соответственно, равные между собой наружные диаметры этих цилиндрических частей . Соединены между собой э™ магнито- проводы 12 и 13 встык, при этом они контактируют между собой торцевыми кольцевыми плоскост ми. Стаканы магнитопро-. водов 12 и 13 выполнены таким образом, что плоскость 17 контакта их цилиндрических частей в собранном преобразователе находитс  за пределами рабочей камеры преоб- разовател . т.е. эта плоскость 17 смещена в сторону заборного патрубка 6. Путь магнитИ
00
о
со
00
VI VI
ного потока на фиг:1 показан штриховой линией.
Между торцом каждого магнита 10 и 11, обращенным к р абочей камере, и самой камерой имеетс  гарантированный воздушный зазор 18 и 19, соответственно. Эти зазоры 18 и 19 позвол ют обеспечить плотный контакт доведенных торцевых кольцевых плоскостей магнитопроводов 12 и 13 без упора магнитов 10 и 11 в крышку 2 и стакан 1 рабочей камеры, соответственно. Эти зазоры 18 и 19 должны быть минимально возможными, но гарантированными. Реально их принимают пор дка 0,1 мм, что составл ет (0,5-1)% от рассто ни  между магнитами. Смещение плоскости 17 контакта магнитопроводов 12 и 13 за пределы рабочей камеры позвол ет извлечь магнит 10 из стакана магнитопровода 12 даже в случае , когда преобразователь установлен на вакуумированном приборе. Дл  сн ти  магнита 10 при условии, что переместить маг- нитопровод 12 вдоль патрубка 6 невозможно, т.к. преобразователь уже установлен на вакуумируемом приборе (например , электростатическом гироскопе), необходимо осуществить следующую последовательность технологических операций:
1) отсоединить (отпа ть) стержень 8 гер- моввода 7 от источника высокого напр жени  (на фигурах не показан);
2) сн ть магнитопровод 13 с преобразовател . Дл  этого необходимым (и довольно значительным) усилием переместить магнитопровод 13 вдоль стержн  8 (на фиг,1 это направление вниз);
3) повернуть магнитопровод 12 вокруг оси заборного патрубка 6 на 180°. Дл  этого имеетс  зазор между магнитопроводом 12 и стенкой патрубка 6.
Нужно отметить, что этот поворот можно осуществить только в том случае, если плоскость 17 находитс  вне пределов рабочей камеры преобразовател ;
4) извлечь из магнитопровода 12 магнит 10.
При подаче на анод 9 через стержень 8 гермоввода 7 высокого напр жени  (например , 1,0-2,0 кВ) между анодом 9 и катодами 4 и 5 (они соединены с корпусом прибора и землей) зажигаетс  тлеющий разр д. Под действием электрического пол  свободные элктроды ускор ютс , но движутс  к аноду не пр молинейно, а по сложной траектории, котора  определ етс  воздействием магнитного пол .
В результате столкновени  с движущимис  с большими скорост ми электронами молекулы остаточного газа ионизируютс .
Поскольку магнитное поле слабо вли ет на поведение положительных ионов в виде их большой массы, то они с ускорением дви- .жутс  практически по пр молинейным траектори м к катодам.
Образующиес  в результате ионизации молекул электроны начинают двигатьс , как и первичные электроны, но винтообразным траектори м принима  участие в поддер0 жании разр да.
Ускоренные электрическим полем положительные ионы бомбардируют катод, вызыва  эмиссию вторичных электронов, которые, в свою очередь, также ускор ютс 
5 и ионизируют газ. Кроме того, полна  бомбардировка катода вызывает распыление материала, из которого он изготовлен. Непрерывно возобновл ема  пленка напыл емого материала сорбирует, либо
0 замуровывает, молекулы газа, попавшие на ее поверхность.
Величина тока разр да дает информацию о глубине вакуума в преобразователе (и в вакуумируемом приборе).
5 По сравнению с прототипом предлагаемое изобретение позвол ет повысить технологичность сборки, что обусловлено;
t) на рабочей камере вместо двух кольцевых сварных швов по периметру цилинд0 рического корпуса осталс  один;
2) сварные швы в местах установки гер-. моввода и заборного патрубка выполн ютс  на плоскости, а не по лини м пересечени  цилиндров, как это имело место в прототи5 пе.
Кроме того, конструкци  позвол ет легко снимать и устанавливать магниты без применени  инструментов, что обеспечивает ее высокую ремонтопригодность.
0 На предпри тии ЦНИИ Электроприбор предлагаемый преобразователь испытан . Получены положительные результаты. В насто щее врем  разрабатываетс  техническа  документаци  дл  использовани 

Claims (3)

  1. 5 изобретени  в серийном производстве. Формула изобретени  1. Магниторазр дный преобразователь , содержащий цилиндрическую рабочую камеру, магнитную систему в виде двух
    0 одинаковых посто нных магнитов, расположенных на внутренних основани х разъемного цилиндрического магнитопровода, заборный патрубок ,, анод, размещенный в рабочей камере на стержне высоковольтно5 го гермоввода, и катод, расположенный в рабочей камере, отличающийс  тем, что, с целью повышени  технологичности сборки, рабоча  камера выполнена из немагнитного материала и снабжена осевыми отверсти ми на основани х, в основани х
    частей разъемного цилиндрического маг- нитопровода также выполнены осевые отверсти , а кра  частей разъемного цилиндрического магнитопровода контактируют между собой, при этом заборный патрубок и высоковольтный гермоввод размещены в осевых отверсти х частей разъемного цилиндрического магнитопровода и осевых отверсти х камеры.
  2. 2. Преобразователь по п.1, от л и ч а ю- щ и и с   тем, что торцы частей разъемного
    цилиндрического магнитопровода выполнены с ровными диаметрами и кинематически замкнуты, а высота магнитной системы превышает суммарную высоту посто нных маг нитов и цилиндрической рабочей камеры.
  3. 3. Преобразователь по п.2, отличающийс  тем, что, с целью повышени  ремонтопригодности, часть разъемного цилиндрического магнитопровода со стороны заборного патрубка выполнена высотой меньшей;чем высота посто нного магнита.
    Во в
    Фиг.З
SU904867857A 1990-09-21 1990-09-21 Магниторазр дный преобразователь RU1803877C (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU904867857A RU1803877C (ru) 1990-09-21 1990-09-21 Магниторазр дный преобразователь

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU904867857A RU1803877C (ru) 1990-09-21 1990-09-21 Магниторазр дный преобразователь

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU1803877C true RU1803877C (ru) 1993-03-23

Family

ID=21536951

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU904867857A RU1803877C (ru) 1990-09-21 1990-09-21 Магниторазр дный преобразователь

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU1803877C (ru)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Данилевский Д.Ф. и др. Миниатюрный магниторазр дный насос. - Электронна промышленность, 1984, № 7, с. 19-20. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0523699B1 (en) Charged particle beam apparatus, ionpump and method of pumping
US4169031A (en) Magnetron sputter cathode assembly
US4452686A (en) Arc plasma generator and a plasma arc apparatus for treating the surfaces of work-pieces, incorporating the same arc plasma generator
CN109786205B (zh) 电子回旋共振离子源
EP0622621B1 (en) Opposed magnet ionization gauge
RU2004120251A (ru) Плазменный ускоритель
DE3377037D1 (en) Cylindrical cathode for magnetically-enhanced sputtering
US3151259A (en) Plasma accelerator system
US5548183A (en) Magnetic field immersion type electron gun
US2820142A (en) Charged-particle accelerator
US3792214A (en) Vacuum interrupter for high voltage application
JP2008234880A (ja) イオン源
US4672323A (en) Device for measuring the internal pressure of an operationally built built-in vacuum switch
RU1803877C (ru) Магниторазр дный преобразователь
US7947965B2 (en) Ion source for generating negatively charged ions
US3384772A (en) Method and apparatus for controlling breadown voltage in vacuum
US2184740A (en) Mercury arc oscillator
US3239133A (en) Pump
US3949230A (en) Ion beam source
US3271001A (en) Quick acting valve
US2791371A (en) Radio frequency ion pump
GB762365A (en) Improvements in and relating to ionic vacuum pumping apparatus
RU2773038C1 (ru) Импульсный нейтронный генератор
RU2034657C1 (ru) Электроимпульсное дробильное устройство
US4622453A (en) Electron beam gun mounting on a work chamber