Przedmiotem wynalazku jest uklad elektroniczny do pomiaru czasu narastania i zaniku fotopradu w fotoelektrycznych przyrzadach pólprzewodniko¬ wych, zwlaszcza w fotorezystorach i fototranzys¬ torach o dlugich stalych czasowych, stosowany w procesie wytwarzania do oceny parametrów czaso¬ wych tych przyrzadów podczas pomiarów miedzy- operacyjnych i koncowych.Dotychczas do pomiarów czasu narastania i za¬ niku fotopradu stosowane sa synchroskopy, a spra¬ wdzany pólprzewodnikowy przyrzad fotoelektrycz- ny zasilany stalym napieciem, oswietlany jest swia¬ tlem w ukladzie oswietlacza z przestana optyczina.Natomiast sygnal napieciowy z mierzonego przy¬ rzadu podawany jest na wejscie synchroskopu I na jego ekranie wyswietlany przebieg odwzorowuja¬ cy krzywa narastania lub zaniku fotopradu.W celu wyeliminowania niedogodnosci podczas idiakcinywaniia pomiiiarów fotoellektryczinych przyrza¬ dów pólprzewodnikowych o dlugich stalych czaso¬ wych przy pomocy znanego ukladu elektroniczne¬ go, wykonywane sa zdjecia fotograficzne przebie¬ gów z ekranu synchroskopu a zarejestrowany ob¬ raz po wywolaniu filmu kopiowany na papierze fotograficznym lub wyswietlany na papierze mili¬ metrowym.Interpretacja wyników polega na wykreslainiu odpowiednich poziomów i odczytaniu czasu naras¬ tania i zaniku fotopradu z uwzglednieniem zapi¬ sanych uprzednio wartosci podstawy czasu syn¬ chroskopu.Niedogodnoscia dotychczas stosowanych ukladów elektronicznych do pomiarów czasu narastania iza- * niku fotopradu jest migotanie obrazu i trudnosci w prawidlowym odczycie wyników podczas doko¬ nywania pomiarów fotoelektrycznych przyrzadów pólprzewodnikowych o dlugich stalych czasowych.Ponadto znany uklad elektroniczny do pomiaru io czasu narastania i zaniku fotopradu nie zapewnia dokladnosci pomiarów, pomimo ze jest on bardzo pracochlonny. Niewielka dokladnosc pomiarów wy¬ nika z subiektywnych bledów pomiarowych. Wy¬ stepuja równiez trudnosci z prowadzeniem pomia- !* rów miedzyoperacyjnych posiadajacych istotny wp¬ lyw na wyniki produkcyjne, poniewaz po doko¬ naniu pomiaru wynik uzyskuje sie po zbyt duzym . uplywie czasu.Celem wynalazku jest wyeliminowanie tych nie- 20 dogodnosci przez opracowanie takiego ukladu elek¬ tronicznego do pomiaru czasu narastania i zaniku fotopradu w fotoelektrycznych przyrzadach pól¬ przewodnikowych, który zapewni szybkie i dok¬ ladne dokonywanie pomiarów parametrów czaso- 25 wych tych przyrzadów.Cel ten osiagnieto przez wykonanie ukladu elek¬ tronicznego, w którym fotodiode oswietla sie tym samym swiatlem emitowanym z oswietlacza wypo¬ sazonego w sterowana przeslone optyczna, co mie- 30 rzony fotoelektryczny przyrzad pólprzewodnikowy. 115 403115 403 Fotodiode wlacza sie nastepnie za posrednictwem komjpairaitara napieciowego i ukladu uniwibratora w obwód sterowania poczatkiem pomiaru czaso¬ mierza cyfrowego.Natomiast obwód sterowania koncem pomiaru 5 czasomierza cyfrowego laczy sie z wyjsciem dru¬ giego uniwibratora sterowanego z dwu kolejnych komparatorów napieciowych. Wejscia nieodwraca- jace faza tych komparatorów laczy sie ze soba i z fotoelektryioznyim przyrzadem pólprzewodnikowym io tworzacym z rezystorami szeregowymi dzielnik na¬ pieciowy. Natomiast do wejsc odwracajacych faza laczy sie potencjometry ustalajace poziom napiec odniesienia dla tych komparatorów.Uklad zapewnia dokladny, szybki i bezposredni is pomlar parametrów (czasowych fotoelektrycznych przyrzadów pólprzewodnikowych, zwlaszcza tych przyrzadów, które charakteryzuja sie dlugimi sta¬ lymi czasowymi. ' Przedmiot wynalazku jest blizej objasniony w 20 przykladzie wykonania na rysunku, na którym przedstawiono schemat ideowy ukladu elektronicz¬ nego.W celu dokonania pomiaru, fotorezystor 1 umie¬ szczony jest wraz z fotodioda 2, przeslona optycz- 25 na 3 i oswietlaczem 5 w swiatloszczelnej obudo¬ wie 6. Przeslone 3 steruje sie przelacznikiem 24 za posrednictwem elektromagnesu 4 zasilanego przez zasilacz 7.Podczas pomiaru fotorezystor 1 dolaczony jest za 30 posrednictwem przelacznika 23 z rezystorami 10 i 11, ograniczajacymi prad oraz z wejsciami nie- odwracajacymi fazy komparatorów napieciowych 13 i 14. Wejscia odwracajace faze tych kompara¬ torów polaczone sa przez potencjometry 15 i 16, 35 ustalajace poziom pomiaru z zasilaczami 8 i 9 na¬ piecia pomiarowego narastania i zaniku fotopradu.Wejscia komparatorów 14 bezposrednio i kompara¬ tora 13 przez inwertor fazy 17 dolaczone sa za po¬ srednictwem przelacznika 22 ,na wejscia uiwibra- *o tara 18, formujacego impuls STOP, który zatrzy¬ muje czasomierz cyfroiwy 20. Natomiast fotodioda 3 dolaczona jest na wejscie odwracajace wzmac¬ niacza operacyjnego 12, którego sygnal wyjsciowy steruje imiwibraltorem 19. Uniwibrator 19 formu- « jacy irmpufls ETART i uruchamiajacy czasomierz cyfrowy 20 przelaczany jesrt; na wyzwalanie prze¬ biegiem malejacym i narastajacym przy pomocy przelacznika 21.Dzialanie ukladu uzyskane jest przez ustawienie w sprzezonych przelaczników 21, 22 i 23 w pozycji pomiar czasu zaniku fotopradu i zamkniecie przes¬ lony 3 za posrednictwem przelacznika 4 zaniku fotopradu w szybkiej fotodiodzie sterujacej 2, co powoduje pojawienie sie na wyjsciu wzmacniacza- « operacyjnego 12 przebiegu narastajacego, który wy¬ zwala uniwibrator 19 uruchamiajacy czasomierz 20, rozpoczynajacy odmierzanie czasu zaniku foto¬ pradu w rezystorze 1. Zastosowana fotodioda ma tysiac razy mniejsze czasy narastania i zaniku fo¬ topradu od tych samych parametrów mierzonego fotorezystora a zatem blad pomiaru jest tak maly, ze mozna go pominac. .Zanik fotopradu w fotorezystorze 1 zasilanym napieciem stalym przez rezystor 8 powoduje zm¬ niejszanie sie napiecia wejsciowego podawanego na komparatory napieciowe 13 i 14. Jezeli napie¬ cie to spadnie ponizej wartosci zadanej potencjo¬ metrem 15 ustalajacym poziom pomiaru, na wyjs¬ ciu komparatora 13 pojawi sie przebieg napieciowy powodujacy wysterowanie przez inwertor fazy 17 uniwibratora 18, na którego wyjsciu pojawi sie impuls prostokatny, który zatrzymuje czasomierz 20. Cykl pomiarowy konczy sie- a wynik pomiaru odczytuje sie z wyswietlacza czasomierza cyfrowe¬ go 20.Pomiar czasu narastania fotopradu przebiega po¬ dobnie i po przestawieniu przelaczników 21-, 22 i 23 w pozycje pomiar czasu narastania fotopradu i ot¬ warciu przeslony 3 przy pomocy przelacznika 24 wzrost fotopradu. w szybkiej fotodiodzie 2 po¬ woduje wygenerowanie impulsu uruchamiajacego czasomierz 20 przez uniwibrator 19.Wzrost fotopradu w fotorezystorze 1 powyzej wartosci zadanej potencjometrem 16 ustalajacym poziom pomiaru powoduje pojawienie, sie przebie¬ gu napieciowego, który wysterowuje uniwibrator 18. Natomiast uniwibrator 18 wygenerowuje impuls zatrzymujacy czasomierz 20.Zastrzezenia patentowe 1. Uklad elektroniczny do pomiaru czasu nara¬ stania i zaniku fotopradu w fotoelektronicznych przyrzadach pólprzewodn)ikqwyoh zawierajacy os¬ wietlacz wyposazony w sterowana przeslone qptycana, znamienny tym, ze fotodiode (2) os¬ wietla sie tym samym swiatlem, co mierzony fo- toelektryczny przyrzad pólprzewodnikowy (1) oraz laczy sie ja za posrednictwem komparatora napie¬ ciowego (12) i ukladu uniwibratora (19) z urucha¬ miajacym poczatek pomiaru wejsciem czasomierza (20), którego wejscie sterujace zakonczeniem po¬ miaru laczy sie z wyjsciem drugiego uniwibratora (18), sterowanego dwoma komparatorami napiecio¬ wymi (13 i 14), których wejscie nieodwracajace fa¬ ze laczy sie ze soba i z fotoelektrycznym przyrza¬ dem pólprzewodnikowym (1) a wejscia odwracaja¬ ce faze laczy sie z dwoma potencjometrami (15 i 16), ustalajacymi poziom napiec odniesienia kom¬ paratorów (13 i 14). 2. Uklad wedlug zastrz. 1, znamienny tym, ze fotoelektryczny przyrzad pólprzewodnikowy (1), tworzy z rezystorami (10 i 11) dzielnik napieciowy.145 403 Hep13 K 1 12 19 21 PL