RU1781662C - Mirror corrector of wave-front - Google Patents

Mirror corrector of wave-front

Info

Publication number
RU1781662C
RU1781662C SU914908848A SU4908848A RU1781662C RU 1781662 C RU1781662 C RU 1781662C SU 914908848 A SU914908848 A SU 914908848A SU 4908848 A SU4908848 A SU 4908848A RU 1781662 C RU1781662 C RU 1781662C
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
piezoelectric elements
dielectric plate
plate
wavefront
holes
Prior art date
Application number
SU914908848A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Дмитрий Анатольевич Безуглов
Евгений Николаевич Мищенко
Original Assignee
Ростовское высшее военное командно-инженерное училище ракетных войск им.Неделина М.И.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ростовское высшее военное командно-инженерное училище ракетных войск им.Неделина М.И. filed Critical Ростовское высшее военное командно-инженерное училище ракетных войск им.Неделина М.И.
Priority to SU914908848A priority Critical patent/RU1781662C/en
Application granted granted Critical
Publication of RU1781662C publication Critical patent/RU1781662C/en

Links

Abstract

Использование: в качестве корректора волнового фронта в приемных и передающих оптических системах. Сущность изобретени : расширение функциональных возможностей за счет возможности управлени  наклонами фазового фронта, Корректор содержит диэлектрическую пластину, первые и вторые пьезоэлементы, отражающее покрытие и крепление. Корректор обеспечивает управление волновым фронтом как по положению, так и по наклонам. 3 ил.Usage: as a wavefront corrector in receiving and transmitting optical systems. SUMMARY OF THE INVENTION: expanding functionality due to the ability to control the slopes of the phase front. The corrector comprises a dielectric plate, first and second piezoelectric elements, reflective coating and fastening. The corrector provides control of the wavefront both in position and in slopes. 3 ill.

Description

Изобретение относитс  к области адаптивной оптики. Р частности к конструкци м деформируемых зеркал, и может быть использовано в качестве корректора волнового фронта в приемных и передающих оптических системах дл  компенсации искажени  волнового фронта светового излучени .The invention relates to the field of adaptive optics. In particular, to constructions of deformable mirrors, and can be used as a wavefront corrector in receiving and transmitting optical systems to compensate for wavefront distortion of light radiation.

Известны зеркальные корректоры фазового фронта, позвол ющие управл ть наклонами отдельных сегментов. Недостатком этих устройств  вл етс  сложность и большие габариты вследствие применени  в качестве ак- тюаторов пьезопакетов.Phase-front mirror correctors are known for controlling the slopes of individual segments. The disadvantage of these devices is the complexity and large dimensions due to the use of piezoelectric packs as actuators.

. Наиболее близким по технической сущности и достигаемому положительному гф- фекту к предлагаемому устройству  вл етс  деформируемое зеркало, содержащее диэлектрическую пластину и плиту. Фронтальна  поверхность пластины оптически отполирована и покрыта отражающим слоем . На поверхности пластины выполнены глухие цилиндрические отверсти  с выемкой и выступом, в которых расположены пьезоэлементи, выполненные в виде пары круглых дисков из пьезокерамики, соединенных разноименными полюсами. При подключении напр жени  к пьезоэлемен- там они изгибаютс  перпендикул рно плоскости отражающей поверхности, при этом одновременно с изгибом пьезоэлементов деформируетс  и отражающа  поверхность Недостатком прототипа  вл етс  невозможность управлени  наклонами волнового фронта.. The closest in technical essence and the achieved positive effect to the proposed device is a deformable mirror containing a dielectric plate and plate. The front surface of the plate is optically polished and coated with a reflective layer. On the surface of the plate there are blind cylindrical holes with a recess and a protrusion, in which piezoelectric elements are located, made in the form of a pair of circular disks made of piezoceramics connected by unlike poles. When the voltage is connected to the piezoelectric elements, they bend perpendicular to the plane of the reflecting surface, while simultaneously with the bending of the piezoelectric elements, the reflecting surface deforms as well. The disadvantage of the prototype is the inability to control the slopes of the wavefront.

Целью изобретени   вл етс  расширение функциональных возможностей за счет обеспечени  возможности управлени  наклонами волнового фронта.The aim of the invention is to expand the functionality by providing the ability to control the slopes of the wavefront.

Предлагаемый зеркальный корректор волнового фронта содержит диэлектрическую пластину, соединенную с первыми пьезоэлементами, выполненными в виде двух круглых дисков, соединенных разноименными полюсами пол ризации и закрепленными в выполненном в диэлектрической пластине цилиндрическом отверстии, глубина которого равна толщине первых пьезоэлементов. С диэлектрической пластиной соединена диэлектрическа  плита со сквозными отверсти ми, соосно которым выполнены цилиндрические глухие отверсти .The proposed wavefront mirror corrector contains a dielectric plate connected to the first piezoelectric elements made in the form of two circular disks connected by opposite polarization poles and fixed in a cylindrical hole made in the dielectric plate, the depth of which is equal to the thickness of the first piezoelectric elements. A dielectric plate is connected to the dielectric plate with through holes, coaxially with which cylindrical blind holes are made.

В отличие от прототипа в предложенном устройстве в диэлектрической пластине выполнены сквозные цилиндрические отверсти , соосные отверсти  в диэлектрической плите и диаметром, равным диаметруIn contrast to the prototype in the proposed device in the dielectric plate made through cylindrical holes, coaxial holes in the dielectric plate and a diameter equal to the diameter

сл Сsl c

VJ соVj co

о го oh go

глухих отверстий в плите, дополнительно введены креплени , вторые пьезоэлементы, каждый из которых выполнен в виде уни- морфной пьезопластины с металлической подложкой и четырьм  специализированными управл ющими электродами, гибкие св зи и отражающий элемент, при этом вторые пьезоэлементы соосно прикреплены к первым с помощью креплений. Гибкие св зи , расположенные по образующей вторых пьезоэлементов в центре соответствующих управл ющих электродов прикреплены к отражающему элементу. Отражающие элементы могут быть выполнены в виде сегментированных зеркал.blind holes in the plate, fixtures are additionally introduced, the second piezoelectric elements, each of which is made in the form of an amorphous piezoelectric plate with a metal substrate and four specialized control electrodes, flexible connections and a reflective element, while the second piezoelectric elements are coaxially attached to the first by means of fasteners . Flexible couplings located along the generatrix of the second piezoelectric elements in the center of the respective control electrodes are attached to the reflective element. Reflecting elements can be made in the form of segmented mirrors.

На фиг. 1. 2 представлены варианты выполнени  одного привода предложенного корректора волнового фронта; на фиг. 3 - внешний вид сегментированных электродов вторых пьеэоэлементов.In FIG. 1. 2 shows embodiments of one drive of the proposed wavefront corrector; in FIG. 3 - the appearance of the segmented electrodes of the second piezoelectric elements.

На фиг, 1,2,3 прин ты следующие обозначени : 1 -диэлектрическа  пластина; 2 - первые пьезоэлементы; 3 - диэлектрическа  плита; 4 - крепление; 5 - вторые пьезоэлементы; 6-секционированные электроды вторых пьезоэлементов; 7 - гибкие т ги, 8 - отражающий элемент.In Figs. 1, 2, 3, the following notation is adopted: 2 - the first piezoelectric elements; 3 - dielectric plate; 4 - mount; 5 - second piezoelectric elements; 6-sectioned electrodes of the second piezoelectric elements; 7 - flexible rods; 8 - reflective element.

На фиг 1,2, 3 Диэлектрическа  пластина 1 со сквозными отверсти ми соединена с первыми пьезоэлементами 2, выполненными в виде двух круглых дисков, соединенных разноименными полюсами пол ризации и закрепленными в выполненном в диэлектрической пластине 1 цилиндрическом отверстии, глубина которого равна толщине первых пьезоэлементов 2. С диэлектрической пластиной 1 соединена диэлектрическа  плита 3 со сквозными отверсти ми , соосно которым выполнены цилиндрические глухие отверсти , диаметр которых равен диаметру сквозных отверстий в диэлектрической пластине 1. Сквозное отверстие в диэлектрической плите 3 выполнено соосно с глухим отверстием в диэлектрической пластине 1. С помощью креплени  А вторые пьезоэлементы 5 с четырьм  секционированными электродами б соединены с первыми пьезоэлементами 2. С помощью гибких т г 7, расположенных по образующей вторых пьезоэлементов в центре соответствующих управл ющих электродов , вторые пьезоэлементы 5 прикреплены к отражающему элементу 8 в виде мембраны. Отражающий элемент 8 может быть также выполнен в виде сегментированных зеркал. На фиг. 1, 2, 3. приведено устройство только одного провода. В корректоре волнового фронта число таких приводов , выполненных аналогично, может быть произвольным и определ етс  требованием точности аппроксимации волнового фронта.In Figs. 1,2, 3, a dielectric plate 1 with through holes is connected to the first piezoelectric elements 2 made in the form of two circular disks connected by unlike poles of polarization and fixed in a cylindrical hole made in the dielectric plate 1, the depth of which is equal to the thickness of the first piezoelectric elements 2 A dielectric plate 3 is connected to the dielectric plate 1 with through holes, coaxially with which there are cylindrical blind holes, the diameter of which is equal to the diameter of the through holes in the die the electric plate 1. The through hole in the dielectric plate 3 is made coaxially with the blind hole in the dielectric plate 1. Using the fastener A, the second piezoelectric elements 5 with four sectioned electrodes b are connected to the first piezoelectric elements 2. Using flexible wires 7 located along the generatrix of the second piezoelectric elements in the center of the respective control electrodes, the second piezoelectric elements 5 are attached to the reflective element 8 in the form of a membrane. The reflecting element 8 can also be made in the form of segmented mirrors. In FIG. 1, 2, 3. The device of only one wire is shown. In the wavefront corrector, the number of such drives made in a similar way can be arbitrary and is determined by the requirement of accuracy of the wavefront approximation.

Устройство работает следующим образом , Волновой фронт при кусочно-линейнойThe device operates as follows, the wavefront with piecewise linear

аппроксимации обычно представл ет в виде:approximations are usually represented as:

р i(x,y) ai + Kxix + Kyiy, где р i(x,y) - фазовый фронт; ai - сдвиг;p i (x, y) ai + Kxix + Kyiy, where p i (x, y) is the phase front; ai is the shift;

Kxi и Kyi - наклоны по х и у.Kxi and Kyi - x and y slopes.

При подаче на первые пьезоэлементы напр жени , пропорционального а лсуществ- л етс  коррекци  сдвигов. При подаче на первые электроды 6 разнопол рного относительно металлической, подложки напр жени , пропорционального Kxi, а на вторые, электроды 6 - разнопол рного относительно металлической подложки напр жени , пропорционального Kyi, осуществл етс When a voltage is proportional to the first piezoelectric elements, shear correction is carried out. When a voltage proportional to Kxi is applied to the first electrodes 6, a voltage proportional to Ki is mixed with respect to the metal substrate, and a voltage proportional to Kyi is supplied to the second electrodes 6, which is proportional to the metal substrate,

коррекци  наклонов волнового фронта, Это происходит за счет отгиба краев второго пьезоэлемента.correction of the slopes of the wavefront. This is due to the bending of the edges of the second piezoelectric element.

При реализации корректора волнового фронта в качестве пьезоэлементов могутWhen implementing the wavefront corrector as piezoelectric elements,

быть, например, использованы пьезоэлементы на основе пьезокерамики ЦТБС-3.for example, piezoelectric elements based on the TsTBS-3 piezoceramics should be used.

Предложенное устройство выгодно отличаетс  от прототипа возможностью управлени  волновым фронтом как поThe proposed device compares favorably with the prototype with the ability to control the wavefront as in

сдвигам, так и по наклонам. Такое управление существенным образом повышает эффективность коррекции.shifts and slopes. Such control significantly increases the effectiveness of the correction.

Claims (1)

Формула изобретени  Зеркальный корректор волнового фронта , содержащий диэлектрическую пластину, соединенную с первыми пьезоэлементами, выполненными в виде двух круглых дисков, соединенных разноименными полюсами пол ризации и закрепленными в выполненном в диэлектрической пластине глухом цилиндрическом отверстии,глубина которого, равна толщине первых пьезоэлементов, с диэлектрической пластиной соединена диэлектрическа  плита со сквозными отверсти ми , соосно которым выполнены цилиндрические глухие отверсти , отличающийс  тем, что, с целью расширени  функциональных возможностей за счет обеспечени  возможности управлени  наклонами , в диэлектрической пластине выполнены цилиндрические отверсти , соосные отверсти м в диэлектрической плите, и диаметром, равным диаметру глухих отверстий в плите, дополнительно введены креплени , вторыеSUMMARY OF THE INVENTION A wavefront mirror corrector comprising a dielectric plate connected to the first piezoelectric elements made in the form of two circular disks connected by opposite polarization poles and fixed in a blind cylindrical hole made in the dielectric plate, the depth of which is equal to the thickness of the first piezoelectric elements, with a dielectric plate a dielectric plate is connected with through holes, coaxially with which cylindrical blind holes are made, characterized in that for the purpose of expanding the functional capabilities by providing control tiltably in the dielectric plate cylinder openings formed coaxial apertures in the insulating plate, and a diameter equal to the diameter of the blind holes in the plate, further administered attachment second 5 пьезоэлементы, каждый из которых выполнен в сиде униморфной пьезопластины с металлической подложкой и четырьм  секционированными управл ющими электродами , гибкие св зи и отражающий элемент,5 piezoelectric elements, each of which is made in a side of a unimorphic piezoelectric plate with a metal substrate and four sectioned control electrodes, flexible connections and a reflective element, 517816626517816626 при этом вторые пьезоэлементы соосно зующей вторых пьезоэлементов в центре прикреплены к первым с помощью крепле- соответствующих управл ющих электродов ний, гибкие св зи, расположенные по обра- прикреплены к отражающему элементу.in this case, the second piezoelectric elements coaxially of the second piezoelectric elements in the center are attached to the first by means of fastening control electrodes, flexible connections arranged in the opposite direction to the reflective element. Фиг./Fig. / «3("3 ( Х. J -T : V l iJj r - l4i V|y -4r3 X. J -T: V l iJj r - l4i V | y -4r3 V4 1- VV 8 : «4 4«-1 V4 1- VV 8: “4 4“ -1 Ф&. SF &. S 88
SU914908848A 1991-02-07 1991-02-07 Mirror corrector of wave-front RU1781662C (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU914908848A RU1781662C (en) 1991-02-07 1991-02-07 Mirror corrector of wave-front

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU914908848A RU1781662C (en) 1991-02-07 1991-02-07 Mirror corrector of wave-front

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU1781662C true RU1781662C (en) 1992-12-15

Family

ID=21559203

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU914908848A RU1781662C (en) 1991-02-07 1991-02-07 Mirror corrector of wave-front

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU1781662C (en)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
ТИИЭР, 1978, т.66, Мз 6, с. 58-59. Авторское свидетельство СССР № 1485180, кл. G 02 В 5/10 1987. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5151814A (en) Phased array for optical beam control
US4937539A (en) Phased array for optical beam control
KR100274482B1 (en) Method and apparatus for modulating light beam
US4331972A (en) Light valve, light valve display, and method
US6307663B1 (en) Spatial light modulator with conformal grating device
US4736132A (en) Piezoelectric deformable mirrors and gratings
CA2096119C (en) Piezoelectric and electrostrictive actuators
US5281887A (en) Two independent spatial variable degree of freedom wavefront modulator
US3796480A (en) Membrane light modulator
US10571684B2 (en) Micro-mirror array having pillars which form portions of electrical paths between mirror electrodes and mirrors
LV11713B (en) Multilayer piezoelectric deformable bimorf mirror
EP0352302B1 (en) Phase controlled light deflector
RU1781662C (en) Mirror corrector of wave-front
EP0793120A1 (en) Mosaic adaptive bimorph mirror
US5689380A (en) Thin film actuated mirror array for providing double tilt angle
US3544202A (en) Beam-deflection apparatus
US5710657A (en) Monomorph thin film actuated mirror array
US20140192399A1 (en) Asymmetrical deformable diffractive grating modulator
JPH02178602A (en) Vari-focal lens
US7027201B2 (en) Optical modulation element and projection apparatus
WO1998045746A1 (en) An electromagnetic wave modulator
SU1695252A1 (en) Wave-front mirror corrector
JPH02176701A (en) Variable curvature type mirror
RU2186412C1 (en) Adaptive mirror
SU1599824A1 (en) Thin-film deformable mirror