Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Asml Netherlands BvfiledCriticalAsml Netherlands Bv
Priority to NL2004661ApriorityCriticalpatent/NL2004661A/en
Publication of NL2004661ApublicationCriticalpatent/NL2004661A/en
1. Een lithografieinrichting omvattende: een belichtinginrichting ingericht voor het leveren van een stralingsbundel; een drager geconstrueerd voor het dragen van een patroneerinrichting, welke patroneerinrichting in staat is een patroon aan te brengen in een doorsnede van de stralingsbundel ter vorming van een gepatroneerde stralingsbundel; een substraattafel geconstrueerd om een substraat te dragen; en een projectieinrichting ingericht voor het projecteren van de gepatroneerde stralingsbundel op een doelgebied van het substraat, met het kenmerk, dat de substraattafel is ingericht voor het positioneren van het doelgebied van het substraat in een brandpuntsvlak van de proj ectieinrichting.
NL2004661A2010-05-042010-05-04Radiation beam modification apparatus and method.
NL2004661A
(en)
Method for providing an operable filter system for filtering particles out of a beam of radiation, filter system, apparatus and lithographic apparatus comprising the filter system
A lithographic apparatus having a contaminant trapping system, a contaminant trapping system, a device manufacturing method, and a method for trapping of contaminants in a lithographic apparatus