RU172617U1 - In-situ камера мониторинга структуры и вольтамперных характеристик тонких полимерных полупроводниковых пленок - Google Patents

In-situ камера мониторинга структуры и вольтамперных характеристик тонких полимерных полупроводниковых пленок Download PDF

Info

Publication number
RU172617U1
RU172617U1 RU2016149114U RU2016149114U RU172617U1 RU 172617 U1 RU172617 U1 RU 172617U1 RU 2016149114 U RU2016149114 U RU 2016149114U RU 2016149114 U RU2016149114 U RU 2016149114U RU 172617 U1 RU172617 U1 RU 172617U1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
current
voltage characteristics
polymer semiconductor
electrodes
current collectors
Prior art date
Application number
RU2016149114U
Other languages
English (en)
Inventor
Владимир Григорьевич Буров
Александр Игоревич Смирнов
Наталья Владимировна Плотникова
Original Assignee
Федеральное Государственное Бюджетное Образовательное Учреждение Высшего Образования "Новосибирский Государственный Технический Университет"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное Государственное Бюджетное Образовательное Учреждение Высшего Образования "Новосибирский Государственный Технический Университет" filed Critical Федеральное Государственное Бюджетное Образовательное Учреждение Высшего Образования "Новосибирский Государственный Технический Университет"
Priority to RU2016149114U priority Critical patent/RU172617U1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU172617U1 publication Critical patent/RU172617U1/ru

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/02Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
    • G01N23/06Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and measuring the absorption
    • G01N23/083Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and measuring the absorption the radiation being X-rays
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/40Testing power supplies

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Abstract

Использование: для мониторинга структурного состояния и вольт-амперных характеристик полимерных пленочных полупроводниковых материалов в процессе их формирования. Сущность полезной модели заключается в том, что in-situ камера включает герметичный корпус с рентгенопрозрачными боковыми окнами и крышкой с дозирующим устройством подачи раствора полимерного полупроводникового материала, установленный внутри корпуса предметный столик с размещаемой на нем диэлектрической подложкой с двумя электродами, снабженный системой нагрева и стабилизации температуры, установленные в стенках корпуса штуцеры для создания контролируемой атмосферы, токосъемники, установленные в корпусе для обеспечения контакта с измерительными электродами, при этом предметный столик снабжен приводом вращения, измерительные электроды выполнены в виде концентрических колец, а токосъемники установлены с возможностью вертикального перемещения. Технический результат: обеспечение возможности повышения достоверности результатов проводимых исследований. 1 ил.

Description

Предлагаемая полезная модель относится к измерительной технике, в частности к области измерений электрофизических параметров пленочных полимерных полупроводниковых материалов во время их формирования (in-situ), и может быть использована для мониторинга структурного состояния и вольт-амперных характеристик полимерных пленочных полупроводниковых материалов в процессе их формирования при различных параметрах окружающей среды.
Известна In-situ камера мониторинга структуры и вольт-амперных характеристик тонких полимерных полупроводниковых пленок (L. Grodd, Е. Mikayelyan, U. Pietsch, and S. Grigorian. Direct Correlation Between Electric and Structural Properties During Solidification of Poly(3-hexylthiophene) Drop-Cast Films / Macromol. Rapid Commun. 2012, 33, 1765-1769; Kamran Ali, Ullrich Pietsch and Souren Grigorian. Enhancement of field-effect mobility due to structural ordering in poly(3-hexylthiophene) films by the dip-coating technique / doi:10.1107/S0021889813004718 J. Appl. Cryst (2013). 46, 908-911), позволяющее находить корреляцию между вольт-амперными характеристиками и структурой в процессе затвердевания (кристаллизации) полимерного полупроводникового материала. Для определения структуры используется рентгеновское излучение высокой интенсивности (наиболее подходящим является синхротронное излучение). Устройство снабжено дозирующим устройством подачи раствора полимерного полупроводникового материала на диэлектрическую подложку с двумя электродами (токопроводящими полосками), полученными одним из методов металлизации и выполненными, как правило, из алюминия или золота. Поверхность подложки позиционируется относительно рентгеновского луча таким образом, чтобы он попадал на поверхность подложки между напыленными на нее электродами. Раствор полимерного полупроводникового материала, подаваемый из дозирующего устройства на подложку растекается под действием сил смачивания по подложке, перекрывая электроды.
Рентгеновская съемка дифрагированных лучей с одновременной записью вольт-амперных характеристик затвердевающего (кристаллизующегося) материала позволяет получить знание о корреляции между структурой и фотовольтаическими свойствами исследуемого материала.
Недостатками этого устройства являются:
- невозможность получения равнотолщинной полупроводниковой пленки, формируемой из капли, при изменении концентрации раствора полупроводникового материала;
- невозможность изменять внешние условия среды, в которой проходит затвердевание (кристаллизация) полимерного полупроводникового материала; изменение внешних условий при исследованиях позволяет определить оптимальные условия кристаллизации - температура, состав атмосферы и время.
Указанные недостатки приводят к недостаточной достоверности интерпретации полученных измерений на реальный полимерный материал.
Наиболее близким к предлагаемому устройству является in-situ камера (прототип) для проведения одновременного исследования вольт-амперных характеристик и структуры полупроводниковых полимерных пленок для оптимизации условий формирования высокоэффективных полимерных солнечных батарей, позволяющее получить знание о корреляции между структурой и фотовольтаическими свойствами исследуемого материала при изменяемых внешних условиях. Конструкция устройства описана в статье Anatoliy A. Bataev, Souren Grigorian, Dimitri A. Ivanov, Evgeniy. V. Prokhorenko, Vladimir G. Burov, Alexander I. Smirnov, Natalya V. Plotnikova. Hardware and software for investigation of structure and properties of thin semiconductor films / Applied Mechanics and Materials, 2015. - Vol. 788: Actual Problems and Decisions in Machine Building. - P. 301-305. Устройство состоит из герметичного корпуса, ограниченного рентгенопрозрачными боковыми окнами, крышкой с дозирующим устройством подачи раствора полимерного полупроводникового материала, предметным столиком, на котором размещается диэлектрическая подложка с двумя электродами (токопроводящими полосками), полученными одним из методов металлизации и выполненными, как правило, из алюминия или золота. Предметный столик снабжен системой нагрева и стабилизации температуры, обеспечивающими необходимую температуру подложки. Герметичный корпус In-situ камеры мониторинга структуры и вольт-амперных характеристик тонких полимерных полупроводниковых пленок снабжен штуцерами, которые предназначены для создания контролируемой атмосферы путем подачи газовой среды необходимого состава и влажности. Поверхность подложки позиционируется относительно рентгеновского луча таким образом, чтобы он попадал на нее между напыленными электродами, к которым сверху подводятся токосъемники прибора, измеряющего вольт-амперные характеристики. Раствор полимерного полупроводникового материала, подаваемый из дозирующего устройства подачи раствора полимерного полупроводникового материала растекается под действием сил смачивания по диэлектрической подложке, перекрывая электроды (токопроводящие полоски).
Недостатком этого устройства является невозможность формировать на подложке пленку одинаковой и равномерной толщины при различном количестве растворителя и различном составе газовой среды. Поскольку реальные полимерные пленки должны иметь равномерную толщину, то интерпретацию измерений, полученных в данной камере, на реальный полимерный материал нельзя считать достаточно достоверной.
Задача (технический результат) предлагаемого устройства заключается в повышении достоверности результатов проводимых исследований.
Поставленная задача решается тем, что in-situ камера мониторинга структуры и вольт-амперных характеристик тонких полимерных полупроводниковых пленок, включает герметичный корпус с рентгенопрозрачными боковыми окнами и крышкой с дозирующим устройством подачи раствора полимерного полупроводникового материала на диэлектрическую подложку. Внутри корпуса установлен предметный столик, снабженный системой нагрева и стабилизации температуры. На столике размещается диэлектрическая подложка с двумя электродами (токопроводящими полосками), полученными одним из методов металлизации и выполненными, как правило, из алюминия или золота. В стенках корпуса установлены штуцеры для создания контролируемой атмосферы. Внутри корпуса установлены токосъемники таким образом, чтобы обеспечивать контакт с электродами подложки. Согласно изобретению, предметный столик снабжен приводом вращения, измерительные электроды выполнены в виде концентрических колец, а токосъемники имеют возможность вертикального перемещения.
Предлагаемая полезная модель поясняется приведенной на чертеже структурной схемой заявляемого устройства.
Предлагаемое устройство содержит герметичный корпус 1, с рентгенопрозрачными окнами 2, крышку 3, в которой размещена система подачи раствора полимерного полупроводникового материала 4, предметный столик 5, снабженный системой нагрева и стабилизации температуры, и вращающийся со скоростью от 1000 до 4000 оборотов в минуту, систему штуцеров 6, установленных в стенках корпуса для создания контролируемой атмосферы, обеспечивающие электрический контакт напыленных на подложку 8 электродов 9 в виде концентрических колец и токосъемники 7 с возможностью вертикального перемещения.
Устройство работает следующим образом.
Устройство размещают на столе системы позиционирования исследуемого материала станции синхротронного излучения таким образом, чтобы падающий луч находился в промежутке между кольцевыми электродами 9 подложки. На предметный столик 5 устанавливают диэлектрическую подложку 8 с нанесенными кольцевыми электродами 9. Через штуцеры 6 прокачивают газ определенного состава и влажности, устанавливают температурные режимы предметного столика 5. Включают вращение предметного столика 5 на 1…3 секунды и подают раствор полимерного полупроводникового материала 20 из дозатора 4 на вращающуюся подложку 8. Токосъемники 7, подключенные к прибору регистрации вольт-амперных характеристик, прижимаются к электродам подложки и перед включением вращения предметного столика поднимаются, например, под действием соленоидов. Капля 10 растекается в равнотолщинную пленку под действием центробежных сил. Останавливают вращение предметного столика 5, после остановки вращения токосъемники 7 опускаются на подложку, протыкая тонкую полупроводниковую полимерную пленку, и прижимаются к кольцевым электродам 9. С момента опускания токосъемников 7 проводится регистрация вольт-амперных характеристик в течение времени кристаллизации полупроводниковой пленки.
Снабжение предметного столика приводом вращения обеспечивает формирование полимерных полупроводниковых пленок равной толщины. При этом толщина пленки может обеспечиваться одинаковой независимо от концентрации раствора полимерного полупроводникового материала. Исполнение подложки с кольцевыми контактами обеспечивает условия для снятия вольт-амперных характеристик полученной равнотолщинной полимерной пленки при любом положении подложки после остановки ее вращения. Совокупность предлагаемых признаков позволит повысить степень достоверности проводимых исследований.

Claims (1)

  1. In-situ камера мониторинга структуры и вольт-амперных характеристик тонких полимерных полупроводниковых пленок, включающая герметичный корпус с рентгенопрозрачными боковыми окнами и крышкой с дозирующим устройством подачи раствора полимерного полупроводникового материала, установленный внутри корпуса предметный столик с размещаемой на нем диэлектрической подложкой с двумя электродами, снабженный системой нагрева и стабилизации температуры, установленные в стенках корпуса штуцеры для создания контролируемой атмосферы, токосъемники, установленные в корпусе для обеспечения контакта с измерительными электродами, отличающаяся тем, что предметный столик снабжен приводом вращения, измерительные электроды выполнены в виде концентрических колец, а токосъемники установлены с возможностью вертикального перемещения.
RU2016149114U 2016-12-14 2016-12-14 In-situ камера мониторинга структуры и вольтамперных характеристик тонких полимерных полупроводниковых пленок RU172617U1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2016149114U RU172617U1 (ru) 2016-12-14 2016-12-14 In-situ камера мониторинга структуры и вольтамперных характеристик тонких полимерных полупроводниковых пленок

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2016149114U RU172617U1 (ru) 2016-12-14 2016-12-14 In-situ камера мониторинга структуры и вольтамперных характеристик тонких полимерных полупроводниковых пленок

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU172617U1 true RU172617U1 (ru) 2017-07-14

Family

ID=59498708

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2016149114U RU172617U1 (ru) 2016-12-14 2016-12-14 In-situ камера мониторинга структуры и вольтамперных характеристик тонких полимерных полупроводниковых пленок

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU172617U1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111208376A (zh) * 2020-03-09 2020-05-29 青田林心半导体科技有限公司 一种用于检测多种形态半导体性能的检测仪

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2460083C1 (ru) * 2011-04-07 2012-08-27 Федеральное государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновская государственная сельскохозяйственная академия" Устройство для контроля полупроводниковых изделий по вторым производным вольт-амперных и вольт-кулонных характеристик
RU2476958C2 (ru) * 2011-03-17 2013-02-27 Закрытое Акционерное Общество "ТЕЛЕКОМ-СТВ" Способ определения вольтамперных характеристик солнечных элементов на симуляторе солнечного излучения
WO2014143813A1 (en) * 2013-03-15 2014-09-18 First Solar System and method for photovoltaic device temperature control while conditioning a photovoltaic device

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2476958C2 (ru) * 2011-03-17 2013-02-27 Закрытое Акционерное Общество "ТЕЛЕКОМ-СТВ" Способ определения вольтамперных характеристик солнечных элементов на симуляторе солнечного излучения
RU2460083C1 (ru) * 2011-04-07 2012-08-27 Федеральное государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновская государственная сельскохозяйственная академия" Устройство для контроля полупроводниковых изделий по вторым производным вольт-амперных и вольт-кулонных характеристик
WO2014143813A1 (en) * 2013-03-15 2014-09-18 First Solar System and method for photovoltaic device temperature control while conditioning a photovoltaic device

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
V. A. Bataev, V. G. Burov, S. Grigorian, D. A. Ivanov, N. V. Plotnikova, A. I. Smirnov, "Equipment for In Situ Studies of the Surface Structure of Thin Surface Layers in the Process of their Formation", Applied Mechanics and Materials, Vol. 788, pp. 301-305, 2015. А.А. Бунаков, А.Н. Лачинов, Р.Б. Салихов, Исследование вольт-амперных характеристик тонких пленок полидифениленфталида, Журнал технической физики, том. 73, вып. 5, 2003. *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111208376A (zh) * 2020-03-09 2020-05-29 青田林心半导体科技有限公司 一种用于检测多种形态半导体性能的检测仪
CN111208376B (zh) * 2020-03-09 2020-11-20 杭州翔毅科技有限公司 一种用于检测多种形态半导体性能的检测仪

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Singh et al. Effect of thermal and structural disorder on the electronic structure of hybrid perovskite semiconductor CH3NH3PbI3
Gartsman et al. Direct evidence for diffusion and electromigration of Cu in CuInSe 2
Scouler Temperature-modulated reflectance of gold from 2 to 10 eV
Wang et al. Electronic‐Grade High‐Quality Perovskite Single Crystals by a Steady Self‐Supply Solution Growth for High‐Performance X‐ray Detectors
Cui et al. Halide-modulated self-assembly of metal-free perovskite single crystals for bio-friendly X-ray detection
Perez et al. Fabrication of low-cost, large-area prototype Si (Li) detectors for the GAPS experiment
RU172617U1 (ru) In-situ камера мониторинга структуры и вольтамперных характеристик тонких полимерных полупроводниковых пленок
Yan et al. Electrochemical synthesis and the gas-sensing properties of the Cu2O nanofilms/porous silicon hybrid structure
Afify et al. Oxygen interaction with CdS based gas sensors by varying different preparation parameters
Uprety et al. Optical Hall effect of PV device materials
Singh et al. Investigations of the drift mobility of carriers and density of states in nanocrystalline CdS thin films
Xie et al. Bulk defect suppression of micrometer-thick perovskite single crystals enables stable photovoltaics
Khafizov et al. Estimation of parameters of charge carriers in dielectric materials by CELIV method
Maruyama et al. The Effect of Oxygen on the Semiconductivity of Quaterrylene
Zhu et al. Growth, surface treatment and characterization of polycrystalline lead iodide thick films prepared using close space deposition technique
Bhattarai et al. Development of low-threshold detectors for low-mass dark matter searches using an n-type germanium detector at 5.2 K
Prokopiv et al. Electrical properties of CdTe< Ca> thin layers
Sankarasubramanian et al. Influence of substrate temperature on ethanol sensing properties of CdO thin films prepared by facile spray pyrolysis method
KR102379619B1 (ko) 분석용 샘플의 회수 방법 및 그 이용
Bataev et al. Equipment for In Situ Studies of the Surface Structure of Thin Surface Layers in the Process of their Formation
Liao et al. A Wet‐Fusing Assembly Strategy for Forming Low Dark Current 2D/3D Perovskite X‐Ray Detector on a Thin Film Transistor Backplane
Kusabayashi et al. Semiconducting Properties of Organic Polyiodides
Quinn et al. Nature of thin oxide films on metals as revealed by work function measurements
Djellal et al. Structural, optical and photoelectrochemical properties of CuIn3Se5
Lupan et al. The reliability to gamma radiation of gas sensors based on nanostructured ZnO: Eu