PL413122A1 - Zintegrowany, miniaturowy, transmisyjny mikroskop elektronowy - Google Patents

Zintegrowany, miniaturowy, transmisyjny mikroskop elektronowy

Info

Publication number
PL413122A1
PL413122A1 PL413122A PL41312215A PL413122A1 PL 413122 A1 PL413122 A1 PL 413122A1 PL 413122 A PL413122 A PL 413122A PL 41312215 A PL41312215 A PL 41312215A PL 413122 A1 PL413122 A1 PL 413122A1
Authority
PL
Poland
Prior art keywords
electro
miniature
optical column
integrated
transmission electron
Prior art date
Application number
PL413122A
Other languages
English (en)
Other versions
PL225546B1 (pl
Inventor
Michał Krysztof
Tomasz Grzebyk
Anna Górecka-Drzazga
Jan Dziuban
Original Assignee
Politechnika Wrocławska
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Politechnika Wrocławska filed Critical Politechnika Wrocławska
Priority to PL413122A priority Critical patent/PL225546B1/pl
Publication of PL413122A1 publication Critical patent/PL413122A1/pl
Publication of PL225546B1 publication Critical patent/PL225546B1/pl

Links

Landscapes

  • Micromachines (AREA)

Abstract

Przedmiotem wynalazku jest zintegrowany, miniaturowy, transmisyjny mikroskop elektronowy typu MEMS wykonany metodami mikroinżynieryjnymi. Mikroskop ma budowę warstwową i charakteryzuje się tym, że ma próżnioszczelne komory: kolumnę elektronooptyczną (1) oraz połączoną z nią mikropompę próżniową (2), przy czym kolumna elektronooptyczną (1) zbudowana jest z ułożonych naprzemiennie elektrod i dystansowników, z których, poza skrajnymi elektrodami, elementy te posiadają współśrodkowe, przelotowe otwory, stanowiących jednocześnie jej obudowę oraz łącznik pomiędzy kolumną elektronooptyczną (1) a mikropompą (2), przy czym przynajmniej dwa kolejne dystansowniki (6), (8), i znajdująca się pomiędzy nimi elektroda (7), są wspólne dla komór: kolumny elektronooptycznej (1) i mikropompy próżniowej (2) i wykonane są w nich kanały (19), (20) łączące obie komory.
PL413122A 2015-07-14 2015-07-14 Zintegrowany, miniaturowy, transmisyjny mikroskop elektronowy PL225546B1 (pl)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL413122A PL225546B1 (pl) 2015-07-14 2015-07-14 Zintegrowany, miniaturowy, transmisyjny mikroskop elektronowy

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL413122A PL225546B1 (pl) 2015-07-14 2015-07-14 Zintegrowany, miniaturowy, transmisyjny mikroskop elektronowy

Publications (2)

Publication Number Publication Date
PL413122A1 true PL413122A1 (pl) 2016-06-06
PL225546B1 PL225546B1 (pl) 2017-04-28

Family

ID=56086993

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PL413122A PL225546B1 (pl) 2015-07-14 2015-07-14 Zintegrowany, miniaturowy, transmisyjny mikroskop elektronowy

Country Status (1)

Country Link
PL (1) PL225546B1 (pl)

Also Published As

Publication number Publication date
PL225546B1 (pl) 2017-04-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
MX2019008532A (es) Conector de construcción modular.
MX2016014825A (es) Dispositivo de almacenamiento de energia y metodo de produccion de la misma.
MX2019004962A (es) Unidad vaporizadora para dispositivo de vapeo electronico.
MX2016014063A (es) Elemento de conexion electrica para poner en contacto una estructura conductora de electricidad sobre un sustrato.
GB2456283A (en) Ion transfer arrangement
EA201791338A1 (ru) Стекло, имеющее электрический подключающий элемент и гибкий подключающий кабель
SA520420721B1 (ar) كابل نقل طاقة كهربائية سَعَوي
MY177561A (en) Contact structure unit
IN2014DN11131A (pl)
EA201791415A1 (ru) Аппарат для плазменного cvd
MX2014003038A (es) Mecanismo de control.
MX2015014505A (es) Pararrayo tipo anillo anticorona multielectrodo.
FI20155955A7 (fi) Mikrobinen polttokenno, sen käyttö ja mikrobinen polttokennojärjestelmä
EP3644340A3 (en) Flat gas discharge tube devices and methods
BR112017022345A2 (pt) conjunto de eletrodos, estruturas de eletrodos e eletrolisadores.
MX2013000127A (es) Aislante electrico.
GB2540703A (en) Control apparatus
CL2018000588A1 (es) Método y disposición para el monitoreo de las características de un proceso de horno en un espacio del horno y unidad de monitoreo del proceso.
MD631Y (en) Electrostatic diaphragm pump
PL413122A1 (pl) Zintegrowany, miniaturowy, transmisyjny mikroskop elektronowy
WO2013002954A3 (en) Windowless ionization device
WO2016011443A3 (en) Stable organic photosensitive devices with exciton-blocking charge carrier filters utilizing high glass transition temperature materials
WO2014163939A8 (en) A mass spectrometer ion trap having asymmetric end cap apertures
EA201100412A1 (ru) Многоцветное устройство отображения
PL408320A1 (pl) Mikromechaniczny próżniomierz jonizacyjny