PL60047B1 - - Google Patents

Description

Pierwszenstwo: Opublikowano: 30.V.1970 60047 KI. 21 g, 11/02 MKP HOll 1-/00 UKD *±*h—¦ - r -<¦-*¦ i i r•¦¦'' Twórcawynalazku: dr inz. TadeuszWysocki Wlasciciel patentu: Politechnika Wroclawska, Wroclaw (Polska) Przyrzad do bazowania masek wzgledem podlozy przy nakladaniu warstw cienkich Przedmiotem wynalazku jest przyrzad do bazo¬ wania masek wzgledem podlozy, przy nakladaniu warstw cienkich majacy zastosowanie zwlaszcza przy wytwarzaniu cienkowarstwowych ukladów sca¬ lonych metoda prózniowego napylania lub naparo¬ wywania.Dotychczasowe metody bazowania polegaja na t3^m, ze podloze (plytka szklana) bazuje sie wzgle¬ dem jednej podstawy lub ramki, a maske (folia metalowa) wzgledem drugiej podstawy, po czym te dwie podstawy laczy sie ze soba. Ustalanie wzajem¬ nych polozen odbywa sie zwykle za pomoca walco¬ wych kolków bazujacych.Wada takich rozwiazan jest koniecznosc bardzo dokladnego wykonania przyrzadów bazujacych, w celu unikniecia skutków sumowania sie odchylek poszczególnych bazowan i zapewnienia dobrej po¬ wtarzalnosci wszystkich przyrzadów bazujacych.Niedokladnosc i powtarzalnosc przyrzadów bazuja¬ cych ogranicza bowiem mozliwosc miniaturyzacji elementów cienkowarstwowych, poniewaz proces wytwarzania scalonych ukladów cienkowarstwo¬ wych polega nieraz na kilkakrotnym nakladaniu róznych warstw o róznych ksztaltach za pomoca róznych masek, na jedno podloze.Celem wynalazku jest unikniecie powyzszych nie¬ dogodnosci, zas zadaniem wynalazku jest stworze¬ nie prostego technologicznie przyrzadu do doklad¬ nego i powtarzalnego bazowania róznych masek wzgledem znormalizowanych podlozy. 15 25 30 Zadanie to zostalo rozwiazane w ten spoisób, ze przyrzad do bazowania masek wzgledem podlozy ma trzy bazujace kolki z kolnierzami, które sa tak wtloczone do podstawy, ze dluzszy bok prostokat¬ nego podloza opiera sie o dwa kolnierze a krótszy bok opiera sie o jeden kolnierz bazujacego kolka.Przyrzad do bazowania wedlug wynalazku umoz¬ liwia dokladne i powtarzalne bazowanie masek wzgledem podlozy, a jednoczesnie jest prosty kon¬ strukcyjnie i technologicznie oraz nie wymaga wy¬ sokiej dokladnosci wykonania elementów sklado¬ wych. Dokladnosc i powtarzalnosc bazowania masek wzgledem podlozy zalezy bowiem tylko od wspól- osiowosci oraz dokladnosci wykonania malej i duzej srednicy kolków bazujacych.Wynalazek zostanie blizej objasniony w przykla¬ dzie wykonania, przedstawionym na rysunku, na którym fig. 1 przedstawia widok podstawy przy¬ rzadu, fig. 2 — przekrój poprzeczny przyrzadu z maska i podlozem, a fig. 3 przedstawia ksztalt i roz¬ mieszczenie otworów bazujacych w masce.Przyrzad wedlug wynalazku sklada sie z podsta¬ wy 1, bazujacych kolków 7, bazujacej sprezyny 3, dociskajacej ramki 5 i laczacej klamry 6, które za¬ pewniaja wzajemne ustawienie podloza 2 i maski 4.Podloze 2 dociskane jest za pomoca bazujacej sprezyny 3 do kolnierzy 9 trzech bazujacych kol¬ ków 7, które wtloczone .sa do podstawy 1. Grubosc podloza 2, srednica drutu bazujacej sprezyny 3 oraz wysokosc kolnierzy 9 bazujacych kolków 7, sa jed- 6004760047 nakowe. Maske 4 kladzie sie na zabazowane podloze 2 tak, aby bazujace kolki 7 weszly do otworów 10 w masce 4, a nastepnie calosc laczy sie za pomoca dociskajacej ramki 5 i laczacej klamry 6. Bazujace kolki 7 wchodza luzno do otworów 8 w dociskajacej ramee 5. Kolnierze 9 bazujacych kolków 7 maja z jednej strony ukosne sciecia, które w czasie mon¬ tazu zabezpieczaja przed zsunieciem sie bazujacej sprezyny 3 wykonanej w ksztalcie prostokata. PL

Claims (4)

1. Zastrzezenia patentowe 1. Przyrzad do bazowania masek wzgledem pod¬ lozy przy nakladaniu warstw cienkich, znamienny tym, ze ma trzy bazujace kolki (7) z kolnierzami (9)„ które sa tak wtloczone do podstawy (1), ze dluzszy bok prostokatnego podloza (2) opiera sie o dwa kol¬ nierze (9), a krótszy bok podloza (2) opiera sie o jeden kolnierz (9) bazujacego kolka (7).
2. 2. Przyrzad wedlug zaistrz. 1, znamienny tym, ze sprezyna bazujaca (3), która dociska podloze (2) do kolnierzy (9) bazujacych kolków (7), jest wykonana z drutu w ksztalcie prostokata.
3. 3. Przyrzad wedlug zastrz. 1, znamienny tym, ze srodki otworów bazujacych (10) w masce (4) sa roz¬ mieszczone tak jak srodki bazujacych kolków (7).. Fig.1 Wmm/mJM Fig.2 Fig.Z WDA-1. Zam. 447
4. 4. Naklad 230 egz. PL