NL1023427C2

NL1023427C2 - Mounting bed.

Info

Publication number: NL1023427C2
Application number: NL1023427A
Authority: NL
Inventors: Andries Rijfers; Eric Christiaan Nicolaas Puik; Josephus Antonius Mari Janssen
Original assignee: Tno
Priority date: 2003-05-14
Filing date: 2003-05-14
Publication date: 2004-11-16
Also published as: WO2004101217A1

Description

* - * ** - * *

Titel: Montagebed Gebied van de uitvindingTitle: Assembly bed Field of the invention

De uitvinding betreft een montagebed voor ondersteuning en bevestiging 5 van voor vervaardiging en/of behandeling van producten benodigde modules, welk montagebed een bedlichaam omvat voor het ondersteunen van de modules en bevestigingsmiddelen voor de bevestiging ervan.The invention relates to a mounting bed for supporting and mounting of modules required for manufacturing and / or handling of products, which mounting bed comprises a bed body for supporting the modules and mounting means for mounting thereof.

Achtergrond van de uitvinding 10 Montagebedden kunnen tijdens gebruik in zekere mate deformeren doordat tijdens het vervaardigings- resp. behandelingsproces van de producten de temperatuur in het bedlichaam -dat doorgaans vanwege zijn stijfheid en trillingsvastheid een behoorlijke massa moet hebben- niet overal gelijk is. Waar een montagebed wordt gebruikt als basis van daarop 15 gemonteerde modules voor de vervaardiging resp. behandeling van zeer nauwkeurige componenten of producten, is de mate van deformatie van het montagebed een van betekenis zijnde factor voor de fabrica-genauwkeurigheid.Background of the invention. Mounting beds may deform to a certain extent during use because treatment process of the products the temperature in the bed body - which usually has to have a considerable mass due to its rigidity and vibration resistance - is not the same everywhere. Where a mounting bed is used as the basis of modules mounted thereon for the manufacture resp. treatment of highly accurate components or products, the degree of deformation of the mounting bed is a significant factor for manufacturing accuracy.

20 Samenvatting vein de uitvindingSummary of the invention

De uitvinding beoogt de productienauwkeurigheid te verbeteren door te voorzien in middelen voor temperatuurbeheersing van het bedlichaam. Onder temperatuursbeheersing wordt in dit verband met name verstaan het bewerkstelligen van een zo homogeen mogelijke temperatuur in het 25 gehele bedlichaam.It is an object of the invention to improve production accuracy by providing means for temperature control of the bed body. In this context, temperature control is understood to mean in particular achieving a temperature that is as homogeneous as possible in the entire bed body.

Bij voorkeur -met name daar waar het montagebed deel uitmaakt van een productiestraat voor zeer nauwkeurige componenten of stoffen die worden gefabriceerd in een omgeving van beschermend gas of lucht-30 omvat het bedlichaam een kanaalstelsel dat geschikt is om doorstroomd te worden met een gas, i.c. het beschermende gas.Preferably - particularly where the mounting bed forms part of a production line for highly accurate components or substances that are manufactured in an environment of protective gas or air - the bed body comprises a channel system suitable for being passed through with a gas, in this case the protective gas.

Indien tijdens de vervaardiging en/of behandeling van producten deze producten worden omgeven door een beschermingsgas zoals 35 contaminatievrije lucht, kan het kanaalstelsel geschikt gemaakt zijn voor hetzij de afvoer van dat beschermingsgas of voor de toevoer ervan. Beide opties hebben voor- en nadelen.If during the manufacture and / or treatment of products these products are surrounded by a protective gas such as contamination-free air, the duct system can be made suitable for either the discharge of that protective gas or for its supply. Both options have advantages and disadvantages.

Het kanaalstelsel is bijvoorkeur voorzien van middelen voor optimale 40 uitwisseling van de temperatuur van het bedlichaam en het doorstromende gas. Optimale temperatuur-uitwisseling kan bijvoorbeeld worden bewerkstelligd door het kanaalstelsel te voorzien van oppervlak-vergrotende ribben, holten, etc.The channel system is preferably provided with means for optimum exchange of the temperature of the bed body and the gas flowing through. Optimal temperature exchange can be achieved, for example, by providing the channel system with surface-enlarging ribs, cavities, etc.

45 Door gebruik te maken van de voorgestelde maatregelen wordt het bedlichaam zo homogeen mogelijk op eenzelfde temperatuur gehouden.45 By making use of the proposed measures, the bed body is kept as homogeneous as possible at the same temperature.

1023427 H Hierdoor wordt deformatie, zoals kromtrekken etc., van het montagebed H tegengegaan waardoor de nauwkeurigheid van de vervaardigde of H behandelde producten wordt verbeterd.1023427 H This prevents deformation, such as warping, of the mounting bed H, thereby improving the accuracy of the manufactured or H treated products.

H 5 Door voor de verbetering van de warmtehuishouding van het montagebed gebruik te maken van de luchtstroming die toch al wordt opgewekt ten H behoeve van de bescherming, bijvoorbeeld stofvrij houden van de H omgeving van de producten resp. de voor vervaardiging en/of behandeling van die producten benodigde modules, behoeven geen H 10 aanvullende voorzieningen te worden getroffen.H 5 By making use of the air flow that is already generated for protection purposes, for example to keep the H environment of the products resp. the modules required for the manufacture and / or treatment of those products, no additional provisions need to be made.

Als gevolg van het aanbrengen van het voorgesteld kanaalstelsel in het bedlichaam, zal bovendien materiaal kunnen worden uitgespaard en kan H het montagebed lichter en goedkoper worden. Uiteraard mag dit niet ten H 15 koste gaan van bijv. de stabiliteitseigenschappen van het montagebed.As a result of the provision of the proposed channel system in the bed body, material can moreover be saved and the mounting bed can become lighter and cheaper. Of course, this should not be at the expense of, for example, the stability properties of the mounting bed.

H De oplossing is in principe toepasbaar in alle gevallen waar behoefte is aan een stabiele en nauwkeurige bedconstructie: - meetsystemen; 20 · - nauwkeurige productiemachines; - optische testtafels; - testopstellingen in brede zin.H The solution can in principle be applied in all cases where a stable and accurate bed construction is needed: - measuring systems; 20 · - accurate production machines; - optical test tables; - test setups in a broad sense.

H Met name als de vinding gecombineerd wordt met een contaminatievrij 25 ventilatiesystemen zijn de voordelen groot omdat de luchtstroming dan gecombineerd kan worden met het luchtfiltersysteem waarmee de lucht gezuiverd wordt: - productie van hoognauwkeurige en stofgevoelige producten, H bijvoorbeeld in de semiconductor of microsysteem technologie; 30 toepassingen bij farmaceutische behandelingssystemen tegen bijvoorbeeld kiemen.H In particular if the invention is combined with contamination-free ventilation systems, the advantages are great because the air flow can then be combined with the air filter system with which the air is purified: - production of high-precision and dust-sensitive products, H for example in the semiconductor or microsystem technology; 30 applications in pharmaceutical treatment systems against, for example, germs.

FigurenFigures

Figuur 1 toont een uitvoeringsvoorbeeld van de uitvinding.Figure 1 shows an exemplary embodiment of the invention.

Beschrijving van de figurenDescription of the figures

Figuur 1 toont schematisch een systeem 1 voor de vervaardiging en/of behandeling van zeer nauwkeurige producten, bijvoorbeeld micro- electronische componenten. Het productiesysteem 1 omvat een omkasting 40 2, voorzien van een inspectie- en bedieningsluik 3. Binnen de I omkasting 2 bevindt zich een montagebed, voor het grootste deel I gevormd door een bedlichaam 4. Het bedlichaam 4 wordt ondersteund door I een onderstel 5. Op het bedlichaam 4 is een aantal opeenvolgende I fabricage- en meetmodules 6 bevestigd, die tezamen een productiestraat 45 vormen. In de figuur is slechts één van de modules 6 te zien; de I overige zitten er achter of er voor. De bevestiging en uitlijning van 3 . * de modules 6 op het bedlichaam 4 vergt grote nauwkeurigheid.Figure 1 shows schematically a system 1 for the manufacture and / or treatment of highly accurate products, for example microelectronic components. The production system 1 comprises a casing 40 2, provided with an inspection and operating hatch 3. Inside the casing 2 is a mounting bed, for the most part formed by a bed body 4. The bed body 4 is supported by a chassis 5. A number of consecutive manufacturing and measuring modules 6 are attached to the bed body 4, which together form a production line 45. In the figure only one of the modules 6 can be seen; the I others are behind or in front of it. The confirmation and alignment of 3. * the modules 6 on the bed body 4 require great accuracy.

In de praktijk dissiperen verschillende modules tijdens het productieproces warmte. Als gevolg daarvan is de bovenkant van het 5 bedlichaam 4 warmer dan de onderkant. Bovendien dissiperen niet alle modules 6 evenveel warmte, waardoor ook de temperatuurverdeling aan de bovenzijde van het bedlichaam ongelijk is. Om die reden wordt volgens de uitvinding de toepassing van middelen voor temperatuurbeheersing van het bedlichaam 4 voorgesteld, die bewerkstellingen dat overal in 10 het bedlichaam 4 gelijke temperatuur heerst.In practice, different modules dissipate heat during the production process. As a result, the top of the bed body 4 is warmer than the bottom. Moreover, not all modules 6 dissipate the same amount of heat, so that the temperature distribution at the top of the bed body is also uneven. For this reason, according to the invention, the use of temperature control means of the bed body 4 is proposed, which effects that the same temperature prevails everywhere in the bed body 4.

In de figuur wordt door een aantal pijlen binnen de omkasting 2 voorgesteld dat de productieomgeving, dat wil zeggen de omgeving van de modules 6, wordt omgeven door een beschermingsgas, bijvoorbeeld 15 contaminatievrije lucht, die binnen de omkasting wordt toegevoerd door een luchtbron 7. Van deze luchtstroming kan gebruik wordt gemaakt voor het beheersen van de temperatuur van het bedlichaam 4, namelijk door middel van een kanaalstelsel 8, geschikt om doorstroomd te worden met i.c. de contaminatievrije lucht.In the figure it is represented by a number of arrows within the housing 2 that the production environment, i.e. the environment of the modules 6, is surrounded by a protective gas, for example contamination-free air, which is supplied within the housing by an air source 7. From this air flow can be used to control the temperature of the bed body 4, namely by means of a channel system 8, suitable for being flowed through with the contamination-free air.

2020

Het kanaalstelsel 8 omvat een verzamelkanaal 9 dat ervoor dient dat over de hele lengte van de productiestraat de beschermlucht wordt afgevoerd (in pijlrichting) en wordt toegevoerd aan een "Contamination Control Unit" 10 waar de afgevoerde lucht wordt gezuiverd en hetzij 25 via een niet-getoond kanaal wordt teruggevoerd naar de luchtbron 7, vanwaaruit de lucht weer aan de omgeving van de productiestraat wordt toegevoerd, hetzij naar buiten de omkasting 2 wordt afgevoerd.The channel system 8 comprises a collection channel 9 which serves to ensure that the protective air is discharged (in the direction of the arrow) over the entire length of the production line and is supplied to a "Contamination Control Unit" 10 where the discharged air is purified and either via a non- the channel shown is fed back to the air source 7, from which the air is again supplied to the environment of the production line, or is discharged outside the housing 2.

De "flow" van de beschermingslucht kan ook in omgekeerde richting aan 30 de productiestraat worden langsgevoerd, namelijk vanuit het kanaalstelsel 8, naar boven.The "flow" of the protective air can also be conveyed in the reverse direction to the production line, namely from the channel system 8, upwards.

Eveneens is het mogelijk het montagebed te voorzien van bijvoorbeeld een dubbel kanaalstelsel, waarbij door een deel daarvan de 35 beschermingslucht wordt toegevoerd en door een (gescheiden) ander deel wordt afgevoerd.It is also possible to provide the mounting bed with, for example, a double duct system, the protective air being supplied through a part thereof and discharged by a (separate) other part.

Het kanaalstelsel 8 kan voorzien zijn van koelribben of -holtes die het warmte-uitwisselend oppervlak vergroten en daardoor optimale 40 uitwisseling van de temperatuur van het bedlichaam en de doorstromende lucht bewerkstellingen.The channel system 8 can be provided with cooling ribs or cavities which increase the heat-exchanging surface and thereby effect optimum exchange of the temperature of the bed body and the air flowing through.

1 η o Λ1 η o Λ

Claims

A mounting bed for supporting and fixing modules (6) required for manufacturing H and / or treatment of products, which mounting bed H comprises a bed body (4) for supporting the modules, characterized by means for temperature control of the bed body.

Assembly bed according to claim 1, wherein the bed body comprises an H channel system (8) suitable for being flowed through with an H gas. H 10

Assembly bed as claimed in claim 2, wherein during the manufacture H and / or treatment of the products these products are surrounded by H a protective gas and the duct system is suitable for discharging H that protective gas.

Assembly bed as claimed in claim 2, wherein during the production H and / or treatment of the products these products are surrounded by H a protective gas and the duct system is suitable for supplying said protective gas.

5. Assembly bed as claimed in claim 2, wherein during the manufacture H and / or treatment of the products these products are surrounded by a protective gas and the duct system is suitable for supplying and discharging said protective gas.

Assembly bed according to claim 2, wherein the channel system is provided with means for optimum exchange of the temperature of the bed body and the gas flowing through.

System (1) for manufacturing and / or handling products, H comprising a mounting bed according to claim 1.

8. System as claimed in claim 7, comprising means (2,7) for surrounding the products and / or modules (6) by a protective gas, wherein the bed body (4) comprises a channel system (8) suitable for discharge and / or supply of that protective gas. I 1023427