PL67896B1 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
PL67896B1
PL67896B1 PL132044A PL13204469A PL67896B1 PL 67896 B1 PL67896 B1 PL 67896B1 PL 132044 A PL132044 A PL 132044A PL 13204469 A PL13204469 A PL 13204469A PL 67896 B1 PL67896 B1 PL 67896B1
Authority
PL
Poland
Prior art keywords
interferometer
ring
mirror
condenser
interference
Prior art date
Application number
PL132044A
Other languages
English (en)
Inventor
Pluta Maksymilian
Original Assignee
Centralne Laboratorium Optyki
Filing date
Publication date
Application filed by Centralne Laboratorium Optyki filed Critical Centralne Laboratorium Optyki
Publication of PL67896B1 publication Critical patent/PL67896B1/pl

Links

Description

Zamiast przesuwac lub wymieniac soczewki Sj i S2 bardziej efektyw¬ nym rozwiazaniem jest zastosowanie ukladu o 65 zmiennej ogniskowej.67 896 10 25 30 W zasadzie dla obiektywów o róznych powiek¬ szeniach powinny byc stosowane przyslony aper- turowe D o róznej srednicy i szerokosci pierscie¬ nia R oraz rózne wyimdary pierscieni N i M na zwierciadlach Zx i Z2. Przez odpowiedni dobór so- 5 czewki Sj (lub ukladu zmieimoogniskowego) moz¬ na jednak dla róznych obiektywów zachowac jeden wymiar pierscieni BL i M.Korzystnie jest plytki cwiercfalowe Cj i C2 przy- kleic do zwierciadel Zj i Z* Unika sie wówczas 10 szkodliwego swiatla odbitego od tylnych powierzch¬ ni tych plytek. Swiatlo odbite od przednich po¬ wierzchni cwiercfalówek C± i G2 lub od wszelkich innych powierzchni granicznych, znajdujacych sie miedzy warstwa W a plytkami Cx i C2, nie jest 15 szkodliwe, gdyz jest ono spolaryzowane w taki sposób, ze nie przechodzi do plaszczyzny obrazo¬ wej okulara Ok.Zastepujac w ukladzie przedstawionym na fig. 1 przyslone kondensorowa pierscieniowa D, przyslo- 20 na szczelinowa Dj (fig. 4) oraz zwierciadla Zj i Z2 — zwierciadlami pelnymi Z3 i Z4, otrzymuje sie uklad do obserwacji interferencyjnej bez zasadni¬ czej zmiany pozostalych elementów ukladu poprzed¬ niego. W ukladzie tym (fig. 4) nie ma rozgrani¬ czenia na swiatlo bezposrednie i dyfrakcyjne.W wiazce swietlnej 1 odbitej od zwierciadla Zs i przechodzacej nastepnie przez kostke PI miesci sie zarówno swiatlo bezposrednie i ugiete na bada¬ nym przedmiocie B.Podobnie jest z wiazka 2 odbita od zwierciadla Z4, a nastepnie od warstwy W kostki PI. Wiazki te nakladajac sie tworza w polu widzenia obraz in¬ terferencyjny w postaci prazków lub jednorodnej barwy. Mozliwe przy tym jest otrzymywanie inter¬ ferencji dwoma sposobaimi.W pierwszym sposobie obraz szczeliny R± odwzo¬ rowuje sie za pomoca soczewki Sj na powierzchni zwierciadel Z8 i Z4. Odleglosc tych zwierciadel od kostki PI jest tak dobrana, aby drogi promieni 1 i 2 byly takie same. Jezeli w tych warunkach czolo powierzchni falowej stowarzyszonej z wiaz¬ ka swietlna 1 bedzie przecinac sie z analogicznym czolem powierzchni falowej wiazki 2 pod pewnym malym katem, to po usunieciu okulara Ok za¬ obserwuje sie w poblizu zwierciadla Z8 prostoli¬ niowe prazki interferencyjne z czarnym prazkiem zerowego rzedu i szeregiem barwnych prazków biegnacych równolegle do czarnego (w swietle mo¬ nochromatycznym wystepuja na zmiane prazki czarne i jasne). Pochylajac odpowiednio jedno ze 50 zwierciadel Zs i Z4 prazki te mozna ustawic rów¬ nolegle do obrazu szczeliny R1# Jezeli nastepnie szczeline Rx tak sie zawezi, ze bedzie „wycinac" z jakiegos prazka tylko jedna barwe, to w polu widzenia na mniej lub bardziej jednorodnym tle 55 o takiej samej barwie, jaka szczelina wycina z ukla¬ du barwnych prazków, zaobserwuje sie obraz bada¬ nego przedmiotu B, mniej lub bardziej rozdwojo¬ ny.W obszarze, gdzie obrazy na siebie zachodza 60 barwa interferencyjna bedzie taka sama jak bar¬ wa tla, natomiast barwa obszaru rozdwojonego be- clzie sie róznic od barwy tla w stopniu tym wiek¬ szym (wedlug skali barw interferencyjnych) im wieksze przesuniecie fazowe wprowadza badany 65 40 45 przedmiot B. W przypadku stosowania swiatla mo¬ nochromatycznego rozdwojone obszary obrazu przedmiotu B beda sie róznily od tla tylko pod wzgledem jasnosci.Pomiar róznicy drogi optycznej wprowadzanej przez badany przedmiot odbywa sie przy tym w ta¬ ki sam sposób, jak zmiana przesuniecia fazowego miedzy swiatlem bezposrednim i dyfrakcyjnym w przedstawionym poprzednio mikroskopie fazowo- -kontrastowym. Obrót analizatora o 180° wprowa¬ dza miedzy interferujacymi falami swietlnymi róz¬ nice drogi optycznej równa jednej dlugosci fali swietlnej. Nastawiajac tlo pola widzenia na ma¬ ksymalnie czarna barwe zerowego rzedu t interfe¬ rencyjnego, a nastepnie obracajac analizator A od polozenia skrzyzowanego z polaryzatorem P (jest to ustawienie zerowe analizatora) do polozen 0± i ®2 przy których maksymalnie ciemny staje sie je¬ den a nastepnie drugi rozdwojony obraz badanego przedmiotu, róznice drogi optycznej d wprowadza¬ na przez ten przedmiot oblicza sie ze wzoru 6 = ej-ej. 360° gdzie A jest dlugoscia fali uzytego swiatla. W po¬ wyzszy sposób wyznacza sie wartosci <5 < L W przypadku S X róznice drogi optycznej, od¬ powiadajaca calkowitej dlugosci fali swietlnej, od¬ czytuje sie w swietle bialym na podstawie barw i rzedów interferencyjnych.Pochylajac jedno ze zwierciadel Z3 i Z4 mozna uzyskiwac tylko nieznaczne rozdwojenie obrazu.Dla otrzymywania duzych rozdwojen obrazu sluzy diasporaimetr KO skladajacy sie z dwóch klinów obrotowych. W celu skompensowania drogi optycz¬ nej diasporametru w druga galaz interferometru wstawiona jest plytka PK wykonana z tego sa¬ mego szkla co diasporametr KO.Zamiast diasporametru KO i plaskorównoleglej plytki kompensacyjnej PK mozna umiescic w jed¬ nej galezi interferometru jeden klin szklany obro¬ towy, a w drugiej galezi drugi identyczny klin, które lacznie spelniaja role diasporametru i sa wza¬ jemnie dla siebie kompensatorami róznicy diogi optycznej.Przejscie od interferencji jednorodnej do praz¬ kowej realizuje sie przez wyprowadzenie obrazu szczeliny Rj z plaszczyzny lokalizacji prazków in¬ terferencyjnych, powstajacych w poblizu zwier¬ ciadla Z8. Dokonuje sie tego przez przesuniecie soczewki Sx w kierunku pionowym.Przez uklad interferencyjny przedstawiony na fig. 4 przebiegaja nierównolegle wiazki swiatla, podobnie jak przez uklad przedstawiony na fig. 1.Na ogól w ukladach interferencyjnych typu Mi- chelsona stosuje sie równolegly bieg promieni mie¬ dzy odbijajacymi zwierciadlami. W zastosowaniu do mikroskopu moze byc brany pod uwage równoleg¬ ly bieg promieni zrenicowych albo równolegly bieg promieni obrazowych. W pierwszym przypadku uklad interferometru obiegaja wiazki równolegle promieni swietlnych wychodzacych z ogniska obra¬ zowego F obiektywu Ob (czyli ze szczeliny R^ przyslony Dj, której obraz tworzy sie w ognisku F), a w drugim przypadku — wiazki równolegleii 67 896 12 promieni wychodzacych z badanego przedmiotu B.Równolegly bieg promieni zrenicowych realizuje sie przez odpowiednie ustawienie soczewki St (jej ognisko musi sie pokrywac z ogniskiem F obiekty¬ wu Ob), a równolegly bieg promieni obrazowych przez wstawienie na miejsce soczewki dodatniej Sj soczewki ujemnej, której ognisko pokrywa sie z plaszczyzna obrazowa obiektywu Ób.Odmiana rozwiazania mikroskopu, przedstawiona na fig. 5, zezwala równoczesnie na obserwacje fazowo-koritrastowa i interferencyjna. W ukladzie tym przyslona Ej wraz ze zwierciadlem Z3 spel¬ niaja taka sama role jak zwierciadlo pierscienio¬ we Zj w ukladzie przedstawionym na fig. 1, a przyslona E2 i zwierciadlo Z4 — taka sama role jak zwierciadlo Z2. Wlaczajac przyslony Et i E2 mozna przeprowadzic obserwacje fazowo-kontrastowa po¬ dobnie jak za pomoca ukladu przedstawionego na fig. 1, natomiast wylaczajac te przyslony uklad sprowadza sie do ukladu interferencyjnego przed¬ stawionego na fig. 4.W przypadku obserwacji fazowo-kontrastowej diasporamietr KO jest tak ustawiony, azeby nie wystepowalo zadne rozdwojenie obrazu badanego przedmiotu.Zmieniajac obiektyw Ob o jednym powiekszeniu na obiektyw o innym powiekszeniu nalezy soczew¬ ke §! odpowiednio przesunac w kierunku piono- nym lub wymienic na inna tak, aby ognisko obra¬ zowe obiektywu F zostalo odwzorowane w pobli¬ zu powierzchni odbijajacych zwierciadel Z3 i Z4 (ognisko obrazowe obiektywów o róznych powiek¬ szeniach znajduje sie bowiem na róznej wysokos¬ ci).Stosownie do tego dla zachowania stalej odleglos¬ ci plaszczyzny oporowej obiektywów od preparatu nalezy przeogniskowac soczewke S2 lub wymienic ja na inna o odpowiednio dobranej ogniskowej.Zamiast przesuwnych lub wymiennych soczewek Sx i S2 moga byc oczywiscie zastosowane uklady zmiennoogniskowe. PL PL

Claims (6)

1. Zastrzezenia patentowe 1. Mikroskop interferencyjny i fazowy ze zmien¬ nym kontrastem skladajacy sie ze zródla swiatla, kondensora, obiektywu, okulara oraz interferome¬ tru typu Michelsona umieszczonego miedzy obiek¬ tywem i okularem, znamienny tym, ze w ukla¬ dzie interferometru Michelsona zastosowany jest swiatlodzielacy polaryzator interferencyjny (PI), miedzy którym a zwierciadlami interferometru (Zlf 10 15 20 25 30 35 40 45 50 Z2) umieszczone sa plytki cwiercfalowe (Clt C2) skrecajace o 90° kierunek drgan promieni swietl¬ nych dwukrotnie przez te plytki przechodzacych, dzieki czemu wiazki swietlne (1, 2) rozdzielone, przez polaryzator interferencyjny (PI) i nastepnie odbite przez zwierciadla (Zlt Z2) sa przez polary¬ zator z powrotem polaczone i po przejsciu przez trzecia plytke cwiercfalowa (Cs) oraz analizator (A), interferuja ze soba, przy czym obracajac ana¬ lizatorem (A) i dodatkowym filtrem polaryzacyj¬ nym (P), umieszczonym przed polaryzatorem in¬ terferencyjnym (PI), zmienia sie faze i amplitude miedzy interferujacymi wiazkami swietlnymi.
2. Mikroskop wedlug zastrz. 1, znamienny tym, ze zwierciadlo (Zt) ma warstwe odbijajaca w po¬ staci pierscienia (N), a zwierciadlo (Z2) ma warstwe odbijajaca z przezroczystym lub pochlaniajacym swiatlo pierscieniem (M), przy czym obydwa piers¬ cienie (N, M) sa optycznie sprzezone z diafragma (D) umieszczona w plaszczyznie ogniskowej kon¬ densora (K) i zawierajaca pierscieniowy otwór (R) o wymiarach tak dobranych, aby jego obraz nie wychodzil poza obreb pierscienia (N) zwierciadla (Zt) interferometru, oraz pierscienia (M) zwierciad¬ la (Z2) interferometru.
3. Odmiana mikroskopu wedlug zastrz. 1, zna¬ mienna tym, ze jego kondensor (K) zawiera dia- fragme aperturowa (D±) ze szczelina (Rt) odwzoro¬ wywana na powierzchniach odbijajacych zwier¬ ciadel (Z8, Z4) interferometru, przy czym diafrag¬ ma ta jest zamocowana obrotowo wokól osi kon¬ densora.
4. Odmiana mikroskopu wedlug zastrz. 1, zna¬ mienna tym, ze jedno zwierciadlo (Z8) ukladu in¬ terferencyjnego zaopatrzone jest w przyslone (Ex) z przezroczystym pierscieniem (Nj), a drugie zwier¬ ciadlo (Z4) zaopatrzone jest w przyslone (E2) z nie¬ przezroczystym pierscieniem (Mj), przy czym obyd¬ wa pierscienie (Slf Mt) sa optycznie sprzezone z diafragma aperturowa, umieszczona w plaszczyznie ogniskowej kondensora (K) i zawierajaca pierscie¬ niowy otwór o wymiarach tak dobranych, aby je¬ go obraz nie wychodzil poza obreb pierscieni (Nlr Mj) przyslon (Ej, E2) znajdujacych sie przed zwier¬ ciadlami interferometru.
5. Mikroskop wedlug zastrz. 4, znamienny tym, ze przyslony (El5 E2) sa zamontowane w listwie przesuwnej lub tarczy obrotowej umozliwiajacej ich wylaczenie poza bieg promieni swietlnych.
6. Mikroskop wedlug zastrz. 4, znamienny tym, ze jego kondensor (K) zawiera uklad wymiennych przyslon aperturowych (D, Dj), z pierscieniowym otworem (R) i szczelina (Rj).KI. 42h, 14/05 67 896 MKP G02b 21/14 CC! /\ / -P § $ Q O- Ul ^KI *3h,14/05 67896 MKP G02b 21/14 CC p f; M fpf 1 f A A A RSW PWP W-wa, Zakl. 3, z. 162-73, nakl. 95+20 egz. Cena zl 10,— PL PL
PL132044A 1969-03-01 PL67896B1 (pl)

Publications (1)

Publication Number Publication Date
PL67896B1 true PL67896B1 (pl) 1972-12-30

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3658405A (en) Variable phase-contrast and interference microscope
Lang Nomarski differential interference-contrast microscopy
US6519040B1 (en) Imaging system and method for Fourier transform spectroscopy
DE3240234C2 (de) Oberflächenprofil-Interferometer
US2770166A (en) Improvements in and relating to optical apparatus for producing multiple interference patterns
US6853455B1 (en) Apparatus and methods for fourier spectral analysis in a scanning spot microscope
US4367046A (en) Optical system for aligning two patterns and a photorepeater embodying such a system
US3879133A (en) Method and apparatus for comparing two objects having similar shapes and dimensions
KR20180103850A (ko) 위상 쉬프트량 측정 장치
US3495890A (en) Polarizing interferometer microscope
PL67896B1 (pl)
US4492470A (en) Measuring microscope
DE2710795C3 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Messen von Verschiebungen oder Schwingungen einer Oberfläche
Pluta A double refracting interference microscope with variable image duplication and half-shade eyepiece
US3563629A (en) Device for measuring path differences on objects
US3601466A (en) Method for detecting an aberration-compensated image
RU2527316C1 (ru) Интерференционный микроскоп
US3701579A (en) Holographic interference microscopy
RU2057357C1 (ru) Автокоррелятор световых импульсов
JP3012681B2 (ja) 倍率可変型光学装置
EP0475991B1 (en) Scanning optical microscope
GB885224A (en) Improvements in or relating to optical microscopes
SU1027669A1 (ru) Теневой прибор
SU1268948A1 (ru) Устройство дл контрол угловых параметров плоскопараллельных пластин
CN118225397A (zh) 标定dmd滤出波长的系统