Przedmiotem wynalazku jest zespól do pomiaru srednicy wiazki elektronowej, przeznaczony do stosowania w aparaturze elektronowiazkowej tj. w elektronowych mikroskopach analizujacych i urzadzeniach do naswietlania wiazka elektronowa.Z opisu patentowego ZSRR nr 244429 znane jest urzadzenie do pomiaru srednicy wiazki elektronowej przy pomocy plaskiej siatki metalowej, skladajacej sie z wielu pretów metalowych, zamocowanych w jednakowej odleglosci od siebie na metalowym pierscieniu. Wiazke elektronowa odchyla sie za pomoca ukladu odchylajacego w poprzek metalowych pretów siatki, w plaszczyznie prostopadlej do tych pretów. Srednice pretów oraz odleglosci miedzy nimi musza byc co najmniej kilkakrotnie wieksze od srednicy wiazki elektronowej.Sumaryczny sygnal elektryczny, skladajacy sie zelektoronów absorbowanych przezprety oraz elektronów wtórnych, zebranych przy pomocy kolektora, umieszczonego wokól siatki, podawany jest poprzez opornik i wzmacniacz na wejscie oscyloskopu. Na ekranie oscyloskopu otrzymuje sie ciag impulsów elektrycznych, których czasy narastania sa proporcjonalne do srednicy wiazki - elektronowej. Przy pomocy znanego urzadzenia mozna dokonac pomiaru srednic wiazek elektro¬ nowych rzedu pojedynczych mikrometrów.Niedogodnoscia znanego urzadzenia do pomiaru srednicy wiazki elektronowej jest konie¬ cznosc wzmocnienia malych sygnalów elektrycznych przed podaniem ich na wejscie oscyloskopu.Ogranicza to zakres pomiarowy do wiazek elektronowych o stosunkowo duzym natezeniu pradu, a stosowanie wzmacniacza jest zródlem dodatkowych bledów pomiaru oraz zwieksza koszt stosowa¬ nych urzadzen.Zespól do pomiaru srednicy wiazki elektronowej wedlug wnalazku zbudowany z ukladu odchylajacego i wzmacniajacego oraz oscyloskopu jest wyposazony w pomiarowy pret, usytuo¬ wany w obszarze odchylania elektronów. Uklad wzmacniajacy stanowi fotodioda, umieszczona w obudowie w plaszczyznie równoelglej do plaszczyzny pierscienia, do którego jest przymocowany pomiarowy pret.Korzystne skutki stosowania zespolu wedlug wynalazku polegaja na rozszerzeniu zakresu pomiaru srednicy wiazki elektronowej do rzedu dziesiatych czesci mikrometra i na mozliwosci pomiaru srednicy mikrowiazki o bardzo malym natezeniu pradu, rzedu kilkudziesieciu pA.POLSKA RZECZPOSPOLITA LUDOWA M URZAD PATENTOWY PRL2 130347 Podstawowa zaleta zespolu wedlug wynalazku jest wyeliminowanie z ukladu pomiarowego wzmacniacza sygnalów elektrycznch.Przedmiot wynalazku jest przedstawiony w przykladzie wykonania na rysunku, na którym fig. 1 przedstawia schmat polaczen zasadniczych elementów zespolu, a fig. 2 widok z góry frag¬ mentu zespolu.Zespól do pomiaru wiazki elektronowej wedlug wynalazku sklada sie z metalowej obudowy 1 w ksztalcie tueli. W górnej czesci obudowy 1 jest umieszczony niklowany pierscien 2 z otorem 3. Do pierscienia 2 przymocowany wolframowy, pomiarowy pret 4. W dolnej czesci tulei obudowy 1 w plaszczyznie równoleglej do pierscienia 2 jest umieszczona fotodioda 5. Elektronowa wiazka 6 jest ochylana za pomoca odchylajacego ukladu 7 w poprzek pomiarowego preta 4.W momencie gdy pomiarowy pret 4 znajduje sie na drodze odchylanej wiazki 6 do czynnego obszaru 8 fotodiody 5 przestaja docierac elektrony, w miaree przesuwania sie wiazki 6 poza kontur preta 4, strumien elektronów wiazki 6 o coraz wiekszym natezeniu dociera do czynnego obszaru 8 fotodiody 5. Wskutek generacji nosników elektrycznych w fotodiodzie 5 strumien ten zostaje wzmocniony i podany nastepnie poprzez opornik 9 na wejscie oscyloskopu 10, na którego ekranie pojawia sie impuls elektryczny. Czas narastania tego impulsu jest proporcjonalny do srednicy elektronowej wiazki 6. Natomiast sygnal elektryczny od elektronów absorbowanych przez pret 4 oraz elektronów wtórnych zebranych przez obudowe 1, fotodiode 5 i pierscien 2 jest zwierany do masy.Wartosc wzmocnienia sygnalu elektrycznego zalezy od rodzaju fotodiody i od energii wiazki elektronowej i wynosi zwykle od 103 do 5,103 dla energii od 10kV do 30kV.Tak znaczne wzmocnienie sygnalu pozwla na pomiar wiazek elektronowych o malym nateze¬ niu pradu elektrycznego rzadzu kilkudziesieciu pA i o srednicy dziasiatych czesci mikrometra, bez koniecznosci uzycia dodatkowego wzmacniacza.Zastrzezenie patentowe Zespól do pomiaru srednicy wiazki elektronowej, zbudowany z ukladu odchylajacego i wzmacniajacego oraz oscyloskopu i wyposazony w pomiarowy pret, usytuowany w obszarze odchylania elektronów, znamienny tym, ze uklad wzmacniajacy stanowi fotodioda (5), umie¬ szczona w obudowie (1) w plaszczyznie równoleglej do plaszczyzny pierscienia (2), do którego jest przymocowany pomiarowy pret (4).130347 PL