NL9402241A - Sample holder for an electron microscope and method for accommodating a sample in an electron microscope - Google Patents
Sample holder for an electron microscope and method for accommodating a sample in an electron microscope Download PDFInfo
- Publication number
- NL9402241A NL9402241A NL9402241A NL9402241A NL9402241A NL 9402241 A NL9402241 A NL 9402241A NL 9402241 A NL9402241 A NL 9402241A NL 9402241 A NL9402241 A NL 9402241A NL 9402241 A NL9402241 A NL 9402241A
- Authority
- NL
- Netherlands
- Prior art keywords
- sample
- rod
- electron microscope
- sleeve
- shaped element
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/20—Means for supporting or positioning the objects or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/20—Positioning, supporting, modifying or maintaining the physical state of objects being observed or treated
- H01J2237/2001—Maintaining constant desired temperature
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/20—Positioning, supporting, modifying or maintaining the physical state of objects being observed or treated
- H01J2237/2007—Holding mechanisms
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/20—Positioning, supporting, modifying or maintaining the physical state of objects being observed or treated
- H01J2237/201—Positioning, supporting, modifying or maintaining the physical state of objects being observed or treated for mounting multiple objects
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/20—Positioning, supporting, modifying or maintaining the physical state of objects being observed or treated
- H01J2237/204—Means for introducing and/or outputting objects
Abstract
Description
Titel: Monsterhouder voor een elektronenmicroscoop en werk wijze voor het opnemen van een monster in een elektronenmicroscoop.Title: Sample holder for an electron microscope and method for inserting a sample into an electron microscope.
De uitvinding heeft betrekking op een monsterhouder voor een elektronenmicroscoop, voorzien van een staafvormig lichaam dat nabij een eerste einde is voorzien van middelen voor het opnemen van een monster, waarbij middelen aanwezig zijn voor het in een eerste positie althans tijdelijk luchten vochtdicht afschermen van het monster van de omgeving, welke afschermmiddelen ten minste één elastische afdichting omvatten die het staafvormige element althans in de eerste positie omgeeft, en steunmiddelen voor het in een gebruikstand opstellen van de monsterhouder. Een dergelijke monsterhouder is bekend uit de praktijk en wordt bijvoorbeeld in de handel gebracht door de Gatan Incorporated, Pleasanton, USA.The invention relates to a sample holder for an electron microscope, provided with a rod-shaped body which is provided near a first end with means for receiving a sample, wherein means are present for at least temporarily airing the sample in a first position of the environment, which shielding means comprise at least one elastic seal which surrounds the rod-shaped element at least in the first position, and support means for arranging the sample holder in a position of use. Such a sample holder is known from practice and is for instance marketed by the Gatan Incorporated, Pleasanton, USA.
Bij de bekende monsterhouder is het staafvormige lichaam verschuifbaar opgenomen binnen een dunne buis. In de eerste positie is het staafvormige lichaam geheel binnen de buis teruggetrokken en wordt daarbij gedragen nabij het vrije einde door een elastische O-ring die passend is opgenomen tussen het staafvormige lichaam en de binnenzijde van de buis. Op afstand daarvan is het staafvormige lichaam met de buis verbonden door een balg. Tussen de O-ring, de balg en de buis is het monster in deze positie ingesloten en afgeschermd van de omgeving.In the known sample holder, the rod-shaped body is slidably received within a thin tube. In the first position, the rod-shaped body is fully retracted within the tube and is carried near the free end by an elastic O-ring fittingly received between the rod-shaped body and the inside of the tube. At a distance therefrom, the rod-shaped body is connected to the tube by a bellows. The sample is enclosed in this position between the O-ring, the bellows and the tube and is shielded from the environment.
In de tweede stand is het staafvormige lichaam gedeeltelijk uit de buis geschoven, zodanig dat ten minste het monster zich buiten de buis bevindt. Het staafvormige lichaam wordt in deze positie gedragen door de O-ring en de balg. Dit verschaft tijdens gebruik in veel gevallen onvoldoende stabiliteit voor het monster in de elektronenmicroscoop, zodanig dat een te onderzoeken preparaat of monster tijdens het onderzoek na instelling ongewenst kan worden bewogen, bijvoorbeeld in trilling, doordat de elastische ring kan vervormen. Bovendien is de mate van stabiliteit van het monster bij deze bekende monsterhouder in belangrijke mate afhankelijk van de mate waarin het staafvormige lichaam uit de dunne buis wordt geschoven.In the second position, the rod-shaped body is partially slid out of the tube, such that at least the sample is outside the tube. The rod-shaped body is carried in this position by the O-ring and the bellows. In use, this often provides insufficient stability for the sample in the electron microscope, such that a specimen or sample to be examined can be moved undesirably during the examination after adjustment, for example in vibration, because the elastic ring can deform. Moreover, the degree of stability of the sample in this known sample holder depends to a great extent on the extent to which the rod-shaped body is slid out of the thin tube.
De uitvinding beoogt een monsterhouder van de in de aanhef beschreven soort, waarbij de genoemde nadelen zijn vermeden. Daartoe wordt de monsterhouder volgens de uitvinding gekenmerkt door de maatregelen volgens conclusie 1.The object of the invention is a sample container of the type described in the preamble, wherein the above-mentioned drawbacks are avoided. For this purpose, the sample holder according to the invention is characterized by the measures according to claim 1.
Doordat ten minste in de tweede positie, dat wil zeggen de positie waarin het monster onder de elektronenmicroscoop kan worden bekeken, het staafvormige lichaam, en daarmee het monster direct wordt ondersteund door de steun-middelen wordt verhinderd dat het monster tijdens het onderzoeken, dat wil zeggen na instelling van de monsterhouder, kan bewegen. De elastische afdichting heeft bij de monsterhouder volgens de uitvinding geen dragende functie doch slechts een afdichtende functie. Daardoor kan de afdichting van het monster in de eerste positie beter worden gegarandeerd en wordt bovendien direct contact tussen het staafvormige lichaam en de steunmiddelen in de tweede positie gegarandeerd. De mate waarin de afschermmiddelen en het staafvormige lichaam ten opzichte van elkaar zijn bewogen tussen de eerste en de tweede positie heeft daarbij, althans na instelling, geen invloed op de mate van beweging van het monster. Immers, de ondersteuning van het monster is direct en altijd op dezelfde positie ten opzichte van de steunmiddelen, welke steunmiddelen in de elektronenmicroscoop kunnen worden afgesteund, bijvoorbeeld in een goniometer.Since at least in the second position, i.e. the position in which the sample can be viewed under the electron microscope, the rod-shaped body, and thus the sample is directly supported by the support means, the sample is prevented from being investigated, i.e. say after setting the sample holder, can move. In the sample container according to the invention, the elastic seal has no load-bearing function, but only a sealing function. As a result, the sealing of the sample in the first position can be better guaranteed and, moreover, direct contact between the rod-shaped body and the supporting means in the second position is guaranteed. The extent to which the shielding means and the rod-shaped body have moved relative to each other between the first and the second position does not affect the degree of movement of the sample, at least after adjustment. After all, the support of the sample is directly and always in the same position with respect to the support means, which support means can be supported in the electron microscope, for example in a goniometer.
In een voordelige uitvoeringsvorm wordt de monsterhouder volgens de uitvinding gekenmerkt door de maatregelen volgens conclusie 2.In an advantageous embodiment, the sample holder according to the invention is characterized by the measures according to claim 2.
Bij deze uitvoeringsvorm wordt het monster in de eerste positie door een hulsvormige element en twee elastische afdichtingen zoals bijvoorbeeld O-ringen afgeschermd van de omgeving, terwijl de beide elastische afdichtingen ook in de tweede positie door het hulsvormige element nagenoeg geheel worden afgeschermd van de omgeving. Daardoor worden vervuiling en eventuele beschadigingen en dislocatie van de afdichtingen verhinderd, zodat een goede werking van de monsterhouder te allen tijde wordt gegarandeerd.In this embodiment, the sample is shielded from the environment in the first position by a sleeve-shaped element and two elastic seals such as, for example, O-rings, while the two elastic seals are also substantially completely shielded from the environment in the second position by the sleeve-shaped element. This prevents contamination and any damage and dislocation of the seals, so that the sample holder functions properly at all times.
In een eerste voorkeursuitvoering wordt een monsterhouder volgens de uitvinding gekenmerkt door de maatregelen volgens conclusie 3.In a first preferred embodiment, a sample holder according to the invention is characterized by the measures according to claim 3.
In deze uitvoeringsvorm is het staafvonmige lichaam vast verbonden met de steunmiddelen. De positie van een in de monsteropnemende middelen opgenomen monster is daarmee eenduidig en onveranderlijk vastgelegd. Beweging van het staafvonmige element ten opzichte van de steunmiddelen is bovendien onmogelijk. De afschermmiddelen omvatten een huls die tussen de eerste en de tweede positie langs het staafvonmige lichaam beweegbaar is. Deze bewegingen hebben geen invloed op de stand van het monster.In this embodiment, the rod-shaped body is fixedly connected to the support means. The position of a sample included in the sample-receiving means is thus unambiguously and invariably fixed. Moreover, movement of the rod-shaped element relative to the support means is impossible. The shielding means comprises a sleeve which is movable along the rod-shaped body between the first and the second position. These movements do not affect the position of the sample.
In een tweede voorkeursuitvoering wordt een monsterhouder volgens de uitvinding gekenmerkt door de maatregelen volgens conclusie 7.In a second preferred embodiment, a sample holder according to the invention is characterized by the measures according to claim 7.
Bij deze uitvoeringsvorm wordt het staafvonmige lichaam althans in de tweede positie ten minste aan twee zijden van de monsteropnemende middelen ondersteund. Doordat het vrije einde van het staafvonmige lichaam in de tweede positie althans gedeeltelijk passend in een holte in het buisvormige lichaam is opgenomen wordt een directe koppeling daartussen verkregen. Bovendien is de positie van de monsteropnemende middelen in de tweede stand vastgelegd door de opening, in de eerste positie wordt het monster door het buisvormige lichaam en de elastische afdichting op geschikte wijze afgeschermd.In this embodiment, the rod-shaped body is supported at least in the second position on at least two sides of the sample-receiving means. Because the free end of the rod-shaped body in the second position is at least partly fitted in a cavity in the tubular body, a direct coupling is obtained between them. In addition, the position of the sample-receiving means in the second position is fixed by the opening, in the first position, the sample is suitably shielded by the tubular body and the elastic seal.
In een derde voorkeursuitvoering wordt een monsterhouder volgens de uitvinding gekenmerkt door de maatregelen volgens conclusie 9.In a third preferred embodiment, a sample holder according to the invention is characterized by the measures according to claim 9.
Tijdens gebruik van deze uitvoeringsvorm van de monsterhouder wordt in de gebruiksstand van de monsterhouder, dat wil zeggen bij de monsteropnemende middelen in de tweede stand, het staafvormige lichaam vast verbonden met het buisvormige lichaam door middel van de koppelmiddelen. De koppel-middelen zijn zodanig passend koppelbaar dat beweging van de twee lichamen ten opzichte van elkaar niet meer mogelijk is, met uitzondering van een beweging terug naar de eerste, afgeschermde positie. De koppelmiddelen verhinderen derhalve beweging van het monster in de tweede positie tijdens gebruik van de monsterhouder binnen een elektronenmicroscoop.During use of this embodiment of the sample holder, in the position of use of the sample holder, i.e. with the sample-receiving means in the second position, the rod-shaped body is fixedly connected to the tubular body by means of the coupling means. The coupling means can be coupled in such a suitable manner that movement of the two bodies relative to each other is no longer possible, with the exception of movement back to the first, shielded position. The coupling means therefore prevent movement of the sample in the second position during use of the sample holder within an electron microscope.
De koppelmiddelen kunnen bijvoorbeeld worden gevormd door samenwerkende pennen en gaten, een conische ring op het staafvormige lichaam die passend opneembaar is in een opening in het buisvormige lichaam of dergelijke in of over elkaar passende verbindingselementen.The coupling means can for instance be formed by cooperating pins and holes, a conical ring on the rod-shaped body which can be accommodated in an opening in the tubular body or the like in or on mutually fitting connecting elements.
In nadere uitwerking wordt een monsterhouder volgens de uitvinding gekenmerkt door de maatregelen volgens conclusie 10.In further elaboration, a sample holder according to the invention is characterized by the measures according to claim 10.
Het zwenkbare opneemlichaam dat het monster kan dragen biedt het voordeel dat het monster binnen de monsterhouder in stand kan worden veranderd, zodanig dat het in verschillende standen kan worden bekeken. Doordat bij een verplaatsing van de afschermmiddelen ten opzichte van de monsteropnemende middelen de kantelmiddelen het zwenklichaam bewegen kan door middel van de afschermmiddelen eenvoudig de stand van het monster worden ingesteld. Deze uitvoeringsvorm biedt het voordeel dat de monsterhouder eenvoudig en relatief robuust kan worden opgebouwd, terwijl toch het monster vanaf nagenoeg alle zijden kan worden bekeken. Immers, er hoeven geen extra be-dieningsmiddelen te worden voorzien die zich in of langs de monsterhouder uitstrekken voor bediening van de kantelbeweging van het zwenklichaam. De bewegingen van het zwenklichaam worden daarbij beperkt door de poolschoenen van de elektronenmicroscoop.The pivotable receiving body which can carry the sample has the advantage that the sample can be changed in position within the sample holder such that it can be viewed in different positions. Because the tilting means move the swiveling body when the shielding means are displaced relative to the sample-receiving means, the position of the sample can easily be adjusted by means of the shielding means. This embodiment offers the advantage that the sample holder can be constructed in a simple and relatively robust manner, while the sample can still be viewed from almost all sides. After all, no additional operating means need be provided which extend in or along the sample holder for operating the tilting movement of the swivel body. The movements of the swivel body are thereby limited by the pole shoes of the electron microscope.
De uitvinding heeft voorts betrekking op een werkwijze voor het in een elektronenmicroscoop opnemen van een monster in een voor onderzoek geschikte positie, waarbij het monster in een monsterhouder wordt opgenomen in een monsteropneem-middel nabij een uiteinde van een staafvormig element, waarbij het monster in een eerste stand van de monsterhouder wordt af-geschermd van de omgeving door afschermmiddelen die ten minste een elastische afdichting omvatten, opgenomen tussen het staafvormige element en een afschermmantel, waarbij althans het uiteinde van het staafvonmige element met het monster binnen de elektronenmicroscoop wordt bewogen en de afscherm-middelen en het staafvormige element relatief ten opzichte van elkaar worden bewogen naar een tweede stand waarbij het monster binnen de elektronenmicroscoop wordt vrijgegeven voor onderzoek, waarbij de monsterhouder met behulp van afsteun-middelen in de elektronenmicroscoop wordt opgesteld. Deze werkwijze wordt volgens de uitvinding gekenmerkt doordat het staafvormige element in de tweede stand direct wordt afgesteund op de steunmiddelen, zonder tussenkomst van de elastische afdichting, zodanig dat bewegingen van het staafvormige element, en daarmee van het monster ten opzichte van de steunmiddelen en de elektronenmicroscoop worden verhinderd.The invention furthermore relates to a method for recording a sample in an electron microscope in an investigation-suitable position, wherein the sample is taken up in a sample holder in a sample-receiving means near an end of a rod-shaped element, the sample being placed in a The first position of the sample holder is shielded from the environment by shielding means comprising at least an elastic seal interposed between the rod-shaped element and a shield sheath, at least the end of the rod-shaped element with the sample being moved within the electron microscope and the shield means and the rod-shaped element are moved relative to each other to a second position in which the sample is released within the electron microscope for examination, the sample holder being arranged in the electron microscope by means of support means. This method is characterized according to the invention in that the rod-shaped element in the second position is directly supported on the supporting means, without the intervention of the elastic seal, such that movements of the rod-shaped element, and thus of the sample with respect to the supporting means and the electron microscope are prevented.
Door toepassing van een werkwijze volgens de uitvinding wordt op bijzonder eenvoudige en eenduidige wijze een optimaal stabiele, geschikte en reproduceerbare positionering van een monster binnen een elektronenmicroscoop mogelijk.By applying a method according to the invention, an optimally stable, suitable and reproducible positioning of a sample within an electron microscope is made possible in a particularly simple and unambiguous manner.
Ter verduidelijking van de uitvinding zal een aantal uitvoeringsvoorbeelden van een monsterhouder, onder verwijzing naar de tekening, worden beschreven. Daarin toont: fig. 1 een gedeeltelijke dwarsdoorsnede en bovenaanzicht van een eerste uitvoeringsvorm van een monsterhouder volgens de uitvinding; fig. 2a een gedeeltelijke dwarsdoorsnede en bovenaanzicht van een tweede uitvoeringsvorm van een monsterhouder volgens de uitvinding; fig. 2b een gedeeltelijke dwarsdoorsnede en zijaanzicht van een tweede uitvoeringsvorm van een monsterhouder volgens de uitvinding; fig. 3 een dwarsdoorsnede van een monsterhouder volgens de uitvinding in een derde uitvoeringsvorm; fig. 4a en b een gedeeltelijk opengehakt zijaanzicht van een monsterhouder volgens de uitvinding in een vierde uitvoeringsvorm, respectievelijk in de eerste en de tweede positie; fig. 4c een dwarsdoorsnede van de monsterhouder volgens fig. 4a en 4b.To clarify the invention, a number of exemplary embodiments of a sample holder, with reference to the drawing, will be described. In the drawing: Fig. 1 shows a partial cross-section and top view of a first embodiment of a sample holder according to the invention; Fig. 2a is a partial cross-sectional and top view of a second embodiment of a sample holder according to the invention; Fig. 2b is a partial cross-sectional and side view of a second embodiment of a sample holder according to the invention; Fig. 3 shows a cross section of a sample holder according to the invention in a third embodiment; Figures 4a and b show a partly cut-away side view of a sample container according to the invention in a fourth embodiment, in the first and second position, respectively; Fig. 4c shows a cross-section of the sample holder according to Figs. 4a and 4b.
fig. 5 een dwarsdoorsnede van een monsterhouder volgens de uitvinding in een vijfde uitvoeringsvorm; en fig. 6 een dwarsdoorsnede van een deel van een monsterhouder volgens fig. l, 2 of 3, met een eerste uitvoeringsvorm van de monsteropnemende middelen, op grotere schaal.Fig. 5 shows a cross section of a sample holder according to the invention in a fifth embodiment; and FIG. 6 is a cross-sectional view of a part of a sample container according to FIGS. 1, 2 or 3, with a first embodiment of the sample-receiving means, on an enlarged scale.
In fig. 1 is in doorgesneden zijaanzicht een monsterhouder 1 volgens de uitvinding getoond, welke monsterhouder een staafvormig lichaam 2 omvat dat nabij één einde is voorzien van een voet 3 voor het op gebruikelijke wijze vast opstellen van de monsterhouder l nabij en gedeeltelijk in een elektronenmicroscoop, waarvan slechts een gedeelte 4 is getoond. De elektronenmicroscoop kan daartoe zijn voorzien van een goniometer en/of andere afsteunpunten. Het staafvormige lichaam 2 omvat een staafelement 5 dat vast is verbonden met de voet 3. Het staafelement 5 is dunner dan de voet 3 en het vrije einde 6 van het staafelement 5 wordt gevormd door een verjongd deel 7, welk deel ten minste opneembaar is in de elektronenmicroscoop.Fig. 1 shows in cross-sectional side view a sample holder 1 according to the invention, which sample holder comprises a rod-shaped body 2 which is provided with a foot 3 near one end for arranging the sample holder 1 in the usual manner near and partly in an electron microscope only part 4 of which is shown. To this end, the electron microscope may be provided with a goniometer and / or other support points. The rod-shaped body 2 comprises a bar element 5 which is fixedly connected to the foot 3. The bar element 5 is thinner than the foot 3 and the free end 6 of the bar element 5 is formed by a tapered part 7, which part is at least accommodated in the electron microscope.
Het verjongde deel 7 is op enige afstand van het vrije einde 6 daarvan voorzien van een doorlopende eerste boring 8 welke zich in hoofdzaak dwars op de lengterichting van het staafelement 5 uitstrekt. Binnen de eerste boring 8 zijn middelen 9 opgenomen voor het dragen en vastzetten van een monster 10 dat met de elektronenmicroscoop bekeken dient te worden. Deze middelen 9 kunnen bijvoorbeeld een draagrand ll en een klemring 12 omvatten, maar kunnen ook op andere, bekende en geschikte wijze worden uitgevoerd.The rejuvenated part 7 is provided at some distance from the free end 6 thereof with a continuous first bore 8 which extends substantially transversely of the longitudinal direction of the rod element 5. Included within the first bore 8 are means 9 for carrying and securing a sample 10 to be viewed with the electron microscope. These means 9 can for instance comprise a carrying edge 11 and a clamping ring 12, but can also be designed in other, known and suitable manner.
Aan de naar het vrije einde 6 van het verjongde deel 7 gekeerde zijde van de eerste boring 8 is het verjongde deel 7 nabij de boring 8 voorzien van een eerste rondlopende groef 13. Aan de andere zijde van de eerste boring 8 is het verjongde deel 7 voorzien van een tweede rondlopende groef 14. In de groeven 13, 14 zijn respectievelijk een eerste 15 en een tweede elastische afdichting 16 opgenomen, bijvoorbeeld in de vorm van een rubberen of kunststof O-ring. Elke afdichting 15, 16 steekt enigszins buiten het verjongde deel 7 uit. Rond het verjongde deel 7 is een hulsvormige afscherming 17 geschoven, die een lengte heeft die ten minste overeenkomt met de lengte tussen de van elkaar afgekeerde zijden van de twee 0-ringen 15, 16. De binnendiameter van de afscherming 17 is enigszins kleiner dan de buitendiameter van de 0-ringen 15, 16. De afscherming 17 kan over de O-ringen 15, 16 worden geschoven, waarbij de 0-ringen enigszins worden samengedrukt, zodanig dat de buitenzijde daarvan onder voorspanning aanligt tegen de binnenzijde van de afscherming 17. in deze eerste positie, die in fig. 1 is getoond, vormen de afdichtingen 15, 16 en de afscherming 17 een lucht- en vochtdichte afscherming van de boring 8 en een eventueel daarin opgenomen monster 10 van de omgeving.On the side of the first bore 8 facing the free end 6 of the tapered part 7, the tapered part 7 is provided near the bore 8 with a first circumferential groove 13. On the other side of the first bore 8, the tapered part 7 provided with a second circumferential groove 14. The grooves 13, 14 contain a first 15 and a second elastic seal 16, for example, in the form of a rubber or plastic O-ring. Each seal 15, 16 projects slightly outside of the rejuvenated part 7. A sleeve-shaped shield 17 is slid around the rejuvenated part 7 and has a length at least corresponding to the length between the sides of the two O-rings 15, 16 facing away from each other. The inner diameter of the shield 17 is somewhat smaller than the outer diameter of the O-rings 15, 16. The shield 17 can be slid over the O-rings 15, 16, the O-rings being compressed slightly, such that the outside thereof abuts against the inside of the shield 17 under pretension. in this first position, which is shown in Fig. 1, the seals 15, 16 and the shield 17 form an airtight and moisture-proof shield of the bore 8 and any sample 10 of the environment contained therein.
Door de voet 3 en het staafelement 5 strekt zich een tweede boring 18 uit in de lengterichting van het staafvormige lichaam 2, tot nabij de naar het huisdeel 4 gekeerde zijde van de tweede 0-ring 16. In het verjongde deel 7 is een sleuf-vormige opening 19 aangebracht die doorloopt tot in de tweede boring 18. Door de tweede boring 18 strekt zich een stang 20 uit die verschuifbaar is binnen de tweede boring 18. Het eerste einde 21 van de stang 20 bevindt zich onder de opening 19, het tweede einde 22 steekt uit buiten de van het staafelement 5 afgekeerde zijde van de voet 3.A second bore 18 extends in the longitudinal direction of the rod-shaped body 2 through the base 3 and the bar element 5, near the side of the second O-ring 16 facing the housing part 4. In the rejuvenated part 7 there is a slot shaped opening 19 which extends into the second bore 18. A rod 20 extends through the second bore 18 and is slidable within the second bore 18. The first end 21 of the rod 20 is located under the opening 19, the second end 22 protrudes beyond the side of the foot 3 remote from the rod element 5.
Het eerste einde 21 van de stang 20 is verbonden met de afscherming 17 via een aansluitpen 23 die zich door de opening 19 heen uitstrekt, zodanig dat de stang 20 en de afscherming 17 ten opzichte van het staafelement 5 niet kunnen roteren. Het tweede einde 22 van de stang 20 is voorzien van buitenschroefdraad 24, waarop passend een van binnenschroef draad 26 voorziene stelknop 25 is aangebracht. De stel-knop 25 ligt met één zijde aan tegen de voet 3 en kan niet verschuiven ten opzichte van de voet 3. Door rotatie van de stelknop 25 wordt, aangezien de stang 20 niet kan roteren ten opzichte van de afscherming 17 of het staafelement 5, de afscherming 17 ten opzichte van het verjongde deel 7 en daarmee ten opzichte van de afdichtingen 15, 16 en de monsteropnemende middelen 9 in langsrichting verschoven.The first end 21 of the rod 20 is connected to the shield 17 via a connecting pin 23 which extends through the opening 19 such that the rod 20 and the shield 17 cannot rotate relative to the rod element 5. The second end 22 of the rod 20 is provided with an external screw thread 24, on which an adjusting knob 25 provided with an internal screw thread 26 is fitted. The adjusting knob 25 rests on the foot 3 with one side and cannot shift with respect to the foot 3. Rotation of the adjusting knob 25 makes it possible, since the rod 20 cannot rotate with respect to the shield 17 or the rod element 5 , the shield 17 is displaced in the longitudinal direction relative to the rejuvenated part 7 and thus relative to the seals 15, 16 and the sample-receiving means 9.
De monsterhouder 1 volgens fig. 1 kan als volgt worden gebruikt.The sample holder 1 according to Fig. 1 can be used as follows.
Een monster 10 wordt met behulp van de monsteropnemen-de middelen 9; ll, 12 in de boring 8 vastgezet, in een daartoe geschikte, bij voorkeur afgesloten en geconditioneerde ruimte. Vervolgens wordt de stelknop 25 zodanig geroteerd dat de afscherming 17 over de beide afdichtingen 15, 16 wordt geschoven zodat het monster met behulp van die afdichtingen 15, 16 en de afscherming 17 lucht- en vochtdicht wordt afgeschermd van zijn omgeving. Vervolgens kan de monsterhouder 1 worden opgenomen en verder gemanipuleerd zonder dat het gevaar voor contaminatie van het monster bestaat.A sample 10 is removed using the sample-receiving means 9; 11, 12 secured in the bore 8 in a suitable, preferably closed and conditioned space. The adjusting knob 25 is then rotated such that the shield 17 is slid over the two seals 15, 16 so that the sample is shielded from its surroundings in an airtight and moisture-tight manner by means of those seals 15, 16 and the shield 17. The sample holder 1 can then be picked up and further manipulated without the risk of contamination of the sample.
De monsterhouder wordt met behulp van de voet 3 nabij een elektronenmicroscoop opgesteld, zodanig dat ten minste het verjongde deel 7 zich binnen het daartoe geëigende deel van de microscoop uitstrekt. Doordat de boring 8 zich op een vaste afstand van de voet 3 bevindt is plaatsing van de monsterhouder in de geschikte stand eenvoudig realiseerbaar. Daartoe kunnen bijvoorbeeld positioneringspunten of dergelijke middelen worden aangebracht op de juiste plaatsen buiten de microscoop. Na plaatsing wordt de stelknop 25 teruggedraaid, zodanig dat de afscherming 17 met behulp van de stang 20 langs het verjongde deel wordt teruggeschoven in de richting van de voet 3, ten minste zover dat het monster vrij komt voor inspectie. De tweede afdichting 16 blijft afgedekt door de afscherming. Daardoor blijft verschuiving van de afscherming eenvoudig mogelijk en wordt bovendien vervuiling van ten minste de tweede afdichting 16 en in het bijzonder het monster verhinderd.The sample holder is arranged with the aid of the base 3 near an electron microscope, such that at least the rejuvenated part 7 extends within the appropriate part of the microscope. Because the bore 8 is at a fixed distance from the base 3, placement of the sample holder in the suitable position is easy to realize. For this purpose, for example, positioning points or similar means can be arranged at the correct locations outside the microscope. After placement, the adjustment knob 25 is rotated back such that the shield 17 is slid back along the rejuvenated part with the aid of the rod 20 in the direction of the foot 3, at least as far as the sample is exposed for inspection. The second seal 16 remains covered by the shield. As a result, shifting of the shield remains easily possible and contamination of at least the second seal 16 and in particular the sample is moreover prevented.
Volgens een tweede bijzondere uitvoeringsvorm (fig. 2a, 2b) is nabij één van de einden van de afscherming 17 boven en onder het staafelement een opening 32 opgenomen waar doorheen het monster in de tweede positie kan worden bekeken. De afscherming 17 heeft een lengte die ten minste zo groot is als de afstand tussen de eerste 15 en tweede afdichting 16 plus de breedte d van de opening 32. Het voordeel van deze uitvoeringsvorm is dat de beide afdichtingen daarbij althans in de eerste en tweede stand steeds afgedekt blijven door de afscherming 17. Bovendien is deze uitvoeringsvorm voorzien van een door de afscherming 17 bedienbaar kantelmechanisme voor het monster, dat nog nader zal worden beschreven aan de hand van fig. 6.According to a second particular embodiment (Fig. 2a, 2b), near one of the ends of the shield 17 above and below the bar element, an opening 32 is received through which the sample can be viewed in the second position. The shield 17 has a length at least as great as the distance between the first 15 and second seal 16 plus the width d of the opening 32. The advantage of this embodiment is that the two seals thereby at least in the first and second position always remain covered by the shield 17. Moreover, this embodiment is provided with a tilting mechanism for the sample which can be operated by the shield 17, which will be described in more detail with reference to Fig. 6.
In de gebruiksstand, waarbij de monsterhouder zich gedeeltelijk binnen de elektronenmicroscoop uitstrekt en de afscherming 17 rond het monster 10 is weggeschoven naar de tweede positie, worden het staafvormige element 5 en de voet 3 direct door de microscoop 4 gedragen. Geen van deze delen is zodanig flexibel dat de kans bestaat dat deze delen een onaanvaardbare trilling teweeg zullen brengen van de monster-opnemende middelen 9; ll, 12, tijdens bestudering van het monster 10. Het monster wordt daardoor zeer stabiel gedragen, waardoor met de elektronenmicroscoop 4 een goed stabiel beeld kan worden verkregen.In the use position, in which the sample holder extends partly within the electron microscope and the shield 17 around the sample 10 is slid away to the second position, the rod-shaped element 5 and the base 3 are carried directly by the microscope 4. Neither of these parts is flexible enough to allow these parts to produce an unacceptable vibration of the sample-receiving means 9; 11, 12, during study of the sample 10. The sample is thereby carried very stable, so that a good stable image can be obtained with the electron microscope 4.
Fig. 3 toont een derde uitvoeringsvorm die is voorzien van een voet 103 en een staafelement 105 die zich vanaf de voet 103 uitstrekt. Nabij het vrije einde 106 van het staafelement 105 zijn monsteropneemmiddelen 109 opgenomen. Aan de van het vrije einde 106 afgekeerde zijde van de monster-opnemende middelen 109 is een rondlopende uitsparing 113 aangebracht in het staafelement, waarin een elastisch vervormbare afdichting 115, bij voorkeur in de vorm van een rubberen of kunststof ring opgenomen is. De ring strekt zich enigszins buiten het oppervlak van het staafelement uit. Een dopvormige afscherming 117 is in een eerste positie, zoals weergegeven in fig. 3, over het vrije einde 106 en over de afdichting 115 geschoven, zodanig dat de afdichting enigszins is samengedrukt en langs de gehele buitenomtrek passend en onder spanning aanligt tegen de binnenzijde van de afscherming 117.Fig. 3 shows a third embodiment comprising a foot 103 and a bar element 105 extending from the foot 103. Sample receiving means 109 are included near the free end 106 of the rod element 105. On the side of the sample-receiving means 109 remote from the free end 106, a circumferential recess 113 is provided in the rod element, in which an elastically deformable seal 115, preferably in the form of a rubber or plastic ring, is received. The ring extends slightly beyond the surface of the rod element. A cap-like shield 117 is slid over the free end 106 and over the seal 115 in a first position, as shown in Fig. 3, such that the seal is slightly compressed and fits snugly and under tension along the entire outer periphery of the the shield 117.
De afscherming 117 heeft een gesloten eindwand 130 en een in hoofdzaak gesloten omtrekswand 131. In de eerste positie wordt een eventueel in de monsteropnemende middelen 109 opgenomen monster door de afscherming 117 en de afdichting 115 geheel lucht- en vochtdicht afgesloten van zijn omgeving. De dopvormige afscherming 117 heeft een cirkelvormige opening 119 aan de tegenover de eindwand 130 gelegen zijde. Nabij de eindwand 130 is de dopvormige afscherming 117 zodanig afgeplat dat deze over het verjongde deel 107 maar tussen de poolschoenen van de elektronenmicroscoop past. Bij het wegtrekken van de afscherming dient deze tussen de poolschoenen doorgetrokken te worden. Daartoe is de afscherming elastisch vervormbaar uitgevoerd, zodanig dat de cirkelvormige opening dicht geknepen kan worden tot een hoogte kleiner dan de afstand tussen de poolschoenen, terwijl deze na wegnemen van de vervormingskracht weer ongeveer terugveert naar de oorspronkelijke vorm.The shield 117 has a closed end wall 130 and a substantially closed circumferential wall 131. In the first position, a sample possibly included in the sample-receiving means 109 is closed off from its surroundings completely airtight and moisture-tight by the shield 117 and the seal 115. The cap-shaped shield 117 has a circular opening 119 on the side opposite the end wall 130. Near the end wall 130, the cap-shaped shield 117 is flattened to fit over the rejuvenated portion 107 but between the pole shoes of the electron microscope. When removing the shield, it must be pulled between the pole shoes. To this end, the shield is designed to be elastically deformable, such that the circular opening can be squeezed shut to a height smaller than the distance between the pole shoes, while after the deformation force has been removed, they return approximately to the original shape.
Het zich tussen de afdichting 115 en de monster-opnemende middelen 109 uitstrekkende deel 118 van het verjongde deel 107, loopt in de richting van het vrije einde 106 taps toe. Daardoor wordt bij het terugplaatsen van de afscherming 117 de opening 119 die bij het wegnemen is vervormd tot ongeveer een ovaal, terug in de cirkelvorm gedrukt waardoor wederom een goede afscherming van het monster kan worden verkregen met behulp van de afscherming 117 en de afdichting 115.The portion 118 of the rejuvenated portion 107 extending between the seal 115 and the sample-receiving means 109 tapers toward the free end 106. As a result, when the shield 117 is replaced, the opening 119, which has been deformed to about an oval during removal, is pressed back into the circular shape, so that a good shielding of the sample can again be obtained by means of the shield 117 and the seal 115.
Deze monsterhouder 101 kan als volgt worden gebruikt.This sample holder 101 can be used as follows.
De afscherming 117 wordt in de richting van het vrije einde 106 geheel van het staafelement 105 getrokken, waarna een monster 110 in de monsteropnemende middelen 109 kan worden aangebracht, bij voorkeur onder geconditioneerde omstandigheden. Vervolgens wordt de afscherming in de eerste positie over het staafelement 105 geschoven en wordt derhalve het monster goed beschermd. Na plaatsing van de monsterhouder 101 in de gewenste positie nabij (en in) de elektronenmicroscoop wordt de afscherming 117 weer weggetrokken, zodat het monster 110 met de elektronenmicroscoop kan worden bekeken.The shield 117 is pulled completely away from the rod element 105 in the direction of the free end 106, after which a sample 110 can be placed in the sample-receiving means 109, preferably under conditioned conditions. The shield is then slid over the bar element 105 in the first position and the sample is therefore well protected. After placing the sample holder 101 in the desired position near (and in) the electron microscope, the shield 117 is pulled away again, so that the sample 110 can be viewed with the electron microscope.
Ook bij deze uitvoeringsvorm kunnen middelen zijn opgenomen binnen de monsterhouder voor het verschuiven van de afscherming vanuit de eerste naar de tweede positie vice versa, maar de hoedvormige afscherming 117 kan ook met een ex- terne manipulator worden bediend, hetgeen ook voor de andere getoonde uitvoeringsvormen geldt. Bij deze uitvoeringsvorm is nabij het vrije einde 106 een verjongd deel 107 opgenomen waarlangs de afscherming verschuifbaar is, waarbij de buitenomtrek van de afscherming 117 ongeveer gelijk is aan de buitenomtrek van het niet-verjongde deel van het staafelement 105. Daardoor kan het verjongde deel 107 te zamen met de afscherming 117 door bijvoorbeeld een goniometer in de elektronenmicroscoop worden gebracht, welke passend op de buitenomtrek van het staafelement 105 kan aansluiten.Also in this embodiment, means may be included within the sample holder for shifting the shield from the first to the second position vice versa, but the hat-shaped shield 117 may also be operated with an external manipulator, which is also the case for the other embodiments shown applies. In this embodiment, a tapered portion 107 is received near the free end 106 along which the shield is slidable, the outer circumference of the shield 117 being approximately equal to the outer circumference of the non-rejuvenated portion of the bar element 105. Thereby, the rejuvenated portion 107 together with the shielding 117, for example, by inserting a goniometer into the electron microscope, which can fit snugly on the outer circumference of the rod element 105.
Bovendien biedt het niet-verjongde deel 105 een grotere sterkte en stijfheid terwijl het relatief korte verjongde deel 107 dun kan worden uitgevoerd voor opname in een betreffend deel van de microscoop.In addition, the non-rejuvenated portion 105 provides greater strength and rigidity, while the relatively short rejuvenated portion 107 can be made thin for inclusion in a particular portion of the microscope.
Fig. 4a, 4b en 4c tonen een vierde uitvoeringsvorm van de monsterhouder 201, waarbij de monsteropnemende middelen 209 in een ladevormig element 220 zijn opgenomen. In deze uitvoeringsvorm is wederom voorzien in een (niet getoonde) voet 203 en een zich daarvan uitstrekkend buisvormig staafelement 205, waarin een stangvormig element 216 verschuifbaar is opgenomen. Aan het vrije einde van het stangvormig element 216 is een knop 251 aangebracht met een bolle kop. Op het vrije einde van het stangvormig element 216 sluit een lade 220 aan, die is voorzien van een uitsparing 252 waarin de knop 251 met ruimte omgeven is opgenomen. De lade 220 is daardoor gekoppeld aan het stangvormig element 216, zodanig dat deze daardoor kan worden verschoven, terwijl de knop 251 in een middenpositie aan alle zijden vrij ligt van de uitsparing 252 en dan geen krachten kunnen worden overgebracht tussen de lade 220 en het stangvormig element 216 vice versa. Het buisvormige staafelement 205 is nabij het vrije einde 206 voorzien van een doorlopende, bijvoorbeeld sleufvormige opening 232, en heeft een gesloten einde 233. Het eerste einde 221 van de lade 220 omvat een aan de boven- en onderzijde 236 afgeplat deel 207, waarin een boring 208 is aangebracht die zich in hoofdzaak dwars op de lengterichting van het staafelement 205 uitstrekt. In of bij de boring 208 zijn de monsteropnemende middelen 209 geplaatst. Het tweede einde van het buisvormige element strekt zich aan de van het staaf-element 205 afgekeerde zijde uit buiten het huisdeel en is daar op de eerder beschreven wijze voorzien van een stelknop.Fig. 4a, 4b and 4c show a fourth embodiment of the sample holder 201, wherein the sample-receiving means 209 are incorporated in a drawer-shaped element 220. In this embodiment, a base 203 (not shown) and a tubular rod element 205 extending therefrom, in which a rod-shaped element 216 is slidably received, are provided. At the free end of the rod-shaped element 216, a knob 251 with a convex head is arranged. A drawer 220, which has a recess 252 in which the knob 251 is enclosed with space, is connected to the free end of the rod-shaped element 216. The drawer 220 is thereby coupled to the rod-shaped element 216 so that it can be displaced thereby, while the knob 251 is in a central position on all sides clear of the recess 252 and no forces can then be transferred between the drawer 220 and the rod-shaped element 216 vice versa. The tubular bar element 205 is provided with a continuous, for example slot-shaped, opening 232 near the free end 206, and has a closed end 233. The first end 221 of the drawer 220 comprises a portion 207 flattened at the top and bottom 236, in which a bore 208 is provided which extends substantially transversely of the longitudinal direction of the rod element 205. The sample-receiving means 209 is placed in or near the bore 208. The second end of the tubular element extends outside the housing part on the side remote from the rod element 205 and is provided there with an adjustment knob in the manner previously described.
De lade 220 is aan weerszijde passend verschuifbaar opgenomen in langsgeleidingen 234 in het buisvormige staafelement, en het eerste einde 221 van de lade 220 is passend verschuifbaar opgenomen in een holte 235 in het nabij het vrije einde 206 gelegen deel van het staafelement 205. In één van de langsgeleidingen 234 is een verend element opgenomen dat de lade 220 aandrukt tegen de tegenoverliggende langsgeleiding om ongewenste beweging tegen te gaan. De lade 220 kan slechts in de lengterichting verschuiven, niet roteren en niet op en neer of heen en weer bewegen, dwars op de lengterichting. De diepte van de holte 235 is zodanig dat het eerste einde 221 van de lade 220 met de boring 208 daarin kan worden opgenomen.The drawer 220 is suitably slidably received in longitudinal guides 234 in the tubular rod element on either side, and the first end 221 of the drawer 220 is suitably slidably received in a cavity 235 in the portion of the rod element 205 located near the free end 206. In one the longitudinal guides 234 incorporate a resilient member which presses the drawer 220 against the opposite longitudinal guide to prevent unwanted movement. The drawer 220 can only slide in the longitudinal direction, cannot rotate and cannot move up and down or back and forth transversely of the longitudinal direction. The depth of the cavity 235 is such that the first end 221 of the drawer 220 with the bore 208 can be received therein.
De door de overgang naar het afgeplatte deel 207 van de lade gevormde schouder 200, bevindt zich op een afstand van het vrije einde van de lade die ongeveer overeenkomt met de diepte van de holte 235. Tegen de schouder 200 is rond het afgeplatte deel 207 een afdichting 215 aangebracht, bij voorkeur in de vorm van een rubberen of kunststof ring die onder voorspanning aanligt tegen de lade. Wanneer de lade 220 maximaal in de holte 235 is geschoven, dicht de afdichting 215 de opening 232 van de holte 235 geheel af.The shoulder 200 formed by the transition to the flattened portion 207 of the drawer is spaced from the free end of the drawer approximately corresponding to the depth of the cavity 235. Against the shoulder 200, around the flattened portion 207 seal 215 is provided, preferably in the form of a rubber or plastic ring which is biased against the drawer. When the drawer 220 is slid into cavity 235 to its maximum, seal 215 completely seals opening 232 of cavity 235.
Deze uitvoeringsvorm van een monsterhouder kan als volgt worden gebruikt. (Fig. 4a toont de eerste positie; fig 4b en 4c de tweede).This sample holder embodiment can be used as follows. (Fig. 4a shows the first position; Fig. 4b and 4c the second).
Een monster 210 wordt in de monsteropnemende middelen 209 opgenomen, bij voorkeur in een geconditioneerde omgeving, waarna de lade 220 met behulp van de stelknop 225 in de holte 235 wordt geschoven. Het monster wordt in die eerste positie ingesloten tussen de afdichting 215 en de holte 236 van het staafelement 205. Daardoor is het ten minste lucht- en vochtdicht afgesloten van zijn omgeving. Nadat de monsterhouder 201 op eerder beschreven wijze in een microscoop is opgesteld wordt de lade 220 met behulp van de stelknop 225 teruggeschoven naar de eerste positie, waarbij de boring 208, en derhalve het monster 210 zich ter hoogte van de opening 232 uitstrekt. Tijdens het verschuiven wordt het afgeplatte deel 207 geleid door de langsgeleidingen 234. Daardoor komt het monster 210 vrij voor inspectie terwijl de passing van het afgeplatte deel 207 in de langsgeleidingen 234, te zamen met het passend binnen het staafelement 205 verschuifbare deel van de lade 220 zorgt voor een beweging-, en in het bijzonder trillingvrije opstelling van het monster 210. Door de stelknop iets terug te draaien wordt de knop 251 in de uitsparing 252 in de middenstand gebracht, waardoor het stangvormig element 216 van de lade 220 wordt ontkoppeld. Zo kunnen geen krachten tussen beide worden overgebracht. Doordat de afdichting 215 zowel in de eerste als in de tweede positie is afgedekt wordt op eenvoudige wijze verhinderd dat de afdichting vervuild raakt.A sample 210 is received in the sample receiving means 209, preferably in a conditioned environment, after which the drawer 220 is slid into the cavity 235 with the aid of the adjustment knob 225. The sample is enclosed in that first position between the seal 215 and the cavity 236 of the rod element 205. As a result, it is at least airtight and moisture-proof from its environment. After the sample holder 201 has been placed in a microscope in the manner described above, the drawer 220 is pushed back to the first position with the adjustment knob 225, the bore 208, and therefore the sample 210, extending at the opening 232. During sliding, the flattened portion 207 is guided through the longitudinal guides 234. Thereby, the sample 210 is released for inspection while the fit of the flattened portion 207 in the longitudinal guides 234, along with the portion of the drawer 220 slidable within the bar member 205 provides a movement, and in particular vibration-free, arrangement of the sample 210. By slightly turning the adjusting knob back, the knob 251 in the recess 252 is brought into the central position, whereby the rod-shaped element 216 is disconnected from the drawer 220. This way no forces can be transferred between the two. Since the seal 215 is covered in both the first and second positions, the seal is easily prevented from becoming contaminated.
Aan de bovenzijde is het afgeplatte deel 207 voorzien van een opzij, dat wil zeggen dwars op de lengterichting weg-schuifbaar deksel 250, dat ten minste een deel van de lade 220 afdekt. Het deksel 250 sluit aan op de opening 232 en vormt de langsrand van de opening 232 aan de naar het huisdeel 204 gekeerde zijde. Door wegnemen van dit deksel 250 kan de lade 220 beter worden weggenomen bijvoorbeeld voor reparatie.At the top, the flattened part 207 is provided with a side 250, that is to say slidable transversely to the longitudinal direction, which covers at least a part of the drawer 220. The cover 250 connects to the opening 232 and forms the longitudinal edge of the opening 232 on the side facing the housing part 204. By removing this cover 250, the drawer 220 can be better removed, for example for repair.
Fig. 5 toont een vijfde uitvoeringsvorm van een monsterhouder. Bij deze uitvoeringsvorm is de monster-houder 301 voorzien van een buisvormig staafelement 305 dat vast is verbonden met een voet 303. Binnen het staafdeel 305 is een lade-element 320 verschuifbaar opgenomen, welk lade-element 320 nabij een eerste einde 321 is voorzien van een zich dwars op de lengterichting uitstrekkende boring 308 met monsteropneemmiddelen 309. Binnen het buisvormige staafelement 305 is een eerste afdichting 315 opgenomen in een eerste rondlopende groef 313, en op afstand daarvan een tweede afdichting 316 in een tweede rondlopende groef 314. De afstand tussen de beide groeven is zodanig dat de monsteropnemende middelen 309 tussen de beide afdichtingen kunnen worden opgenomen, zodanig dat een daarin opgenomen monster 310 in die eerste positie lucht- en vochtdicht van de omgeving is afgesloten.Fig. 5 shows a fifth embodiment of a sample holder. In this embodiment, the sample holder 301 is provided with a tubular rod element 305 which is fixedly connected to a foot 303. Within the rod part 305 a drawer element 320 is slidably received, which drawer element 320 is provided near a first end 321 a bore 308 extending transversely of the longitudinal direction with sample receiving means 309. Within the tubular rod element 305, a first seal 315 is received in a first circumferential groove 313, and at a distance therefrom a second seal 316 in a second circumferential groove 314. The distance between the both grooves are such that the sample-receiving means 309 can be received between the two seals, such that a sample 310 incorporated therein is closed in that first position airtight and moisture-proof from the environment.
Het staafvormige element 305 is nabij het vrije einde 306 voorzien van een sluitplaat 338 met een centrale opening 339 die een schuifpassing vormt voor de lade 320. De lade 320 kan daardoor slechts in lengterichting en eventueel in rotatiezin om de lengteas bewegen, niet dwars daarop en wordt door direct contact met de sluitplaat 338 en de binnenzijde van het staafelement 305 gedragen, zonder tussenkomst van de afdichtingen 315, 316.The bar-shaped element 305 is provided near the free end 306 with a closing plate 338 with a central opening 339 which forms a sliding fit for the drawer 320. As a result, the drawer 320 can only move in the longitudinal direction and optionally in a rotational sense about the longitudinal axis, not transversely thereto. is carried by direct contact with the striking plate 338 and the inside of the rod element 305, without the intervention of the seals 315, 316.
Fig. 6 toont een dwarsdoorsnede van een deel van een monsterhouder l met een alternatieve uitvoeringsvorm van de monsteropnemende middelen, op grotere schaal. Ter vereenvoudiging wordt deze uitvoeringsvorm slechts besproken met betrekking tot de monsterhouder volgens fig. 2, maar deze kan uiteraard ook eveneens in andere monsterhouders worden toegepast.Fig. 6 shows a cross-sectional view of part of a sample holder 1 with an alternative embodiment of the sample-receiving means, on a larger scale. For the sake of simplification, this embodiment is only discussed with regard to the sample container according to Fig. 2, but it can of course also be used in other sample containers.
In het staafelement 5 is in de boring 8 een ringvormig opneemdeel ll opgesteld dat kan zwenken om een zich dwars op de lengterichting van het staafelement 5 en dwars op de richting van de boring 8 uitstrekkende zwenkas 60. De zwenk-as 60 is aan weerszijden gelegerd in het staafelement 5. Aan de naar het vrije einde 6 van het staafelement gekeerde eerste zijde van de boring 8 is een bladveer 61 ingeklemd die met het vrije einde aanligt tegen een onderzijde van het opneemdeel 11, zodanig dat dit opneemdeel naar een gezwenkte stand is voorgespannen. Voorts is aan de eerste zijde een gaffelvormige zwenkarm 62 zwenkbaar om een as 64 gelegerd in het staafelement 5, waarbij een eerste vinger 63 van de zwenkarm 62 aanligt tegen de zijde van het opneemdeel 11.In the bar element 5, an annular receiving part 11 is arranged in the bore 8, which can pivot about a pivot shaft 60 extending transversely to the longitudinal direction of the bar element 5 and transversely to the direction of the bore 8. The pivot shaft 60 is mounted on both sides in the bar element 5. On the first side of the bore 8 facing the free end 6 of the bar element, a leaf spring 61 is clamped, the free end of which abuts against a bottom side of the receiving part 11, such that this receiving part is in a pivoted position prestressed. Furthermore, on the first side, a fork-shaped pivoting arm 62 is pivotable about an axis 64 mounted in the rod element 5, wherein a first finger 63 of the pivoting arm 62 rests against the side of the receiving part 11.
Vanaf de betreffende zijde van het opneemdeel ll strekt zich een pal 68 uit, ongeveer evenwijdig aan de rotatie as 60. De pal is glijdend opgenomen in een passende, in de eerste vinger 63 aangebrachte sleuf 69. De tweede vinger 65 steekt schuin omhoog tot nabij of boven de rand van de boring 8. De zwenkarm 62 is zwenkbaar tussen een eerste stand, waarbij het opneemdeel ll zich ongeveer horizontaal uitstrekt, en een tweede stand, waarbij het opneemdeel uit het horizontale vlak is gezwenkt. In fig. 6 is de tweede stand weergegeven.A pawl 68 extends approximately from the relevant side of the receiving part 11, approximately parallel to the axis of rotation 60. The pawl is slidably received in a suitable slot 69 arranged in the first finger 63. The second finger 65 extends obliquely up to near or above the edge of the bore 8. The pivot arm 62 is pivotable between a first position, wherein the receiving part 11 extends approximately horizontally, and a second position, wherein the receiving part is pivoted out of the horizontal plane. The second position is shown in Fig. 6.
Bij de zwenkarm 62 ligt het boveneinde 66 van de tweede vinger 65 ongeveer gelijk met het buitenoppervlak van het staafelement 5, terwijl dat boveneinde 66 bij het opneemdeel 11 in de tweede stand zich buiten de omtrek van het staafelement 5 uitstrekt. Het boveneinde 66 van de tweede vinger is bij voorkeur afgerond of afgeschuind.At the pivot arm 62, the top end 66 of the second finger 65 is approximately flush with the outer surface of the rod element 5, while that top end 66 at the receiving part 11 in the second position extends outside the circumference of the rod element 5. The top end 66 of the second finger is preferably rounded or chamfered.
De afscherming 17 is aan de boven- en onderzijde voorzien van een opening 32. Ten minste de bovenste opening 32 heeft aan de naar de boring gekeerde zijde een afgeschuinde langsrand 67 die bij verschuiving van de afscherming 17 in aanraking kan komen met het boveneinde 66 van de tweede vinger 65.The shield 17 is provided with an opening 32 at the top and bottom. At least the top opening 32 has a chamfered longitudinal edge 67 on the side facing the bore, which can contact the top end 66 of the shield 17 when the shield 17 is displaced. the second finger 65.
De monsteropneemmiddelen 9 en monsterhouder l volgens fig. 6 kunnen als volgt worden gebruikt.The sample receiving means 9 and sample holder 1 according to Fig. 6 can be used as follows.
Het monster 10 wordt op eerder in algemene zin beschreven wijze met behulp van een schroefbare klemring 12 in het opneemdeel 11 vastgezet. Vervolgens wordt de afscherming 17 in de eerste positie gebracht, waarbij de tweede vinger 65 naar onder wordt gedrukt en het opneemdeel ll met het monster 10 naar de eerste stand wordt gezwenkt door verschuiving van de pal 68 in de sleuf 69. Na plaatsing van de monsterhouder 1 nabij de microscoop kan de afscherming naar de tweede positie worden bewogen, zodat het monster 10 kan worden bekeken. Daarbij kan door de mate van verschuiven van de afscherming 17 de kanteling van het opneemdeel 11 worden bepaald. Immers, bij het wegschuiven van de afscherming 17 komt het boveneinde 66 van de tweede vinger 65 in aanraking met de afgeschuinde langsrand 67 van de opening 32. Het boveneinde zal langs deze afschuining 67 langzaam omhoog komen bij verschuiving van de afscherming, waardoor eveneens de zwenkarm 62 meer zal wegzwenken in de richting van de tweede stand. Daardoor kan tijdens gebruik de stand van het monster nauwkeurig worden in- en bijgesteld.The sample 10 is fixed in the receptacle 11 in a manner previously described in a general manner by means of a screwable clamping ring 12. Then, the shield 17 is brought into the first position, the second finger 65 being pressed downwards and the receiving part 11 with the sample 10 being pivoted to the first position by sliding the catch 68 in the slot 69. After placing the sample holder 1 near the microscope, the shield can be moved to the second position so that the sample 10 can be viewed. The tilting of the receiving part 11 can be determined by the degree of displacement of the shield 17. After all, when the shield 17 is slid away, the top end 66 of the second finger 65 comes into contact with the chamfered longitudinal edge 67 of the opening 32. The top end will slowly rise along this chamfer 67 when the shield is shifted, as a result of which the swivel arm 62 will swing away in the direction of the second position. As a result, the position of the sample can be accurately adjusted and adjusted during use.
De uitvinding is geenszins beperkt tot de beschreven en getoonde uitvoeringsvormen. Vele varianten daarvan zijn mogelijk. Zo kunnen bijvoorbeeld verschillende delen van de getoonde uitvoeringsvormen met elkaar worden uitgewisseld. De monsteropnemende middelen kunnen zijn ingericht voor het opnemen van meerdere monsters tegelijkertijd en er kunnen voorzieningen zijn opgenomen voor het bijvoorbeeld roteren van het monster om een lengteas en/of een dwars-as. Voorts kunnen verschillende uitvoeringsvormen van kantelmechanismen zijn opgenomen die al dan niet vanaf de buitenzijde bedienbaar zijn. Voor het verschuiven van de afscherming of lade kunnen andere, bijvoorbeeld motorisch aangedreven middelen zijn aangebracht. Voorts kunnen middelen zijn opgenomen voor het conditioneren van het monster, zoals verwarmings- en koelingsmiddelen en middelen voor het bereiken van bijvoorbeeld een vacuüm rond het monster. Deze en vergelijkbare aanpassingen worden geacht binnen het bereik van de uitvinding te vallen.The invention is by no means limited to the described and shown embodiments. Many variants thereof are possible. For example, different parts of the embodiments shown can be exchanged with each other. The sample-receiving means may be arranged to receive several samples simultaneously and provisions may be included for rotating the sample about a longitudinal axis and / or a transverse axis, for example. Furthermore, different embodiments of tilting mechanisms can be included which can be operated from the outside or not. Other means, for example motor-driven means, can be provided for sliding the cover or drawer. Furthermore, means may be included for conditioning the sample, such as heating and cooling means and means for achieving, for example, a vacuum around the sample. These and comparable modifications are understood to fall within the scope of the invention.
Claims (12)
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| NL9402241A NL9402241A (en) | 1994-12-30 | 1994-12-30 | Sample holder for an electron microscope and method for accommodating a sample in an electron microscope |
| PCT/NL1995/000444 WO1996020495A2 (en) | 1994-12-28 | 1995-12-28 | Specimen holder for an electron microscope and device and method for mounting a specimen in an electron microscope |
| AU44025/96A AU4402596A (en) | 1994-12-28 | 1995-12-28 | Specimen holder for an electron microscope and device and method for mounting a specimen in an electron microscope |
| DE69534447T DE69534447T2 (en) | 1994-12-28 | 1995-12-28 | SAMPLE HOLDER FOR AN ELECTRON MICROSCOPE AND DEVICE AND METHOD FOR MOUNTING A SAMPLE IN AN ELECTRONIC MICROSCOPE |
| EP95942797A EP0801810B1 (en) | 1994-12-28 | 1995-12-28 | Specimen holder for an electron microscope and device and method for mounting a specimen in an electron microscope |
| AT95942797T ATE304737T1 (en) | 1994-12-28 | 1995-12-28 | SAMPLE HOLDER FOR AN ELECTRON MICROSCOPE AND APPARATUS AND METHOD FOR MOUNTING A SAMPLE IN AN ELECTRON MICROSCOPE |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| NL9402241A NL9402241A (en) | 1994-12-30 | 1994-12-30 | Sample holder for an electron microscope and method for accommodating a sample in an electron microscope |
| NL9402241 | 1994-12-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| NL9402241A true NL9402241A (en) | 1996-08-01 |
Family
ID=19865090
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| NL9402241A NL9402241A (en) | 1994-12-28 | 1994-12-30 | Sample holder for an electron microscope and method for accommodating a sample in an electron microscope |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| NL (1) | NL9402241A (en) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1983003707A1 (en) * | 1982-04-20 | 1983-10-27 | Nicholson, Walter, Anthony, Patrick | Low temperature stage for microanalysis |
| US4797261A (en) * | 1987-11-03 | 1989-01-10 | Gatan Inc. | Multiple specimen cryotransfer holder for electron microscopes |
| US5326971A (en) * | 1993-05-17 | 1994-07-05 | Motorola, Inc. | Transmission electron microscope environmental specimen holder |
-
1994
- 1994-12-30 NL NL9402241A patent/NL9402241A/en not_active Application Discontinuation
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1983003707A1 (en) * | 1982-04-20 | 1983-10-27 | Nicholson, Walter, Anthony, Patrick | Low temperature stage for microanalysis |
| US4797261A (en) * | 1987-11-03 | 1989-01-10 | Gatan Inc. | Multiple specimen cryotransfer holder for electron microscopes |
| US5326971A (en) * | 1993-05-17 | 1994-07-05 | Motorola, Inc. | Transmission electron microscope environmental specimen holder |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0421355B1 (en) | Scanning tunneling microscope | |
| US6995380B2 (en) | End effector for supporting a microsample | |
| US4362064A (en) | Positive-displacement pipette | |
| EP0801810B1 (en) | Specimen holder for an electron microscope and device and method for mounting a specimen in an electron microscope | |
| CA2289674A1 (en) | Coupling device for use in an imaging system | |
| NL9402241A (en) | Sample holder for an electron microscope and method for accommodating a sample in an electron microscope | |
| US4262426A (en) | Marker assembly for use with a microscope | |
| JP3641454B2 (en) | Device for receiving microdissection samples | |
| US4375854A (en) | Stone sorting apparatus and method | |
| JPH09318506A (en) | Petri dish mounting equipment | |
| US6411433B1 (en) | Micromanipulator | |
| US11521824B2 (en) | Sample holder for electron microscopy | |
| US20020064886A1 (en) | Apparatus and method for sampling | |
| JP2001084939A (en) | Sample holder of scanning electron microscope | |
| US20230175990A1 (en) | Tool holder for manipulating small objects | |
| US6490913B1 (en) | Humidity chamber for scanning stylus atomic force microscope with cantilever tracking | |
| US10830791B2 (en) | Sample container mounting member and sample container sealing method | |
| CN114952695B (en) | Tool for TEM grid application | |
| US20040257561A1 (en) | Apparatus and method for sampling | |
| EP0025122A1 (en) | A microscope stage | |
| US7238938B2 (en) | Energy selecting slit and energy selective sample analysis systems utilizing the same | |
| US20240042433A1 (en) | Support for analysing by microscope a liquid-based biological substance and system comprising such a support and a microscope | |
| US11640895B2 (en) | Sample holder and charged particle beam system | |
| GB2066981A (en) | Introduction of sample material into a graphite tube in atomic absorption spectroscopy | |
| EP4220682A1 (en) | Sample cartridge holding apparatus |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A1B | A search report has been drawn up | ||
| BV | The patent application has lapsed |