PL95998B1 - Miniaturowa glowica prozniomierza oporowego - Google Patents

Description

Przedmiotem wynalazku jest miniaturowa glowi¬ ca prózniomierza oporowego, stosowana w techni¬ ce pomiarów niskich cisnien.

Znana glowica prózniomierza oporowego zawiera element czujnikowy wykonany z drutu lub tasmy o duzym wspólczynniku termicznym opornosci.

Element ten uksztaltowany w linii lamanej, pod¬ trzymywany przez metaliczne wsporniki, umiesz¬ czony jest w próznioszczelnej obudowie najczesciej w postaci banki szklanej. Wsporniki polaczone sa z przepustami, za pomoca których glowica podla¬ czona jest do %zródla zasilania. Opisana glowica charakteryzuje sie znacznymi rozmiarami i cieza¬ rem, a wsporniki podtrzymujace element czujniko¬ wy maja duza mase, w. stosunku do elementu czujnikowego i sa wykonane z materialu sprezy¬ stego i dlatego sa wrazliwe na przyspieszenia, któ¬ re wywoluja drgania mechaniczne przechodzace równiez na element czujnikowy, powodujac jego zniszczenie.

Istota wynalazku polega na tym, ze element czujnikowy wykonany z drutu zwinietego w skre¬ tke, zamocowany jest do przepustu i wspornika, którego masa jest nie wieksza niz 2-krotna masa elementu czujnikowego. Przy czym element czuj¬ nikowy wykonany jest z metalu lub stopu odpor¬ nego na wplywy chemiczne gazów i par, najko¬ rzystniej z platyny lub jego stopów. Natomiast me¬ talowa oslona glowicy ma powierzchnie zewnetrz¬ na o duzej zdolnosci odbijania promieni cieplnych.

Miniaturowa glowica wedlug wynalazku odzna¬ cza sie duza odpornoscia na drgania mechaniczne wywolane glównie pompami obrotowymi badz fa¬ lami uderzeniowymi gazów w aparaturach próznio¬ wych. Aluminiowa oslona zapewnia duza wytrzy¬ malosc mechaniczna glowicy oraz duza odpornosc na udary i wstrzasy, a ponadto daje dobra izolacje termiczna, uniezalezniajac glowice od zmian tem¬ peratury otoczenia i dlatego glowica wedlug wy¬ nalazku zapewnia wysoka dokladnosc wyników pomiarów oraz minimalizacje gabarytów.

Przedmiot wynalazku przedstawiony jest w przy¬ kladzie wykonania na rysunku, który przedstawia przekrój poprzeczny miniaturowej glowicy.

W zamkniety koniec rurki szklanej 1 o sredni¬ cy wewnetrznej 9 mm wtopione sa dwa metalo¬ we przepusty 2 z drutu molibdenowego o sredni¬ cy 0^5 mm, do których po zewnetrznej stronie rur¬ ki dolutowane sa przewody kabla zasilajacego 3.

Do jednego z przepustów 2, we wnetrzu rurki 1, przyspawany jest wspornik 4, wykonany z drutu molibdenowego o srednicy 0,3 mm strawionego stozkowo na dlugosci 47 mm do srednicy 0,2 mm.

Zakonczenie wspornika 4 o dlugosci 6 mm jest za¬ giete pod katem prostym. Do tego zakonczenia i do wolnego przepustu 2 przyspawany jest element czujnikowy 5 wykonany z drutu Pt Rh 10 o sred¬ nicy 0,05 mm i dlugosci 200 mm zwinietego w skretke na rdzeniu o srednicy 0,3 mm. Zamkniety koniec rurki szklanej 1 wraz z przylutowanymi do 95 998%99S przepustów 2 przewodami kabla zasilajacego 3 umieszczony jest w wypolerowanej oslonie meta¬ lowej 6 ze stopu aluminiowego w ksztalcie cylin¬ drycznego kaptura z otworem do wyprowadzenia kabla zasilajacego 3 laczacego element czujniko¬ wy 5 z ukladem zasilajaco-pomiarowym próznio- mierza.

Przylaczenie miniaturowej glowicy wedlug wy¬ nalazku do urzadzenia wytwarzajacego próznie od¬ bywa sie w sposób ogólnie znany w technice próz¬ niowej. Pomiar oparty jest na wykorzystaniu za¬ leznosci cieplnej przewodnosci gazu od cisnienia.

Zaleznosc ta wystepuje zwlaszcza w zakresie nis¬ kiej prózni. Element czujnikowy 5 glowicy jest dolaczony do jednej z galezi mostka pomiarowego prózniomierza i podgrzewany jest pradem z urza¬ dzenia zasilajacego. Temperatura i opornosc ele¬ mentu czujnikowego 5, zaleznie od ilosci ciepla odprowadzanego przez gaz, zmieniaja sie wraz z cisnieniem.

Wychylenie miernika prózniomierza, wlaczonego w przekatnej mostka pomiarowego, jest miara ci¬ snienia. Wplyw temperatury otoczenia na glowice prózniomierza jest ograniczony przez zastosowanie metalowej oslony 6.

Claims (1)

1. Zastrzezenie patentowe Miniaturowa glowica prózniomierza oporowego 10 zawierajaca w szklanej rurze, izolowany metalo¬ wa oslona, element czujnikowy, znamienny tym, ze element czujnikowy (5) wykonany jest z drutu zwinietego w skretke i zamocowany jest do prze¬ pustu (2) i wspornika (4), którego masa jest nie 15 wieksza niz 2-krotna masa elementu czujnikowego (5) wykonanego z metalu lub stopu odpornego na wplywy chemiczne gazów i par, najkorzystniej z platyny lub jej stóp, natomiast metalowa oslona (6) ma powierzchnie o duzej zdolnosci odbijania 20 promieni cieplnych. DN-3, zam. 42/78 Cena 45 zl