RU1781620C - Пьезоэлектрический акселерометр - Google Patents

Пьезоэлектрический акселерометр

Info

Publication number
RU1781620C
RU1781620C SU904881504A SU4881504A RU1781620C RU 1781620 C RU1781620 C RU 1781620C SU 904881504 A SU904881504 A SU 904881504A SU 4881504 A SU4881504 A SU 4881504A RU 1781620 C RU1781620 C RU 1781620C
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
base
accelerometer
piezoelectric
piezoelectric elements
samples
Prior art date
Application number
SU904881504A
Other languages
English (en)
Inventor
Анатолий Михайлович Лимарев
Виктор Иванович Донсков
Original Assignee
Особое конструкторско-технологическое бюро "Пьезоприбор" при Ростовском государственном университете
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Особое конструкторско-технологическое бюро "Пьезоприбор" при Ростовском государственном университете filed Critical Особое конструкторско-технологическое бюро "Пьезоприбор" при Ростовском государственном университете
Priority to SU904881504A priority Critical patent/RU1781620C/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU1781620C publication Critical patent/RU1781620C/ru

Links

Landscapes

  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

Использование: в измерительной технике . Сущность изобретени : пьезоэлектрический акселерометр, содержащий основание, инерционную массу и расположенные между ними пьезопреобразователи. В основании выполнены осесимметричные выборки с образованием пересекающихс  плоскостей, имеющих перпендикул рные торцевой поверхности основани  плоские боковые грани, на каждой из которых закреплены плоские пьезоэлектрические элементы, причем инерционна  масса состоит из нескольких частей и кажда  по форме повтор ет выборку. 3 ил.

Description

Предполагаемое изобретение относитс  к области измерительной техники, в частности , к измерению вибрационныхускорений с использованием пьезоэлектрических преобразователей или акселерометров.
Известны пьезоэлектрические акселерометры фирмы Брюль и Кьер (Дани ) фабричной марки Delta Sheaz, в которых плоские пьезоэлементы в количестве 3-х штук размещены на гран х треугольной призмы. Пьезоэлементы погружены инерционными массами и поджаты кольцом, охватывающим все три элементы,
Поджатие в виде единого кольца может быть существенно либо металлом, обладающим пам тью, либо при повышенной температуре кольца. И в том. и в другом случае температурный диапазон акселерометра ограничен температурой, при которой ещё сохран етс  упругое поджэтие элементов.
Кроме того, совместное поджатие трех элементов требует очень высокой точности
и чистоты обработки как металлических деталей , так и пьезокерамики. В Частности, чистота обработки пьезокерамики и сопр гаемых с ней металлических поверхностей должна быть не ниже 8-10 класса.
Собственна  электрическа  емкость акселерометра ограничена наличием только 3-х пъезоэлементов, что  вл етс  серьезным недостатком при работе акселерометра на удлиненные линии.
Известны также пьезоэлектрические акселерометры фирмы Endevco (США) конструктивной схемы ИЗОШИР, в которых пакеты плоских пьезоэлементов размещены с двух сторон ножевой опоры и ст нуты единой шпилькой. Основной недостаток этой конструкции - сравнительно низкий резонанс (не более 32 кГц) при достаточно высокой емкости, котора  набрана из пакета пьезоэлементов, соединенных электрически параллельно. В этом также заключен определенный недостаток конструкции, так
как необходимо обеспечить токосъем с рэз- нознаковых электродов пьезоэлементов, а это требует введени  токосъемных шайб. Конструкци  становитс  громоздкой, между пьезоэлементами наход тс  промежуточные слои, снижающие жесткость, прочность и однородность чувствительных узлов, что и приводит к снижению резонансной частоты и температурного диапазона.
Ближайшим аналогом изобретени   вл етс  пьезоакселерометр, в котором основание выполнено в виде многогранника в частности, в форме усеченной пирамиды, на боковых гран х которой укреплены пьезоп- реобразователи, а инерционна  масса снабжена вырезом по форме многогранника.
Выполнение инерционной массы с вырезом , идеально подогнанным ко всем поверхност м усеченной пирамиды, практически не дает возможность реализо- . вать это техническое решение. Это обусловлено необходимостью высокой точности подгонки металлических поверхностей ко всем пьезоэлементам, расположенным на гран х многогранника, что приданной форме сопр гаемых поверхностей достигнуть не удаетс . Така  подгонка возможна при конусных поверхност х, цилиндрических, т.е. обладающих осевой симметрией.
Цель изобретени  - повышение коэффициента преобразовани  и увеличение резонансной частоты.
Указанна  цель достигаетс  тем, что в пьезоэлектрическом акселерометре, содержащем основание, инерционную массу и расположенные между ними пьезопреобра- зователи в основании выполнены осесим- метричные выборки с образованием пересекающихс  плоскостей, имеющих перпендикул рные торцевой поверхности основани  плоские боковые грани, на каждой из которых закреплены плоские пьезоэлектрические элементы, причем инерционна  масса состоит из нескольких частей и кажда  по форме повтор ет выборки .
Достижение положительного эффекта при использовании за вл емой совокупности существенных признаков обусловлено следующим.
Наличие выборок в верхней части основани  позвол ет увеличить число поверхностей дл  размещени  пьезоэлементов при тех же габаритных ограничени х, что создает услови  дл  резкого возрастани  чувствительности акселерометра по зар ду, а нагружени  пьезоэлементов инерционной массой в выборках приближает ее к геометрической оси, повышает жесткость ее креплени  и конструкции в целом, тем самым повыша  резонансную частоту.
На фиг. 1 показан вид сбоку акселерометра; на фиг. 2 - то же, вид сверху; на фиг.
3 - торцова  поверхность верхней части основани  с четырьм  выборками, вид сверху. Акселерометр содержит основание 1, на торцевой поверхности верхней части которого (фиг.З) выполнены осесимметричные
0 выборки, имеющие плоские боковые грани 2, перпендикул рные торцевой поверхности основани . На каждой из боковых граней выборок закреплены (приклеены) плоские пьезоэлектрические элементы 3,
5 попарно, подгруженные инерционными массами 4, размещенными в выборках и имеющими форму повтор ющую форму выборки , котора  может быть, например, клиновидной , трапецеидальной или
0 пр моугольной.
Дл  упрощени  технологии изготовлени  верхн   часть основани  с выборками на ее торцевой поверхности может быть изготовлена в виде отдельной детали, пред5 ставл ющей собой, например, крестовину (при упом нутой форме выборки), число которых равно 4/360°, ), которую закреп- л ют на основании (приваривают, приклеивают прит гивают винтами) так, что
0 между пьезоэлементами с инерционными массами и основанием имеетс  зазор. Этим обеспечиваетс  работа пьезоэлементов на сдвиг.
Инерционные элементы 4 электрически
5 закорачиваютс  и соедин ютс  с центральной жилой измерительного кабел  (на фиг. не показан), а основание замыкают на экран кабел .
Акселерометр закрепл етс  на исследу0 емом объекте с помощью шпильки.
В предлагаемой конструкции инерционные массы могут быть выполнены выступающими над торцевой поверхностью верхней части основани  (крестовины) в осевом на5 правлении, а чувствительный узел, образованный верхней частью основани  с размещенными в его выборках пьезоэлементами и инерционными массами, может быть перевернут и установлен на нижней части
0 основани  на инерционные массы. При таком выполнении конструкции инерционные массы станов тс  опорой и выполн ют роль основани  акселерометра, а крестовина - инерционным элементом. Этим достигаетс 
5 резкое увеличение коэффициента преобразовани  акселерометра при некотором снижении резонансной частоты.
Реализаци  конструкции обеспечивает универсальность применени  предлагаемого акселерометра.
Акселерометр работает следующим образом .
При воздействии динамического сигнала вдоль продольной оси акселерометра, инерционные массы 4 установленные с зазором относительно основани  1, вследствие инерции смещаютс  вверх или вниз, деформиру  пьезоэлементы 3 на срез. Пропорционально деформации на электродах пьезоэлементов возникают электрические зар ды, которые через измерительный кабель подаютс  на вход измерительного прибора .
Макетный образец акселерометра массой 6 г и габаритами 016 х 14 мм (без крепежной шпильки) показал коэффициент преобразовани  той же величины, что и акселерометр типа 4391 (Delta 5пеаг,Брюль и Къер, Дани ), при резонансной частоте, вдвое большей (40 кГц - тип 4391, 72-82 кГц - за вл емый акселерометр).
Преимущества за вл емого пьезоаксе- лерометра по сравнению с аналогами заключаетс  в следующем.
Достоинства конструкции ИЗОШИР (Erdevco Corp, США), выраженные в сравнительно высокой емкости, реализуетс  за счет того, что в конструкции имеетс  пьезоэлементов вдвое больше числа выборок. При этом сохран етс  высока  резонансна 
частота, фактически равна  резонансной частоте одного чувствительного узла, размещенного в данной выборке. Доступность обработки поверхностей выборок создает неоспоримое предпосылки дл  реализации конструкции предполагаемого изобретени .
Конструкци  имеет и существенные преимущества перед фабричной маркой Delta Sheaz Брюль и Кьер,Дани ),так как позвол ет в тех же габаритах реализовать, по крайней мере, удвоенную емкость, что дает возможность вдвое увеличить коэффициент преобразовани  по зар ду.

Claims (1)

  1. Формула изобретени  Пьезоэлектрический акселерометр, содержащий основание, инерционную массу и расположенные между ними пьезопреобра- зователи, отличающийс  тем, что, с целью повышени  коэффициента преобразование и увеличение резонансной частоты, в основании выполнены осесимметричные выборки с образованием пересекающихс  плоскостей, имеющих перпендикул рные торцевой поверхности основани  плоские боковые грани, на каждой из которых закреплены плоские пьезоэлектрические элементы , причем инерционна  масса состоит из нескольких частей и кажда  по форме повтор ет выборки.
    Фаг. 2
SU904881504A 1990-11-11 1990-11-11 Пьезоэлектрический акселерометр RU1781620C (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU904881504A RU1781620C (ru) 1990-11-11 1990-11-11 Пьезоэлектрический акселерометр

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU904881504A RU1781620C (ru) 1990-11-11 1990-11-11 Пьезоэлектрический акселерометр

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU1781620C true RU1781620C (ru) 1992-12-15

Family

ID=21544675

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU904881504A RU1781620C (ru) 1990-11-11 1990-11-11 Пьезоэлектрический акселерометр

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU1781620C (ru)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Акселерометр фирмы Endevco US серии 7701-50, см. Каталог, 1982. Авторское свидетельство СССР Ns 357527, кл. G 01 Р 15/09, 1971. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8082790B2 (en) Solid-state inertial sensor on chip
US5512794A (en) Shear accelerometer
US5117696A (en) Biaxial accelerometer
US6634231B2 (en) Accelerometer strain isolator
US3060333A (en) High capacity accelerometer
US5572081A (en) Accelerometer
CN110865205A (zh) 振动梁加速度计
US4052628A (en) Dynamic, shear-mode piezoelectric pressure sensor
CN211603247U (zh) 一种三轴加速度传感器
RU1781620C (ru) Пьезоэлектрический акселерометр
RU2582910C1 (ru) Пьезоакселерометр
RU2061242C1 (ru) Трехкомпонентный пьезоэлектрический виброакселерометр с одним чувствительным элементом
DE2845008A1 (de) Beschleunigungsaufnehmer
SU1449959A1 (ru) Трехкомпонентный пьезоэлектрический сейсмометр
SU1187125A1 (ru) Трехкомпонентный пьезоэлектрический сейсмометр
SU1682938A1 (ru) Пьезоэлектрический акселерометр
RU190397U1 (ru) Микромеханический осевой акселерометр
RU2017160C1 (ru) Пьезоэлектрический акселерометр
SU1760462A1 (ru) Трехкомпонентный пьезоэлектрический акселерометр
RU143487U1 (ru) Пьезоэлектрический сдвиговый датчик акселерометра
RU2229136C1 (ru) Трехкомпонентный пьезоэлектрический виброакселерометр с одним чувствительным элементом
SU1561045A1 (ru) Пьезоэлектрический акселерометр
RU2046348C1 (ru) Акселерометр
SU628444A1 (ru) Преобразователь виброускорений
JP3129022B2 (ja) 加速度センサ