Przedmiotem wynalazku jest glowica przezna¬ czona do .pomiaru przemieszczen liniowych elemen¬ tów roboczych obrabiarek, zwlaszcza do urzadzen technologicznych dla celów mikroelektroniki.Znana jest glowica do pomiaru przemieszczen li¬ niowych z zespolem fotoelementów, rastrami krót¬ kimi i dlugim na szkle lub metalu oraz oswietla¬ czem dajacym wiazke swiatla równoleglego.Zespól fotoelementów oraz raster kreskowy krót¬ ki usytuowane sa naprzeciw oswietlacza i wraz z nim zamocowane sztywno do nieruchomej czesci urzadzenia. Raster kreskowy dlugi zamocowany jest do ruchomego elementu roboczego urzadzenia, którego przesuniecie mierzymy w ten sposób, ze przesuwa sie on równolegle do rastra krótkiego.Wada tego rozwiazania jest sposób zamocowania rastra krótkiego.W przypadku powstania luzu na prowadnicach elementu roboczego lub odksztalcen sprezystych prowadnic pod wplywem obciazenia, zmienia sie odleglosc pomiedzy rastrem kreskowym krótkim i dlugim, co powoduje zmiane wielkosci sygnalu z zespolu fotoelementów. Wymagana jest w tej kon¬ strukcji glowicy wysoka dokladnosc geometryczna zamocowania rastra kreskowego dlugiego, gwaran¬ tujaca zachowanie scislej równoleglosci do iprowad- nic elementu roboczego.W innej znanej glowicy do pomiaru przemiesz¬ czen liniowych, zespól fotolementów oraz krótki 10 15 20 25 30 raster kreskowy usytuowane sa naprzeciw oswie¬ tlacza.Zespól fotoelementów i zespól oswietlacza zarno-* cowane sa sztywno do nieruchomej czesci urzadze¬ nia. Raster krótki przyklejony jest do wózka z trze¬ ma kólkami, który zamocowany jest do nierucho¬ mej czesci urzadzenia przy pomocy ukladu dwóch plaskich sprezyn i dociskany do rastra kreskowe¬ go dlugiego dwoma sprezynami spiralnymi. Raster kreskowy dlugi zamocowany jest do ruchomego elementu roboczego urzadzenia i wraz z nim prze¬ suwa sie równolegle wzgledem rastra kreskowego krótkiego.Polozenie poczatkowe zwane zerem ukladu uzys¬ kuje sie od dodatkowego fotoelementu, który jest zaslaniany przez zacienione pola naniesione na ra¬ strze dlugim.Wada tego rozwiazania jest skomplikowany uklad sprezyn plaskich i spiralnych, na iktórych jest za¬ wieszony wózek z rastrem kreskowym krótkim i docisniety do rastra dlugiego.Poniewaz zacienione pola na rastrze dlugim sa naniesione na stale, utrudnia to zgranie poczatku ukladu pomiarowego zwanego zerem ukladu z po¬ czatkiem ukladu roboczego urzadzenia.W glowicy do pomiaru przemieszczen liniowych wedlug wynalazku, zespól fotoelementów i zespól oswietlacza usytuowane naprzeciw siebie sa zamo¬ cowane na sztywno do nieruchomej czesci urza¬ dzenia. 116 339ii6: ""'¦•' ;¦ '¦'¦-;-,l- 3 W glowicy wedlug wynalazku wózek zamocowa¬ ny do korpusu zespolu fotoelementów wraz z przy¬ klejonym do wózka rastrem kreskowym krótkim jest dociskany poprzez kólka do rastra kreskowego dlugiego, który jest umocowany do ruchomej czesci 5 urzadzenia. Wózek z rastrem krótkim jest dociska¬ ny za pomoca elementu sprezystego o nacisku kon¬ centrycznym, zamocowanego do korpusu w osi ze¬ spolu fotoelementów.Natomiast w korpusie oswietlacza znajduje sie 10 otwór w osi którego umieszczony jest dodatkowy fotoelernent, który w skrajnych polozeniach rastra dlugiego zaslaniany jest specjalnymi, regulowany¬ mi przeslonami, zamocowanymi do czesci ruchomej urzadzenia, pozwalajacymi na zgranie zera ukladu 15 ponriaraweigo z rjoagatkiem ukladu roboczego.Zastosowanie w glowicy wedlug wynalazku ele- • mentu sprezystego *o nacisku koncentrycznym w postaci mieszka, jako elementu dociskajacego wózek z przyklejonym do niego rastrem krótkim M do rastra dlugiego, pozwala na zachowanie stalej odleglosci pomiedzy rastrami przy rozluznionych tolerancjach wykonania czesci glowicy i równole¬ glosci zamocowania rastra dlugiego do prowadnic elementu roboczego urzadzenia, jak równiez pozwa- 25 la na wyeliminowanie •skomplikowanego ukladu plaskich sprezyn.Odpowiednia odleglosc miedzy rastrami uzyski¬ wana jest przy pomocy kólek wózka, osadzonych na mimosrodowych oskach. Takie osadzenie kólek 3Q daje mozliwosc latwego i dokladnego ustawienia róznych odleglosci miedzy rastrami w zaleznosci od rodzaju zastosowanych rastrów.Glowica -Wedlug wynalazku znajduje zastosowa¬ nie do pomiaru przemieszczen liniowych elementów # 35 roboczych obrabiarek, do pomiaru przesuniec sto¬ lików wspólrzednosciowych, do aktywnej kontroli w obrabiarkach sterowanych numerycznie pracuja¬ cych w ukladzie sprzezenia zwrotnego, jak równiez do pomiaru przesuniec stolika mikroskopu. ^ Glówka wedlug wynalazku jest glównie przezna¬ czona Ho pomiaru przemieszczen liniowych, zwla¬ szcza do urzadzen technologicznych dla celów mi¬ kroelektroniki od stalego punktu zwanego zerem ukladu- 45 Przedmiot wynalazku jest przedstawiony w przy¬ kladzie wykonania na rysunku, na fctórywii'fig.' 1 — 4 przedstawia glowice w widoku z góry, natomiast fig. 2 — w przekroju poprzecznym.W korpusie glowicy 1 zamocowany jest nieru¬ chomo korpus zespolu fotoelementów 2 oraz korpus^ oswietlacza 3. Wózek 4 polaczony jest z korpusem zespolu fotoelementów 2 za pomoca elementu spre¬ zystego 5 w postaci mieszka. Do wózka 4 wyposa¬ zonego w kólka 6 osadzone na oskach mimosrodo- wych 7, przyklejony jest raster kreskowy krótki 8, Zespól fotoelementów 9 zamocowany jest w kor¬ pusie 2 w osi elemeritu -sprezystego 5. Raster kre¬ skowy dlugi 10 zamocowany jest do ruchomej cze¬ sci urzadzenia 11 w ten sposób, ze moze przesuwac sie równolegle do rastra krótkiego 8.Wiazka swiatla równoleglego 12 wychodzi z oswie¬ tlacza .13 zamocowanego w korpusie 3 i po przej¬ sciu przez raster dlugi 10 i raster krótki 8 oddzia¬ lywuje na zespól fotoelementów 9. W korpusie oswietlacza 3 znajduje sie otwór 14, nad którym zamocowano dodatkowy fotoelernent 15.W przypadku przesuniecia sie rastra dlugiego 10 w lewe lub prawe skrajne polozenie, przeslony 16 lub 17, zamocowane do ruchomej czesci 11, zasla¬ niaja otwór 14, co powoduje zanik sygnalu z foto- elementu 15 sygnalizujac zerowe -polazenie ukladu.Zastrzezenia patentowe 1. Glowica do pomiaru przemieszczen liniowych z zespolem fotoelementów, rastrem krótkim i dlu¬ gim oraz oswietlaczem, znamienna tym, ze wózek (4) z zamocowanym rastrem kreskowym krótkim (8 jest dociskany do rastra kreskowego dlugiego (10), poprzez kólka (6) za pomoca elementu sprezystego (5) o koncentrycznym nacisku, zamocowanego do korpusu (2) w osi zespolu fotoelementów (9), nato¬ miast w korpusie (3) oswietlacza (13) znajduje sie otwór <14), w osi którego znajduje sie dodatkowy fotoelernent (15), który w skrajnych polozeniach rastra dlugiego (10) przeslaniany jest przeslonami (16) lub (17), zamocowanymi do ruchomej czesci urzadzenia (11), sygnalizujac zerowe polozenie uklad. 2. Glowica wedlug zastrz. 1, znamienna tym, ze kólka (6) wózka (4) osadzone sa na mimosrodowych. oskach (7).116 339 %• Fig. 2. PL