NL178377C - Werkwijze voor het vervaardigen van een dun indiumantimonide-filmelement. - Google Patents

Werkwijze voor het vervaardigen van een dun indiumantimonide-filmelement.

Info

Publication number
NL178377C
NL178377C NLAANVRAGE7803102,A NL7803102A NL178377C NL 178377 C NL178377 C NL 178377C NL 7803102 A NL7803102 A NL 7803102A NL 178377 C NL178377 C NL 178377C
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
manufacturing
film element
indium antimonide
thin indium
antimonide film
Prior art date
Application number
NLAANVRAGE7803102,A
Other languages
English (en)
Other versions
NL178377B (nl
NL7803102A (nl
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP3032877A external-priority patent/JPS53116068A/ja
Priority claimed from JP52032189A external-priority patent/JPS5821817B2/ja
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Publication of NL7803102A publication Critical patent/NL7803102A/nl
Publication of NL178377B publication Critical patent/NL178377B/nl
Application granted granted Critical
Publication of NL178377C publication Critical patent/NL178377C/nl

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N50/00Galvanomagnetic devices
    • H10N50/80Constructional details
    • H10N50/85Magnetic active materials
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C30CRYSTAL GROWTH
    • C30BSINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B13/00Single-crystal growth by zone-melting; Refining by zone-melting
    • C30B13/08Single-crystal growth by zone-melting; Refining by zone-melting adding crystallising materials or reactants forming it in situ to the molten zone
    • C30B13/10Single-crystal growth by zone-melting; Refining by zone-melting adding crystallising materials or reactants forming it in situ to the molten zone with addition of doping materials
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/18Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
    • H01L21/22Diffusion of impurity materials, e.g. doping materials, electrode materials, into or out of a semiconductor body, or between semiconductor regions; Interactions between two or more impurities; Redistribution of impurities
    • H01L21/225Diffusion of impurity materials, e.g. doping materials, electrode materials, into or out of a semiconductor body, or between semiconductor regions; Interactions between two or more impurities; Redistribution of impurities using diffusion into or out of a solid from or into a solid phase, e.g. a doped oxide layer
    • H01L21/2258Diffusion into or out of AIIIBV compounds
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N52/00Hall-effect devices
    • H10N52/01Manufacture or treatment
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S438/00Semiconductor device manufacturing: process
    • Y10S438/914Doping
    • Y10S438/918Special or nonstandard dopant
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S438/00Semiconductor device manufacturing: process
    • Y10S438/971Stoichiometric control of host substrate composition

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Hall/Mr Elements (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
NLAANVRAGE7803102,A 1977-03-22 1978-03-22 Werkwijze voor het vervaardigen van een dun indiumantimonide-filmelement. NL178377C (nl)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3032877A JPS53116068A (en) 1977-03-22 1977-03-22 Insb polycrystal thin film of low noise
JP52032189A JPS5821817B2 (ja) 1977-03-25 1977-03-25 InSb多結晶薄膜の製造法

Publications (3)

Publication Number Publication Date
NL7803102A NL7803102A (nl) 1978-09-26
NL178377B NL178377B (nl) 1985-10-01
NL178377C true NL178377C (nl) 1986-03-03

Family

ID=26368661

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NLAANVRAGE7803102,A NL178377C (nl) 1977-03-22 1978-03-22 Werkwijze voor het vervaardigen van een dun indiumantimonide-filmelement.

Country Status (3)

Country Link
US (1) US4177298A (nl)
DE (1) DE2812656C2 (nl)
NL (1) NL178377C (nl)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4376138A (en) * 1982-01-04 1983-03-08 Bell Telephone Laboratories, Incorporated Optical waveguides in InGaAsP and InP
US4502898A (en) * 1983-12-21 1985-03-05 At&T Bell Laboratories Diffusion procedure for semiconductor compound
US4946735A (en) * 1986-02-10 1990-08-07 Cornell Research Foundation, Inc. Ultra-thin semiconductor membranes
US4952446A (en) * 1986-02-10 1990-08-28 Cornell Research Foundation, Inc. Ultra-thin semiconductor membranes
US4891091A (en) * 1986-07-14 1990-01-02 Gte Laboratories Incorporated Method of epitaxially growing compound semiconductor materials
JP3047656B2 (ja) * 1993-01-12 2000-05-29 株式会社村田製作所 InSb薄膜の製造方法
US5861069A (en) * 1996-08-31 1999-01-19 Skm Limited Method for forming an indium antimonide layer
FR2915827B1 (fr) * 2007-05-04 2010-06-11 Commissariat Energie Atomique Procede et systeme de lecture d'informations optiques a haute densite.
SG153674A1 (en) * 2007-12-11 2009-07-29 Nanyang Polytechnic A method of doping and apparatus for doping

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2778802A (en) * 1954-04-26 1957-01-22 Battelle Development Corp Intermetallic compounds of groups iii and v metals containing small amounts of nickel, cobalt or iron
NL224894A (nl) * 1957-06-08
US3172778A (en) * 1961-01-03 1965-03-09 Method for producing thin semi- conducting layers of semicon- ductor compounds
US3303067A (en) * 1963-12-26 1967-02-07 Ibm Method of fabricating thin film transistor devices
US3341364A (en) * 1964-07-27 1967-09-12 David A Collins Preparation of thin film indium antimonide from bulk indium antimonide
US3554818A (en) * 1968-04-25 1971-01-12 Avco Corp Indium antimonide infrared detector and process for making the same
US3591429A (en) * 1968-07-25 1971-07-06 Us Navy Sulfur doped recrystallized insb films
US3600237A (en) * 1969-12-17 1971-08-17 Us Navy Controlled nucleation in zone recrystallized insb films
US3898359A (en) * 1974-01-15 1975-08-05 Precision Electronic Component Thin film magneto-resistors and methods of making same
US4080721A (en) * 1975-06-30 1978-03-28 International Business Machines Corporation Fabrication of semiconductor device
JPS5252363A (en) * 1975-10-24 1977-04-27 Hitachi Ltd Production of insb film

Also Published As

Publication number Publication date
DE2812656C2 (de) 1982-07-29
US4177298A (en) 1979-12-04
DE2812656A1 (de) 1978-09-28
NL178377B (nl) 1985-10-01
NL7803102A (nl) 1978-09-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL7614599A (nl) Lijstsamenstel voor het vormen van een raamwerk.
NL187505C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een vlakdrukvorm.
NL174223C (nl) Werkwijze voor het vormen van een filterelement.
NL183869C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een semipermeabel membraan.
NL7801875A (nl) Inrichting voor het aanbrengen van een pakking.
NL186984C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een transistorinrichting.
NL7700521A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een con- servenblik en inrichting voor de uitvoering van deze werkwijze.
NL183130C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een gestel voor een rijwiel.
NL7708157A (nl) Werkwijze voor het monteren van een depper.
NL7613487A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een buig- zame lamellaire tussenlaag.
NL7706000A (nl) Werkwijze voor het hydrolyseren van een glyce- rolester.
NL174128C (nl) Inrichting voor het insteken van een etikettenstrook.
NL186042B (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een hoogdrukplaat.
NL186209C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een fotogalvanisch paneel, alsmede aldus vervaardigd fotogalvanisch paneel.
NL165691C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een decoratieve kunstharsfilm.
NL163534C (nl) Werkwijze voor het bereiden van een kleefmiddel.
NL178377C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een dun indiumantimonide-filmelement.
NL7700090A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een statische menginrichting.
NL7703826A (nl) Inrichting voor het vervaardigen van een samengestelde houder.
NL185661C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een in het bijzonder plaatvormig bouwelement.
NL7701540A (nl) Werkwijze voor het bedrijven van een cid-sensormatrix.
NL184732C (nl) Werkwijze voor het wijzigen van een glasoppervlak.
NL7708965A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een foto- grafische filmbasis.
NL7709411A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een halfge- leiderinrichting.
NL183801C (nl) Werkwijze voor het vormen van een onderaanslag op een ritssluiting.

Legal Events

Date Code Title Description
BC A request for examination has been filed
A85 Still pending on 85-01-01
V1 Lapsed because of non-payment of the annual fee

Effective date: 19951001