NL8302952A

NL8302952A - Semiconductor blood pressure sensor - is insertable into blood vessels inside catheter or hypodermic needle

Info

Publication number: NL8302952A
Application number: NL8302952A
Authority: NL
Original assignee: Cordis Europ
Priority date: 1983-08-23
Filing date: 1983-08-23
Publication date: 1985-03-18

Abstract

The semiconductor block (1) is mounted on a rigid glass carrier (2). It has a thin diaphragm (18) on which is a Wheatstone bridge strain gauge. Electrical connections (5) between the block (1) and connecting wires (6) are secured with drops of epoxy resin and the wires (6) are secured to the carrier (2) by an epoxy layer (13). One side of the diaphragm (18) is open to the pressure inlet (16) in the rigid housing (8) while the other side faces a cavity (17) and hole (14) through the carrier. The volume between the upper surface of the block and the inner wall of the cylindrical housing (8) is filled with flexible silicon rubber (7), which acts as a sealant and shock-absorber.

Description

» * ^ r r | V0 5049 Uitvinder:-Jozef Gerhardus Maria 1 " _leuveld____________»* ^ R r | V0 5049 Inventor: -Jozef Gerhardus Maria 1 "_leuveld____________

Titel: druksensor, geschikt voor het meten van de druk in gedeelten _van het levende lichaam._ öe uitvinding heeft betrekking op een druksensor, geschikt voor het meten van de druk in gedeelten van het levende lichaam, aangebracht binnen een huis, dat is voorzien van een drukinlaatopening in de zijwand daarvan of aan een einde, welke druksensor verder is.Title: Pressure sensor, suitable for measuring the pressure in parts of the living body. The invention relates to a pressure sensor, suitable for measuring the pressure in parts of the living body, arranged inside a housing, which is provided with a pressure inlet opening in its side wall or at one end, which pressure sensor is further.

5 voorzien van een drukopneemelement dat een hal foeieiderblok omvat, voorzien van een uitsparing tot op een dunne, als drukgevoelig diafragma reagerende laag die ter hoogte van de drukinlaatopening is opgesteld op een drager; en van tenminste een rekstrook die op een oppervlak van het drukgevoeüge diafragma is aangebracht en is voorzien van stroom-10 draden.5 provided with a pressure-receiving element comprising a halogen guide block, provided with a recess on a thin layer, which reacts as a pressure-sensitive diaphragm, which is arranged on a support at the height of the pressure inlet opening; and at least one strain gauge disposed on a surface of the pressure-sensitive diaphragm and provided with current wires.

Een dergelijke druksensor is bekend uit het Amerikaanse octrooischrift 4.274.423 en kan in het levende lichaam worden gebracht om aldus met behulp daarvan de druk in het betreffende lichaams-gedeelte te meten. Met sensoren van dit type kan in principe veilig 15 en betrouwbaar worden gemeten, zij het dat zich ook het probleem kan voordoen dat de verkregen meetwaarden vertekend zijn als gevolg van het optreden van thermische spanningen binnen de sensor door de heersende verschillen in uitzetting van de diverse toegepaste materialen.Such a pressure sensor is known from United States Patent Specification 4,274,423 and can be introduced into the living body in order to thus measure the pressure in the relevant body part with the aid thereof. In principle, sensors of this type can be used to measure safely and reliably, although there may also be a problem that the measured values obtained are distorted due to the occurrence of thermal stresses within the sensor due to the prevailing differences in expansion of the various materials used.

De oplossing van dit probleem is daarin gezocht dat het tot het druk-20 onneemelement behorende halfgeleiderblok ter ondersteuning daarvan aan gebracht is op een drager. De verbindingsconstructie van het halfgeleiderblok met de drager is daarbij uitgevoerd als een niet - hechte verbinding. Daarbij wordt aeen gebruik gemaakt van een plakmiddel of van andere verbindingsmiddelen, bijvoorbeeld mechanische verbindingsmidde-25 len,die een hechte verbinding tengevolge hebben. Bij de bekende druksensor kan het samenstel van hal fgeleiderblok en drager, dat wil zeggen het drukopneemelement, als zodanig binnen een katheter worden aangebracht waarbij dus de katheterbuis dient als behuizing van het samenstel of men kan ook het drukopneemelement in een eigen buisvormig huis 30 onderbrengen en in deze vorm in een naald aanbrengen respectievelijk vervolgens in deze vorm in het lichaam brengen.The solution to this problem has been sought in that the semiconductor block belonging to the pressure receiving element is mounted on a support in support thereof. The connection construction of the semiconductor block with the carrier is designed as a non-bonding connection. In doing so, use is made of an adhesive or other connecting means, for instance mechanical connecting means, which result in a tight connection. In the known pressure sensor, the assembly of semiconductor block and carrier, i.e. the pressure-receiving element, can be arranged as such within a catheter, the catheter tube thus serving as the housing of the assembly, or the pressure-receiving element can also be accommodated in its own tubular housing and insert into a needle in this form or insert into the body in this form.

83G2 §52 - 2 -83G2 §52 - 2 -

Steeds echter wordt daarbij de dragertevens benut om de combinatie van halfgeleiderblok en drager, die het drukopneemelement vormen, in het huis vast te zetten. Daarbij zorgt men ervoor een zodanige diameter van de drager te kiezen dat het drukopneemelement daardoor passend 5 binnen de katheterbuis of de naald kan worden vastgezet.However, the carrier is always used to fix the combination of semiconductor block and carrier, which form the pressure-receiving element, in the housing. In doing so, care is taken to select such a diameter of the carrier that the pressure-receiving element can thereby be fitted appropriately within the catheter tube or the needle.

Behalve thermische spanningen blijken er op de katheter- of naaldtip waarin een druksensor is gemonteerd, tijdens het inbrengen of tijdens verblijf daarvan in het lichaam zodanige krachten te werken dat de kathetertip of naaldtip erdoor wordt vervormd 10 of wordt bewogen waardoor de nauwkeurigheid van de meting eveneens nadelig wordt beïnvloed.In addition to thermal stresses, the catheter or stylus tip in which a pressure sensor is mounted appear to act during insertion or residence in the body to distort or move the catheter tip or stylus tip, thereby also measuring accuracy adversely affected.

In overeenstemming met het bovenstaande is een doel van de uitvinding de verschaffing van een druksensor van de in de aanhef vermelde soort, die in het levende lichaam kan worden ingebracht 15 voor het in verschillende gedeelten daarvan uitvoeren van drukmetingen in vivo waarbij de meetresultaten slechts worden veroorzaakt door de hydrostatische druk en niet door de hierboven genoemde oorzaken nadelig het worden beïnvloed. Andere-doeleinden blijken uit/navolgende.In accordance with the above, an object of the invention is to provide a pressure sensor of the type mentioned in the preamble, which can be introduced into the living body for performing pressure measurements in vivo in different parts thereof, whereby the measurement results are only caused be adversely affected by the hydrostatic pressure and not by the above-mentioned causes. Other purposes can be seen from / the following.

Volgens de uitvinding wordt hiertoe een druksensor ver- i s 20 schaft, die daardoor is gekenmerkt, dat het huis een star huis/en het drukopneemelement daarbinnen mechanisch geïsoleerd, dat wil zeggen zwevend is aangebracht terwijl van het drukopneemelement het halfgeleiderblok, dat de drukgevoelige diafragma bevat, vast met.de drager is verbonden.According to the invention a pressure sensor is provided for this purpose, characterized in that the housing is a rigid housing and the pressure-receiving element is mechanically insulated therein, that is to say floating, while of the pressure-receiving element the semiconductor block, which contains the pressure-sensitive diaphragm , permanently connected to the carrier.

25 Het voordeel kan de zwevende bevestiging van het druk opneemelement in het huis worden uitgevoerd met behulp van een buigzaam plakmiddel waarbij dit plakmiddel het drukopneemelement met de naar de drukinlaatopening gekeerde zijde daarvan verbindt met de binnenwand van het huis onder gelijktijdige vorming van een afdichting rond de druk-30 inlaatopening en het drukopneemelement.The advantage is that the floating mounting of the pressure-receiving element in the housing can be carried out by means of a flexible adhesive, wherein this adhesive connects the pressure-receiving element with its side facing the pressure inlet opening to the inner wall of the housing, simultaneously forming a seal around the housing. pressure-30 inlet opening and the pressure-receiving element.

83 0 2 9 5 2 - 3 -83 0 2 9 5 2 - 3 -

Weliswaar is uit het Amerikaanse octrooischrift 4,373,397 sen druksensor bekend die eveneens een star huis omvat waarbinnen zich het drukopneemelement bevindt dat met behulp van een flexibel plakmiddel vast maar niet star verbonden is met het huis.It is admittedly known from US patent 4,373,397 a pressure sensor which also comprises a rigid housing within which the pressure-receiving element is located, which is fixedly but not rigidly connected to the housing by means of a flexible adhesive.

5 Daarbij gaat het echter om een druksensor die, bij gebruik daarvan als bloeddrukmeter, uitsluitend uitwendig wordt aangebracht. Hij is niet geschikt om in het levende lichaam, bijvoorbeeld in een bloedvat,te worden gebracht voor het ter plaatse meten van de bloeddruk zoals feitelijk door de huidige stand van de medische techniek wordt vereist.However, this is a pressure sensor which, when used as a blood pressure monitor, is only applied externally. It is not suitable for insertion into the living body, for example into a blood vessel, for on-site blood pressure measurement as is actually required by the prior art.

10 Aan de meetnauwkeurigheid van een dergelijke uitsluitend uitwendig toe te passen druksensor worden geen hoge eisen gesteld.' In dit kader nu is de bekende druksensor ontwikkeld waarbij het halfgeleiderblok, dat is voorzien van het drukgevoelige diafragma, met behulp van het flexibele plakmiddel rechtstreeks met het starre huis is verbonden. In tegen-15 stelling hiermede is bij de druksensor volgens de uitvinding het half-geleiderblokeers't met een drager verbonden en is het aldus gevormde samenstel in zijn geheel mechanisch geïsoleerd binnen het starre huis opgehangen.10 No stringent requirements are imposed on the measuring accuracy of such a pressure sensor which can only be used externally. ' In this context, the known pressure sensor has now been developed in which the semiconductor block, which is provided with the pressure-sensitive diaphragm, is connected directly to the rigid housing by means of the flexible adhesive. In contrast to this, in the pressure sensor according to the invention, the semiconductor blocker is connected to a carrier and the assembly thus formed is suspended mechanically insulated in its entirety within the rigid housing.

Voorbeelden van flexibele plakmiddelen waarmede het 20 drukopneemelement volgens de uitvinding zwevend binnen het huis kan worden bevestigd zijn Dow Medical Adhesive, Dow Corning Sylgard 186 en Dow Corning RTV E-rubber.Examples of flexible adhesives with which the pressure pick-up element according to the invention can be mounted floating within the housing are Dow Medical Adhesive, Dow Corning Sylgard 186 and Dow Corning RTV E-rubber.

De vaste verbinding van het halfgeleiderblok met de drager kan star zijn uitgevoerd of flexibel in welk geval weer een 25 flexibel plakmiddel kan worden toegepast, b.v. een flexibel plakmiddel van het type waarmede het gehele, het halfgeleiderblok en de drager omvattende drukopneemelement in het huis zwevend wordt bevestigd.The fixed connection of the semiconductor block to the carrier can be rigid or flexible, in which case a flexible adhesive can again be used, e.g. a flexible adhesive of the type with which the entire pressure-receiving element comprising the semiconductor block and the carrier is floatingly mounted in the housing.

8302952 - 4 -8302952 - 4 -

De drager behoeft niet noodzakelijkerwijze uit een star materiaal te worden vervaardigd hoewel dit met het oog op het doel van de uitvinding wel voordeel kan bieden. In het algemeen zal men er voor zorgen een materiaal te kiezen met een thermische uitzettingscoëfflciënt die over-5 eenkomt met die van het halfgeleiderblok. De drager kan vervaardigd zijn uit bijvoorbeeld glas, roestvast staal of een versterkt kuntstofmateriaal.The carrier does not necessarily have to be manufactured from a rigid material, although this can be advantageous in view of the object of the invention. Generally, care will be taken to choose a material with a coefficient of thermal expansion corresponding to that of the semiconductor block. The carrier can be made of, for example, glass, stainless steel or a reinforced plastic material.

De druksensor volgens de uitvinding kan in de vorm van een afzonderlijk orgaan worden gecombineerd met bij voorbeeld een katheter of een naald, zoals een hypodermische naald, om in de vorm van een 10 dergelijk samenstel in het levende lichaam, bij voorbeeld een bloedvat te worden gebracht.The pressure sensor according to the invention can be combined in the form of a separate member with, for example, a catheter or a needle, such as a hypodermic needle, to be introduced into the living body, for example a blood vessel, in the form of such an assembly. .

In het geval het starre huis van de druksensor volgens de uitvinding vervaardigd is uit een metaal, kan dit huis worden voorzien van een stroomgeleidende draad waardoor het mogelijk is het huis 15 te benutten als een elektrode voor meting van elektrische parameters, bij voorbeeld ECG- signalen, in' het levende lichaam. In dit kader kan bij de genoemde combinatie van de druksensor als afzonderlijk orgaan met een naald, deze naald worden verbonden met een stroomdraad. Overigens kan men bij de uitvoeringsvorm van de druksensor volgens de uitvin-20 ding in combinatie met een naald, zoals een hypodermische naald, uit overwegingen van doelmatigheid ook zodanig te werk gaan dat het starre huis van de druksensor een integraal deel is van de naald.In case the rigid housing of the pressure sensor according to the invention is made of a metal, this housing can be provided with a current-conducting wire, which makes it possible to use the housing 15 as an electrode for measuring electrical parameters, for example ECG signals , in 'the living body. In this context, in the said combination of the pressure sensor as a separate member with a needle, this needle can be connected with a current wire. Incidentally, in the embodiment of the pressure sensor according to the invention in combination with a needle, such as a hypodermic needle, it is also possible, for reasons of efficiency, to operate such that the rigid housing of the pressure sensor is an integral part of the needle.

De uitvinding wordt aan de hand van de tekening, waarin een aantal uitvoeringsvoorbeelden van de druksensor volgens de uitvin-25 ding zijn weergegeven, nader toegelicht, In de tekening toont;The invention is explained in more detail with reference to the drawing, in which a number of exemplary embodiments of the pressure sensor according to the invention are shown.

Fig. 1 een langsdoorsnede van de druksensor, gekoppeld., met eer. katheter, waarbij het diafragma van het halfgeleiderblok naar de drukinlaatopening is gekeerd;Fig. 1 a longitudinal section of the pressure sensor, coupled, with honor. catheter, with the diaphragm facing the semiconductor block toward the pressure inlet port;

Fig 2 een doorsnede volgens de lijn II-II in fig 1; 30 Fig 3 een langsdoorsnede van de druksensor, gekoppeld aan een katheter waarbij het halfgeleiderblok met de uitsparing gekeerd naar de inlaatopening op de drager is bevestigd; 83 0 2 9 5 2 - 5 - fig 4 een dwarsdoorsnede volgens de lijn IV-IV in fig 3; fig 5 een langsdoorsnede van de druksensor, waarbij het halfgeleiderblok, met.de uitsparing gekeerd naar de drukinlaatopening, 5 op de drager is bevestigd, onder toepassing van een band; fig 6 een dwarsdoorsnede volgens de lijn VI-VI in fig 5; fig 7 een langsdoarsnede van de druksensor, gekoppeld met een katheter, waarbij het halfgeleiderblok met de uitsparing ge-10 keerd naar de drukinlaatopening in een in de drager aangebrachte doorgaande opening is ingelaten en daarin vastgezet; fig 8 een dwarsdoorsnede volgens de lijn VIII-VIII in fig 7; fig 9 in bovenaanzicht een band, die te gebruiken is 15 bij het TA3-proces voor het verbinden van het halfgeleiderblok en de drager; fig 10 een langsdoorsneede volgens de lijn X-X in fig 9.Fig. 2 shows a section along the line II-II in Fig. 1; Fig. 3 shows a longitudinal section of the pressure sensor, coupled to a catheter, the semiconductor block with the recess facing the inlet opening mounted on the support; Fig. 83 0 2 9 5 2 - 5 - Fig. 4 shows a cross section along the line IV-IV in Fig. 3; FIG. 5 is a longitudinal section of the pressure sensor, with the semiconductor block, with the recess facing the pressure inlet opening, mounted on the support, using a tape; fig. 6 shows a cross-section along the line VI-VI in fig. 5; Figure 7 is a longitudinal cross-section of the pressure sensor coupled to a catheter, with the semiconductor block with the recess facing the pressure inlet port inserted into a through hole provided in the support and secured therein; fig. 8 shows a cross-section along the line VIII-VIII in fig. 7; Fig. 9 is a top plan view of a tape which can be used in the TA3 process for connecting the semiconductor block and the carrier; fig. 10 a longitudinal section along the line X-X in fig. 9.

In de tekening (figl) is een samenstel weergegeven, bestaande uit het drukgevoelige halfgeleiderblok 1 vervaardigd uit silicium, dat via een starre verbinding bevestigd is op de starre drager 2, 20 vervaardigd uit glas. In het halfgeleiderblok 1 is een diafragma 18 gevormd door etsen van een uitsparing 17, die rechthoekig of cirkelvormig kan zijn, afhankelijk van de toegepaste etstechniek..Op het diafragma 18 zijn vier - niet getoonde - weerstanden gevormd en ceörienteerd, zodanig dat het op zichzelf bekende piëzoresistieve effect in het silicium ertoe 25 zal leiden dat twee weerstanden in weerstandswaarden toenemen en twee weerstanden afnemen bij doorbuiging van het diafragma onder invloed van de daarop uitgeoefende druk.The drawing (fig. 1) shows an assembly consisting of the pressure-sensitive semiconductor block 1 made of silicon, which is fixedly attached to the rigid support 2, 20 made of glass via a rigid connection. In the semiconductor block 1, a diaphragm 18 is formed by etching a recess 17, which may be rectangular or circular, depending on the etching technique employed. On the diaphragm 18, four resistors (not shown) are formed and oriented in such a way known piezoresistive effect in the silicon will cause two resistances to increase in resistance values and two resistors to decrease upon deflection of the diaphragm under the influence of the pressure applied thereto.

8302952 - 6 -8302952 - 6 -

De weerstanden zijn met elkaar verbonden onder vorming van een brug van Wheatstone* Op het drukgevoelige -element zijn voorts een aantal gemetalliseerde koppel ingsorganen 19 aangëbrachtQe verbindingsdraden 5 zijn mechanisch bevestigd door middel van epoxydruppels 3 en 4. De stroomdra-5 den 6 zijn zelf met de drager 2 verbonden met behulp van 'een epoxylaag 13The resistors are connected together to form a Wheatstone bridge. * A number of metallized coupling members 19 are further arranged on the pressure-sensitive element. The connecting wires 5 are mechanically fastened by means of epoxy drops 3 and 4. The current wires 6 are themselves with the carrier 2 joined by means of an epoxy layer 13

Met behulp van flexibel plakmiddel 7 is het samenstel in het starre huis 8 bevestigd. In het starre huis 8 is een drukinlaat- 3 van opening 16 aangebracht via welke opening druk tot een zijde/het diafrag- i s 10 ma 18 kan worden toegelaten. De starre drager 2/eveneens van een opening 14, die strookt met de uitsparing 17, voorzien aan die zijde waar het drukgevoelige element is gemonteerd. Aan de andere zijde is opening 14 aangesloten op het lumen 15, dat is aangebracht in het flexibele plakmiddel 7.The assembly is fixed in the rigid housing 8 by means of flexible adhesive 7. A pressure inlet 3 of opening 16 is arranged in the rigid housing 8, through which opening pressure can be admitted to one side / the diaphragm 10 ma 18. The rigid carrier 2 / also has an opening 14, which is in line with the recess 17, provided on that side where the pressure-sensitive element is mounted. On the other side, opening 14 is connected to the lumen 15, which is provided in the flexible adhesive 7.

15 In fig 1 is de sensor aan de linkerzijde gekoppeld aan katheter 10 door middel van koppelingsmiddel 9.In fig. 1 the sensor on the left side is coupled to catheter 10 by means of coupling means 9.

In de uitvoeringsvorm van de druksensor volgens fig 3 ( in de tot de tekening behorende figuren stellen gelijke verwijzingcij-fers overeenkomstige organen voor) is het drukgevoelige halfgeleider-2o blok 1, met de uitsparing 17 gekeerd naar de drukinlaatopening 16, verbonden met de starre drager 2 onder toepassing van een flexibel plakmiddel 20. De vier stroomdraden 6 zijn eveneens vast met de drager 2 verbonden. De verbindingen tussen de koppelingsorganen 19 op het drukgevoelige halfgeleiderblok 1 en de vier stroomdraden 6 kunnen weer 25 worden uitgevoerd met behulp van verbindingsdraden 5 zoals in fig 1 is aangegeven, maar ook met behulp van geleidingsdraden die zijn aangebracht op een band ( fig 9 en fig 10 ) waarbij men de zogenaamde, op zichzelf bekende TAB- techniek voor de onderlinge koppeling toepast, zoals in fig 5 en fig 6 nader wordt getoond. In fig 5 stelt 30 een band 30 voor zoals nader in fig 9 en fig 10 is toegelicht.In the embodiment of the pressure sensor according to Fig. 3 (in the figures belonging to the drawing, like reference numerals represent corresponding members), the pressure-sensitive semiconductor block 1, with the recess 17 facing the pressure inlet opening 16, is connected to the rigid support 2 using a flexible adhesive 20. The four lead wires 6 are also fixedly connected to the carrier 2. The connections between the coupling members 19 on the pressure-sensitive semiconductor block 1 and the four current wires 6 can again be made by means of connecting wires 5 as shown in fig. 1, but also by means of guide wires arranged on a tape (fig. 9 and fig. 10) using the so-called, per se known TAB technique for the interconnection, as shown in more detail in Fig. 5 and Fig. 6. In Figure 5, 30 represents a belt 30 as explained in more detail in Figure 9 and Figure 10.

83 0 2 9 52 - 7 -83 0 2 9 52 - 7 -

Daaruit blijkt de band 30 te zijn samengesteld als een laminaat 31, aangebracht tussen twee lagen van een flexibel plakmiddel 32 en 33. Vier geleidingsdraden 34 zijn aan een zijde van het laminaat aangebracht en reiken daarbij tot in de opening 36 terwijl zij zo zijn gerangschikt dat 5 zij op een lijn kunnen worden gebracht met de zich op het drukgevoelige halfgeleiderblok 1 bevindende gemetalliseerde koppelingsorganen 19, die in fig 5 niet zijn getoond. De band 30 is voorts voorzien van opening 35 die strokend met het diafragma 18 (fig 5 ) enerzijds en de opening 14 en de starre drager anderzijds kan worden gepositioneerd. Stroomdraden 6 10 zijn vast verbonden met de drager 2 en verder met de geleidingsdraden 34. Oneer toepassing van flexibel plakmiddel 7 is het geheel bevestigd in het starre huis 8.From this, the tape 30 appears to be composed as a laminate 31 sandwiched between two layers of flexible adhesive 32 and 33. Four guide wires 34 are disposed on one side of the laminate and extend into the opening 36 while being arranged so that 5 they can be aligned with the metallized coupling members 19 located on the pressure-sensitive semiconductor block 1, which are not shown in FIG. The belt 30 is further provided with opening 35 which can be positioned flush with the diaphragm 18 (fig. 5) on the one hand and the opening 14 and the rigid carrier on the other. Current wires 6 are fixedly connected to the carrier 2 and further to the guide wires 34. If flexible adhesive 7 is not used, the whole is secured in the rigid housing 8.

Bij de in fig *7 en fig 8 getoonde uitvoeringsvorm is in de drager 2 een opening uitgespaard waarin het gehele halfgeleideblok 1 15 met de uitsparing 17 daarvan gekeerd naar de drukinlaatopening kan worden ingelaten en via flexibel plakmiddel 29 daarin worden vastgezet.In the embodiment shown in Fig. 7 and Fig. 8, an opening is recessed in the carrier 2 in which the entire semiconductor block 1 15 can be let in with the recess 17 facing the printing inlet opening and fixed therein via flexible adhesive 29.

83 02 95283 02 952

Claims

1. Pressure sensor, suitable for measuring the pressure in portions of the living body, mounted within a housing having a pressure inlet opening in its side wall or at one end; said pressure sensor further comprising a pressure sensor element, which comprises a semiconductor block, provided with a recess on a thin layer reacting as a pressure-sensitive diaphragm which is arranged on a support at the height of the pressure inlet opening; and at least one stretch strip mounted on a surface of the pressure-sensitive diaphragm and provided with electric wires, characterized in that the housing is a rigid housing and the pressure-receiving element inside is mechanically insulated, i.e. floating wherein the semiconductor block containing the pressure-sensitive diaphragm of the pressure-receiving element is fixedly connected to the carrier.

2. Pressure sensor according to claim 1, characterized in that the floating attachment is carried out by means of a flexible adhesive, wherein the adhesive connects the pressure-receiving element with its side facing the pressure inlet opening to the inner wall of the housing, simultaneously forming a seal around the pressure inlet port and the pressure sensing element.

3. Pressure sensor according to claim 1, characterized in that the carrier is provided with a through-opening in which the semiconductor block is inserted and fixedly connected to the carrier.

4. Pressure sensor according to claim 3, characterized in that the semiconductor block with the recess facing the pressure inlet opening is let into the through-opening in the support and is firmly connected to the support by means of a flexible adhesive while the connections of the wire connections to the semiconductor block are made via the TAB (Tape-Automated-Bonding) process.

Pressure sensor according to claim 1, characterized in that the housing is made of a current-conducting material f5 T Λ f *; r \ k o b ü j ·; O l - 9 - * and includes a power wire for the applicability of the housing as an electrode.

6. Catheter, fitted with a pressure sensor according to claims 1-5.

Hypodermic needle, provided with a pressure sensor according to claims 1-5

8. Hypodermic needle according to claim 7, characterized in that the rigid housing of the pressure sensor is an integral part of the needle.

9. Hypodermic needle according to claim 8, characterized in that the needle is connected to a current wire for the applicability of the needle as an electrode. 83 02 852