PL88461B1 - - Google Patents

Description

Przedmiotem wynalazku jest przyrzad do pomiaru rezystywnosci materialu pólprzewodnikowego, zwlasz¬ cza plytek, który wyposazony jest w czujnik indukcyjny.W przyrzadzie do pomiaru rezystywnosci na drodze okreslania wielkosci strat wywolanych pradami wirowymi plynacymi w materiale pólprzewodnikowym umieszczonym w zmiennym polu magnetycznym, przy pomiarze wartosci tych strat za pomoca miernika dobroci „Ometru", stosuje sie czujnik skladajacy sie z toroidalnego rdzenia ferrytowego ze szczelina powietrzna.Znane przyrzady o dotychczasowej konstrukcji czujnika indukcyjnego nie znajduja zastosowania do pomiarów plytek o grubosci wiekszej niz szczelina rdzenia, oraz do pomiaru bryl pólprzewodnikowych. Ponadto wada jest „puchniecie" pola magnetycznego w szczelinie, w wyniku czego pole te wywoluje straty w wiekszej objetosci materialu badanego niz wynika to z powierzchni przebiegunników rdzenia przy szczelinie. Celem wynalazku jest unikniecie wymienionych niedogodnosci przez opracowanie wyposazenia przyrzadu w czujnik indukcyjny, który moze miec zastosowanie do badania materialów pólprzewodnikowych o róznych ksztaltach jak grube plytki albo bryly z jedna powierzchnia plaska itp.Zadanie to zostalo osiagniete przez opracowanie przyrzadu o konstrukcji czujnika indukcyjnego wedlug wynalazku. Czujnik indukcyjny wyposazony jest w kubkowy rdzen o plaszczyznie czolowej znajdujacej sie podczas pomiaru w bezposredniej bliskosci powierzchni badanego materialu pólprzewodnikowego. Wielkosc plaszczyzny stykowej rdzenia kubkowego czujnika indukcyjnego dostosowana jest do wielkosci badanego materialu pólprzewodnikowego oraz dodatkowo do celu, jakiemu ma sluzyc czujnik, np. 4o okreslenia jednorodnosci rezystywnosci materialu* w ksztalcie bryly lub plytki o dosc duzej powierzchni.Zaleta tego wynalazku jest zastosowanie koncentratora pola magnetycznego w postaci rdzenia kubkowego, dzieki czemu pole magnetyczne nie penetruje materialu badanego poza obrebem plaszczyzny czolowej czujnika.Ponadto konstrukcja czujnika umozliwia badanie znanymi przyrzadami materialów pólprzewodnikowych2 88 461 o róznych ksztaltach, zwlaszcza plytek o róznych grubosciach lub pretów pólprzewodnikowych zjedna powierzchnia plaska.Przyrzad wedlug wynalazku jest blizej objasniony na przykladzie pomiaru plytki pólprzewodników^ ria rysunku, na którym uwidoczniony jest w przekroju czujnik oraz badany material. W kubkowy rdzerll czujr?!k& wprowadzone jest uzwojenie 2. Hdzen kubkowy od strony otwartej posiada plaszczyzne czolowa 3, w styki* £ która lub w jej bliskosci znajduje si$ plaszczyzna badanego materialu pólprzewodnikowego 4. Pole magnetyce n@ czujnika penetruje badany material przez wywolanie w nim strat, których wielkosc jest miara rezystywnosd badanegomaterialu. ' PL

Claims (2)

1. Zastrzezenia patentowe 1. Przyrzad do pomiaru rezystywnosci materialu pólprzewodnikowego zwlaszcza plytek, z czujnikiem indukcyjnym, który wyposazony jest wtoroidalny rdzen ferrytowy, znamienny tym, ze czujnik Indukcyjny possadg dze*\ kubkowy (1), którego plaszczyzna czolowa (3) znajduje sie w bezposredniej bliskosci lub w styku z powierzchnia badanago materialu pólprzewodnikowego (4).
2. 2. Przyr&sd wedlug zastrz. 1, znamienny tym, ze wielkosc plaszczyzny czolowej rdzenia czujnika indukcyjnego moze byc dostosowana do rozmiarów geometrycznych badanego materialu pólprzewodnikowego. Prac. Poligraf. UP PRL nhkidó 1204-18 Cena 45 zl PL