Przedmiotem wynalazku jest urzadzenie do su¬ blimacji tytanu, szczególnie przydatne w pompach sublimacyjnych stosowanych do wytwarzania wy¬ sokiej prózni.W technice prózniowej stosowane sa pompy su¬ blimacyjne, których dzialanie polega na pochla¬ nianiu czastek gazów przez material pochlaniaja¬ cy, na przyklad tytan rozpylany wewnatrz pompy droga sumblimacji uzyskiwanej przez podgrzewa¬ nie tego materialu zwykle grzejnikiem elektrycz¬ nym lub przez bombardowanie elektronowe.Istotnym kryterium dobroci sublimatorów jest ich sprawnosc rozumiana jako stosunek wielkosci stru¬ mienia rozpylonego tytanu do mocy zuzywanej do wytworzenia tego strumienia.W znanych rozwiazaniach sublimatorów tytanu stosuje sie sublimacje z litego materialu o róz¬ nych ksztaltach, zwykle w postaci pretów lub ru¬ rek podgrzewanych z zewnatrz. Znany jest równiez, wytwarzany przez firme Varian, sublimator w po¬ staci wydrazonej kuli tytanowej, podgrzewanej grzejnikiem elektrycznym umieszczonym wewnatrz tej kuli. Równiez z patentu PRL nr 61338 znany jest sublimator w postaci zewnetrznej rurki tyta¬ nowej i wewnetrznej tantalowej podgrzewanych spirala grzejna umieszczona wewnatrz rurki tanta¬ lowej.Niedogodnoscia znanych sublimatorów, w któ¬ rych material sublimacyjny jest podgrzewany od wewnatrz jest to, ze budowa ich uniemozliwia wykorzystanie strumienia tytanu sublimowanego z wewnetrznych bezposrednio podgrzewanych scia¬ nek, gdzie jest najwieksza koncentracja mocy wy- promieniowanej z grzejnika i najwieksza szybkosc parowania tytanu, wskutek czego sprawnosc tych sublimatorów jest daleka od maksymalnej.Celem wynalazku jest zwiekszenie sprawnosci sublimatora tytanu przez umozliwienie wykorzysta¬ nia strumienia tytanu sublimowanego z wewnetrz¬ nych scianek sublimatora odbierajacych bezposred¬ nio cieplo promieniowania grzejnika elektrycznego.Istota wynalazku jest zastosowanie do subli¬ macji tytanu wydrazonej ksztaltki tytanowej. Urza¬ dzenie wedlug wynalazku stanowi wydrazona ksztaltke tytanowa zawierajaca wewnatrz grzejnik elektryczny nagrzewajacy te ksztaltke. W bocznej sciance lub sciankach ksztaltki jest wykonany otwór lub otwory umozliwiajace wydostawanie sie par tytanu z wnetrza ksztaltki.Inny wariant urzadzenia wedlug wynalazku sta¬ nowia dwie wydrazone ksztaltki tytanowe zaopa- trznone wewnatrz w grzejniki elektryczne i umo¬ cowane przeciwsobnie na wspólnej osi wydrazo¬ nymi otworami do siebie, w takiej odleglosci, ze miedzy otworami wydrazonymi w ksztaltkach jest utworzona szczelina, umozliwiajaca wydostawanie sie par tytanu z wnetrza ksztaltek a ponadto kazda z ksztaltek moze byc zaopatrzona w otwór lub otwory wykonane w bocznej sciance lub scian- 93 72903 729 3 kach, ulatwiajace wydostawanie sie par tytanu z wnetrza kazdej ksztaltki.Na zewnatrz ksztaltki moga miec ksztalty do¬ wolnych bryl, najkorzystniej walca, jednostronnie wydrazonego wzdluz osi. Urzadzenie wedlug wy¬ nalazku ne UrzaTdzeiiia sublimacyjne o porównywalnych ksztaltach i wymiarach ksztaltek tytanowych.Pr zy kliad Budowe urzadzenia wedlug wynalazku wyjasnio¬ no na przykladach wykonania przedstawionych na zalaczonym rysunku, na którym fig. 1 przedsta¬ wi urzadzanie do sublimacji tytanu zlozone z jed¬ nej fclsztaitfci z otworami w bocznej sciance, fig. 2 pjfzgdftawia jiune rozwiazanie takiego urzadzenia a*fig. 3 przedstawia ^wariant urzadzenia zlozonego ztdwóch ksztaltek, j jCjdtnd^yK^lia^tytaijowa ksztaltka i» wydrazona vJe£H&fr£T* ^zaopatrzona w otwory 2 i 3 wykonane w sciance tejH£sl£aItki prostopadle do osi jest umocowana na wsporczym elemencie 4.We wnetrzu ksztaltki 1 znajduje sie grzejnik 5 zamocowany koncówka 6 do wsporczego elemen¬ tu 4. Druga koncówka 7 grzejnika 5 jest przymo¬ cowana do wsporczego preta 8. Wsporczy element 4 i pret 8 spelniaja role doprowadzen pradu elek¬ trycznego do grzejnika 5 przy czym pret 8 jest elektrycznie odizolowany od elementu 4 izolato¬ rem 9 nad którym jest umieszczona oslona 10 chroniaca ten izolator przed zapyleniem. Uwidocz¬ niona na fig. 2 cylindryczna tytanowa ksztallfca ii zaopatrzona jest w otwory 12 usytuowane w plasz¬ czyznie prostopadlej do osi cylindra i dzielacej ten cylinder na dwie równe czesci, przy czym w kaz¬ dej z tych czesci zamocowany jest elektryczny ^zejnifc 13 iut 14.Jetlen kóhiec grzejnika 13 jest przymocowany do ws^rezego £r^ 15 a koniec grzejinika i4 jest ^yniócowany dó preta IG, natomiast drogie kon¬ ce grzejników 13 i 14 sa zwarte za "pomoca elemen¬ tu 17 wskutek ezegó dla doprowadzenia fradu elektrycznego grzejniki 13 i 14 sa polaczone szere- gowOy przy czym jednio doprowadzenie pradu sta¬ nowi, wsporczy pret 15, a drugie pret 16, cylinder tytanowy 11 i nosny element 18, na którym jest osadzona tytanowa ksztaltka 11. Wsporczy pret 15 jest odizolowany od nosnego elementu 18 izolato¬ rem 19 oslonietym oslona 10 przed zapyleniem pa¬ rami tytanu.Inny wariant sublimatora wcdhig wynalazku uwidoczniono na fig. 3. Dwie cylindryczne tyta- nowe ksztaltki 21 i 22 urnocowane sa wzdluz wspól¬ nej osi otworami do siebie, przy czym ksztaltka 21 jest umocowana na precie 23, który stanowi je¬ dno doprowadzenie pradu elektrycznego a ksztalt¬ ka 22 na wsporczym elemencie &4j który izolato- i* rem 25 jest elektrycznie odizolowany ód preta 23 i stanowi drugie doprowadzenie frradu elektrycz¬ nego do grzejników 26 i Z7 umocowanych wewnatrz ksztaitek ii i 2£. Grzejnik 26 jest polaczony ze wsporczym elementem 24 koncówka 28 a grzejnik 27 jest polaczony z pretem 23 tasm§ #& Miedzy so¬ ba grzejniki sa polaczone elemeritem 29. Ostofla 31 osadzona na precie 23 oslania izolator 25 frrzed za¬ pyleniem tytanem. PL