^v *!£!% IfaiBLiferEKAj J» Urzedu Petent I jk JtWifefejjzeczjrr^^itRj owego! ,«.POLSKIEJ RZECZYPOSPOLITEJ LUDOWEJ OPIS PATENTOWY Nr 43488 El. 21 %, 13/30 Przeragsloujg Instptrrt Elektroniki-) Warsaawa, Polaka Sposób wytwarzania bar Immp eiektroitowycli m wysokiej prAini zwla urzadzenie jon sposobu Patent trwa od dnia 29 grudnia 1959 r. do~col6w produkcji do s*oo**vnta Praedimiotem niniejszego wynalazku jest spo- -sób wytwarzania bandzo wysokiej prózni, rae- du 10-& mm Hg, zwlaszcza w celach produkoji lamp elektronowych, oraz urzadzenie jonowo- tytanowe do stosowania tego sposobu.Dotychczas znane sposoby wytwarzania wy¬ sokiej prózni polegaja na zastosowaniu ukla¬ dów prózniowych, zlozonych z pomp próznio¬ wych, rotacyjnych, wytwarzajacych próznie wstepna rzedu 10-3 mm Hg oraz pomp dyfuzyj¬ nych, wytwarzajacych próznie rzedu 10-7 mm Hg .. Wada tych ukladów jesit powstawanie stru¬ mienia wstecznego w pampie dyfuzyjnej, wsku¬ tek czego próznia otrzymywana tym sposobem nie moze przekroczyc 10;7 mm Hg, a ponadto przenikanie czasteczek czynnika pompujacego (aajcaescaej oleje organiczne) do wnetrza od- * Wlafescifil patentu oswiadczyl, ze wspot- twifanimi wynalaritu sa Wenancjuaz Czarycki i Ca«b*w Kiiliszek. pompowywanej lampy elektronowei które po¬ woduje zaklócenia w pracy lampy.Wytwarzanie bardzo wysokiej prózni, ale naj¬ wyzej rzedu 10-8 mm Hg, uzyskiwane bylo* do¬ tychczas przez wprowadzanie do odpompowy¬ wanej lampy elektronowej: banu, cyrkonu lub innych metali sorbcyjnych, pochlaniajacych czesc pozostalych i wydzielajacych sie w lam¬ pie gazów.Znane sa takze sposoby wytwarzania bartfae- wysokiej prózni w ukladach prótiajowych graez obnizanie temperatury caesoi ukladu do tem¬ peratury bliskiej Bera bezwzglednego, w kttoej nastepuje zestalenie garów, wydaifiteiyyclt ma w ukladzie. Sposób ten: wiaze jdc jednak m ko¬ niecznoscia instalowania nieziwykde kosztewns&ek urzadzen oraz rówme k&utomma, ick eksploa¬ tacja i stosowanie go me jetó rknrawnirTiLf.Wsayrfteie powyiRie wady uaunea spoatitr wy- twariEaflua benteo wysokiej pcóini wUflug wy-gazów przez warstwe tytanu, oraz doprawadlaa- niu czasteczek gaizow do tej warstwy pnzez Ach jonizacje, dzieki czemu mozliwe jest uzyskanie bardzo wysokiej prózmi, rzedu 10-» mm Hg, bez zanieczyszczen parami olejów organicznych, a koszty zwiazane zarówno z instalacja (urza¬ dzen, jak i ich eksploatacja sa znacznie nizsze w stosunku do innych, znanych sposobów.Sposób wedlug wynalazku zilustrowany jest, w przykladowych rozwiazaniach ukladów próz¬ niowych, na rysunku, na którym fig. 1 psrtzed- stawia schemat urzadzenia jonowo-tytanowe- go do stosowania tego sposobu, fig. 2 — prze¬ krój poprzeczny urzadzenia, flUg. 3 — zastctso- wanie urzadzenia jonowo-Jtytanowego do od¬ pompowywania niewielkich lamp prózniowych, fig. 4 — zastosowanie urzadzenia jonowo-tyta¬ nowego, jako stalego elementu, przy ilampie prózniowej duzej mocy, na przyklad magnetro- nie, a fig. 5 — uklad zlozony z pompy rotacyj¬ nej, olejowej pompy dyfuzyjnej oraz urzadze¬ nia jonowo-tytanowego, w zastosowaniu do se¬ ryjnej produkcji lamp prózniowych.Istota sposobu wytwarzania bardzo wysokiej prózni wedlug wynalazku polega na wykorzy¬ staniu wlasnosci sorbcyjnych napylonej war¬ stwy tytanu oraz doprowadzaniu do tej war¬ stwy zjonizowanych czasteczek gazu przez na¬ danie jej ujemnego potencjalu elektrycznego.Schemat urzadzenia do stosowania sposobu we¬ dlug wynalazku przedstawiony jest na fig. 1 i 2.Urzadzenie ito sklada sie z Obudowy 1, we¬ wnatrz której znajduje sie wolframowa katoda 2 oraz otaczajaca ja metalowa siatka 3, pokry¬ ta kataforetycznie tytanem. W przypadku, gdy obudowa 1 wykonana jest ze szkla, wewnetrz¬ na jej powierzchnia pokryta jest na przyklad przez napylenie termiczne cienka warstwa sre¬ bra 4, stanowiaca kolektor jonów i polaczona ze zródlem napiecia za posrednictwemmolib¬ denowego przepustu 8. W przypadku obudowy metalowej kolektor jonów stanowi wewnetrz¬ na powienzchnia obudowy. W srodkowej swej czesci obudowa 1 posiada podwójne scianki, tworzace w przestrzeni miedzyscianfcowej chlod¬ nice wodna 5. Elektrody molibdenowe 7, lacza¬ ce siatke i katode wolframowa ze zródlem pra¬ du, sa zapawane w cokole 6 urzadzenia. W gór¬ nej czesci urzadzenia znajduje sie wlot 9, la¬ czacy je z ukladem prózniowym.Dzialanie urzadzenia przedstawione na fig. 1 i 2 jest nastepujace: wlot 9 urzadzenia polaczo¬ ny zostaje z ukladem prózniowym, na przyklad lampa prózniowa, w której wytworzono juz wstepne podcisnienie rzedu 10-5 mm Hg, a jego elektrody 7 i 8 — z zasilaczem 10.Napiecie zasilania siatki 3 wynosi kilka ty¬ siecy woltów, napiecie zasilania katody 2 — kil¬ kadziesiat woltów, a kolektora 4 jonów — kil¬ kaset woltów.Pod wplywem przeplywu pradu nastepuje rozgrzanie katody, która emituje wokie elek¬ trony, przyciagane przez siatke 3, posiadajaca dodatni potencjal. Pod wplywem bombardowa¬ nia elektronami siatka 3 ogrzewa sie powodu¬ jac parowanie tytanu, który osadza sie na po¬ wierzchni elektrody 4. Elektrony, emitowane przez katode 1, napotykajac na swojej drodze czasteczki gazu jonizuja je, przy czym dodatnie jony gazu przyciagane sa przez naladowana ujemnie elektrode 4 i pochlaniane pnzez znajdu¬ jaca sie na niej warstwe tytanu. Warstwa ty¬ tanu pokrywajaca elektrode 4 chlodzona jest plaszczem wodnym i odnawiana w czasie pra¬ cy urzadzenia przez ciagle parowanie tytanu siatki 3.Fig. 3 przedstawia zastosowanie urzadzenia jonowo-tytanowego 11, wedlug wynalazku do wy¬ twarzania bardzo wysokiej prózni, w polaczo¬ nej z nim bezposrednio lampie prózniowej 20.Po dokonanym odpompowaniu lampe próznio¬ wa 10 odcina sie i równoczesnie zapawa ogrze¬ wajac miejsce zwezenia 21 — do temperatury topnienia szkla.Fig. 4 przedstawia zastosowanie urzadzenia, wedlug wynalazku, jako stalego elementu lam¬ py prózniowej wielkiej mocy, na przyklad ma- gnetronu 12. Urzadzenie jonowo-tytanowe 11 po¬ laczone z lampa 12 przewodem 13 umozliwia okresowe ilub ciaglle odpompowywanie wydzie¬ lajacych sie w lampie gazów.Fig. 5 przedstawia zastosowanie urzadzenia wedlug wynalazku do odpompowywania lamp prózniowych w warunkach produkcji seryjnej.W tym przypadku urzadzenie zainstalowane jest jako element ukladu prózniowego na prze¬ wodzie 14, laczacym odpompowywane lampy 20 z pompa dyfuzyjna 151 która moze byc odcieta od przewodu za pomoca zaworu 16. Dalsza czesc ukladu stanowi pompa rotacyjna 17, polaczona z pompa dyfuzyjna przewodem 18 przez zawór 19. Proces wytwarzania bardzo wysokiej prózni w ukladzie na fig. 5 obejmuje kolejno nastepu¬ jace operacje: wytworzenie wstepnego podctLs- nienia, przy uzyciu pompy rotacyjnej 17. wy¬ tworzenie wysokiej prózni za pomoca pompy dyfuzyjnej 15, przy równoczesnym ogrzewaniu lampy 20 i urzadzenia jonowo-tytanowego 11 W piecu elektrycznym, oraz wytworzenie bardzo wysokiej prózni sposobem wedlug wynalazku -2za pomoca urzadzenia jonowo-tytanowego 11 przy zamknietym zaworze 16.Sposób wytwarzania bardzo wysokiej prózni, wedlug wynalazku, moze znalezc zastosowanie do celów produkcji lamp prózniowych, a po¬ nadto w procesach laboratoryjnych i innych za¬ stosowaniach przemyslowych. PL