Przedmiotem wzoru uzytkowego jest stabilizator koncówek termopar stosowanych w technice prózniowej, a w szczególnosci w operacjach termicznych w ultra wysokiej prózni, jak to ma miejsce np. w technologii MBE (molecular beam epitaxy).W prowadzonych za pomoca tej technologii procesach wzrostu warstw epitaksjalnych najczesciej stosowanymi czujnikami temperatury satermopary, a materialy, z których te termopary sa wykonane charakteryzuja sie niskimi preznosciami par w wysokich temperaturach.Z tych tez wzgledów najczesciej czujniki takie wykonywane sa ze stopów wolframu i renu. Termopary wykonane z tych stopów tworza tzw. klasy C i D tych przyrzadów.Zlacze termoparowe np. klasy C utworzone jest ze stopów W-Re (5% Re) i W-Re (26%Re) natomiast klasy D ze stopów W-Re (3%Re) i W-Re (25%Re). Termopary te moga pracowac w ultra wysokiej prózni do temperatury ok. 2500°C. Duza niedogodnoscia w stosowaniu tych czujników, a wlasciwie w instalowaniu ich w odpowiednim urzadzeniu jest duza sztywnosc drutów z których wykonane satermopary (stopy wolframu) i bardzo duza ich kruchosc w bezposrednim sasiedztwie zlacza-2- termoparowego, które wykonuje sie przez stopienie wiazka elektronowa lub przez zgrzanie pradowe. W przypadku gdy koncówki termopary nie sa stabilizowane w stosunku do ceramicznej obudowy to próby jej zamontowania w urzadzeniu zwykle koncza sie ukruszeniem jednej z koncówek.Aby uniknac tej niedogodnosci i ulatwic montowanie takich termopar np. w komórkach efuzyjnych lub w grzejnikach podlozy czy tez w innych urzadzeniach grzejnych pracujacych w wysokiej prózni nalezy zastosowac odpowiedni stabilizator.Stabilizator wedlug wzoru uzytkowego posiada przelotowy korpus w ksztalcie odwróconej litery „T". Korpus ten z jednej strony ma tuleje zaciskowa polaczona za pomoca polaczenia gwintowego z nakretka dociskowa, a z drugiej strony korpus ma kolnierz z otworem. Wewnatrz takiego korpusu znajduje sie termopara, która na dlugosci tulei zaciskowej umieszczona jest w obudowie ceramicznej, a na dlugosci kolnierza umieszczona jest wewnatrz wkladek izolacyjnych dociskanych wkretem poprzez otwór w kolnierzu.Stabilizator koncówek termopar wedlug przedmiotowego wzoru uzytkowego pokazano na rysunku.Glównym celem tego stabilizatorajest unieruchomienie termopary, podczas jej montazu w urzadzeniu prózniowym. Przy czym termopara, ta w czesci znajduje sie w oslonie ceramicznej, a w czesci jest pozbawiona tej oslony.Stabilizator posiada przelotowy korpus w ksztalcie odwróconej litery „T". Korpus ten z jednej strony ma tuleje zaciskowa 8 polaczona za pomoca polaczenia gwintowego z nakretka dociskowa 4,az drugiej strony korpus ma kolnierz l z otworem. Wewnatrz korpusu znajduje sie termopara 7. Termoparata znajduje sie w obudowie ceramicznej6, ale jej wyprowadzenia nie sa osloniete. Aby zapewnic unieruchomienie obudowy ceramicznej wzgledem nieoslonietych koncówek termopary umieszcza sie ja tak w stabilizatorze, aby na dlugosci tulei zaciskowej 8 korpusu znajdowala sie w obudowie ceramicznej, a na dlugosci kolnierza 1 wewnatrz dociskanych wkretem 3 wkladek izolacyjnych 2.Montowanie termopary rozpoczyna sie od ulokowania jej ceramicznej obudowy 6 w stabilizatorze koncówek termopary, przy C2ym obudowa ta musi byc tak usytuowana, ze gdyby poprowadzic plaszczyzne przechodzaca przez srodki otworów tej obudowy, to powinna ona byc prostopadla do osi wkretu 3.Po wlasciwym usytuowaniu obudowy termopary j) nalezy dokrecic nakretke dociskowa 4, przez co uzyskuje sie trwale zamocowanie ceramicznej obudowy termopary. W dalszej kolejnosci nalezy w zamocowana tak obudowe wprowadzic odpowiednia pare drutów tworzacych termopare. Nastepnie wokól konców drutów termopary umieszcza sie w kolnierzu 1 korpusu wkladki izolacyjne 2 i dociska sie je za pomoca wkretu 3.Takie umocowanie powoduje trwale usytuowanie koncówek termopary wzgledem ceramicznej obudowy 6 co umozliwia wykonanie zlacza termoparowego 5 i swobodne operowanie koncówkami w trakcie montazu termopary w urzadzeniu prózniowym realizujacym odpowiedni proces.Z-C^DYREKTORA INSTYTUT d/^^cdflwczg^echnicziiycli R^CZ .''-l\-jA'fZ:?7C''-'Y Technologii Prózniowej :lts^v) /} 00-241 Warszawa,ul.Dluga44/50 WhA KtrtnL WMfirki '/ tel 831_51_64 OT nu. aieran wojcicki "¦¦zeca-iyr.* Jur^ fax 831-21-6011 1 O 2 7 14 PL PLThe subject of the utility model is the stabilizer of the tips of thermocouples used in the vacuum technique, in particular in thermal operations in ultra-high vacuum, as is the case, for example, in the MBE (molecular beam epitaxy) technology. In the processes of epitaxial layer growth carried out with this technology, the most commonly used sensors thermocouple temperatures, and the materials from which these thermocouples are made are characterized by low vapor pressures at high temperatures. For these reasons, most often such sensors are made of tungsten and rhenium alloys. Thermocouples made of these alloys form the so-called class C and D of these devices. Thermocouple connectors, e.g. class C, are made of W-Re (5% Re) and W-Re (26% Re) alloys, while class D is made of W-Re (3% Re) and W- alloys Re (25% Re). These thermocouples can work under ultra-high vacuum up to a temperature of approx. 2500 ° C. A big inconvenience in the use of these sensors, and in fact in installing them in a suitable device, is the high stiffness of the wires from which shermocouples (tungsten alloys) are made and their very high brittleness in the immediate vicinity of the 2-thermocouple junction, which is performed by electron beam melting or by electric welding. In the case when the thermocouple ends are not stabilized in relation to the ceramic housing, attempts to install it in the device usually end with breaking one of the ends. In order to avoid this inconvenience and facilitate the installation of such thermocouples, e.g. in effusion cells or substrate heaters, or in other devices. heating elements working in high vacuum, an appropriate stabilizer should be used. The stabilizer, according to the utility pattern, has a through body in the shape of an inverted "T" letter. On one side, this body has a clamping sleeve connected with a clamping nut by means of a threaded connection, and on the other side, the body has a flange with a hole Inside such a body there is a thermocouple which, along the length of the clamping sleeve, is placed in a ceramic housing, and along the length of the collar, it is placed inside the insulating inserts pressed with a screw through the hole in the collar. The stabilizer of the thermocouple ends according to the applied pattern is shown in the figure. the main purpose of this stabilizer is to immobilize the thermocouple when it is mounted in a vacuum device. The thermocouple is partly located in the ceramic sheath and partly devoid of this sheath. The stabilizer has a through body in the shape of an inverted "T" letter. This body on one side has a collet 8 connected by means of a threaded connection to a clamping nut 4 on the other side, the body has a flange l with a hole. Inside the body there is a thermocouple 7. The thermocouple is located in a ceramic housing6, but its leads are not shielded. To ensure that the ceramic housing is locked against the exposed ends of the thermocouple, it is placed in the stabilizer, so that it is The clamping sleeve 8 of the body was placed in the ceramic housing, and on the length of the flange 1 inside, tightened with a screw 3 insulating inserts 2. The thermocouple installation begins with placing its ceramic housing 6 in the stabilizer of the thermocouple ends, with C2ym the housing must be positioned so that if a plane passing through the centers of the holes of the housing, it should be perpendicular to the axis of the screw 3. After the thermocouple housing j) is properly positioned, tighten the clamping nut 4, which results in permanent fixing of the ceramic housing of the thermocouple. Next, the appropriate pair of wires forming a thermocouple should be introduced into the housing secured in this way. Then, around the ends of the thermocouple wires, insulating inserts 2 are placed in the flange 1 of the body and tightened with a screw 3. Such fastening causes permanent positioning of the thermocouple tips relative to the ceramic housing 6, which enables the thermocouple connector 5 to be made and the tips can be operated freely during the installation of the thermocouple in the device process. ZC ^ DIRECTOR INSTITUTE d / ^^ cdflwczg ^ echnicziiycli R ^ CZ .''- l \ -jA'fZ:? 7C '' - 'Y Vacuum Technology: lts ^ v) /} 00-241 Warsaw , ul. Długa 44/50 WhA KtrtnL WMfirki '/ tel 831_51_64 OT nu. aieran wojcicki "¦¦zeca-iyr. * Jur ^ fax 831-21-6011 1 O 2 7 14 PL PL