NL2004992A - Spectral purity filter. - Google Patents

Spectral purity filter. Download PDF

Info

Publication number
NL2004992A
NL2004992A NL2004992A NL2004992A NL2004992A NL 2004992 A NL2004992 A NL 2004992A NL 2004992 A NL2004992 A NL 2004992A NL 2004992 A NL2004992 A NL 2004992A NL 2004992 A NL2004992 A NL 2004992A
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
radiation
wavelength
spectral purity
purity filter
apertures
Prior art date
Application number
NL2004992A
Other languages
English (en)
Inventor
Wouter Soer
Vadim Banine
Erik Loopstra
Andrei Yakunin
Martin Jak
Original Assignee
Asml Netherlands Bv
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Asml Netherlands Bv filed Critical Asml Netherlands Bv
Priority to NL2004992A priority Critical patent/NL2004992A/en
Publication of NL2004992A publication Critical patent/NL2004992A/en

Links

Claims (1)

1. Een lithografïcinrichting omvattende: een belichtinginrichting ingericht voor het leveren van een stralingsbundel; een drager geconstrueerd voor het dragen van een patroneerinrichting, welke patroneerinrichting in staat is een patroon aan te brengen in een doorsnede van de stralingsbundel ter vorming van een gepatroneerde stralingsbundel; een substraattafel geconstrueerd om een substraat te dragen; en een projectieinrichting ingericht voor het projecteren van de gepatroneerde stralingsbundel op een doelgebied van het substraat, met het kenmerk, dat de substraattafel is ingericht voor het positioneren van het doelgebied van het substraat in een brandpuntsvlak van de projectieinrichting.
NL2004992A 2010-06-29 2010-06-29 Spectral purity filter. NL2004992A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL2004992A NL2004992A (en) 2010-06-29 2010-06-29 Spectral purity filter.

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL2004992A NL2004992A (en) 2010-06-29 2010-06-29 Spectral purity filter.
NL2004992 2010-06-29

Publications (1)

Publication Number Publication Date
NL2004992A true NL2004992A (en) 2010-08-09

Family

ID=43269102

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL2004992A NL2004992A (en) 2010-06-29 2010-06-29 Spectral purity filter.

Country Status (1)

Country Link
NL (1) NL2004992A (nl)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9726989B2 (en) Spectral purity filter
EP2678743B1 (en) Grazing incidence reflector, lithographic apparatus, method for manufacturing a grazing incidence reflector and method for manufacturing a device
WO2013152921A1 (en) Pellicle, reticle assembly and lithographic apparatus
NL2008391A (en) Radiation source-collector and lithographic apparatus.
JP6144874B2 (ja) リソグラフィ装置用の反射型光コンポーネントおよびデバイス製造方法
EP2534537B1 (en) Spectral purity filter
WO2013113537A2 (en) Optical element, lithographic apparatus incorporating such an element, method of manufacturing an optical element
NL2005166A (en) Spectral purity filter, lithographic apparatus, method for manufacturing a spectral purity filter and method of manufacturing a device using lithographic apparatus.
EP2283396B1 (en) Multilayer mirror and lithographic apparatus
JP2010045355A (ja) 放射源、リソグラフィ装置、および、デバイス製造方法
NL2004992A (en) Spectral purity filter.
NL2004984A (en) Spectral purity filter.
NL2006647A (en) Grazing incidence reflectors, lithographic apparatus, methods for manufacturing a grazing incidence reflector and methods for manufacturing a device.
NL2010626A (en) Radiation source-collector and method for refurbishment.
NL2006627A (en) Reflective optical components for lithographic apparatus and device manufacturing method.
NL2005763A (en) Lithographic apparatus.