PL220022B1 - Sposób skanowania wewnątrzwiązkowego wykorzystujący wir optyczny - Google Patents

Description

Przedmiotem wynalazku jest sposób skanowania wewnątrzwiązkowego wykorzystujący wir optyczny, stosowany do badań topografii powierzchni lub próbek biologicznych.

Znany sposób skanowania obiektów badawczych wiązką laserową polega na tym, że zogniskowaną wiązkę laserową przesuwa się względem badanego przedmiotu lub przesuwa się badany przedmiot względem wiązki laserowej, po czym zobrazowaną wiązkę laserową poddaje się detekcji i analizuje.

Układ do skanowania ma zestawione wzdłuż wiązki laserowej pierwszy obiektyw, badany przedmiot, drugi obiektyw i element detekujący podłączony do analizatora. W układzie tym laser, pierwszy i drugi obiektyw umieszczone są na stoliku przesuwnym XYZ albo badany przedmiot umieszczony jest na stoliku przesuwnym XYZ.

Sposób według wynalazku polega na tym, że w wiązce światła laserowego generuje się wir optyczny w elemencie generującymi, przy czym położenie wiru optycznego w wiązce, zmienia się poprzez zmianę parametrów elementu generującego wir, po czym ogniskuje się ją w pierwszym obiektywie i kieruje na badany przedmiot. Po przejściu wiązki przez badany przedmiot, wiązkę z wirem optycznym obrazowaną w drugim obiektywie, poddaje się detekcji.

Zasadniczą zaletą sposobu skanowania wewnątrzwiązkowego wykorzystującą wir optyczny jest możliwość skanowania badanego przedmiotu bez użycia stolików przesuwnych, co powoduje, iż układ ten staje się stabilniejszy w czasie oraz mniej skomplikowany. Zastosowanie wiru optycznego w wiązce laserowej podnosi także dokładność skanowania, pozwała uzyskać mniejszy krok skanowania badanego elementu niż w przypadku użycia stolików przesuwnych XYZ.

Przedmiot wynalazku w przykładzie realizacji jest uwidoczniony na rysunku, który przedstawia schemat blokowy układu do skanowania wewnątrzwiązkowego wykorzystującego wir optyczny.

Sposób skanowania wewnątrzwiązkowego polega na tym, że w wiązce światła laserowego z lasera L, generuje się wir optyczny w elemencie generującym G, przy czym położenie wiru optycznego w wiązce zmienia się poprzez zmianę parametrów elementu generującego wir G, po czym ogniskuje się ją w pierwszym obiektywie Om1 i kieruje na badany przedmiot P. Po przejściu wiązki przez badany przedmiot wiązka z wirem optycznym jest obrazowana w drugim obiektywie Om2. Następnie obraz wiązki z wirem optycznym w elemencie detekującym CCD poddaje się detekcji i analizuje w komputerze (K).

Claims (1)

1. Sposób skanowania wewnątrzwiązkowego wykorzystujący wir optyczny polegający na tym, że zogniskowaną wiązkę laserową kieruje się na badany przedmiot, a zobrazowaną wiązkę laserową poddaje się detekcji i analizuje, znamienny tym, że w wiązce światła laserowego generuje się wir optyczny w elemencie generującym wir (G), przy czym położenie wiru optycznego w wiązce zmienia się poprzez zmianę parametrów elementu generującego (G), po czym ogniskuje się ją w pierwszym obiektywie (Om1) i kieruje na badany przedmiot (P), po przejściu wiązki przez badany przedmiot wiązkę z wirem optycznym obrazowaną w drugim obiektywie (Om2), poddaje się detekcji.