PL78023B2 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- PL78023B2 PL78023B2 PL15633272A PL15633272A PL78023B2 PL 78023 B2 PL78023 B2 PL 78023B2 PL 15633272 A PL15633272 A PL 15633272A PL 15633272 A PL15633272 A PL 15633272A PL 78023 B2 PL78023 B2 PL 78023B2
- Authority
- PL
- Poland
- Prior art keywords
- heater
- heating
- substrate
- power supply
- vacuum
- Prior art date
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 9
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 8
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Resistance Heating (AREA)
Description
Pierwszenstwo: 29.06.1972 (P. 156332) Zgloszenie ogloszono: 30.05.1973 Opis patentowy opublikowano:. 12.05.1975 78023 KI. 42t2,11/14 MKP G11c 11/14 tlBLIOTEKA Twórcy wynalazku: Henryk Jankowski, Józef Spalek Uprawniony z patentu tymczasowego: Akademia Górniczo-Hutnicza im. Stanislawa Staszica, Kraków (Polska) Urzadzenie do grzania podloza przy nanoszeniu cienkich warstw magnetycznych Przedmiotem wynalazku jest urzadzenie do grzania podloza przy nanoszeniu cienkich warstw magnetycz¬ nych, znajdujace zastosowanie zwlaszcza przy produkcji elementów pamieci magnetycznych maszyn matema¬ tycznych.Znane jest urzadzenie do grzania podloza przy nanoszeniu cienkich warstw magnetycznych, w którym grzejnik wykonany jest w postaci metalowego bloku o znacznej masie, ma w srodku wydrazenie na uzwojenie grzejne. Pole magnetyczne jest wytwarzane przez magnes staly umieszczony w srodku komory próznioszczelnej lub przez cewki Helmholmtza umieszczone na zewnatrz, lub wewnatrz komory. Jako elementy pamieci maszyn matematycznych najczesciej wykorzystuje sie cienkie, sprzezone warstwy magnetyczne. Wytwarzanie takich warstw, wymaga dwukrotnego napylenia materialu magnetycznego na podloze w obecnosci pola magnetycznego.Powtórne napylenie przeprowadza sie w polu magnetycznym, którego kierunek jest zmieniony o 90° w stosunku do poprzedniego. Zmiane kata przylozenia pola magnetycznego realizuje sie przez obrót grzejnika wraz z za¬ montowana próbka o 90°.Wada opisanego urzadzenia jest wprowadzenie do komory prózniowej znacznej ilosci materialów zwlaszcza uzwojen grzejnych i urzadzen wytwarzajacych pole magnetyczne, co powoduje pogorszenie jakosci prózni i prze¬ dluzenie czasu pompowania. W celu dokonania obrotu grzejnika, koniecznym jest wykonanie w obudowie komo¬ ry próznioszczelnej specjalnych przepustów, które równoczesnie zmniejszaja próznioszczelnosc i podrazaja ko¬ szty aparatury.Celem wynalazku jest usuniecie powyzszych niedogodnosci, przy równoczesnym uproszczeniu konstrukcji obudowy komory próznioszczelnej i jednoczesnym pominieciu specjalnych urzadzen wytwarzajacych pole ma¬ gnetyczne.Cel ten zostal osiagniety przez skonstruowanie urzadzenia, w którym grzejnik, w ksztalcie najkorzystniej kwadratowej plytki, wykonany z materialu przewodzacego prad, ma do boków zamontowane elementy dopro¬ wadzajace prad. Elementy doprowadzajace prad, korzystnie w ksztalcie trapezu, sa polaczone przez zlaczki i przelacznik z ukladem zasilania i regulacji temperatury.2 78023 Zaleta urzadzenia do grzania podloza, wedlug wynalazku, jest prosta konstrukcja zezwalajaca na nanosze¬ nie cienkich warstw magnetycznych na próbki, bez koniecznosci montowania dodatkowych urzadzen wytwarza¬ jacych pole magnetyczne oraz bez obrotu grzejnika wraz z próbka o 90° przy równoczesnym zwiekszeniu próz- nioszczelnosci urzadzenia.Przedmiot wynalazku jest uwidoczniony w przykladzie wykonania na rysunku, na którym fig. 1 - przed¬ stawia urzadzenie do grzania podloza przy nanoszeniu cienkich warstw magnetycznych, w przekroju poprzecz¬ nym, a fig. 2 - urzadzenie w przekroju A—A.Urzadzenie do grzania podloza, wedlug wynalazku, ma komore próznioszczelna 1, wewnatrz której umie¬ szczony jest grzejnik 2. Grzejnik 2, w ksztalcie kwadratowej plytki, wykonany jest z materialu przewodzacego prad. Do boków grzejnika 2 sa zamontowane elementy doprowadzajace prad 3, najkorzystniej w ksztalcie trape¬ zu, polaczone poprzez zlaczki 4 i przelacznik 5 z ukladem zasilania i regulaqi temperatury 6. Z ukladem 6 polaczony jest równiez poprzez próznioszczelny przepust 7, termoelement8, przylegajacy do grzejnika 2. Ponad¬ to do grzejnika 2 przylega ogrzewana próbka 9, podtrzymywana przez maske 10, przytwierdzona do wsporników 11: PL
Claims (2)
1. Zastrzezenie patentowe Urzadzenie do grzania podloza przy nanoszeniu cienkich warstw magnetycznych, zawierajace grzejnik, znamienne tym, ze ma grzejnik (2) najkorzystniej w ksztalcie kwadratowej plytki, wykonany z materialu prze¬ wodzacego prad, przy czym do boków grzejnika (2) sa zamontowane elementy doprowadzajace prad, korzystnie w ksztalcie trapezu, polaczone poprzez zlaczki (4) i przelacznik (5) z ukladem zasilania i regulaqi temperatu¬ ry^*KL. 42t2,11/14 78 023 MKP Gile 11/14 U H Fig. I A-A Fig.
2. PL
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PL15633272A PL78023B2 (pl) | 1972-06-29 | 1972-06-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PL15633272A PL78023B2 (pl) | 1972-06-29 | 1972-06-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| PL78023B2 true PL78023B2 (pl) | 1975-04-30 |
Family
ID=19959139
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| PL15633272A PL78023B2 (pl) | 1972-06-29 | 1972-06-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| PL (1) | PL78023B2 (pl) |
-
1972
- 1972-06-29 PL PL15633272A patent/PL78023B2/pl unknown
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US2789222A (en) | Frequency modulation system | |
| GB1409343A (en) | Rotary magnetic engine | |
| US3539847A (en) | Nutating step motor for ac or pulse operation | |
| US3219956A (en) | Brushless rotary inductive devices | |
| US3810254A (en) | Thermostatic system for nuclear gyromagnetic resonance spectroscopic permanent magnet apparatus | |
| US3041605A (en) | Electronically scanned antenna system | |
| US2109776A (en) | Means for indicating and/or recording unknown quantities | |
| PL78023B2 (pl) | ||
| CA976613A (en) | Cavity resonator structure for an epr spectrometer employing dielectric material for improving rf electric and magnetic field uniformity along the sample | |
| CA1005561A (en) | Excitation control circuit for electromagnet coil | |
| US3390222A (en) | Electron beam apparatus with variable orientation of transverse deflecting field | |
| US3206567A (en) | Key controlled switch arrangement | |
| GB1154692A (en) | A Stepping Motor. | |
| Fukami et al. | Ferroelectric films deposited by reactive sputtering and their properties | |
| US3594669A (en) | Control device for reed switch | |
| SU1432628A1 (ru) | Поворотный переключатель | |
| US2395870A (en) | Impedance switching device | |
| GB1382208A (en) | Phase shifter | |
| Takagi et al. | Angular variation of ESR linewidth in two-dimensional organic radical salt: 3, 3′-diethyl-2, 2′-oxacarbocyanine-[TCNQ] 2 | |
| US3462668A (en) | Reversible pm synchronous motor with direction control system | |
| US3336509A (en) | Method and means for obtaining high magnetic fields | |
| US2756305A (en) | Time delay switch | |
| SU402996A1 (ru) | Исполнительный механизм для многоустойчивого | |
| US3809983A (en) | Variable speed motor | |
| US4293850A (en) | Temperature compensated rotary positioner |