RU1789578C - Method of growing single crystals of bismuth germanate - Google Patents
Method of growing single crystals of bismuth germanateInfo
- Publication number
- RU1789578C RU1789578C SU914922227A SU4922227A RU1789578C RU 1789578 C RU1789578 C RU 1789578C SU 914922227 A SU914922227 A SU 914922227A SU 4922227 A SU4922227 A SU 4922227A RU 1789578 C RU1789578 C RU 1789578C
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- crystal
- growth
- crystals
- diameter
- growing
- Prior art date
Links
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
Использование: получение кристаллов, наход щих применение в.физике высоких энергий. Сущность изобретени : монокристалл выт гивают из расплава на затравку. Разращивание верхней конусной части осуществл ют в пределах телесного угла 130- 160 град, Получают кристалл диаметром 55 мм и длиной 200 мм без трещин, прозрачный , без искажений цилиндрической формы . 4 ил., 1 табл. ел сUsage: obtaining crystals that are used in high-energy physics. SUMMARY OF THE INVENTION: A single crystal is drawn from a melt onto a seed. The growth of the upper conical part is carried out within a solid angle of 130-160 degrees. A crystal is obtained with a diameter of 55 mm and a length of 200 mm without cracks, transparent, without distortion of a cylindrical shape. 4 ill., 1 tab. ate with
Description
Изобретение относитс к технологии получени монокристаллов германата висмута со структурой эвлитина В 4безОч2 (BGO) и может быть использовано при промышленном производстве кристаллов, наход щих все более широкое применение в физике высоких энергий при быстро растущем спросе на мировом рынке. Изобретение может быть использовано и при выращивании других кристаллов методом Чохральского.The invention relates to a technology for producing bismuth germanate single crystals with the structure of eulitin B 4 without Och 2 (BGO) and can be used in the industrial production of crystals, which are increasingly used in high energy physics with rapidly growing demand in the world market. The invention can also be used for growing other crystals by the Czochralski method.
Монокристаллы германата висмута выращивают методом Чохральского (выт гивание из расплава), который включает следующие операции. После получени расплава в тигле кристаллизационного узла производ тзатравление, погружа вращающуюс затравку в расплав. Затем производ т формирование верхнего конуса,Single crystals of bismuth germanate are grown by the Czochralski method (melt drawing), which includes the following operations. After the melt is obtained in the crucible of the crystallization unit, etching is performed by immersing the rotating seed in the melt. Then the formation of the upper cone,
выт гива вращающуюс затравку вверх с одновременным понижением температуры расплава (с помощью АСУТП). Далее ведут рост при посто нном диаметре, выт гива кристалл и измен температуру в соответствии со свойствами конкретных кристаллов и конструкцией кристаллизационного узла (в основном с помощью АСУТП). После получени кристаллов заданной длины провод т отделение кристалла от расплава, и, наконец, производ т плавное охлаждение кристалла по заданной программе АСУТП.The spinning seed is turned upward while the melt temperature is lowered (by means of a process control system). Then they grow with a constant diameter, pulling the crystal and changing the temperature in accordance with the properties of specific crystals and the design of the crystallization unit (mainly with the help of process control systems). After obtaining crystals of a given length, the crystal is separated from the melt, and finally, the crystal is gradually cooled according to a given ACCS program.
Одной из проблем при получении высококачественных крупногабаритных D« 50 мм, LK 150 мм монокристаллов германата висмута дл физики высоких энергий вл етс искажение их формы (геометрии) за счет про влени эффекта образовани поверхности кристалла неэквивалентнымиOne of the problems in obtaining high-quality large-sized D ≈ 50 mm, LK 150 mm bismuth germanate single crystals for high energy physics is the distortion of their shape (geometry) due to the manifestation of the effect of the formation of the surface of the crystal nonequivalent
VI 00VI 00
ю ел VIYu ate VI
0000
формами роста, измен ющими свою морфологическую выраженность по мере выт гивани кристалла в измен ющихс тепловых услови х. При этом искажение цилиндрической формы кристаллов часто имеет вид винта (см. фиг. 1). В результате этого существенно уменьшаетс коэффициент использовани материала кристалла Q, определ емы) как отношение массы (или объема) сцинтилл тора к массе кристалла. Особенно это про вл етс при изготовлении объемных сцинтилл торов большого диаметра и длины (близкого к диаметру и длине кристалла) (см. фиг, 2). Это ухудшает технико-экономические показатели производства сцинтилл торов. Методы устранени такого влени до насто щего времени не были разработаны, Выращивание же кристалла увеличенного диаметра дл компенсации искаженной формы при изготовлении объемных сцинтилл торов ухудшает их качество.growth forms that change their morphological expression as the crystal is drawn under varying thermal conditions. Moreover, the distortion of the cylindrical shape of the crystals often takes the form of a screw (see Fig. 1). As a result of this, the coefficient of utilization of the material of the crystal Q is significantly reduced (defined) as the ratio of the mass (or volume) of the scintillator to the mass of the crystal. This is especially evident in the manufacture of bulk scintillators of large diameter and length (close to the diameter and length of the crystal) (see Fig. 2). This affects the technical and economic indicators of the production of scintillators. Methods for eliminating such a phenomenon have not yet been developed, but growing an oversized crystal to compensate for the distorted shape in the manufacture of bulk scintillators impairs their quality.
Анализ опыта выращивани и результатов специально поставленных экспериментов показал, что дл устранени таких про влений гранного роста в кристаллах BGO необходимо создавать тепловые услови , исключающие преимущественный рост атомно-гладких F-граней, но обеспечивающие нар ду с этими гран ми образование поверхности кристаллов другими формами роста (гран ми S- и К-классификаци граней см. 1JJ. В этом случае форма сечени кристалла будет примерно соответствовать изотермам теплового пол на фронте кристаллизации . Причем, учитыва наследование роста граней кристалла с, серого затравлени , необходимо такие услови создать на стадии затравлени и разращива- ни верхнего конуса. В известных способах выращивани этим аспектам не удел лось должного внимани . В основном технологи затравлени и разращивани направлена на получение бездислокационных и безблочных кристаллов. Известен способ выращивани кристаллов методом Чохраль- ского, в котором после затравлени диаметр растущего кристалла сужают до 1-2 мм, а затем постатейно расшир ют 2. Это снижает веро тность образовани дислокаций, но использование этого способа дл выращивани сцинтилл ционных кристаллов значительно уменьшает коэффициент использовани материала кристалла, т.к. прот женный верхний конус непригоден дл изготовлени объемных сцинтилл торов большого диаметра.An analysis of the growing experience and the results of specially set up experiments showed that in order to eliminate such manifestations of facet growth in BGO crystals, it is necessary to create thermal conditions that exclude the predominant growth of atomically smooth F-faces, but provide, along with these faces, the surface of the crystals with other forms of growth (for faces of the S- and K-classification of faces, see 1JJ. In this case, the cross-sectional shape of the crystal will approximately correspond to the isotherms of the thermal field at the crystallization front. Moreover, taking into account the inheritance In order to obtain growth of crystal faces, gray etching, it is necessary to create such conditions at the stage of etching and growing of the upper cone. In known growing methods, these aspects were not given due attention. Basically, the technology of etching and growing is aimed at obtaining dislocation-free and block-free crystals. a method of growing crystals by the Czochralski method, in which, after seeding, the diameter of the growing crystal is narrowed to 1-2 mm and then expanded stepwise 2. This reduces the likelihood of dislocations, but the use of this method for growing scintillating crystals considerably decreases the utilization ratio of the crystal material, since the extended top cone is not suitable for the manufacture of large diameter scintillators of large diameter.
Известны и другие способы выращивани методом Чохральского р да кристаллов , в том числе и германата висмута 3, ноOther methods are known for growing the Czochralski method of a series of crystals, including bismuth germanate 3, but
в них повышение коэффициента использовани материала кристалла решаетс путем повышени его качества (предотвращение растрескивани ). Однако применение этихin them, an increase in the utilization rate of the material of the crystal is solved by improving its quality (preventing cracking). However application of these
способов не исключает во многих случа х искажени формы кристалла (винт и т.п.) и, следовательно, уменьшени по этой причине коэффициента использовани материала кристалла. В описани х этих аналоговThe methods do not exclude in many cases distortions in the shape of the crystal (screw, etc.) and, therefore, a decrease in the utilization of the material of the crystal for this reason. In the descriptions of these analogues
0 параметры разращивани верхнего конуса не оговаривались, но обычно в них телесный угол составл ет 60-110°.The parameters for the expansion of the upper cone were not specified, but usually the solid angle in them is 60-110 °.
Наиболее близким к предлагаемому вл етс способ выращивани кристаллов ме5 тодом Чохральского, в котором с целью повышени качества кристалла после затравлени провод т равномерное разращи- вание верхнего конуса (выход на диаметр) с телесным углом конической части не превы0 шающим 12° 4. В некоторых случа х допускаетс увеличение этого угла до 30°.Closest to the proposed one is a method of growing crystals by the Czochralski method, in which, in order to improve the quality of the crystal, after the seeding, the upper cone is uniformly grown (exit to diameter) with a solid angle of the conical part not exceeding 12 ° 4. In some cases x this angle may be increased to 30 °.
Этот способ выращивани монокристаллов включает в себ следующие операции:This method of growing single crystals includes the following operations:
5Затравление Разращивание верхнего конуса Рост при посто нном диаметре5 Etching Upper cone expansion Growth with a constant diameter
0 Формирование нижнего конуса0 Lower cone formation
Отделение кристалла от расплава Охлаждение кристаллаSeparation of the crystal from the melt Crystal cooling
5 В этом способе дл устранени дислокационной структуры разращивание верхнего конуса осуществл етс в пределах довольно острого телесного угла « 15 - 30°. Однако применение этого способа дл 5 In this method, to eliminate the dislocation structure, the expansion of the upper cone is carried out within a rather acute solid angle of "15-30 °." However, the application of this method to
0 выращивани монокристаллов германата висмута не исключает искажени формы кристалла, прот женный верхний конус не используетс дл изготовлени объемных сцинтилл торов. Кроме того, при таком раз5 ращивании в объеме цилиндрической части кристалла германата висмута в области, прилегающей к верхнему конусу, формируетс так называемый обратный конус - конусообразное скопление дефектов типа0 growing single crystals of bismuth germanate does not exclude distortion of the crystal shape, an extended upper cone is not used to produce bulk scintillators. In addition, with such a growth in the volume of the cylindrical part of the crystal of bismuth germanate in the region adjacent to the upper cone, a so-called inverse cone is formed - a cone-shaped accumulation of defects of the type
0 включений (например при диаметре кристалла DK 60 м прот женность этой зоны Нк Ј-30 мм). Все эти факторы существенно (на 15 - 30%) понижают коэффициент использовани материала кристалла.0 inclusions (for example, with a crystal diameter of DK 60 m, the length of this zone Нк is Ј -30 mm). All these factors significantly (by 15-30%) reduce the utilization rate of the crystal material.
5 Целью изобретени вл етс повышение выхода годного за счет улучшени качества цилиндрической части монокристалла. Поставленна цель достигаетс тем, что в способе выращивани монокристаллов германата висмута методом Чохральского,5 An object of the invention is to increase yield by improving the quality of the cylindrical portion of a single crystal. This goal is achieved by the fact that in the method of growing single crystals of bismuth germanate by the Czochralski method,
Кристалл вращаетс и выт гиваетс из расплаваThe crystal rotates and extends from the melt
включающем затравление на вращающуюс и выт гиваемую затравку, разращивание верхнего конуса, рост при посто нном диаметре , отделение кристалла от расплава и последующее его охлаждение, согласно изобретению, разращивание верхнего конуса осуществл ют в пределах телесного угла 130-160°.including spinning and spinning seed etching, expansion of the upper cone, growth with a constant diameter, separation of the crystal from the melt and its subsequent cooling, according to the invention, expansion of the upper cone is carried out within a solid angle of 130-160 °.
В основе предлагаемого способа лежат следующие физические влени . Телесный угол разращивани верхнего конуса соответствует определенной скорости снижени температуры расплава в ходе разращивани и, следовательно, определенным тепловым услови м на фронте кристаллизации . Конкретный характер этих условий определ ет характер роста F-, S- и К-граней. Поскольку, как показал предварительный анализ дл достижени поставленной цели необходимо исключить преимущественный рост F-граней, но обеспечить нар ду с этими гран ми образование поверхности кристалла другими формами роста (S- и К-гран ми). Как показали опыты, в случае разращивани верхнего конуса с телесным углом в пределах 130 - 160° форма кристаллов германата висмута близка к круговому цилиндру со следами выходов F- граней, однако без искривлений и винтов (см. фиг. 3), В этом случае прот женность дефектной зоны обратного конуса не превышает 10 мм.The proposed method is based on the following physical phenomena. The solid angle of expansion of the upper cone corresponds to a certain rate of decrease in the temperature of the melt during the expansion and, therefore, to certain thermal conditions at the crystallization front. The specific nature of these conditions determines the growth pattern of the F, S, and K faces. Since, as a preliminary analysis showed, in order to achieve this goal, it is necessary to exclude the predominant growth of F-faces, but to ensure, along with these faces, the formation of the crystal surface by other forms of growth (S- and K-faces). As experiments have shown, in the case of the growth of the upper cone with a solid angle between 130 - 160 °, the shape of the crystals of bismuth germanate is close to a circular cylinder with traces of exits of F faces, but without curvature and screws (see Fig. 3). In this case, The defect area of the cone does not exceed 10 mm.
Экспериментально установлено, что дл кристаллов германата висмута диаметром DK 55 - 65 мм такой диапазон величины телесного угла обеспечиваетс снижением (в ходе разращивани )температуры расплава на 50 - 70°С в течение 3 - 7 ч. (Управление процессом роста осуществл етс с помощью АСУТП набором соответствующей программы с заданными параметрами кристалла (скорости выт гивани и вращени , диаметр кристалла, врем выхода на диаметр , длина цилиндрической части кристалла и т.п.). Дл кристаллов другого диаметра (Ок 55 мм и DK 65 мм) изменение температуры может отличатьс от указанного выше, однако, как показывает опыт выращивани , поддержание телесного угла разращивани в указанных выше пределах также обеспечивает устойчивую форму кристалла (близкую к круговому цилиндру) без существенных искажений и искривлений с минимальной прот женностью дефектной зоны обратного конуса.It has been experimentally established that for bismuth germanate crystals with a diameter of DK 55 - 65 mm, such a range of the solid angle is ensured by a decrease (during growth) of the melt temperature by 50 - 70 ° C for 3 - 7 hours. (The growth process is controlled using process control systems a set of the appropriate program with the given parameters of the crystal (drawing and rotation speeds, crystal diameter, exit time to the diameter, length of the cylindrical part of the crystal, etc.) For crystals of a different diameter (approx. 55 mm and DK 65 mm), the temperature This may differ from the above, however, as growing experience shows, maintaining the solid growth angle within the above limits also provides a stable crystal shape (close to a circular cylinder) without significant distortions and distortions with a minimum length of the defect zone of the inverse cone.
Величины телесного угла более 160° трудно осуществить на практике, так как необходима дл этого сравнительно высока скорость охлаждени расплава (более 15 - 20°С/ч) приводит к нестабильному рой The values of the solid angle of more than 160 ° are difficult to implement in practice, since the relatively high cooling rate of the melt (more than 15 - 20 ° C / h) is necessary for this, leading to an unstable swarm
сту (расплыванию конуса) и невозможности поддержани управл емого роста ни в автоматическом, ни тем более в ручном режиме .(stiffness of the cone) and the inability to maintain controlled growth neither automatically, nor even more so in manual mode.
5При величине телесного угла в 130° и . менее уже про вл ютс искажени формы кристалла (винт, искривление и т.п.).5With a solid angle of 130 ° and. less distorted are the crystal shapes (screw, distortion, etc.).
Таким образом, в результате разращивани верхнего конуса с телесным углом в 10 пределах 130-160 градусов удаетс избежать искажени формы (искривлени образующей ) растущего кристалла германата висмута, уменьшить прот женность дефектной зоны у верхнего конуса и за счет этого 15 повысить эффективность использовани материала кристалла при изготовлении из него объемного сцинтилл тора больших диаметра и длины. В этом случае по сравнению с прототипом и аналогами увеличение 20 коэффициента использовани материала кристалла составит 10 - 30% (см. фиг. 2 и 4),Thus, as a result of the expansion of the upper cone with a solid angle of 10 within the range of 130-160 degrees, it is possible to avoid distortion of the shape (curvature of the generatrix) of the growing bismuth germanate crystal, to reduce the length of the defect zone at the upper cone, and thereby increase the efficiency of using the material the manufacture of volumetric scintillator of large diameter and length from it. In this case, in comparison with the prototype and analogues, an increase in the 20 coefficient of utilization of the material of the crystal will be 10-30% (see Figs. 2 and 4).
За вл емый способ включает следующие операции.The claimed method includes the following operations.
25 Затравление1 Разращивание верхнего j конуса j Кристалл Рост при посто нном вращаетс и диаметре25 Seeding1 Growth of the upper j cone j Crystal Growth with constant rotation and diameter
30 Отделение кристалла от расплава Охлаждение кристалла30 Separation of the crystal from the melt Crystal cooling
выт гиваетс stretched out
Кристалл вращаетс . За вл емый способ имеет общие опе35 рации с прототипом и аналогами, однако параметры (режимы) осуществлени разращивани верхнего конуса отличаютс от известных и дают существенный положительный эффект. Отличие этих режимов су- 40 щественно, так как только осуществление разращивани верхнего конуса с такими параметрами позвол ет достичь указанного положительного эффекта.The crystal rotates. The claimed method has common operations with the prototype and analogues, however, the parameters (modes) of the implementation of the expansion of the upper cone are different from the known ones and give a significant positive effect. The difference between these modes is significant, since only the development of the growth of the upper cone with such parameters allows one to achieve the indicated positive effect.
Пример. Тигель с наплавом шихтыExample. Charge overlay crucible
45 германата висмута помещают в кристаллизационный узел установки Кристалл-ЗМ, Германат висмута расплавл ют в платиновом тигле диаметром 100 и высотой 120 мм в окислительной атмосфере, опускают в рас50 плав вращающуюс со скоростью 40 об/мин монокристаллическую затравку диаметром 15 мм и выт гивают ее со скоростью 1,5 мм/ч. Разращивают верхний конус с помощью АСУТП, задава выход на диаметр45 bismuth germanate is placed in the crystallization unit of the Crystal-ZM installation, bismuth germanate is melted in a platinum crucible with a diameter of 100 and a height of 120 mm in an oxidizing atmosphere, a single-crystal seed crystal with a diameter of 15 mm and a diameter of 15 mm rotating at a speed of 40 rpm is lowered into the melt and extruded with speed of 1.5 mm / h. They grow the upper cone with the help of an automatic process control system, setting the diameter output
55 55 мм в течение 15 ч (соответствует телесному углу верхнего конуса 140°), далее продолжают выращивать кристалл на посто нном диаметре 55tO,5 мм до длины 200 м. Затем увеличивают скорость выт гивани до 2000 мм/ч (и тем самым отрывают55 55 mm for 15 hours (corresponding to the solid angle of the upper cone 140 °), then continue to grow the crystal on a constant diameter of 55tO, 5 mm to a length of 200 m. Then, the extrusion speed is increased to 2000 mm / h (and thereby tear
его от расплава) и поднимают на высоту 50 мм. Сразу же после отрыва кристалла (контролируетс по приборам УСУТП) снижают подводимую к индуктору высокочастотную мощность (по заданной программе АСУТП). После остывани кристалла его извлекают из кристаллизационного узла и оценивают его качество. Кристалл германа- та висмута диаметром 55 мм и длиной 200 мм без трещин, прозрачный, с высотой вер- хнего конуса 10 мм (и телесным углом 140°), с дефектной зоной у верхнего конуса прот женностью Нк не более 10 мм, без искажений цилиндрической формы боковой поверхности со следами выхода F-граней - полностью пригоден (с учетом припуска на обработку) дл изготовлени объемного сцинтилл тора в виде шестиугольной в U сечении призмы с диаметром описанной окружности DC 50 мм и высотой Ц180 мм дл спектрометра фотонов и нейтральных пионов высоких энергий. Коэффициент использовани материала кристалла Q 1 - QI - . .it from the melt) and raise to a height of 50 mm. Immediately after detaching the crystal (controlled by USUT devices), the high-frequency power supplied to the inductor is reduced (according to the specified ACS program). After the crystal has cooled, it is removed from the crystallization unit and its quality is evaluated. A bismuth germanate crystal with a diameter of 55 mm and a length of 200 mm without cracks, transparent, with an upper cone height of 10 mm (and a solid angle of 140 °), with a defect zone near the upper cone with a length of Hk no more than 10 mm, without distortion the shape of the side surface with traces of the exit of F-faces - it is completely suitable (taking into account the machining allowance) for the manufacture of a volume scintillator in the form of a hexagonal prism in a U section with a diameter of a circumscribed circle of DC 50 mm and a height of 180 mm for a high-energy photon spectrometer and . The utilization of the material of the crystal is Q 1 - QI -. .
Результаты испытаний приведены в таблице.The test results are shown in the table.
Были проведены сравнительные испытани предлагаемого способа. Всего было проведено25 опытов по заданным режимам (или близким к ним) дл монокристаллов германата висмута различных диаметра и длины (в основном DK 50 -70 мм, к 100 - 200 мм). Более 50 опытов было проведено по прототипу и аналогам.Comparative tests of the proposed method were carried out. A total of 25 experiments were carried out according to the given regimes (or close to them) for bismuth germanate single crystals of various diameters and lengths (mainly DK 50–70 mm, to 100–200 mm). More than 50 experiments were conducted on the prototype and analogues.
Все кристаллы, полученные в состветст- вии с формулой изобретени и описанием примера осуществлени , не имели трещин и дефектного нижнего конуса, бесцветные,All crystals obtained in accordance with the claims and the description of the embodiment, had no cracks and a defective lower cone, colorless,
прозрачные, без искажений цилиндрической формы боковой поверхности кристалла со следами выхода F-граней типа (112), с высотой верхнего конуса 10 -15 мм и дефектной зоной обратного конуса не более 10-15 мм - были пригодны дл изготовлени объемных длинномерных сцинтилл то- ров. Коэффициент использовани материала кристалла составил Q 1 - СИ - Q2 60% (СИ 8 - 10% составл ет верхний конус и дефектна область, прилегающа к нему; Q2 30-32% составл ют припуски на обработку - различие в объеме цилиндра и шестиугольной в сечении призмы, резка, шлифовка, полировка и т.п. При искажении формы кристалла эта дол возрастает до Q2 40-42%).transparent, without distortion of the cylindrical shape of the side surface of the crystal with traces of the exit of F-faces of type (112), with a height of the upper cone of 10 -15 mm and a defective zone of the inverse cone of no more than 10-15 mm - were suitable for the manufacture of volumetric long-length scintillators . The utilization of the material of the crystal was Q 1 - SI - Q2 60% (SI 8 - 10% is the upper cone and the defective area adjacent to it; Q2 30-32% are the processing allowances - the difference in cylinder volume and hexagonal cross-section prisms, cutting, grinding, polishing, etc. If the shape of the crystal is distorted, this fraction increases to Q2 40-42%).
Таким образом испытани показали, что за вл емый способ позвол ет существенно повысить коэффициент использовани материала кристалла. Указанный способ может быть использован и при выращивании других, сходных по свойствам с BGO, монокристаллов .Thus, tests have shown that the claimed method can significantly increase the utilization of the material of the crystal. The specified method can be used when growing other, similar in properties to BGO, single crystals.
Claims (1)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU914922227A RU1789578C (en) | 1991-03-28 | 1991-03-28 | Method of growing single crystals of bismuth germanate |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU914922227A RU1789578C (en) | 1991-03-28 | 1991-03-28 | Method of growing single crystals of bismuth germanate |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU1789578C true RU1789578C (en) | 1993-01-23 |
Family
ID=21566803
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU914922227A RU1789578C (en) | 1991-03-28 | 1991-03-28 | Method of growing single crystals of bismuth germanate |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU1789578C (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106894087A (en) * | 2017-04-21 | 2017-06-27 | 青海铸玛蓝宝石晶体有限公司 | A kind of bubble life preparation method of large-size sapphire single-crystal |
-
1991
- 1991-03-28 RU SU914922227A patent/RU1789578C/en active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Современна кристаллографи , том 3, Образование кристаллов А.А.Чернов, Е.И.Гивергизов, Х.С.Багдасаров, В.А.Кузнецов, Л.Н.Демь нец, А.Н.Лобочев, М.: Наука, 1980, с. 33. Р.Лодиз, Р.Паркер, Рост кристаллов. М.: Мир. 1974, с. 214. Авторское свидетельство СССР № 1700954, кл. С 30 В 15/00, 1989, непубл. П.К.Конаков, Г.Е.Веревочкин и др. Тепло- и массообмен при получении монокристаллов. М.: Изд. Металлурги . 1971, с. 231 - прототип. * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106894087A (en) * | 2017-04-21 | 2017-06-27 | 青海铸玛蓝宝石晶体有限公司 | A kind of bubble life preparation method of large-size sapphire single-crystal |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5779791A (en) | Process for controlling thermal history of Czochralski-grown silicon | |
US5607507A (en) | System for oxygen precipitation control in silicon crystals | |
US8337615B2 (en) | Method for producing a monocrystalline Si wafer having an approximately polygonal cross-section and corresponding monocrystalline Si wafer | |
US7300518B2 (en) | Apparatus and method for producing single crystal, and silicon single crystal | |
CN1417386A (en) | Heat shielding method and heat shield for vertically pulling crystal furnace | |
JP2007261935A (en) | METHOD FOR MANUFACTURING Si SINGLE CRYSTAL INGOT BY CZ METHOD | |
CN109097825A (en) | A kind of process for preventing pulling of crystals growth from shaking | |
JPS6046993A (en) | Device for pulling up single crystal | |
RU1789578C (en) | Method of growing single crystals of bismuth germanate | |
WO2019087469A1 (en) | Method for determining quality of silicon blocks, program for determining quality of silicon blocks, and method for producing silicon monocrystal | |
CN113957520A (en) | Manufacturing and processing method for improving germanium single crystal seed crystal defects | |
CN115404541B (en) | Crystal pulling method | |
US5820672A (en) | OISF control in czochralski-grown crystals | |
US5976246A (en) | Process for producing silicon single crystal | |
US10066313B2 (en) | Method of producing single crystal | |
CN1178844A (en) | Control method for temperature and time relation of silicon by checaoski growing | |
CN114481301A (en) | Production process for reducing Czochralski single crystal bract breaking | |
US5458083A (en) | Growth method for a rod form of single oxide crystal | |
CN114108073B (en) | Growth method of large-diameter monocrystalline silicon | |
JP3255753B2 (en) | Method of growing rutile rod-shaped single crystal | |
RU2193079C1 (en) | Method of production of monocrystalline silicon | |
JPS62197398A (en) | Method for pulling up single crystal | |
Oksanich et al. | Principles of the control system for dislocation-free silicon single crystal growing under maintaining the crystal diameter and melt temperature | |
CN1766179A (en) | High quality single crystal and method of growing the same | |
KR950007598B1 (en) | Method for decreasing dislocation of gaas single crystal by vertical temperature gradient |