парат сепаратора и отражаютс преимущественно в направлении к радиальным лопат- кам и к входу в спиральные канавки. Дальнейшее повышение давлени происходит в лабиринтных канавках статора 1 и ротора 2. Сжатый газ через отверстие 10 выбрасываетс в атмосферу.the separator paired and are reflected mainly towards the radial vanes and towards the entrance to the spiral grooves. A further increase in pressure occurs in the labyrinth grooves of the stator 1 and rotor 2. Compressed gas is discharged through the opening 10 into the atmosphere.
Выполнение ротора насоса с торцевыми лопатками образующими острый угол с вектором направлени вращени позвол ет уменьшить срывы потока газа и уменьшить обратные потоки молекул, чем достигаетс больша эффективность работы входной части насоса по сравнению с прототипом. Кро- ме того, при одинаковых диаметрах ротора предлагаемый турбомолекул рный форва- куумный насос имеет большую площадь входа по сравнению с прототипом, что обеспечивает работу с большими объемными расходами. Острый угол торцевых лопаток позвол ет выполнить их как продолжение перемычек между канавками ротора, что улучшает его технологичность.The implementation of the rotor of the pump with end vanes forming an acute angle with the direction vector of rotation allows to reduce stalls of the gas flow and to reduce the back flows of molecules, which achieves greater efficiency of the inlet part of the pump compared to the prototype. In addition, with the same rotor diameters, the proposed turbomolecular fore-vacuum pump has a larger inlet area compared to the prototype, which ensures high volumetric flow rates. The acute angle of the end blades allows them to be performed as a continuation of the jumpers between the grooves of the rotor, which improves its manufacturability.
Наличие сепаратора перед лопатками торцевыми позвол ет уменьшить угол атаки газа и веро тность срыва на лопатках, осо- бенно опасном на периферийных участках, Консольно закрепленные по наружному диаметру лопатки сепаратора позвол ют направить в рабочие каналы обратный поток молекул от центральной части радиальных лопаток. Небольша высота лопаток сепаратора , составл юща 1,1-1,3 максимальной глубины канавки ротора незначительно вли ет на проводимость при малых давлени х на входе в насос. Благодар ступенчатому увеличению количества спиральных канавок на роторе и статоре поддерживаетс близкое к оптимальному отношение ширины-канавки к ее глубине, что повышает эффективность работы насоса по сравнению с прототипом.The presence of a separator in front of the end blades makes it possible to reduce the angle of attack of the gas and the likelihood of stalling on the blades, which is especially dangerous in the peripheral areas. Cantilever mounted on the outer diameter of the separator blades allow directing the return flow of molecules from the central part of the radial blades into the working channels. The small height of the separator vanes, which is 1.1-1.3 of the maximum depth of the rotor groove, does not significantly affect the conductivity at low pressures at the pump inlet. Due to the stepwise increase in the number of spiral grooves on the rotor and stator, a ratio of the width-groove to its depth that is close to optimal is maintained, which increases the efficiency of the pump compared to the prototype.
Формула, изобретени Турбомолекул рный лабиринтный насос , содержащий статор и соосно установленный с ним с возможностью вращени ротор, при этом на поверхност х ротора и статора обращенных одна к другой, выполнены спиральные канавки разных направлений нарезки с уменьшающейс от входа к выходу глубиной, а на передней по ходу газа торцевой поверхности ротора выполнены радиальные лопатки, отличающийс тем, что, с целью увеличени производительности и повышени эффективности, он снабжен сепаратором с лопатками, закрепленными , по его наружному диаметру, при этом радиальные лопатки ротора установлены под острым углом к вектору направлени вращени , угол наклона лопаток сепаратора на выходе совпадает с направлением канавок на статоре, а высота лопаток сепаратора составл ет 1,1-1,3 максимальной глубины канавок ротора, причем число спиральных канавок на статоре и роторе увеличиваетс от входа к выходу насоса.,Formula of the invention A turbomolecular labyrinth pump containing a stator and a rotor coaxially mounted with it to rotate, while on the surfaces of the rotor and stator facing one another, helical grooves of different cutting directions are made with depth decreasing from entrance to exit, and on the front along the gas of the end surface of the rotor, radial blades are made, characterized in that, in order to increase productivity and increase efficiency, it is equipped with a separator with blades fixed on its the diameter, while the radial rotor blades are set at an acute angle to the direction of rotation vector, the angle of inclination of the separator blades at the outlet coincides with the direction of the grooves on the stator, and the height of the separator blades is 1.1-1.3 of the maximum depth of the rotor grooves, and the number the spiral grooves on the stator and rotor increase from inlet to outlet of the pump.,