PL145998B1 - Apparatus for carrying out heat treatment or magnetic and heat treatment of articles made of metals and their alloys - Google Patents

Apparatus for carrying out heat treatment or magnetic and heat treatment of articles made of metals and their alloys Download PDF

Info

Publication number
PL145998B1
PL145998B1 PL25076184A PL25076184A PL145998B1 PL 145998 B1 PL145998 B1 PL 145998B1 PL 25076184 A PL25076184 A PL 25076184A PL 25076184 A PL25076184 A PL 25076184A PL 145998 B1 PL145998 B1 PL 145998B1
Authority
PL
Poland
Prior art keywords
working chamber
housing
power supply
heat treatment
vacuum
Prior art date
Application number
PL25076184A
Other languages
English (en)
Other versions
PL250761A1 (en
Inventor
Norbert Wojcik
Roman Kolano
Jerzy Dziuba
Original Assignee
Inst Metali Niezelaznych
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Inst Metali Niezelaznych filed Critical Inst Metali Niezelaznych
Priority to PL25076184A priority Critical patent/PL145998B1/pl
Publication of PL250761A1 publication Critical patent/PL250761A1/xx
Publication of PL145998B1 publication Critical patent/PL145998B1/pl

Links

Landscapes

  • Plasma Technology (AREA)
  • Solid-Phase Diffusion Into Metallic Material Surfaces (AREA)

Description

Przedmiotem wynalazku jest urzadzenie do obroki cieplnej i cieplnomagnetycznej wyrobów z metali i ich stopów.W procesach obróbki cieplnej prowadzonych w prózni lub w atmosferach ochronnych stoso¬ wane sa urzadzenia o róznych systemach grzania. Znane sa urzadzenia z grzaniem oporowym, indukcyjnym, a takze, stosowane zwlaszcza w obróbce cieplnochemicznej np. azotowaniu, z grzaniem za pomoca strumienia plazmy.Urzadzenia z oporowym systemem grzania posiadaja niska sprawnosc energetyczna, a ich duza bezwladnosc cieplna utrudnia sterowanie zmianami temperatury.Grzanie indukcyjne stosowane jest przede wszystkim do hartowania powierzchniowego i ograniczone jest do okreslonych rodzajów wyrobów.Z polskiego opisu patentowego Nr 131 141 znane jest urzadzenie do wyzarzania tasm metalo¬ wych, w którym obróbke cieplna prowadzi sie na drodze bombardowaniajonami gazu obojetnego, przy czym plazma gazu roboczego dziala bezposrednio na obrabiany material. Urzadzenie to, wyposazone w uklad sterowania, posiada co najmniej jedna komore jonizacyjna znajdujaca sie w próznioszczelnej obudowie polaczonej z ukladem prózniowym i kolektor doprowadzajacy gaz roboczy do komór jonizacyjnych. W kazdej komorze jonizacyjnej zamocowane sa elektrody dodatnie w postaci siatki, miedzy którymi przesuwa sie wyzarzona tasma stanowiaca katode.Kazda komora jonizacyjna wyposazona jest w dzialo elektronowe skladajace sie z zarzonej katody, cewki magnetycznej i anody przyspieszajacej, przy czym elementy te zamocowane sa u wlotu gazu roboczego do komory.Urzadzenie to ma bardzo ograniczony, scisle okreslony, zakres stosowania zarówno co do rodzaju obróbki cieplnej jak i rodzaju wyrobów poddawanych obróbce.Urzadzenie wedlug wynalazku, posiadajace komore robocza umieszczona w próznioszczelnej obudowie polaczonej z pompa prózniowa i wyposazone w uklad sterowania, charakteryzuje sie tym, ze posiada cewki magnetyczne umieszczone na zewnatrz obudowy i elektrode pradowa zabezpieczona izolatorem, na której jest osadzona komora robocza.URZAD PATENTOWY PRL Patent dodatkowy do patentunr Zgloszono: 84 12 06 (P.250761) Pierwszenstwo Zgloszenie ogloszono: 86 06 17 Opis patentowy opublikowano: 89 05 312 145 998 Urzadzenie ma dwa uklady zasilania: uklad zasilania wysokiego napiecie, który polaczonyjest za pomoca elektrody wysokiego napiecia z komora robocza, oraz uklad zasilania niskiego napiecia polaczony z elektroda pradowa. Obudowa, zamykana próznioszczelna pokrywa, wyposazona jest w dozownik gazu roboczego oraz korzystnie w chlodnice, a komora robocza posiada czujniku temperatury. Korzystnie wewnatrz urzadzenia w górnej i dolnej czesci, pomiedzy obudowa a komora robocza, sa umieszczone azurowe elektrody dystansowe.Obróbke cieplna w tym urzadzeniu prowadzi sie wykorzystujac ewnergie jonów gazu robo¬ czego, korzystnie argonu, które bombadrujac powierzchnie zewnetrzna komory roboczej, roz¬ grzewaja ja. Plazma gazu roboczego nie dziala bezposrednio na obrabiany material, który jest umieszczony wewnatrz komory roboczej, a przekazywanie ciepla odbywa sie przez promieniowa¬ nie wewnetrznych powierzchni scian komory i konsekwencje atomów gazu roboczego.W urzadzeniu tym mozna prowadzic zarówno obróbke cieplnajak i cieplnomagnetyczna, przy czym w trakcie prowadzenia procesu mozna regulowac i kontrolowac temperature obrabianego materialu. Pole magnetyczne niezbedne do prowadzenia obróbki magnetycznej wytwarza sie przez zewnetrzne cewki magnetyczne i/lub elektrode pradowa.Zastosowanie elektrod dystansowych pozwala na uzyskanie bardziej równomiernego roz¬ kladu pola elektrycznego pomiedzy komora robocza a obudowa bedaca elektroda zerowa.Przedmiot wynalazku, w przykladzie wykonania, jest przedstawiony schematycznie na rysunku.Urzadzenie wedlug wynalazku posiada komore robocza 1 wykonana ze stopu zaroodpornego, która umieszczona jest w próznioszczelnej obudowie 2 polaczonej z pompa prózniowa 3. Obudowa 2 ma próznioszczelna pokrywe 4 z wziernikiem 5 i wyposazona jest w dozownik 6 gazu roboczego oraz w spiralna chlodnice 7 rurowa, otaczajaca boczne sciany tej obudowy.Komora robocza 1 zamykana pokrywa 8 i wyposazona w termopary 9 osadzona jest na elektrodzie pradowej 10 zabezpieczonej izolatorem 11. Na zewnatrz obudowy 2 znajduja sie cewki magnetyczne 12.Wewnatrz urzadzenia, w dolnej i górnej jego czesci, pomiedzy obudowa 2 i komora 1, umieszczone sa azurowe elektrody dystansowe 13 i 14, które elektrycznie polaczone sa z obudowa 2 i tworza wraz z boczna scianka obudowy 2 elektroda zerowa. Urzadzenie ma dwa uklady zasilania: uklad zasilania 15 wysokigo napiecia i uklad zasilania 16 niskiego napiecia oraz uklad sterowania z podzespolem sterowniczym 17. Uklad zasilania 15 wysokiego napiecia polaczony jest za pomoca elektrody 18 wysokiego napiecia z komora robocza 1, a uklad zasilania 16 niskiego napiecia — z elektroda pradowa 10.Elementy metalowe przeznaczone do obróbki umieszcza sie w komorze roboczej 1, zamyka sie komore 1 pokrywa 8, zaklada górna elektrode dystansowa 13 i po zaknieciu, obudowy 2 próznoszczelna pokrywa 4 wlacza sie pompe prózniowa 3. Po uzyskaniu odpowiednij prózni, przez dozownik 6 gazu, wprowadza sie do wnetrza, gaz roboczy — argon, az do uzyskania zadanego cisnienia. Po wlaczeniu wysokiego napiecia zjonizowany gaz roboczy bombarduje komore robocza 1 powodujac jej grzanie. Nagrzana komora przekazuje energie cieplna do wsadu. Sterujac cisnie¬ niem gazu roboczego i pradem jonowym reguluje sie temperature wsadu, która kontroluje sie za pomoca termopar 9.Pole magnetyczne, niezbedne do prowadzenia obróbki cieplnomagnetycznej, wytwarza sie przez zewnetrzne cewki magnetyczne 12 lub elektrode pradowa 10.W trakcie obróbki urzadzenie chlodzi sie woda, przy czym natezeniem wody przeplywajacej przez chlodnice 7 reguluje sie szybkosc chlodzenia.Zastrzezenia patentowe 1. Urzadzenie do obróbki cieplnej i cieplnomagnetycznej wyrobów z metali i ich stopów, posiadajace komore robocza umieszczona w próznioszczelnej obudowie polaczonej z pomopa prózniowa i wyposazone w uklad sterowania, znamienne tym, ze posiada cewki magnetyczne (12) umieszczone na zewnatrz obudowy (2) oraz elektrode pradowa (10), na której jest osadzona komora robocza (1) zamykana pokrywa (8) i wyposazone jest w dwa uklady zasilania, uklad zasilania (15) wysokiego napiecia oraz uklad zasilania (16) niskiego napiecia, przy czym uklad zasilania (15) wysokiego napiecia jest polaczony za pomoca elektrody (18) wysokiego napiecia z145998 3 komora robocza (1), natomiast uklad zasilania (16) niskiego napiecia jest polaczony z elektroda pradowa (10), a obudowa (2) zamykana próznioszczelna pokrywa (4)jest wyposazona w dozownik (6) gazu roboczego. 2. Urzadzenie wedlug zastrz. 1, znamienne tym, ze wewnatrz obudowy (2) w dolnej i górnej jej czesci, pomiedzy obudowa (2) a komora robocza (1) umieszczone sa azurowe elektrody dystan¬ sowe (13,14). 3. Urzadzenie wedlug zastrz. 1, znamienne tym, ze obudowa (2) wyposazona jest w chlodnice (7). 4. Urzadzenie wedlug zastrz. 1, znamienne tym, ze komora robocza (1) posiada czujniki (9) temperatury. 5. Urzadzenie wedlug zastrz. 1, znamienne tym, ze elektroda pradowa (10) zabezpieczona jest izolatorem (11). 13 A 5 10 8 1 Z PL

Claims (5)

  1. Zastrzezenia patentowe 1. Urzadzenie do obróbki cieplnej i cieplnomagnetycznej wyrobów z metali i ich stopów, posiadajace komore robocza umieszczona w próznioszczelnej obudowie polaczonej z pomopa prózniowa i wyposazone w uklad sterowania, znamienne tym, ze posiada cewki magnetyczne (12) umieszczone na zewnatrz obudowy (2) oraz elektrode pradowa (10), na której jest osadzona komora robocza (1) zamykana pokrywa (8) i wyposazone jest w dwa uklady zasilania, uklad zasilania (15) wysokiego napiecia oraz uklad zasilania (16) niskiego napiecia, przy czym uklad zasilania (15) wysokiego napiecia jest polaczony za pomoca elektrody (18) wysokiego napiecia z145998 3 komora robocza (1), natomiast uklad zasilania (16) niskiego napiecia jest polaczony z elektroda pradowa (10), a obudowa (2) zamykana próznioszczelna pokrywa (4)jest wyposazona w dozownik (6) gazu roboczego.
  2. 2. Urzadzenie wedlug zastrz. 1, znamienne tym, ze wewnatrz obudowy (2) w dolnej i górnej jej czesci, pomiedzy obudowa (2) a komora robocza (1) umieszczone sa azurowe elektrody dystan¬ sowe (13,14).
  3. 3. Urzadzenie wedlug zastrz. 1, znamienne tym, ze obudowa (2) wyposazona jest w chlodnice (7).
  4. 4. Urzadzenie wedlug zastrz. 1, znamienne tym, ze komora robocza (1) posiada czujniki (9) temperatury.
  5. 5. Urzadzenie wedlug zastrz. 1, znamienne tym, ze elektroda pradowa (10) zabezpieczona jest izolatorem (11). 13 A 5 10 8 1 Z PL
PL25076184A 1984-12-06 1984-12-06 Apparatus for carrying out heat treatment or magnetic and heat treatment of articles made of metals and their alloys PL145998B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL25076184A PL145998B1 (en) 1984-12-06 1984-12-06 Apparatus for carrying out heat treatment or magnetic and heat treatment of articles made of metals and their alloys

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL25076184A PL145998B1 (en) 1984-12-06 1984-12-06 Apparatus for carrying out heat treatment or magnetic and heat treatment of articles made of metals and their alloys

Publications (2)

Publication Number Publication Date
PL250761A1 PL250761A1 (en) 1986-06-17
PL145998B1 true PL145998B1 (en) 1988-12-31

Family

ID=20024364

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PL25076184A PL145998B1 (en) 1984-12-06 1984-12-06 Apparatus for carrying out heat treatment or magnetic and heat treatment of articles made of metals and their alloys

Country Status (1)

Country Link
PL (1) PL145998B1 (pl)

Also Published As

Publication number Publication date
PL250761A1 (en) 1986-06-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Boxman et al. Vacuum arc deposition devices
JP6408862B2 (ja) 低圧アーク・プラズマ浸漬被膜気相堆積及びイオン処理
CA1169467A (en) Cylindrical magnetron sputtering cathode, as well as sputtering apparatus provided with such cathode
JP3318336B2 (ja) 物品を直流アーク放電支援下の反応で処理する方法及び装置
US6677560B2 (en) Apparatus for inductively heating a workpiece
EP2955244A1 (en) Ion bombardment device and substrate surface cleaning method using same
US4769101A (en) Apparatus for surface-treating workpieces
JP5232190B2 (ja) 真空処理プロセスのためのソース
TW201225149A (en) Sputter target feed system
US20120138452A1 (en) Method and Apparatus for Super-High Rate Deposition
PL145998B1 (en) Apparatus for carrying out heat treatment or magnetic and heat treatment of articles made of metals and their alloys
GB2178228A (en) An arrangement for the treating of workpieces
EP1790756A1 (en) Thin-film forming apparatus
AU734117B2 (en) Rotary apparatus for plasma immersion-assisted treament of substrates
JPH04289160A (ja) 低電圧アーク放電と可変磁界を用いる基体の加熱方法
US7884302B2 (en) Plasma processing installation, influenced by a magnetic field, for processing a continuous material or a workpiece
US3595773A (en) Process for depositing on surfaces
EP3088561B1 (en) Hybrid vacuum furnace
Beilis et al. Steady-state model of a refractory hot anode vacuum arc
RU2711067C1 (ru) Способ ионного азотирования в скрещенных электрических и магнитных полях
BE899450A (nl) Werkwijze voor het verhitten van voorwerpen in een vacuumvat.
Efremov et al. Li and Ca ion beams production
SU860358A1 (ru) Установка дл нагрева и бесконтейнерного удержани вещества в вакууме
Kashimura et al. The Floating Potential on the Surface of 25 mol% Na2O-SiO2 Glass Heated by Thermal Plasma of Ar
RU2042287C1 (ru) Устройство для обработки изделий в вакууме