NL2025401B1 - Sensing device and sensing method - Google Patents
Sensing device and sensing method Download PDFInfo
- Publication number
- NL2025401B1 NL2025401B1 NL2025401A NL2025401A NL2025401B1 NL 2025401 B1 NL2025401 B1 NL 2025401B1 NL 2025401 A NL2025401 A NL 2025401A NL 2025401 A NL2025401 A NL 2025401A NL 2025401 B1 NL2025401 B1 NL 2025401B1
- Authority
- NL
- Netherlands
- Prior art keywords
- optical element
- microfluidic channel
- light
- sensor device
- cavity
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 48
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 300
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 76
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 51
- 239000004038 photonic crystal Substances 0.000 claims abstract description 14
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 23
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 13
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 13
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 13
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 12
- 230000003068 static effect Effects 0.000 claims description 8
- -1 Ges Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 241000700605 Viruses Species 0.000 claims description 5
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims description 5
- 102000004169 proteins and genes Human genes 0.000 claims description 5
- 108090000623 proteins and genes Proteins 0.000 claims description 5
- 150000002484 inorganic compounds Chemical class 0.000 claims description 4
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 244000005700 microbiome Species 0.000 claims description 4
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 claims description 4
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910005866 GeSe Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010432 diamond Substances 0.000 claims description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 3
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052961 molybdenite Inorganic materials 0.000 claims description 2
- CWQXQMHSOZUFJS-UHFFFAOYSA-N molybdenum disulfide Chemical compound S=[Mo]=S CWQXQMHSOZUFJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052982 molybdenum disulfide Inorganic materials 0.000 claims description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000011358 absorbing material Substances 0.000 claims 1
- 229910021419 crystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims 1
- KJKKZSJXJPPWSI-UHFFFAOYSA-N n,6-dimethylhept-5-en-2-amine;1,5-dimethyl-2-phenylpyrazol-3-one;n-(4-hydroxyphenyl)acetamide;2,3,4,5-tetrahydroxyhexanedioic acid;2,2,2-trichloroethane-1,1-diol Chemical compound OC(O)C(Cl)(Cl)Cl.OC(O)C(Cl)(Cl)Cl.CNC(C)CCC=C(C)C.CC(=O)NC1=CC=C(O)C=C1.CN1C(C)=CC(=O)N1C1=CC=CC=C1.OC(=O)C(O)C(O)C(O)C(O)C(O)=O KJKKZSJXJPPWSI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims 1
- 239000004035 construction material Substances 0.000 description 13
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 8
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 7
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 6
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 5
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000036760 body temperature Effects 0.000 description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- 229910016001 MoSe Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- 238000004320 controlled atmosphere Methods 0.000 description 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000000839 emulsion Substances 0.000 description 1
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 1
- 239000003256 environmental substance Substances 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 238000007710 freezing Methods 0.000 description 1
- 230000008014 freezing Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000002329 infrared spectrum Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 239000002086 nanomaterial Substances 0.000 description 1
- ORQBXQOJMQIAOY-UHFFFAOYSA-N nobelium Chemical compound [No] ORQBXQOJMQIAOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001579 optical reflectometry Methods 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
- 238000001429 visible spectrum Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/10—Investigating individual particles
- G01N15/1023—Microstructural devices for non-optical measurement
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01H—MEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
- G01H9/00—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by using radiation-sensitive means, e.g. optical means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N9/00—Investigating density or specific gravity of materials; Analysing materials by determining density or specific gravity
- G01N9/002—Investigating density or specific gravity of materials; Analysing materials by determining density or specific gravity using variation of the resonant frequency of an element vibrating in contact with the material submitted to analysis
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N9/00—Investigating density or specific gravity of materials; Analysing materials by determining density or specific gravity
- G01N9/002—Investigating density or specific gravity of materials; Analysing materials by determining density or specific gravity using variation of the resonant frequency of an element vibrating in contact with the material submitted to analysis
- G01N2009/006—Investigating density or specific gravity of materials; Analysing materials by determining density or specific gravity using variation of the resonant frequency of an element vibrating in contact with the material submitted to analysis vibrating tube, tuning fork
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/10—Investigating individual particles
- G01N2015/1021—Measuring mass of individual particles
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/10—Investigating individual particles
- G01N2015/1024—Counting particles by non-optical means
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Micromachines (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Claims (40)
- CONCLUSIES I. Werkwijze van waarnemen van een eigenschap van een fluïdum in een vibreerbaar microfluïdisch kanaal, waarbij het fluïdum ten minste één partikel kan omvatten en waarbij het microfluïdische kanaal ingericht is om het fluïdum de trilling van het microfluidisch kanaal te doen beïnvloeden, waarbij de werkwijze omvat: - het verschaffen van een eerste optisch element aangebracht op of dicht bij het vibreerbaarvibreerbare microfluïdische kanaal en een tweede optisch element opgesteld nabij het eerste optisch element, waarbij een optomechanische holte gevormd wordt tussen het eerste optisch element en het tweede optisch element en waarbij trilling van het microfluidische kanaal een verandering veroorzaakt in afstand tussen het eerste optisch element en tweede optisch element; - het verschaffen van licht naar binnen de optomechanische holte, waarbij de veranderende afstand tussen het eerste element en het tweede element die de optomechanische holte vormen een veranderende mechanische resonantiefrequentie verschaffen geassocieerd met de trilling van het microfluidische kanaal; - het lekken van licht van de optomechanische holte naar het tweede optisch element; - het waarnemen van de eigenschap van het fluïdum uit een uit het naar binnen het tweede optisch element gelekte licht bepaalde verandering van mechanische resonantiefrequentie.
- 2. Werkwijze volgens conclusie |, waarbij het waarnemen van ten minste een eigenschap van het fluïdum ten minste één omvat van het waarnemen van de massa, dichtheid, viscositeit en/of stroomsnelheid van het fluïdum zelf.
- 3. Werkwijze volgens conclusie 1 of 2, waarbij het eerste optisch element een beweegbaar optisch element is dat vast verbonden is aan of integraal gevormd met het microfluidische kanaal.
- 4, Werkwijze volgens een van de voorgaande conclusies, waarbij het tweede optisch element vrijstaand is van het eerste optisch element en/of waarbij het tweede optische element een statisch optisch element is.
- 5. Werkwijze volgens een van de voorgaande conclusies, omvattend: het aanbrengen van cen ten minste één partikel bevattend fluïdum in het beweegbaar microfluidisch kanaal, waarbij het ten minste één partikel beweging veroorzaakt van het microfluidische kanaal en het eerste optische element dat vast verbonden is aan of integraal gevormd met het microfluidische kanaal, waarbij de beweging veranderd wordt ten opzichte van beweging van het floidumkanaal zonder de aanwezigheid van het ten minste één partikel; het verschaffen van licht in de optomechanische holte; het lekken van licht van de optomechanische holte naar het tweede optische element; het waarnemen van het ten minste één partikel uit een uit het naar binnen het tweede optische element gelekte licht bepaalde verandering van mechanische resonantiefrequentie.
- 6. Werkwijze volgens een van de voorgaande conclusies, omvattend: het geleiden van van een lichtbron afkomstig licht naar het tweede optische element; het laten lekken van licht in het tweede optische element naar binnen de optomechanische holte, het reflecteren van licht in de optomechanische holte tussen het eerste en tweede optische element en het laten teruglekken van het gereflecteerde licht naar het tweede optische element; het geleiden van terug uit het tweede optische element gelekt licht naar een fotodetector en het detecteren van door de fotodetector ontvangen licht; het uit het licht gedetecteerd in de fotodetector bepalen van een voor de eigenschap van het fluïdum in het microfluidische kanaal representatieve verandering van de mechanische resonantiefrequentie, bijvoorbeeld de aanwezigheid van het ten minste één partikel in het microfluidische kanaal.
- 7. Werkwijze volgens een van de voorgaande conclusies, waarbij de soorten van die partikels ten minste één bevatten van anorganische verbindingen, organische verbindingen, biomoleculen, weefselmonsters, enkele proteïnen, virussen, cellen, of micro-organismen.
- 8. Werkwijze volgens een van de voorgaande conclusies, waarbij waarnemen uitgevoerd wordt met een precisie in de orde van grootte van 10 attogram, bij voorkeur een precisie in de orde van één attogram of minder.
- 9. Werkwijze volgens een van de voorgaande conclusies, waarbij het licht laserlicht omvat.
- 10. Werkwijze volgens een van de voorgaande conclusies, waarbij het lekken van licht naar en/of uit de optomechanische holte volbracht wordt door evanescente koppeling.
- 11. Werkwijze volgens een van de voorgaande conclusies, waarbij de werkwijze uitgevoerd wordt in een omgeving in een vacuüm of onder atmosferische druk, waarbij het vacuüm een druk heeft tot zo laag als 107° mbar.
- 12. Werkwijze volgens een van de voorgaande conclusies, waarbij dat waarnemen van die optomechanische resonantie ten minste één verschuiving van ten minste één piek van de optomechanische resonantie omvat, waarbij de frequentie van de mechanische resonantie bij voorkeur tussen 1 kilohertz en 10 gigahertz ligt.
- 13. Werkwijze volgens een van de voorgaande conclusies, die het actief in een achtergrondresonantiestaat brengen van het microfluïdische kanaal en het eerste optische element voorafgaand aan het waarnemen omvat.
- 14. Sensorinrichting voor het waarnemen van een eigenschap van een fluïdum in een vibreerbaar microfluidisch kanaal , waarbij het fluïdum ten minste één partikel kan omvatten, waarbij de sensorinrichting omvat: een vibreerbaar microfluidisch kanaal ingericht om een fluïdum binnen in het microfluidische kanaal de trilling van het microfluidische kanaal te laten beïnvloeden; een eerste optisch element aangebracht op of dicht bij het vibreerbare microfluidische kanaal; een tweede optisch element aangebracht nabij het eerste optische element, waarbij de eerste en tweede optische elementen uit elkaar geplaatst zijn om tussen hen een optomechanische holte te vormen; waarin de optomechanische holte een mechanische resonantiefreguentie definieert geassocieerd met de trilling van het microfluidische kanaal; waarbij het tweede optische element ingericht is om licht dat aanwezig is in de optomechanische holte naar binnen het tweede optische element te laten lekken; een waarneemeenheid ingericht om het ten minste één partikel waar te nemen uit een uit het naar het tweede optische element gelekte licht bepaalde verandering van mechanische resonantiefrequentie.
- 15. Sensor volgens conclusie 14, waarbij het eerste optische element vast verbonden is aan of integraal gevormd met het beweegbare microfluidische kanaal.
- 16. Sensorinrichting volgens conclusie 14 of 15, waarbij de waarneemeenheid ingericht is om uit het naar binnen het tweede optische element gelekte licht een verandering van de mechanische resonantiefrequentie waar te nemen representatief voor de verandering van de beweging van het microfluidische kanaal resulterend uit de eigenschap van het fluïdum en/of het ten minste ene partikel in het microfluidische kanaal.
- 17. Sensorinrichting volgens een van de conclusies 14-16, die omvat: een steun; een microfluïdisch kanaal ingericht om een fluïdum te bevatten waarin ten minste één partikel aanwezig is, waarbij het microfluidische kanaal aangebracht is om beweegbaar te zijn ten opzicht van de steun; een eerste optisch element dat vast verbonden is aan of integraal gevormd met het beweegbare microfluïdische kanaal, waarbij het eerste optische element ingericht is om met de beweging van het microfluidische kanaal mee te bewegen; een tweede optisch element aanbracht nabij het eerste optische element; waarbij het eerste optische element een eerste spiegeloppervlak omvat en het tweede optische element een tweede spiegeloppervlak omvat dat gericht is naar het eerste spiegeloppervlak, waarbij het eerste spiegeloppervlak en het tweede spiegeloppervlak uit elkaar geplaatst zijn om tussen hen een optomechanische holte te vormen, waarbij de optomechanische holte een mechanische resonantiefrequentie definieert geassocieerd met de beweging van het microfluidische kanaal; een lichtbron om licht te genereren; een fotodetector om licht te detecteren; een golfgeleider die verbonden is met de lichtbron en fotodetector en ingericht om uit de lichtbron afkomstig licht te geleiden naar het tweede optische element en om uit het tweede optische element naar de optomechanische holte gelekt, in de optomechanische holte gereflecteerd en terug uit de optomechanische holte naar het tweede optische element gelekt licht te geleiden naar de fotodetector; een waarneemeenheid verbonden aan de fotodetector en ingericht om uit het in de fotodetector gedetecteerde licht een voor de eigenschappen van het fluïdum en/of het ten minste één partikel in het fluïdum representatieve verandering van de mechanische resonantiefrequentie te bepalen, bijvoorbeeld representatief voor de aanwezigheid van het ten minste één partikel in het microfluidische kanaal.
- 18. Sensorinrichting volgens een van de conclusies 14-17, waarbij het tweede optische element een nabij het eerste optische element aangebracht en het eerste spiegeloppervlak omvattend eerste optisch elementdeel omvat en een nabij het eerste optische elementdeel aangebracht en tussen hen nog een optische holte vormend tweede optisch elementdeel, waarbij het eerste optische elementdeel een derde spiegeloppervlak omvat en het tweede optische elementdeel een vierde spiegeloppervlak vormt.
- 19. Sensorinrichting volgens een van de conclusies 14-18, dat een actuator omvat in verbinding met het microfluidische kanaal en ingericht om een trilling op te leggen aan het microfluidische kanaal.
- 20. Sensorinrichting volgens een van de conclusies 14-19, waarbij de eerste en tweede optische inrichting, en eventueel ook ten minste een deel van het microfluidische kanaal, geïmplementeerd zijn op een fotonisch kristal.
- 21. Sensorinrichting volgens een van de conclusies 14-20, waarbij het tweede optische element een statisch optisch element is.
- 22. Sensorinrichting volgens een van de conclusies 14-21, waarbij het tweede optische clement verbonden is aan een steunelement, bij voorkeur de steun van het eerste optische element, en/of waarbij het beweegbare eerste optische element ingericht is om relatief aan het statische tweede optische element te trillen.
- 23. Sensorinrichting volgens een van de conclusies 14-22, waarbij eerste en tweede optische elementen, eventueel ook een deel van het microfluidische Kanaal, gevormd zijn op een enkele geïntegreerde schakeling.
- 24. Sensorinrichting volgens een van de conclusies 14-23, ingericht om de massa van een partikel waar te nemen met een precisie in de orde van grootte van 10 attogram, bij voorkeur een precisie in de orde van grootte van één attogram of minder.
- 25. Sensorinrichting volgens een van de conclusies 14-24, waarbij de lichtbron een bron is van laserlicht of een laserlichtbron voor het genereren van respectievelijk zichtbaar licht en/of laserlicht.
- 26. Sensorinrichting volgens een van de conclusies 14-25, waarbij de lichtbron licht is met een golflengte tot 2000 nm en/of licht met een golflengte tussen 1500 nm en 1550 nm.
- 27. Sensorinrichting volgens een van de conclusies 14-26, waarbij de golfgeleider een eerste golfgeleider omvat die aangebracht is om licht van de lichtbron naar het tweede optische element te dragen en een tweede golfgeleider, gescheiden van de eerste golfgeleider en aangebracht om licht van het tweede optische element naar de fotodetector te dragen.
- 28. Sensorinrichting volgens een van de conclusies 14-27, waarbij de golfgeleider een optische vezel omvat.
- 29. Sensorinrichting volgens een van de conclusies 14-28, waarbij het tweede optische element ingericht is om laserlicht het tweede optische element te laten verlaten en de optomechanische holte te laten binnengaan door evanescente koppeling en/of waarbij het tweede optische element ingericht is om laserlicht de optomechanische holte te laten verlaten en het tweede optische element te laten binnengaan door vluchtige koppeling.
- 30. Sensorinrichting volgens een van de conclusies 14-29, ingericht om het ten minste één partikel waar te nemen met gebruik van een Pound-Drever-Hall-eenheid.
- 31. Sensorinrichting volgens een van de conclusies 14-30, waarbij: de doorsnede van het microfluidische kanaal van een formaat tussen 10 nm en 50 nm is, eventueel van een formaat tussen 2 um en 3 um; en/of de stroomsnelheid in het microfluidische kanaal in de orde van grootte van verscheidene femtoliters per seconde is, eventueel minder dan 5 femtoliter per seconde; en/of de dikte van de wanden van het microfluidische kanaal tussen 5 nm en 7 nm is; en/of het eerste optische element en tweede optische element een lengte hebben in de orde van grootte van verscheidene um, eventueel tussen 20 um en 50 um; en/of het eerste optische element en tweede optische element beide een breedte hebben tussen 500 nm en 1.500 nm; en/of de diktes van het eerste optische element en tweede optische element tussen 20 nm en 2 wm zijn; en/of de diktes van dat eerste optische element en dat tweede optische element ongeveer 300 nm is; en/of de optomechanische holte tussen 10 nm en 2 um lang en/of tussen 100 en 300 nm breed is.
- 32. Sensorinrichting volgens een van de conclusies 14-31, ingericht om het ten minste één partikel waar te nemen in een omgeving op een temperatuur tussen 0 en 100 graden Celsius, bij voorkeur tussen 18 en 25 graden Celsius of in een omgeving tussen 35 en 40 graden Celsius.
- 33. Sensorinrichting volgens een van de conclusies 14-32, ingericht om de eigenschap waar te nemen in een omgeving op atmosferische druk of lager, bij voorkeur op een hoogvacuüm- druk of lager.
- 34. Sensorinrichting volgens een van de conclusies 14-33, waarbij de waarneemeenheid ingericht is om ten minste één verschuiving in ten minste één piek van die optomechanische resonantie te bepalen en/of waarin de frequentie van de mechanische resonantie tussen | kilohertz en 10 gigahertz is.
- 35. Sensorinrichting volgens een van de conclusies 14-34, waarbij de optomechanische holte in wezen onafgeschermd is aan de zijkanten van de holte die met geblokkeerd worden door de eerste en tweede optische elementen.
- 36. Sensorinrichting volgens een van de conclusies 14-35, waarbij het eerste optische element en dat tweede optische element gemaakt zijn van relatief weinig optisch absorberend materiaal en/of waarin gemaakt van een materiaal met hoge treksterkte, eventueel een treksterkte van tussen 15 mpa en 10 GPa.
- 37. Sensorinrichting volgens een van de conclusies 14-36, waarbij het eerste optische element en tweede optische element gedeeltelijk of in wezen geheel gemaakt zijn van ten minste één van siliciummitride (Si3N4), siliciamcarbide, of glas.
- 38. Sensorinrichting volgens een van de conclusies 14-37, waarbij het eerste optische element en tweede optische element ten minste gedeeltelijk gemaakt zijn van ten minste één van c- Si, a-Si, Ges, GeSe, MoS2, SnS, MoSe2, GaAs, of diamant.
- 39. Sensorinrichting volgens een van de conclusies 14-38, waarbij de inrichting ingericht is om de werkwijze volgens een van de conclusies 1-13 toe te passen.
- 40. Assemblage van een sensorinrichting volgens een van de conclusies 14-39 en een vacuümkamer, waarbij ten minste het beweegbare deel van het microfluïdische kanaal, het beweegbare eerste optische element en het tweede optische element aangebracht zijn in de vacuümkamer.
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| NL2025401A NL2025401B1 (en) | 2020-04-22 | 2020-04-22 | Sensing device and sensing method |
| PCT/NL2021/050266 WO2021215925A1 (en) | 2020-04-22 | 2021-04-22 | Sensing device and sensing method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| NL2025401A NL2025401B1 (en) | 2020-04-22 | 2020-04-22 | Sensing device and sensing method |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| NL2025401B1 true NL2025401B1 (en) | 2021-10-28 |
Family
ID=70805180
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| NL2025401A NL2025401B1 (en) | 2020-04-22 | 2020-04-22 | Sensing device and sensing method |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| NL (1) | NL2025401B1 (nl) |
| WO (1) | WO2021215925A1 (nl) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2024040047A1 (en) * | 2022-08-15 | 2024-02-22 | Preddio Technologies Inc. | Optical sensor |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20100139406A1 (en) * | 2008-06-19 | 2010-06-10 | The Government Of The Us. As Represented By The Secretary Of The Navy | Micromechanical chemical sensors with multiple chemoselective resonant elements and frequency division multiplexed readout |
| US20140051107A1 (en) * | 2006-10-11 | 2014-02-20 | Kenneth Babcock | Method and Apparatus for Measuring Particle Characteristics through Mass Detection |
-
2020
- 2020-04-22 NL NL2025401A patent/NL2025401B1/en not_active IP Right Cessation
-
2021
- 2021-04-22 WO PCT/NL2021/050266 patent/WO2021215925A1/en active Application Filing
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20140051107A1 (en) * | 2006-10-11 | 2014-02-20 | Kenneth Babcock | Method and Apparatus for Measuring Particle Characteristics through Mass Detection |
| US20100139406A1 (en) * | 2008-06-19 | 2010-06-10 | The Government Of The Us. As Represented By The Secretary Of The Navy | Micromechanical chemical sensors with multiple chemoselective resonant elements and frequency division multiplexed readout |
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| FREYTAG ANNICA I ET AL: "All fiber-optic viscosity, density, and temperature measurements of liquids using a photothermally actuated cantilever", APPLIED PHYSICS B: LASERS AND OPTICS, SPRINGER INTERNATIONAL, BERLIN, DE, vol. 124, no. 11, 10 October 2018 (2018-10-10), pages 1 - 9, XP036637702, ISSN: 0946-2171, DOI: 10.1007/S00340-018-7079-6 * |
| YA-NAN ZHANG ET AL: "A review for optical sensors based on photonic crystal cavities", SENSORS AND ACTUATORS A: PHYSICAL, vol. 233, 28 July 2015 (2015-07-28), NL, pages 374 - 389, XP055495023, ISSN: 0924-4247, DOI: 10.1016/j.sna.2015.07.025 * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO2021215925A1 (en) | 2021-10-28 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Zhang et al. | Optical bio-chemical sensors based on whispering gallery mode resonators | |
| Crespi et al. | Three-dimensional Mach-Zehnder interferometer in a microfluidic chip for spatially-resolved label-free detection | |
| Yu et al. | Whispering-gallery-mode sensors for biological and physical sensing | |
| Zhang et al. | Applications and developments of on-chip biochemical sensors based on optofluidic photonic crystal cavities | |
| Ciminelli et al. | Label-free optical resonant sensors for biochemical applications | |
| Fan et al. | Overview of novel integrated optical ring resonator bio/chemical sensors | |
| Chen et al. | Label-free biosensing using cascaded double-microring resonators integrated with microfluidic channels | |
| CN103398974B (zh) | 一种光纤传感器、制备方法及测量系统 | |
| NL2025401B1 (en) | Sensing device and sensing method | |
| US7995890B2 (en) | Device for light-based particle manipulation on waveguides | |
| CN111426337A (zh) | 一种基于侧抛光纤的Sagnac干涉流体传感系统 | |
| CZ19297A3 (cs) | Způsob optické rastrové mikroskopie blízkých polí zkušebních vzorků v kapalinách, zařízení k jeho provádění a jeho použití | |
| Zhang et al. | Review of different coupling methods with whispering gallery mode resonator cavities for sensing | |
| EP3130913B1 (en) | Measurement instrument of optical characteristics for sample flowing in passage | |
| US7106429B2 (en) | Apparatus and method for detecting change of dielectric constant | |
| Chaitavon et al. | Highly sensitive refractive index measurement with a sandwiched single-flow-channel microfluidic chip | |
| Sohlström et al. | Real-time label-free biosensing with integrated planar waveguide ring resonators | |
| KR20120042458A (ko) | 비대칭 마흐-젠더 간섭계를 포함한 링 공진기 센서, 이러한 링 공진기를 구비한 자기 참조 도파로 센서 및 이러한 링 공진기 센서를 구비한 마이크로 공진기 센서 장치 | |
| Testa et al. | Optofluidics: a new tool for sensing | |
| Kauppinen | Compact integrated optical devices for optical sensor and switching applications | |
| Bernini et al. | Integrated silicon optical sensors based on hollow core waveguide | |
| Berneschi et al. | A waveguide absorption filter for fluorescence measurements | |
| Zinoviev et al. | Optical biosensor based on arrays of waveguided microcantilevers | |
| Gaira et al. | Exciting Whispering Gallery Modes in liquid microdrops using sub-micron size tapered fibers | |
| US11073421B2 (en) | Methods and apparatuses for measuring optical radiation |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM | Lapsed because of non-payment of the annual fee |
Effective date: 20230501 |