RU1786369C

RU1786369C - Contact interferometer-testing glass

Info

Publication number: RU1786369C
Application number: SU904787615A
Authority: RU
Inventors: Владимир Григорьевич Костюткин; Сергей Александрович Радевич; Николай Максимович Спорник; Александр Федорович Туев
Original assignee: Гродненский Государственный Университет
Priority date: 1990-02-02
Filing date: 1990-02-02
Publication date: 1993-01-07

Abstract

Изобретение относитс к измерительной технике, более конкретно к интерференционным устройствам, и предназначено дл контрол погрешности формы полирован- ньГхповерхностей и радиусов кривизны в оптическом производстве и машиностроении . Цель изобретени - повышение производительности и точности контрол путем обеспечени контрол деталей, имеющих форму полусферы, полуцилиндра и подобных им крутых поверхностей, по всей поверхности одновременно. Пробное стекло выполнено в виде регул рного волоконно- оптического элемента 1, у которого входные торцы волокон расположены так, что образуют эталонную поверхность 4 и у каждого из волокон входной торец расположен перпендикул рно оси волокна. Интерференционна картина, возникающа при наложении эталонной поверхности 4 на контролируемую поверхность детали, наблюдаетс на поверхности 3, образованной выходными торцами волокон элемента 1, которые расположены так, что образуют поверхность , проекции которой на плоскости, перпендикул рной оси симметрии элемента 1, геометрически подобны аналогичным проекци м эталонной поверхности 4. 7 ил.The invention relates to measuring technique, and more particularly to interference devices, and is intended to control the error in the shape of polished Gx surfaces and radii of curvature in optical production and mechanical engineering. The purpose of the invention is to increase the productivity and accuracy of control by providing control of parts having the shape of a hemisphere, half cylinder and similar steep surfaces over the entire surface at the same time. The test glass is made in the form of a regular fiber-optic element 1, in which the input ends of the fibers are located so as to form a reference surface 4 and at each of the fibers, the input end is perpendicular to the fiber axis. The interference pattern that occurs when the reference surface 4 is superimposed on the surface of the part being monitored is observed on the surface 3 formed by the output ends of the fibers of element 1, which are positioned to form a surface whose projections on a plane perpendicular to the axis of symmetry of element 1 are geometrically similar to similar projections m reference surface 4. 7 ill.

Description

Изобретение относитс к измерительной технике, более конкретно к интерференционным устройствам, и предназначено дл контрол погрешности формы полированных поверхностей и радиусов кривизны в оптическом производстве, машиностроении и т.д.The invention relates to measuring technique, and more particularly to interference devices, and is intended to control the error in the shape of polished surfaces and radii of curvature in optical production, mechanical engineering, etc.

Известны интерферометры дл контрол радиусов кривизны и погрешностей формы полированных поверхностей. Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому , вл етс контактный интерферометр - пробное стекло дл контрол погрешности формы полированных поверхностей , выполненный в виде оптического элемента, одна из поверхностей которого вл етс эталонной и предназначена дл наложени на контролируемую поверхность 1.Interferometers are known for monitoring radii of curvature and shape errors of polished surfaces. The closest in technical essence to the proposed one is a contact interferometer — a test glass for controlling the shape error of polished surfaces, made in the form of an optical element, one of the surfaces of which is a reference and is intended to be superimposed on a controlled surface 1.

Недостаток известного пробного стеклаThe disadvantage of the known test glass

- низкие производительность и точность контрол деталей, имеющих форму полусферы , полуцилиндра и подобных им крутых поверхностей, из-за невозможности наблюдени интерференционной картины по всей контролируемой поверхности одновременно . .- low productivity and accuracy of control of parts having the shape of a hemisphere, half cylinder, and similar steep surfaces, due to the impossibility of observing an interference pattern over the entire controlled surface at the same time. .

Цель изобретени - повышение производительности и точности контрол путем обеспечени контрол деталей, имеющих форму полусферы, полуцилиндра и подобных им крутых поверхностей, по всей поверхности одновременно.The purpose of the invention is to increase the productivity and accuracy of control by providing control of parts having the shape of a hemisphere, half cylinder and similar steep surfaces over the entire surface at the same time.

На фиг. 1-7 изображена принципиальна оптическа схема контактного интерферометра - пробного стекла дл контрол погрешности полированных поверхностей.In FIG. Figures 1-7 are a schematic optical diagram of a contact interferometer - test glass for controlling the error of polished surfaces.

На фиг. 1-7 показан волоконно-оптический элемент (дл контрол полусферы - фиг. 1-4, полуцилиндра - фиг. 5-7) в разрезе , где 1 - волоконно-оптический элемент, 2 In FIG. 1-7 shows a fiber optic element (for controlling the hemisphere - Fig. 1-4, half-cylinder - Fig. 5-7) in a section, where 1 is a fiber optic element, 2

- контролируема Деталь, 3 - поверхность, на которой наблюдаетс интерференционна картина, 4 - эталонна поверхность. На фиг. 1 - 4 изображено пробное стекло дл контрол полусферы. На фиг. 4 - показано, что входные концы волокон расположены так, что образуют эталонную поверхность, и- a controlled Part; 3 - a surface on which an interference pattern is observed; 4 - a reference surface. In FIG. 1 to 4 show a test glass for hemisphere control. In FIG. 4 shows that the input ends of the fibers are arranged so as to form a reference surface, and

у каждого из волокон входной торец расположен перпендикул рно оптической оси волокна . На фиг. 2 и 3 показано подобие проекции эталонной поверхности 4 и поверхности 3, на которой наблюдаетс интерференционна картина,at each of the fibers, the inlet end is perpendicular to the optical axis of the fiber. In FIG. 2 and 3 show a similarity of the projection of the reference surface 4 and the surface 3, on which an interference pattern is observed.

Контактный интерферометр - пробное стекло работает следующим образом.Contact interferometer - test glass works as follows.

Волоконно-оптический элемент 1 эталонной поверхностью 4 накладываетс на контролируемую поверхность детали 2. Поверхность 3 освещаетс равномерно любым известным способом. Интерференционна картина, возникающа между эталонной иThe fiber optic element 1 with a reference surface 4 is superimposed on the controlled surface of the part 2. The surface 3 is uniformly illuminated by any known method. The interference pattern that arises between the reference and

контролируемой поверхностью и характеризующа точность изготовлени контролируемой поверхности, наблюдаетс на поверхности 3.controlled surface and characterizing the accuracy of the manufacture of the controlled surface is observed on the surface 3.

Применение пробного стекла в виде волоконно-оптического элемента, выполненного с торцом указанной формы, обеспечивает одновременный контроль всей крутой поверхности 1 онтролируемой детали, за счет чего повышаютс производительность и точность контрол .The use of a test glass in the form of a fiber-optic element made with an end face of this shape provides simultaneous control of the entire steep surface 1 of the part to be monitored, thereby increasing the performance and accuracy of the control.

Фор м у л а изобретени Контактный интерферометр - пробное стекло дл контрол погрешности формыSUMMARY OF THE INVENTION Contact interferometer — test glass for monitoring shape error

полированных поверхностей, выполненный в виде оптического элемента, одна из поверхностей которого вл етс эталонной и предназначена дл наложени на контролируемую поверхность, отличающийс polished surfaces made in the form of an optical element, one of the surfaces of which is a reference and is intended to be superimposed on a controlled surface, different

тем, что, с целью повышени произюди- тельности и точности контрол , оптический элемент выполнен в виде регул рного волоконно-оптического элемента, у которого входные торцы волокон расположены так,the fact that, in order to increase the performance and accuracy of the control, the optical element is made in the form of a regular fiber optic element, in which the input ends of the fibers are located so

что образуют эталонную поверхность, у каждого из волокон входной торец расположен перпендикул рно к оптической оси волокна, выходные торцы волокон расположены так, что образуют поверхность, проекции которой на плоскость, перпендикул рные к оси симметрии волоконно-оптического элемента , геометрически подобны аналогичным проекци м эталонной поверхности.that form the reference surface, at each of the fibers, the input end is perpendicular to the optical axis of the fiber, the output ends of the fibers are arranged so that they form a surface whose projections onto a plane perpendicular to the axis of symmetry of the fiber-optic element are geometrically similar to similar projections of the reference surface.

fad Aft/0/70&3 )fad Aft / 0/70 & 3)

St/dfiSt / dfi

f#0/70&4)f # 0/70 & 4)

фи г. 2fi g. 2

QJi/г.ЗQJi / g.Z