NO921096L - Optisk naerfelts mikrolitografifremgangsmaate og mikrolitografianordninger som anvender denne - Google Patents

Optisk naerfelts mikrolitografifremgangsmaate og mikrolitografianordninger som anvender denne

Info

Publication number
NO921096L
NO921096L NO92921096A NO921096A NO921096L NO 921096 L NO921096 L NO 921096L NO 92921096 A NO92921096 A NO 92921096A NO 921096 A NO921096 A NO 921096A NO 921096 L NO921096 L NO 921096L
Authority
NO
Norway
Prior art keywords
microlitography
nerfield
procedures
optical
devices
Prior art date
Application number
NO92921096A
Other languages
English (en)
Other versions
NO921096D0 (no
Inventor
Frederique De Fornel
Jean-Pierre Goudonnet
James Mantovani
Original Assignee
Spiral Rech & Dev
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from FR8912497A external-priority patent/FR2652423B1/fr
Application filed by Spiral Rech & Dev filed Critical Spiral Rech & Dev
Publication of NO921096L publication Critical patent/NO921096L/no
Publication of NO921096D0 publication Critical patent/NO921096D0/no

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70375—Multiphoton lithography or multiphoton photopolymerization; Imaging systems comprising means for converting one type of radiation into another type of radiation

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
NO921096A 1989-09-22 1992-03-19 Optisk naerfelts mikrolitografifremgangsmaate og mikrolitografianordninger som anvender denne NO921096D0 (no)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR8912497A FR2652423B1 (fr) 1989-09-22 1989-09-22 Procede de microlithographie pour la realisation de structures superficielles submicrometriques sur un substrat du type d'une plaquette de silicium, ainsi qu'un dispositif le mettant en óoeuvre.
PCT/FR1990/000682 WO1991004513A1 (fr) 1989-09-22 1990-09-21 Procede de microlithographie en champ proche optique et dispositifs de microlithographie le mettant en ×uvre

Publications (2)

Publication Number Publication Date
NO921096L true NO921096L (no) 1992-03-19
NO921096D0 NO921096D0 (no) 1992-03-19

Family

ID=26227570

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NO921096A NO921096D0 (no) 1989-09-22 1992-03-19 Optisk naerfelts mikrolitografifremgangsmaate og mikrolitografianordninger som anvender denne

Country Status (1)

Country Link
NO (1) NO921096D0 (no)

Also Published As

Publication number Publication date
NO921096D0 (no) 1992-03-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR870700334A (ko) 안과 수술용 기구
NO921686D0 (no) Vevsfuktende blanding og fremgangsmaate
DK63687A (da) Optisk instrument
KR870006910A (ko) 치료용 조사광 삽입기구
DE3630351B4 (de) Optisches Untersuchungsgerät
DE69328363T2 (de) Nichtinvasives testverfahren
DK107986D0 (da) Fiberoptisk kobler og fremgangsmaade til henholdsvis fremstilling og anvendelse af denne
BR8703094A (pt) Dispositivo otico
FI880445A (fi) Optinen laite
DK68289A (da) Fremgangsmaade til oejediagnosticering
DK515688D0 (da) Blodproeveudstyr
NO911710D0 (no) Optisk boelgelederinnretning og anvendelse av denne.
DK406989D0 (da) Fugtesnekke og fremgangsmaade til rengoering af denne
IT9020675A0 (it) Dispositivo e procedimento di fissaggio
NO173244C (no) Klebende avtrekksblanding og framgangsmaate ved anvendelseav denne
IT9020592A0 (it) procedimento e dispositivo
FR2640392B1 (fr) Systeme et appareil commutateurs optiques
NO921096D0 (no) Optisk naerfelts mikrolitografifremgangsmaate og mikrolitografianordninger som anvender denne
BR8707589A (pt) Instrumento cirurgico
DK675688D0 (da) Griseolsyremonoestere samt fremgangsmaade og anvendelse deraf
NO180800C (no) Optisk bölgelengdeforskyver og pulskompressor
DK4790D0 (da) Kirurgisk sav
NO902221D0 (no) Fremgangsmaate og innretning for aa foreta optisk signalering.
DK670588D0 (da) Farmaceutisk praeparat til behandling af phlebektasi og fremgangsmaade til fremstilling af praeparatet
DK641189A (da) Praeparat til behandling af glaucom og fremgangsmaade til fremstilling af et saadant praeparat