RU1781620C - Пьезоэлектрический акселерометр - Google Patents
Пьезоэлектрический акселерометрInfo
- Publication number
- RU1781620C RU1781620C SU904881504A SU4881504A RU1781620C RU 1781620 C RU1781620 C RU 1781620C SU 904881504 A SU904881504 A SU 904881504A SU 4881504 A SU4881504 A SU 4881504A RU 1781620 C RU1781620 C RU 1781620C
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- base
- accelerometer
- piezoelectric
- piezoelectric elements
- samples
- Prior art date
Links
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
Использование: в измерительной технике . Сущность изобретени : пьезоэлектрический акселерометр, содержащий основание, инерционную массу и расположенные между ними пьезопреобразователи. В основании выполнены осесимметричные выборки с образованием пересекающихс плоскостей, имеющих перпендикул рные торцевой поверхности основани плоские боковые грани, на каждой из которых закреплены плоские пьезоэлектрические элементы, причем инерционна масса состоит из нескольких частей и кажда по форме повтор ет выборку. 3 ил.
Description
Предполагаемое изобретение относитс к области измерительной техники, в частности , к измерению вибрационныхускорений с использованием пьезоэлектрических преобразователей или акселерометров.
Известны пьезоэлектрические акселерометры фирмы Брюль и Кьер (Дани ) фабричной марки Delta Sheaz, в которых плоские пьезоэлементы в количестве 3-х штук размещены на гран х треугольной призмы. Пьезоэлементы погружены инерционными массами и поджаты кольцом, охватывающим все три элементы,
Поджатие в виде единого кольца может быть существенно либо металлом, обладающим пам тью, либо при повышенной температуре кольца. И в том. и в другом случае температурный диапазон акселерометра ограничен температурой, при которой ещё сохран етс упругое поджэтие элементов.
Кроме того, совместное поджатие трех элементов требует очень высокой точности
и чистоты обработки как металлических деталей , так и пьезокерамики. В Частности, чистота обработки пьезокерамики и сопр гаемых с ней металлических поверхностей должна быть не ниже 8-10 класса.
Собственна электрическа емкость акселерометра ограничена наличием только 3-х пъезоэлементов, что вл етс серьезным недостатком при работе акселерометра на удлиненные линии.
Известны также пьезоэлектрические акселерометры фирмы Endevco (США) конструктивной схемы ИЗОШИР, в которых пакеты плоских пьезоэлементов размещены с двух сторон ножевой опоры и ст нуты единой шпилькой. Основной недостаток этой конструкции - сравнительно низкий резонанс (не более 32 кГц) при достаточно высокой емкости, котора набрана из пакета пьезоэлементов, соединенных электрически параллельно. В этом также заключен определенный недостаток конструкции, так
как необходимо обеспечить токосъем с рэз- нознаковых электродов пьезоэлементов, а это требует введени токосъемных шайб. Конструкци становитс громоздкой, между пьезоэлементами наход тс промежуточные слои, снижающие жесткость, прочность и однородность чувствительных узлов, что и приводит к снижению резонансной частоты и температурного диапазона.
Ближайшим аналогом изобретени вл етс пьезоакселерометр, в котором основание выполнено в виде многогранника в частности, в форме усеченной пирамиды, на боковых гран х которой укреплены пьезоп- реобразователи, а инерционна масса снабжена вырезом по форме многогранника.
Выполнение инерционной массы с вырезом , идеально подогнанным ко всем поверхност м усеченной пирамиды, практически не дает возможность реализо- . вать это техническое решение. Это обусловлено необходимостью высокой точности подгонки металлических поверхностей ко всем пьезоэлементам, расположенным на гран х многогранника, что приданной форме сопр гаемых поверхностей достигнуть не удаетс . Така подгонка возможна при конусных поверхност х, цилиндрических, т.е. обладающих осевой симметрией.
Цель изобретени - повышение коэффициента преобразовани и увеличение резонансной частоты.
Указанна цель достигаетс тем, что в пьезоэлектрическом акселерометре, содержащем основание, инерционную массу и расположенные между ними пьезопреобра- зователи в основании выполнены осесим- метричные выборки с образованием пересекающихс плоскостей, имеющих перпендикул рные торцевой поверхности основани плоские боковые грани, на каждой из которых закреплены плоские пьезоэлектрические элементы, причем инерционна масса состоит из нескольких частей и кажда по форме повтор ет выборки .
Достижение положительного эффекта при использовании за вл емой совокупности существенных признаков обусловлено следующим.
Наличие выборок в верхней части основани позвол ет увеличить число поверхностей дл размещени пьезоэлементов при тех же габаритных ограничени х, что создает услови дл резкого возрастани чувствительности акселерометра по зар ду, а нагружени пьезоэлементов инерционной массой в выборках приближает ее к геометрической оси, повышает жесткость ее креплени и конструкции в целом, тем самым повыша резонансную частоту.
На фиг. 1 показан вид сбоку акселерометра; на фиг. 2 - то же, вид сверху; на фиг.
3 - торцова поверхность верхней части основани с четырьм выборками, вид сверху. Акселерометр содержит основание 1, на торцевой поверхности верхней части которого (фиг.З) выполнены осесимметричные
0 выборки, имеющие плоские боковые грани 2, перпендикул рные торцевой поверхности основани . На каждой из боковых граней выборок закреплены (приклеены) плоские пьезоэлектрические элементы 3,
5 попарно, подгруженные инерционными массами 4, размещенными в выборках и имеющими форму повтор ющую форму выборки , котора может быть, например, клиновидной , трапецеидальной или
0 пр моугольной.
Дл упрощени технологии изготовлени верхн часть основани с выборками на ее торцевой поверхности может быть изготовлена в виде отдельной детали, пред5 ставл ющей собой, например, крестовину (при упом нутой форме выборки), число которых равно 4/360°, ), которую закреп- л ют на основании (приваривают, приклеивают прит гивают винтами) так, что
0 между пьезоэлементами с инерционными массами и основанием имеетс зазор. Этим обеспечиваетс работа пьезоэлементов на сдвиг.
Инерционные элементы 4 электрически
5 закорачиваютс и соедин ютс с центральной жилой измерительного кабел (на фиг. не показан), а основание замыкают на экран кабел .
Акселерометр закрепл етс на исследу0 емом объекте с помощью шпильки.
В предлагаемой конструкции инерционные массы могут быть выполнены выступающими над торцевой поверхностью верхней части основани (крестовины) в осевом на5 правлении, а чувствительный узел, образованный верхней частью основани с размещенными в его выборках пьезоэлементами и инерционными массами, может быть перевернут и установлен на нижней части
0 основани на инерционные массы. При таком выполнении конструкции инерционные массы станов тс опорой и выполн ют роль основани акселерометра, а крестовина - инерционным элементом. Этим достигаетс
5 резкое увеличение коэффициента преобразовани акселерометра при некотором снижении резонансной частоты.
Реализаци конструкции обеспечивает универсальность применени предлагаемого акселерометра.
Акселерометр работает следующим образом .
При воздействии динамического сигнала вдоль продольной оси акселерометра, инерционные массы 4 установленные с зазором относительно основани 1, вследствие инерции смещаютс вверх или вниз, деформиру пьезоэлементы 3 на срез. Пропорционально деформации на электродах пьезоэлементов возникают электрические зар ды, которые через измерительный кабель подаютс на вход измерительного прибора .
Макетный образец акселерометра массой 6 г и габаритами 016 х 14 мм (без крепежной шпильки) показал коэффициент преобразовани той же величины, что и акселерометр типа 4391 (Delta 5пеаг,Брюль и Къер, Дани ), при резонансной частоте, вдвое большей (40 кГц - тип 4391, 72-82 кГц - за вл емый акселерометр).
Преимущества за вл емого пьезоаксе- лерометра по сравнению с аналогами заключаетс в следующем.
Достоинства конструкции ИЗОШИР (Erdevco Corp, США), выраженные в сравнительно высокой емкости, реализуетс за счет того, что в конструкции имеетс пьезоэлементов вдвое больше числа выборок. При этом сохран етс высока резонансна
частота, фактически равна резонансной частоте одного чувствительного узла, размещенного в данной выборке. Доступность обработки поверхностей выборок создает неоспоримое предпосылки дл реализации конструкции предполагаемого изобретени .
Конструкци имеет и существенные преимущества перед фабричной маркой Delta Sheaz Брюль и Кьер,Дани ),так как позвол ет в тех же габаритах реализовать, по крайней мере, удвоенную емкость, что дает возможность вдвое увеличить коэффициент преобразовани по зар ду.
Claims (1)
- Формула изобретени Пьезоэлектрический акселерометр, содержащий основание, инерционную массу и расположенные между ними пьезопреобра- зователи, отличающийс тем, что, с целью повышени коэффициента преобразование и увеличение резонансной частоты, в основании выполнены осесимметричные выборки с образованием пересекающихс плоскостей, имеющих перпендикул рные торцевой поверхности основани плоские боковые грани, на каждой из которых закреплены плоские пьезоэлектрические элементы , причем инерционна масса состоит из нескольких частей и кажда по форме повтор ет выборки.Фаг. 2
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU904881504A RU1781620C (ru) | 1990-11-11 | 1990-11-11 | Пьезоэлектрический акселерометр |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU904881504A RU1781620C (ru) | 1990-11-11 | 1990-11-11 | Пьезоэлектрический акселерометр |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU1781620C true RU1781620C (ru) | 1992-12-15 |
Family
ID=21544675
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU904881504A RU1781620C (ru) | 1990-11-11 | 1990-11-11 | Пьезоэлектрический акселерометр |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU1781620C (ru) |
-
1990
- 1990-11-11 RU SU904881504A patent/RU1781620C/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Акселерометр фирмы Endevco US серии 7701-50, см. Каталог, 1982. Авторское свидетельство СССР Ns 357527, кл. G 01 Р 15/09, 1971. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8082790B2 (en) | Solid-state inertial sensor on chip | |
US5512794A (en) | Shear accelerometer | |
US5117696A (en) | Biaxial accelerometer | |
US6634231B2 (en) | Accelerometer strain isolator | |
US3060333A (en) | High capacity accelerometer | |
US5572081A (en) | Accelerometer | |
CN110865205A (zh) | 振动梁加速度计 | |
US4052628A (en) | Dynamic, shear-mode piezoelectric pressure sensor | |
CN211603247U (zh) | 一种三轴加速度传感器 | |
RU1781620C (ru) | Пьезоэлектрический акселерометр | |
RU2582910C1 (ru) | Пьезоакселерометр | |
RU2061242C1 (ru) | Трехкомпонентный пьезоэлектрический виброакселерометр с одним чувствительным элементом | |
DE2845008A1 (de) | Beschleunigungsaufnehmer | |
SU1449959A1 (ru) | Трехкомпонентный пьезоэлектрический сейсмометр | |
SU1187125A1 (ru) | Трехкомпонентный пьезоэлектрический сейсмометр | |
SU1682938A1 (ru) | Пьезоэлектрический акселерометр | |
RU190397U1 (ru) | Микромеханический осевой акселерометр | |
RU2017160C1 (ru) | Пьезоэлектрический акселерометр | |
SU1760462A1 (ru) | Трехкомпонентный пьезоэлектрический акселерометр | |
RU143487U1 (ru) | Пьезоэлектрический сдвиговый датчик акселерометра | |
RU2229136C1 (ru) | Трехкомпонентный пьезоэлектрический виброакселерометр с одним чувствительным элементом | |
SU1561045A1 (ru) | Пьезоэлектрический акселерометр | |
RU2046348C1 (ru) | Акселерометр | |
SU628444A1 (ru) | Преобразователь виброускорений | |
JP3129022B2 (ja) | 加速度センサ |