PL417215A1 - Rurowy magnetron do napylania powłok wielowarstwowych lub kompozytowych - Google Patents

Rurowy magnetron do napylania powłok wielowarstwowych lub kompozytowych

Info

Publication number
PL417215A1
PL417215A1 PL417215A PL41721516A PL417215A1 PL 417215 A1 PL417215 A1 PL 417215A1 PL 417215 A PL417215 A PL 417215A PL 41721516 A PL41721516 A PL 41721516A PL 417215 A1 PL417215 A1 PL 417215A1
Authority
PL
Poland
Prior art keywords
cathode
layered
tubular magnetron
composite coatings
segments
Prior art date
Application number
PL417215A
Other languages
English (en)
Other versions
PL229339B1 (pl
Inventor
Marek Betiuk
Zbigniew Łataś
Jerzy Michalski
Original Assignee
Instytut Mechaniki Precyzyjnej
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Instytut Mechaniki Precyzyjnej filed Critical Instytut Mechaniki Precyzyjnej
Priority to PL417215A priority Critical patent/PL229339B1/pl
Publication of PL417215A1 publication Critical patent/PL417215A1/pl
Publication of PL229339B1 publication Critical patent/PL229339B1/pl

Links

Landscapes

  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

Istota rurowego magnetronu, złożonego z cylindrycznej katody (K), we wnętrzu której jest usytuowany mimośrodowo podłużny, jedno- lub wieloczłonowy chłodzony magnes (M), osadzony w katodzie (K) obrotowo i ewentualnie przesuwnie względem wzdłużnej osi katody (K), polega na tym, że katoda (K) składa się z co najmniej dwóch segmentów (n1, n2) wykonanych z różnych napylanych materiałów, które to segmenty (n1, n2) są ze sobą trwale znanymi sposobami zespawane, przy czym magnes (M) jest osadzony wahadłowo, a kąt jego obrotu względem katody (K) jest ograniczony do obszaru wyznaczonego przez jeden, aktywny materiał (n1) lub (n2) katody (K).
PL417215A 2016-05-16 2016-05-16 Rurowy magnetron do napylania powłok wielowarstwowych lub kompozytowych PL229339B1 (pl)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL417215A PL229339B1 (pl) 2016-05-16 2016-05-16 Rurowy magnetron do napylania powłok wielowarstwowych lub kompozytowych

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL417215A PL229339B1 (pl) 2016-05-16 2016-05-16 Rurowy magnetron do napylania powłok wielowarstwowych lub kompozytowych

Publications (2)

Publication Number Publication Date
PL417215A1 true PL417215A1 (pl) 2017-11-20
PL229339B1 PL229339B1 (pl) 2018-07-31

Family

ID=60324474

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PL417215A PL229339B1 (pl) 2016-05-16 2016-05-16 Rurowy magnetron do napylania powłok wielowarstwowych lub kompozytowych

Country Status (1)

Country Link
PL (1) PL229339B1 (pl)

Also Published As

Publication number Publication date
PL229339B1 (pl) 2018-07-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Pinto et al. Calcium signaling and cell proliferation
Gómez‐Vasconcelos et al. The Sierra de Mil Cumbres, Michoacán, México: Transitional volcanism between the Sierra Madre Occidental and the Trans-Mexican Volcanic Belt
IL254919B (en) Polypeptide-based shuttle agents for improving the transduction efficiency of polypeptide cargos to the cytosol of target eukaryotic cells, uses thereof, methods and kits relating to same
EP4247711A4 (en) LATTICE STRUCTURE WITHOUT CROSS-MEMBER ELEMENTS, DEPLOYABLE IN A SPACE, LIGHTWEIGHT, WITH LOW STORAGE VOLUME
MX389661B (es) Metodos para formar envases flexibles con refuerzos
IL289740A (en) Macrocyclic compounds as sting agonists and their methods and uses
DK3658140T3 (da) Kombinationer af aprocitentan med yderligere aktive bestanddele til behandlingen af resistent hypertension
BRPI0907265A2 (pt) método para a produção de camadas de óxida de metal através de vaporização a arco, alvo de pó metalúrgico, camada de óxido de metal e seu uso.
Zhang et al. Fractional Cauchy problems with almost sectorial operators
EP3926656A4 (en) X-RAY SOURCE WITH ROTATING LIQUID METAL TARGET
SG11202001195PA (en) Gyroscope, methods of forming and operating the same
WO2018052997A3 (en) Multi-layer x-ray source fabrication
HUE049134T2 (hu) 3-(karboximetil)-8-amino-2-oxo-1,3-diaza-spiro-[4.5]-dekán származékok
ATE489828T1 (de) Technik zur steuerung der codec-auswahl entlang einem komplexen anrufpfad
EP3978440A4 (en) BRITTLE MATERIAL STRUCTURE, HIGH DENSITY, IMPREGNABLE
EP3870557A4 (en) SENSITIZED, SAFE TO PRODUCE AND ECO-FRIENDLY EXPLOSIVE COMPOSITION
PL3764836T3 (pl) Struktura kompozytowa z separatorem do monet i tym podobnych
JP2019515133A5 (pl)
EP3950848A4 (en) GAS BARRIER COMPOSITION, COATING COMPOUND AND LAMINATE
EP3738578A4 (en) COMPOSITION CONTAINING A POWDER
WO2015170331A3 (en) Inorganic nanomaterials
PL3921555T3 (pl) Łożysko obrotowe z amortyzatorem, silnik i obrotowy rozpylacz z takim łożyskiem oraz zastosowanie takiego łożyska
EP3996489A4 (en) SEAMLESS PANTS
Dittmann et al. Graph operations on parity games and polynomial-time algorithms
ZHANG et al. Online evaluation welding quality based on servo gun spot welding dual phase high strength steel