RU1778583C - Low pressure gauge - Google Patents
Low pressure gaugeInfo
- Publication number
- RU1778583C RU1778583C SU904841052A SU4841052A RU1778583C RU 1778583 C RU1778583 C RU 1778583C SU 904841052 A SU904841052 A SU 904841052A SU 4841052 A SU4841052 A SU 4841052A RU 1778583 C RU1778583 C RU 1778583C
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- chamber
- pressure
- chambers
- vacuum
- measuring
- Prior art date
Links
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к измерительной технике и предназначено дл измерени низких давлений в диапазоне (2.0...1Х )133 Па в барокамере. Цель изобретени - повышение точности измерени сверхнизкого давлени газовой среды барокамеры. Цель достигаетс тем, что устройство содержит вакуумвод, выполненный в виде трубопровода , состо щего из трех последовательно соединенных камер, отделенных друг от друга сменными диафрагмами , имеющими калиброванные отверсти , при этом перва камера вакуумвода сообщена с атмосферой через защитный фильтр, герметически закрыта регулируемым вентилем и соединена с образцовым вакуумметром , треть камера герметично подключена к барокамере, в которой измер етс давление , и соединена гермотрубкой со штуцером статического давлени датчика перепада, а втора камера вакуумвода заключена между первой и третьей камерами, сообщаетс с ними через диафрагмы различного сечени и соединена гермотрубкой со штуцером динамического давлени датчика перепада давлени , подключенного к стабилизатору напр жени , соединенному с источником питани . 1 з.п.ф-лы, 1 ил. сл сThe invention relates to measuring technique and is intended for measuring low pressures in the range (2.0 ... 1X) of 133 Pa in a pressure chamber. The purpose of the invention is to improve the accuracy of measuring the ultra-low pressure of a gas chamber in a pressure chamber. The goal is achieved in that the device comprises a vacuum inlet made in the form of a pipeline consisting of three chambers connected in series, separated by interchangeable diaphragms having calibrated openings, while the first vacuum inlet chamber is connected to the atmosphere through a protective filter, is hermetically closed by an adjustable valve, and connected to an exemplary vacuum gauge, a third chamber is hermetically connected to a pressure chamber in which pressure is measured, and is connected by a pressure tube to a static pressure connection of the sensor Single differential, and the second chamber vakuumvoda enclosed between the first and third chambers, communicating with them through a different aperture section and is connected with a nipple germotrubkoy dynamic pressure differential pressure sensor connected to a voltage regulator connected to the power source. 1 C.p. f-ls, 1 ill. next to
Description
Изобретение относитс к измерительной технике, в частности к вакуумметрам, и может быть использовано.при измерении низких давлений в вакуумных системах в диапазоне измерени (2,0-1 - )133Па, например в барокамере.The invention relates to measuring equipment, in particular to vacuum gauges, and can be used. When measuring low pressures in vacuum systems in the measuring range (2.0-1 -) 133 Pa, for example in a pressure chamber.
Известны устройства дл измерени низких давлений, например теплоэлектри- ческие манометры 1. К их недостаткам следует отнести зависимость показаний манометров от изменени температуры внешней среды.Devices for measuring low pressures are known, for example, thermoelectric pressure gauges 1. Their disadvantages include the dependence of the pressure gauges on the change in ambient temperature.
Близким к предлагаемому устройству дл измерени низких давлений (прототипом ) вл етс устройство, содержащее систему камер, датчик давлени , соединенный со стабилизированным источником питани , и образцовый вакуумметр 2, Недостатком его вл етс сравнительно низка точность измерени давлени .Close to the proposed device for measuring low pressures (prototype) is a device containing a camera system, a pressure sensor connected to a stabilized power supply, and an exemplary vacuum gauge 2. Its disadvantage is the relatively low accuracy of pressure measurement.
Цель изобретени - повышение точности игмерени низких давлений, что позволит при использовании устройства в барокамерах улучшить их эксплуатационные показатели при испытани х высотного оборудовани летательных аппаратовThe purpose of the invention is to increase the accuracy of low-pressure measurement, which, when using the device in pressure chambers, will improve their operational performance when testing high-altitude equipment of aircraft
Цель достигаетс тем, что устройство . снабжено измерительным вакуумводом, выполненным в виде последовательно соединенных первой, второй и третьей камер, при этом перва камера сообщена через последовательно включенные фильтр и вентиль с атмосферой, треть камера снабжена вход ным патрубком дл подключени к источнику измер емого давлени , а между первой и второй камерами, второй и третьей камерами установлены соответственно перва иThe goal is achieved in that the device. equipped with a measuring vacuum inlet, made in the form of series-connected first, second and third chambers, the first chamber communicating through a series-connected filter and valve with the atmosphere, the third chamber is equipped with an inlet pipe for connecting to a measured pressure source, and between the first and second chambers , the second and third cameras are equipped with the first and
XI XIXI XI
со слsince
0000
WW
втора калиброванные диафрагмы, причем образцовый манометрический вакуумметр соединен с двухходовым пневмопереключа- телем, первый вход которого соединен с первой камерой, а второй - со второй, датчик перепада давлени соединен своим первым входом со второй камерой, а вторым входом - с третьей камерой, при этом площади поперечных сечений FI и Fa первой и второй калиброванных диафрагм выбраны по соотношениюa second calibrated diaphragm, with an exemplary gauge vacuum gauge connected to a two-way pneumatic switch, the first input of which is connected to the first chamber and the second to the second, the differential pressure sensor is connected by its first input to the second chamber, and the second input to the third chamber, while the cross-sectional areas FI and Fa of the first and second calibrated diaphragms are selected by the ratio
Ј2 РдЈ2 Rd
FI РБ где РА - давление в первой камере;FI RB where RA is the pressure in the first chamber;
РБ - давление во второй камере, при этом вентиль выполнен регулируемым.RB is the pressure in the second chamber, while the valve is made adjustable.
Изобретение по сн етс чертежом, на котором приведена функциональна схема устройства дл измерени вакуума.The invention is illustrated in the drawing, which is a functional diagram of a device for measuring vacuum.
Устройство содержит датчик 1 перепада давлений, который подключен к стабилизатору 2 напр жени , соединенному с источником 3 электропитани , образцовый манометрический вакуумметр 4, вакуумвод 5, выполненный в виде трубопровода, состо щего из трех последовательно соединенных камер 6-8, отделенных друг от друга шайбами-диафрагмами 9, имеющими либрованные дл требуемого диапазона измерени отверсти , при этом перва камера 6 вакуумвода 5 сообщена с атмосферой через защитный фильтр 10, герметически закрыта вентилем 11 и соединена с образцовым манометрическим вакуумметром 4, треть камера 8 вакуумвода 5 герметично подключена к барокамере 12 высокого вакуума, в которой измер етс давление, и соединена гермотрубкой 13 со штуцером 14 статического давлени датчика 1 перепада давлений , а втора камера 7 вакуумвода 5 заключена между первой 6 и третьей 8 камерами , сообщаетс с ними через шайбы- диафрагмы 9 различного сечени и соединена гермотрубкой 13 со штуцером 15 динамического давлени датчика 1 перепада давлений. Кроме того, вентиль 11 имеет ручной механизм 16 регулировани начального давлени в первой камере 6, а датчик 1 перепада давлений соединен с индикатором 17 и регистратором 18. Образцовый манометрический вакуумметр 4 соединен через тумблер 19 с первой, второй камерами 6. 7.The device comprises a differential pressure sensor 1, which is connected to a voltage stabilizer 2 connected to a power supply 3, an exemplary gauge vacuum gauge 4, a vacuum inlet 5 made in the form of a pipeline consisting of three chambers 6-8 connected in series, separated by washers - diaphragms 9 having openings liberated for the required measuring range, wherein the first chamber 6 of the vacuum inlet 5 is connected to the atmosphere through a protective filter 10, is hermetically closed by a valve 11, and connected to an exemplary with an anometric vacuum gauge 4, the third chamber 8 of the vacuum inlet 5 is hermetically connected to the pressure chamber 12 of the high vacuum, in which the pressure is measured, and connected by a pressure tube 13 to the static pressure fitting 14 of the differential pressure sensor 1, and the second chamber 7 of the vacuum inlet 5 is enclosed between the first 6 and third 8 cameras, communicates with them through washers-diaphragms 9 of various sections and is connected by a pressure tube 13 to the fitting 15 of the dynamic pressure of the differential pressure sensor 1. In addition, the valve 11 has a manual mechanism 16 for adjusting the initial pressure in the first chamber 6, and the differential pressure sensor 1 is connected to the indicator 17 and the recorder 18. An exemplary gauge vacuum gauge 4 is connected through the toggle switch 19 to the first, second chambers 6. 7.
Измерение сверхнизких давлений (вакуума ) осуществл етс следующим образом . Задаем диапазон измерени давлени . равный (2-1 )х133 Па. Затем в соответствии с измер емым диапазоном выбираем датчик 1 перепада давлений. Перед началомMeasurement of ultra-low pressures (vacuum) is carried out as follows. Set the pressure measurement range. equal to (2-1) x133 Pa. Then, in accordance with the measured range, we select the differential pressure sensor 1. Before the beginning
измерени вакуума в барокамере 12 определ етс калибр-площадь FZ поперечного сечени второй шайбы-диафрагмы 9, устанавливаемой между второй 7 и третьей 8 камерами, в соответствии с выражениемmeasuring the vacuum in the pressure chamber 12 determines the caliber area FZ of the cross-section of the second washer-diaphragm 9, installed between the second 7 and third 8 cameras, in accordance with the expression
с PA Fi F2 ,with PA Fi F2,
где FI - известна , заранее выбранна , исход из требуемого диапазона измерени ,where FI is known, pre-selected, proceeding from the required measurement range,
площадь поперечного сечени отверсти первой диафрагмы 9, установленной между первой 6 и второй 7 камерами;the cross-sectional area of the opening of the first diaphragm 9 mounted between the first 6 and second 7 cameras;
Рд - давление в первой камере 6; РБ давление во второй камере 7,Rd is the pressure in the first chamber 6; RB pressure in the second chamber 7,
Шайбы-диафрагмы 9 выбранного калибра , перва и втора 9, устанавливаютс в камеры 6,7 вакуумвода 5, тем самым требуемый диапазон измерени низкого давлени подобран . Дл того, чтобы калиброванные шайбыThe diaphragm washers 9 of the selected caliber, first and second 9, are installed in the chambers 6.7 of the vacuum inlet 5, thereby the required low pressure measuring range is selected. So that the calibrated washers
9 не загр зн лись, после вентил 11 в первой9 is not dirty, after valve 11 in the first
6камере устанавливаетс фильтр 10 очистки. Затем дл выполнени измерений давлени в барокамере 12 с помощью ручного механизма 16 вентил 11 в первой камере 6 уста- навливаетс стабильное давление,6, a cleaning filter 10 is installed. Then, to perform pressure measurements in the pressure chamber 12 using the manual mechanism 16, the valve 11 in the first chamber 6 establishes a stable pressure,
контролируемое по образцовому манометрическому вакуумметру 4 (тумблер 19 в левом положении), При этом во второй камереcontrolled by an exemplary gauge gauge 4 (toggle switch 19 in the left position), while in the second chamber
7устанавливаетс посто нное, исходное давление. Газова стру с критической скоростью по всему тракту вакуумвода 5 обеспечиваетс установкой расходных шайб-диафрагм 9 с калиброванными отверсти ми , заданной величиной опорного давлени в первой камере 6 и исходного давлени в камере 7. Отсечка диапазона измерени вакуума (2-1- 10 )х133 Па осуществл етс за счет разгона газовой струи до критической скорости, что приводит к7 establishes a constant, initial pressure. A gas stream with a critical speed throughout the vacuum path 5 is provided by installing consumable washers-diaphragms 9 with calibrated holes, a given value of the reference pressure in the first chamber 6 and the initial pressure in the chamber 7. Cutoff of the vacuum measurement range (2-1-10) x133 Pa carried out by accelerating the gas jet to a critical speed, which leads to
тому, что в вакуумводе 5 устанавливаетс посто нный расход газа, а во второй камере 7 - посто нное давление, которое контролируетс с помощью вакуумметра 4 при нахождении тумблера 19 в правом положении . В результате этого установленное во второй камере 7 давление выбранной величины подаетс по гермотрубке 13 на динамику датчика 1 перепада давлений, а давление в третьей 8 камере, где устанавливаетс давление, равное давлению в барокамере 12, фиксируетс статикой датчика 1 перепада. Включив источник электропитани 3 датчика 1 перепада давлений, производим непрерывное слежение за величинойthe fact that a constant gas flow rate is established in the vacuum duct 5, and a constant pressure is established in the second chamber 7, which is controlled by the vacuum gauge 4 when the toggle switch 19 is in the right position. As a result, the pressure of the selected value set in the second chamber 7 is supplied through the pressure tube 13 to the dynamics of the differential pressure sensor 1, and the pressure in the third chamber 8, where the pressure equal to the pressure in the pressure chamber 12 is set, is fixed by the statics of the differential sensor 1. Turning on the power source 3 sensors 1 differential pressure, we continuously monitor the value
измер емого давлени (вакуума), отсчет и запись его показаний соответственно на индикаторе 17 и регистраторе 18.measured pressure (vacuum), reading and recording its readings respectively on indicator 17 and recorder 18.
Итак, по изменению перен ла давлени в камерах 7 и 8 определ ем величину ддвлени в барокамере 12 высокого вакуума. Дальнейшее уменьшение давлени в барокамере (после второй калиброванной диафрагмы 9) уже практически не сказываетс на изменение расхода газа, а, следователь- но, на давлении во второй 7 камере. Это дает возможность фиксировать с помощью датчика 1 перепада давлений изменение давлени между второй 7 камерой и барокамерой 12 (объектом измерени ) практиче- ски по линейному закону, что значительно повышает точность измерени .So, by changing the pressure transfer in chambers 7 and 8, we determine the pressure in the high-pressure chamber 12. A further decrease in the pressure in the pressure chamber (after the second calibrated diaphragm 9) has almost no effect on the change in gas flow, and, consequently, on the pressure in the second chamber 7. This makes it possible to detect, with the aid of the differential pressure sensor 1, the pressure change between the second chamber 7 and the pressure chamber 12 (the measurement object) almost linearly, which significantly increases the measurement accuracy.
Claims (2)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU904841052A RU1778583C (en) | 1990-07-09 | 1990-07-09 | Low pressure gauge |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU904841052A RU1778583C (en) | 1990-07-09 | 1990-07-09 | Low pressure gauge |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU1778583C true RU1778583C (en) | 1992-11-30 |
Family
ID=21521902
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU904841052A RU1778583C (en) | 1990-07-09 | 1990-07-09 | Low pressure gauge |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU1778583C (en) |
-
1990
- 1990-07-09 RU SU904841052A patent/RU1778583C/en active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
1.Дж. Лекк. Измерение давлени в вакуумных системах. М,, 1966, с.42-76. 2. Авторское свидетельство СССР № 436253.кл.G 01 L27/00, 1972. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4096746A (en) | Flow controller-flow sensor assembly for gas chromatographs and the like | |
US5693871A (en) | Low differential pressure generator | |
US4433575A (en) | Flow splitting device for fluid flow meter | |
US4934178A (en) | Method and apparatus for determining the density of a gas | |
RU1778583C (en) | Low pressure gauge | |
US3653399A (en) | Gas flow controlling system | |
US2703013A (en) | Pneumatic control and metering system | |
US2503372A (en) | High vacuum indicator | |
US3653264A (en) | Apparatus for detecting a leak in a fluid pressure system | |
JP2005077310A (en) | Gas measuring device and self-diagnosis method therefor | |
US2849883A (en) | Pressurized manometer | |
GB832802A (en) | Improvements in a pneumatic gaging system for obtaining a flow responsive to the difference between pressures at two points in the system | |
SU1008633A1 (en) | Weight piston type pressure set-point device | |
SU1439421A1 (en) | Method and apparatus for determining coefficient of pressure loss of circuits | |
SU1249356A1 (en) | Device for measuring low pressure | |
WO2012034183A1 (en) | Testing of flow meters | |
SU819580A1 (en) | Pneumatic device for measuring linear dimensions | |
SU313091A1 (en) | DUST FLOW METER | |
SU858430A1 (en) | Device for adjusting discontinuities | |
US3314281A (en) | Gas analyzing method and apparatus | |
SU139098A1 (en) | Mass or liquid flow sensor | |
JPH0458126A (en) | Pressure measuring instrument | |
SU787958A1 (en) | Instrument for determining penetrability of porous articles | |
US2943477A (en) | Measuring apparatus | |
SU586372A1 (en) | Device for determining porous material gas permeability |