PL78023B2 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
PL78023B2
PL78023B2 PL15633272A PL15633272A PL78023B2 PL 78023 B2 PL78023 B2 PL 78023B2 PL 15633272 A PL15633272 A PL 15633272A PL 15633272 A PL15633272 A PL 15633272A PL 78023 B2 PL78023 B2 PL 78023B2
Authority
PL
Poland
Prior art keywords
heater
heating
substrate
power supply
vacuum
Prior art date
Application number
PL15633272A
Other languages
English (en)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to PL15633272A priority Critical patent/PL78023B2/pl
Publication of PL78023B2 publication Critical patent/PL78023B2/pl

Links

Landscapes

  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Resistance Heating (AREA)

Description

Pierwszenstwo: 29.06.1972 (P. 156332) Zgloszenie ogloszono: 30.05.1973 Opis patentowy opublikowano:. 12.05.1975 78023 KI. 42t2,11/14 MKP G11c 11/14 tlBLIOTEKA Twórcy wynalazku: Henryk Jankowski, Józef Spalek Uprawniony z patentu tymczasowego: Akademia Górniczo-Hutnicza im. Stanislawa Staszica, Kraków (Polska) Urzadzenie do grzania podloza przy nanoszeniu cienkich warstw magnetycznych Przedmiotem wynalazku jest urzadzenie do grzania podloza przy nanoszeniu cienkich warstw magnetycz¬ nych, znajdujace zastosowanie zwlaszcza przy produkcji elementów pamieci magnetycznych maszyn matema¬ tycznych.Znane jest urzadzenie do grzania podloza przy nanoszeniu cienkich warstw magnetycznych, w którym grzejnik wykonany jest w postaci metalowego bloku o znacznej masie, ma w srodku wydrazenie na uzwojenie grzejne. Pole magnetyczne jest wytwarzane przez magnes staly umieszczony w srodku komory próznioszczelnej lub przez cewki Helmholmtza umieszczone na zewnatrz, lub wewnatrz komory. Jako elementy pamieci maszyn matematycznych najczesciej wykorzystuje sie cienkie, sprzezone warstwy magnetyczne. Wytwarzanie takich warstw, wymaga dwukrotnego napylenia materialu magnetycznego na podloze w obecnosci pola magnetycznego.Powtórne napylenie przeprowadza sie w polu magnetycznym, którego kierunek jest zmieniony o 90° w stosunku do poprzedniego. Zmiane kata przylozenia pola magnetycznego realizuje sie przez obrót grzejnika wraz z za¬ montowana próbka o 90°.Wada opisanego urzadzenia jest wprowadzenie do komory prózniowej znacznej ilosci materialów zwlaszcza uzwojen grzejnych i urzadzen wytwarzajacych pole magnetyczne, co powoduje pogorszenie jakosci prózni i prze¬ dluzenie czasu pompowania. W celu dokonania obrotu grzejnika, koniecznym jest wykonanie w obudowie komo¬ ry próznioszczelnej specjalnych przepustów, które równoczesnie zmniejszaja próznioszczelnosc i podrazaja ko¬ szty aparatury.Celem wynalazku jest usuniecie powyzszych niedogodnosci, przy równoczesnym uproszczeniu konstrukcji obudowy komory próznioszczelnej i jednoczesnym pominieciu specjalnych urzadzen wytwarzajacych pole ma¬ gnetyczne.Cel ten zostal osiagniety przez skonstruowanie urzadzenia, w którym grzejnik, w ksztalcie najkorzystniej kwadratowej plytki, wykonany z materialu przewodzacego prad, ma do boków zamontowane elementy dopro¬ wadzajace prad. Elementy doprowadzajace prad, korzystnie w ksztalcie trapezu, sa polaczone przez zlaczki i przelacznik z ukladem zasilania i regulacji temperatury.2 78023 Zaleta urzadzenia do grzania podloza, wedlug wynalazku, jest prosta konstrukcja zezwalajaca na nanosze¬ nie cienkich warstw magnetycznych na próbki, bez koniecznosci montowania dodatkowych urzadzen wytwarza¬ jacych pole magnetyczne oraz bez obrotu grzejnika wraz z próbka o 90° przy równoczesnym zwiekszeniu próz- nioszczelnosci urzadzenia.Przedmiot wynalazku jest uwidoczniony w przykladzie wykonania na rysunku, na którym fig. 1 - przed¬ stawia urzadzenie do grzania podloza przy nanoszeniu cienkich warstw magnetycznych, w przekroju poprzecz¬ nym, a fig. 2 - urzadzenie w przekroju A—A.Urzadzenie do grzania podloza, wedlug wynalazku, ma komore próznioszczelna 1, wewnatrz której umie¬ szczony jest grzejnik 2. Grzejnik 2, w ksztalcie kwadratowej plytki, wykonany jest z materialu przewodzacego prad. Do boków grzejnika 2 sa zamontowane elementy doprowadzajace prad 3, najkorzystniej w ksztalcie trape¬ zu, polaczone poprzez zlaczki 4 i przelacznik 5 z ukladem zasilania i regulaqi temperatury 6. Z ukladem 6 polaczony jest równiez poprzez próznioszczelny przepust 7, termoelement8, przylegajacy do grzejnika 2. Ponad¬ to do grzejnika 2 przylega ogrzewana próbka 9, podtrzymywana przez maske 10, przytwierdzona do wsporników 11: PL

Claims (2)

1. Zastrzezenie patentowe Urzadzenie do grzania podloza przy nanoszeniu cienkich warstw magnetycznych, zawierajace grzejnik, znamienne tym, ze ma grzejnik (2) najkorzystniej w ksztalcie kwadratowej plytki, wykonany z materialu prze¬ wodzacego prad, przy czym do boków grzejnika (2) sa zamontowane elementy doprowadzajace prad, korzystnie w ksztalcie trapezu, polaczone poprzez zlaczki (4) i przelacznik (5) z ukladem zasilania i regulaqi temperatu¬ ry^*KL. 42t2,11/14 78 023 MKP Gile 11/14 U H Fig. I A-A Fig.
2. PL
PL15633272A 1972-06-29 1972-06-29 PL78023B2 (pl)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL15633272A PL78023B2 (pl) 1972-06-29 1972-06-29

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL15633272A PL78023B2 (pl) 1972-06-29 1972-06-29

Publications (1)

Publication Number Publication Date
PL78023B2 true PL78023B2 (pl) 1975-04-30

Family

ID=19959139

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PL15633272A PL78023B2 (pl) 1972-06-29 1972-06-29

Country Status (1)

Country Link
PL (1) PL78023B2 (pl)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US2789222A (en) Frequency modulation system
GB1409343A (en) Rotary magnetic engine
US3539847A (en) Nutating step motor for ac or pulse operation
US3219956A (en) Brushless rotary inductive devices
US3810254A (en) Thermostatic system for nuclear gyromagnetic resonance spectroscopic permanent magnet apparatus
US3041605A (en) Electronically scanned antenna system
US2109776A (en) Means for indicating and/or recording unknown quantities
PL78023B2 (pl)
CA976613A (en) Cavity resonator structure for an epr spectrometer employing dielectric material for improving rf electric and magnetic field uniformity along the sample
CA1005561A (en) Excitation control circuit for electromagnet coil
US3390222A (en) Electron beam apparatus with variable orientation of transverse deflecting field
US3206567A (en) Key controlled switch arrangement
GB1154692A (en) A Stepping Motor.
Fukami et al. Ferroelectric films deposited by reactive sputtering and their properties
US3594669A (en) Control device for reed switch
SU1432628A1 (ru) Поворотный переключатель
US2395870A (en) Impedance switching device
GB1382208A (en) Phase shifter
Takagi et al. Angular variation of ESR linewidth in two-dimensional organic radical salt: 3, 3′-diethyl-2, 2′-oxacarbocyanine-[TCNQ] 2
US3462668A (en) Reversible pm synchronous motor with direction control system
US3336509A (en) Method and means for obtaining high magnetic fields
US2756305A (en) Time delay switch
SU402996A1 (ru) Исполнительный механизм для многоустойчивого
US3809983A (en) Variable speed motor
US4293850A (en) Temperature compensated rotary positioner