RO73291A2 - Procede d'obtention des films isolants d'oxynitrure de silicium sur plaquettes de silicium - Google Patents

Procede d'obtention des films isolants d'oxynitrure de silicium sur plaquettes de silicium

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Constantin E Morosanu
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Institutul De Cercetari Pentru Componente Electronice,Ro
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