NL1016732C1 - Micromechanical optical switch, contains mechanically active component connectable to drive mechanism - Google Patents

Micromechanical optical switch, contains mechanically active component connectable to drive mechanism Download PDF

Info

Publication number
NL1016732C1
NL1016732C1 NL1016732A NL1016732A NL1016732C1 NL 1016732 C1 NL1016732 C1 NL 1016732C1 NL 1016732 A NL1016732 A NL 1016732A NL 1016732 A NL1016732 A NL 1016732A NL 1016732 C1 NL1016732 C1 NL 1016732C1
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
passive
optical
active
optical element
foregoing
Prior art date
Application number
NL1016732A
Other languages
Dutch (nl)
Inventor
Gerardus Johannes Burger
Original Assignee
Tmp Total Micro Products B V
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tmp Total Micro Products B V filed Critical Tmp Total Micro Products B V
Priority to NL1016732A priority Critical patent/NL1016732C1/en
Application granted granted Critical
Publication of NL1016732C1 publication Critical patent/NL1016732C1/en

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/26—Optical coupling means
    • G02B6/35—Optical coupling means having switching means
    • G02B6/3502—Optical coupling means having switching means involving direct waveguide displacement, e.g. cantilever type waveguide displacement involving waveguide bending, or displacing an interposed waveguide between stationary waveguides
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/26—Optical coupling means
    • G02B6/264—Optical coupling means with optical elements between opposed fibre ends which perform a function other than beam splitting
    • G02B6/266—Optical coupling means with optical elements between opposed fibre ends which perform a function other than beam splitting the optical element being an attenuator
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/26—Optical coupling means
    • G02B6/35—Optical coupling means having switching means
    • G02B6/354—Switching arrangements, i.e. number of input/output ports and interconnection types
    • G02B6/3544—2D constellations, i.e. with switching elements and switched beams located in a plane
    • G02B6/3546—NxM switch, i.e. a regular array of switches elements of matrix type constellation
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/26—Optical coupling means
    • G02B6/35—Optical coupling means having switching means
    • G02B6/3564—Mechanical details of the actuation mechanism associated with the moving element or mounting mechanism details
    • G02B6/3568—Mechanical details of the actuation mechanism associated with the moving element or mounting mechanism details characterised by the actuating force
    • G02B6/357—Electrostatic force

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)

Abstract

The switch (1) contains at least one mechanically active movable component, a drive mechanism for moving the active component, and a coupling mechanism for temporarily connecting the drive mechanism to the active component. The switch can be connected to at least one light conductor and contains at least one mechanically passive movable component, and at least one optical component connected to the passive component. An Independent claim is also included for a method for switching electromagnetic signals using this device, in which the passive component is temporarily connected to the active component and introduced into a discrete position, an electromagnetic signal from the light conductor is guided to the optical component, and an electromagnetic signal from the optical component is relayed to a light conductor connected to the switch.

Description

Micro-elektromechanische optische schakelaarMicro-electromechanical optical switch

De uitvinding heeft betrekking op een inrichting voor het schakelen van elektromagnetische signalen op welke inrichting ten minste één lichtgeleider kan worden 5 aangesloten en welke inrichting omvat.The invention relates to a device for switching electromagnetic signals to which device at least one light conductor can be connected and which device comprises.

- ten minste één beweegbaar mechanisch passief element, en ten minste één met het passief element verbonden optisch element.- at least one movable mechanical passive element, and at least one optical element connected to the passive element.

De uitvinding heeft tevens betrekking op een werkwijze voor het schakelen van elektromagnetische signalen middels zo een inrichting. Voorts betreft de uitvinding een 10 werkwijze voor het vervaardigen van zo een inrichting.The invention also relates to a method for switching electromagnetic signals by means of such a device. The invention further relates to a method for manufacturing such a device.

Bekend zijn micromechanische optische schakelaars waarin één of meer lichtbundels, afkomstig van een aantal inkomende glasvezels, gecontroleerd worden afgebogen en selectief worden ingekoppeld in een aantal uitgaande glasvezels.Micromechanical optical switches are known in which one or more light beams from a number of incoming glass fibers are controlled and deflected and selectively coupled into a number of outgoing glass fibers.

15 Daartoe kunnen in de banen van de lichtbundels wegklapbare reflecterende elementen zijn geplaatst (bijvoorbeeld US 5841917, US 5960132, US 5995688).To that end, foldable reflective elements can be placed in the paths of the light beams (for example US 5841917, US 5960132, US 5995688).

Ook zijn bekend schakelaars waarin een inkomende glasvezel kan worden verplaatst ten opzichte van de uitgaande glasvezels (bijvoorbeeld US 5214727, US 5864643).Switches are also known in which an incoming glass fiber can be displaced relative to the outgoing glass fibers (for example US 5214727, US 5864643).

Voor beide typen schakelaars zijn de mogelijkheden van schakelen beperkt en elk 20 beweegbaar mechanisch element heeft een aparte mechanische aandrijving.For both types of switches the possibilities of switching are limited and each movable mechanical element has a separate mechanical drive.

Doel van de onderhavige uitvinding is het verschaffen van een inrichting voor het schakelen van een aantal elektromagnetische signalen, zonder de bovengenoemde nadelen van micromechanische optische schakelaars volgens de stand der techniek.The object of the present invention is to provide a device for switching a number of electromagnetic signals, without the above-mentioned disadvantages of micromechanical optical switches according to the prior art.

25 De uitvinding verschaft daartoe een inrichting voor het schakelen van elektromagnetische signalen op welke inrichting ten minste één lichtgeleider kan worden aangesloten en welke inrichting omvat: - ten minste één beweegbaar mechanisch passief element, en ten minste één met het passief element verbonden optisch element, 30 met het kenmerk dat de inrichting is voorzien van: - ten minste één beweegbaar mechanisch actief element; - aandrijfmiddelen voor het bewegen van het actief element, en 7 2*t 2 koppelingsmiddelen voor het koppelen van het passief element met het actief element.The invention provides for this purpose a device for switching electromagnetic signals to which device at least one light conductor can be connected and which device comprises: - at least one movable mechanical passive element, and at least one optical element connected to the passive element, characterized in that the device is provided with: - at least one movable mechanically active element; - drive means for moving the active element, and coupling means for coupling the passive element to the active element.

De termen ‘optisch’ en ‘licht’ omvatten in dit verband alle elektromagnetische verschijnselen en sluiten derhalve frequenties buiten het zichtbare gebied niet uit. Het gaat 5 dan in het bijzonder om de frequentiegebieden die gangbaar zijn bij optische telecommunicatie. De op de inrichting aan te sluiten lichtgeleiders zijn in het bijzonder glasvezels.The terms "optical" and "light" in this context include all electromagnetic phenomena and therefore do not exclude frequencies outside the visible range. This then concerns in particular the frequency ranges that are customary in optical telecommunication. The light guides to be connected to the device are in particular glass fibers.

Het voordeel van een dergelijke inrichting is de mogelijkheid meerdere optische elementen te bewegen middels een enkel beweegbaar mechanisch actief element. Door translatie, of 10 eventueel rotatie, van dit actief element en door het naar believen tijdelijk koppelen van één of meerdere beweegbare mechanische passieve elementen, kunnen de posities van deze passieve elementen ingesteld worden, en daarmee de posities van de met deze passieve elementen verbonden optische elementen. Zo kunnen meerdere optische signalen gelijktijdig worden geschakeld. De passieve en de actieve elementen en andere 15 mechanische onderdelen kunnen integraal worden gevormd uit een substraat middels abrasieve technieken of etstechnieken, al dan niet in combinatie met lithografische technieken. Voordeel van het gebruik van deze micromechanische technieken is de mogelijkheid met grote precisie een groot aantal elementen op een klein oppervlak te realiseren. Daarmee is een grote schakeldichtheid te realiseren. Bij het plaatsen van de 20 mechanische en optische elementen in meerdere vlakken wordt een optische schakelaar verkregen waarvan de schakelmogelijkheden in principe onbeperkt zijn.The advantage of such a device is the possibility of moving a plurality of optical elements by means of a single movably mechanically active element. By translation, or possibly rotation, of this active element and by temporarily coupling one or more movable mechanical passive elements as desired, the positions of these passive elements can be adjusted, and thus the positions of the optical elements connected to these passive elements. elements. This way, multiple optical signals can be switched simultaneously. The passive and the active elements and other mechanical parts can be integrally formed from a substrate by abrasive techniques or etching techniques, whether or not in combination with lithographic techniques. The advantage of using these micromechanical techniques is the possibility of realizing a large number of elements on a small surface with great precision. A large switching density can be achieved with this. When the mechanical and optical elements are placed in several planes, an optical switch is obtained whose switching possibilities are in principle unlimited.

In een voorkeursuitvoering van een inrichting volgens de uitvinding omvat het optisch element een lichtgeleidend element.In a preferred embodiment of a device according to the invention, the optical element comprises a light-conducting element.

25 Dit lichtgeleidend element kan bijvoorbeeld een vlakke golfgeleider strook zijn die is aangebracht op een mechanisch passief element. De vlakke golfgeleider strook kan dan samen met het passief element worden verplaatst naar een gewenste positie.This light-conducting element can for instance be a flat waveguide strip which is arranged on a mechanical passive element. The flat waveguide strip can then be moved to a desired position together with the passive element.

Het optisch element kan ook een reffactief element zijn zoals een enkelvoudige lens, of een DOE (diffractief optisch element). Door verplaatsen of roteren van de lens of het DOE kan 30 dan een lichtbundel afgebogen worden.The optical element can also be a refractive element such as a single lens, or a DOE (diffractive optical element). A light beam can then be deflected by displacing or rotating the lens or the DOE.

In een andere uitvoeringsvorm omvat het optisch element een reflectief element.In another embodiment, the optical element comprises a reflective element.

33

Dit kan bijvoorbeeld een vlakke, bolle of holle spiegel zijn. Door bijvoorbeeld wegklappen van de spiegel of juist plaatsen van de spiegel in een lichtbaan kan een lichtbundel doorgelaten, afgebogen of tegengehouden worden.This can for example be a flat, convex or concave mirror. By, for example, folding away the mirror or, conversely, placing the mirror in a light path, a light beam can be transmitted, deflected or retained.

5 Bij voorkeur omvat het optisch element een dunne laag.Preferably the optical element comprises a thin layer.

Deze dunne laag kan bijvoorbeeld onderdeel uitmaken van een vlakke golfgeleider of een DOE welke is opgebouwd uit een aantal dunne lagen. Voordeel is de mogelijkheid van vergaande integratiemogelijkheden bij het ontwerp en de productie van de inrichting.This thin layer can for instance form part of a flat waveguide or a DOE which is composed of a number of thin layers. The advantage is the possibility of extensive integration possibilities in the design and production of the device.

10 Bij voorkeur omvat het passief element een eenzijdig ingeklemde balk, en omvat het actief element een lateraal beweegbare plaat.The passive element preferably comprises a beam clamped on one side, and the active element comprises a laterally movable plate.

De plaat kan verbonden zijn met een ondergrond middels een aantal flexibele mechanische constructiedelen, zoals buigzame balken. Dergelijke balken en platen zijn relatief eenvoudig te maken met micromechanische technieken. De plaat kan bijvoorbeeld middels 15 elektrostatische of magnetische krachten worden aangedreven, of volgens een piëzo-elektrisch principe, met het voordeel dat integratie van de benodigde elektroden, of magnetische of piëzo-elektrische lagen, op hetzelfde substraat mogelijk is.The plate can be connected to a substrate by means of a number of flexible mechanical structural parts, such as flexible beams. Such beams and plates are relatively easy to make with micromechanical techniques. The plate can for instance be driven by electrostatic or magnetic forces, or according to a piezoelectric principle, with the advantage that integration of the required electrodes, or magnetic or piezoelectric layers, on the same substrate is possible.

In nog een andere voorkeursuitvoering van een inrichting volgens de uitvinding is 20 de inrichting voorzien van plaatsbepalende middelen voor het vastleggen van ten minste één discrete positie van een passief element.In yet another preferred embodiment of a device according to the invention, the device is provided with location-determining means for fixing at least one discrete position of a passive element.

Een passief element kan dan na loskoppelen van het actief element in een goed gedefinieerde positie worden vastgehouden.A passive element can then be held in a well-defined position after disconnecting the active element.

25 De uitvinding verschaft tevens een werkwijze voor het schakelen van elektromagnetische signalen middels een inrichting volgens de uitvinding, met het kenmerk, dat: - het actief element middels de aandrijfmiddelen wordt bewogen, en - de werkwijze ten minste één van de volgende stappen omvat: 30 - het passief element wordt tijdelijk gekoppeld met het actief element en naar een discrete positie gebracht; - een van een op de inrichting aangesloten lichtgeleider afkomstig elektromagnetisch signaal wordt geleid naar het optisch element, en 4 - een van het optisch element afkomstig elektromagnetisch signaal wordt ingekoppeld in een op de inrichting aangesloten lichtgeleider.The invention also provides a method for switching electromagnetic signals by means of a device according to the invention, characterized in that: - the active element is moved by means of the drive means, and - the method comprises at least one of the following steps: - the passive element is temporarily coupled to the active element and brought to a discrete position; - an electromagnetic signal coming from a light conductor connected to the device is conducted to the optical element, and 4 - an electromagnetic signal coming from the optical element is coupled into a light conductor connected to the device.

Zo kunnen een aantal optische signalen geschakeld worden.A number of optical signals can thus be switched.

Bij voorkeur wordt het passief element na gebracht te zijn naar een discrete positie, 5 in die discrete positie gehouden middels plaatsbepalende middelen.Preferably the passive element after being brought to a discrete position is kept in that discrete position by means of locating means.

Het passief element kan dan in een goed gedefinieerde gewenste positie blijven zonder dat daarvoor kracht behoeft te worden uitgeoefend.The passive element can then remain in a well-defined desired position without having to apply force.

Bij voorkeur wordt het actief element in mechanische resonantie gebracht.The active element is preferably brought into mechanical resonance.

De benodigde aandrijfenergie en de verliezen zijn dan minimaal; de beweging van het 10 actieve mechanisch element is goed controleerbaar, en het is mogelijk een groot aantal optische signalen snel te schakelen.The required drive energy and the losses are then minimal; the movement of the active mechanical element is easily controllable, and it is possible to switch a large number of optical signals quickly.

De uitvinding verschaft tevens een werkwijze voor vervaardigen van een inrichting volgens de uitvinding, met het kenmerk, dat ten minste één mechanisch element wordt 15 gevormd uit een substraat middels een micromechanische techniek.The invention also provides a method for manufacturing a device according to the invention, characterized in that at least one mechanical element is formed from a substrate by means of a micro-mechanical technique.

Voordeel is de mogelijkheid met grote precisie een groot aantal elementen op een klein oppervlak te realiseren. Onder micromechanische techniek vallen alle in het microtechnologisch vakgebied, ook wel ‘microsysteemtechnologie’ geheten, gangbare technieken als bijvoorbeeld nat chemisch etsen, ‘reactive ion etching’, ‘LIGA’ en 20 ‘sacrificial layer etching’, al dan niet in combinatie met een lithografische techniek.The advantage is the possibility of realizing a large number of elements on a small surface with great precision. Micromechanical technology includes all in the micro technology field, also known as 'microsystem technology', common techniques such as wet chemical etching, 'reactive ion etching', 'LIGA' and 'sacrificial layer etching', whether or not in combination with a lithographic Technic.

Indien het optisch element een dunne laag omvat, wordt de dunne laag bij voorkeur aangebracht middels een dunne-film techniek.If the optical element comprises a thin layer, the thin layer is preferably applied by a thin film technique.

Voordeel is de mogelijkheid van vergaande integratiemogelijkheden bij het ontwerp en de productie van de optische schakelaar. Onder dunne-film techniek vallen alle in het 25 microtechnologisch vakgebied, ook wel ‘microsysteemtechnologie’ geheten, gangbare technieken als bijvoorbeeld opdampen, sputteren, oxideren, nitreren, implanteren of ‘chemical vapour deposition’.The advantage is the possibility of extensive integration possibilities in the design and production of the optical switch. Thin-film technology includes all micro-technology, also known as "microsystem technology", common techniques such as vapor deposition, sputtering, oxidation, nitration, implantation or "chemical vapor deposition."

De uitvinding wordt in het navolgende toegelicht aan de hand van, maar niet 30 beperkt tot, een in de figuren weergegeven voorkeursuitvoering.The invention is explained below with reference to, but not limited to, a preferred embodiment shown in the figures.

Fig. la toont een bovenaanzicht op een inrichting volgens de uitvinding.FIG. 1a shows a top view of a device according to the invention.

Fig. lb toont een doorsnede door het vlak A-A van de inrichting in Fig. la.FIG. 1b shows a section through the plane A-A of the device in FIG. la.

-t ί"Ί '< U ! ' : ~ -¾ 5-t ί "Ί '<You!": ~ -¾ 5

Fig. 2a toont een detail van een bovenaanzicht op een inrichting volgens de uitvinding.FIG. 2a shows a detail of a top view of a device according to the invention.

Fig. 2b toont een doorsnede door het vlak B-B van de inrichting in Fig. 2a.FIG. 2b shows a section through the plane B-B of the device in FIG. 2a.

5 De optische schakelaar 1 in Fig. 1 omvat verbindingsmiddelen 2 voor het aansluiten van een aantal glasvezels 3. De verbindingsmiddelen 2 kunnen bijvoorbeeld bestaan uit geëtste V-groeven of uit lijmverbindingen. Licht afkomstig van één van de glasvezels 3 wordt ingekoppeld in één van de lichtgeleidende stroken 4 die zijn aangebracht op de ondergrond en op de eenzijdig ingeklemde balkjes 5. De balkjes 5 kunnen met behulp van 10 de daartoe voorziene elektroden 6 middels elektrostatische krachten tijdelijk gekoppeld worden met een plaat 7. De plaat 7 is middels een aantal flexibele balken 8, bijvoorbeeld in een kamstructuur, opgehangen. De plaat 7 kan lateraal worden bewogen middels elektrostatische krachten. Daartoe zijn elektroden 9 aangebracht.The optical switch 1 in FIG. 1 comprises connecting means 2 for connecting a number of glass fibers 3. The connecting means 2 may, for example, consist of etched V-grooves or of glue connections. Light from one of the glass fibers 3 is coupled into one of the light-conducting strips 4 which are arranged on the substrate and on the one-sidedly clamped beams 5. The beams 5 can be temporarily coupled by means of the electrodes 6 provided for this purpose by means of electrostatic forces with a plate 7. The plate 7 is suspended by means of a number of flexible beams 8, for example in a comb structure. The plate 7 can be moved laterally by electrostatic forces. Electrodes 9 are provided for this purpose.

Fig. 2 toont een detail van een voorkeursuitvoering van een optische schakelaar 15 volgens de uitvinding met een eenzijdig ingeklemd balkje 5 met daarop aangebracht een lichtgeleidende strook 4. Het balkje 5 wordt in een discrete positie gehouden door één van de daartoe aangebrachte nokjes 10. Door het balkje 5 tijdelijk te koppelen met de bewegende plaat 7 kan het in een andere gewenste discrete positie worden gebracht.FIG. 2 shows a detail of a preferred embodiment of an optical switch 15 according to the invention with a one-sided clamped beam with a light-conducting strip 4 mounted thereon. The beam 5 is held in a discrete position by one of the tabs 10 provided for this purpose. 5 to be temporarily coupled to the moving plate 7, it can be brought to another desired discrete position.

Met een dergelijke inrichting is het mogelijk een groot aantal binnenkomende optische 20 signalen te schakelen waarbij het aantal benodigde mechanische aandrijvingen beperkt is omdat meerdere balkjes middels een enkele beweegbare plaat kunnen worden verplaatst van de ene discrete positie naar de andere.With such a device it is possible to switch a large number of incoming optical signals, the number of required mechanical drives being limited because a plurality of bars can be moved from one discrete position to the other by means of a single movable plate.

Verder noemen we nog, als niet beperkende voorbeelden, het gebruik van een 25 inrichting of werkwijze volgens de uitvinding in computers, telecommunicatieapparatuur, optische afbeeldingsapparatuur, ‘variable optical attenuators’ en ‘optical cross connects’.Furthermore, we mention, as non-limiting examples, the use of a device or method according to the invention in computers, telecommunication equipment, optical imaging equipment, "variable optical attenuators" and "optical cross connects".

Claims (14)

1. Inrichting voor het schakelen van elektromagnetische signalen op welke inrichting 5 ten minste één lichtgeleider kan worden aangesloten en welke inrichting omvat: - ten minste één beweegbaar mechanisch passief element, en - ten minste één met het passief element verbonden optisch element, met het kenmerk, dat de inrichting is voorzien van: - ten minste één beweegbaar mechanisch actief element; 10. aandrijfmiddelen voor het bewegen van het actief element, en - koppelingsmiddelen voor het tijdelijk koppelen van het passief element met het actief element.Device for switching electromagnetic signals to which device 5 at least one light conductor can be connected and which device comprises: - at least one movable mechanical passive element, and - at least one optical element connected to the passive element, characterized in that the device is provided with: - at least one movable mechanically active element; 10. drive means for moving the active element, and - coupling means for temporarily coupling the passive element with the active element. 2. Inrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat het optisch element een lichtgeleidend element omvat.Device according to claim 1, characterized in that the optical element comprises a light-conducting element. 3. Inrichting volgens conclusie 1 of 2, met het kenmerk, dat het optisch element een reffactief element omvat.Device according to claim 1 or 2, characterized in that the optical element comprises a reflexive element. 4. Inrichting volgens één der conclusies 1-3, met het kenmerk, dat het optisch element een diffractief element omvat.Device as claimed in any of the claims 1-3, characterized in that the optical element comprises a diffractive element. 5. Inrichting volgens één der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat het 20 optisch element een reflectief element omvat.5. Device as claimed in any of the foregoing claims, characterized in that the optical element comprises a reflective element. 6. Inrichting volgens één der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat het optisch element een dunne laag omvat.6. Device as claimed in any of the foregoing claims, characterized in that the optical element comprises a thin layer. 7. Inrichting volgens één der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat het passief element een eenzijdig ingeklemde balk omvat.Device as claimed in any of the foregoing claims, characterized in that the passive element comprises a beam clamped on one side. 8. Inrichting volgens één der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat het actief element een lateraal beweegbare plaat omvat.Device as claimed in any of the foregoing claims, characterized in that the active element comprises a laterally movable plate. 9. Inrichting volgens één der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat de inrichting tevens is voorzien van plaatsbepalende middelen voor het vastleggen van ten minste één discrete positie van het passief element. 30Device as claimed in any of the foregoing claims, characterized in that the device is also provided with locating means for determining at least one discrete position of the passive element. 30 10. Werkwijze voor het schakelen van elektromagnetische signalen middels een inrichting volgens één der conclusies 1-9, met het kenmerk, dat: - het actief element middels de aandrijfiniddelen wordt bewogen, en - de werkwijze ten minste één van de volgende stappen omvat: 5. het passief element wordt tijdelijk gekoppeld met het actief element en naar een discrete positie gebracht; - een van een op de inrichting aangesloten lichtgeleider afkomstig elektromagnetisch signaal wordt geleid naar het optisch element, en - een van het optisch element afkomstig elektromagnetisch signaal wordt 10 ingekoppeld in een op de inrichting aangesloten lichtgeleider.10. Method for switching electromagnetic signals by means of a device as claimed in any of the claims 1-9, characterized in that: - the active element is moved by means of the drive means, and - the method comprises at least one of the following steps: the passive element is temporarily coupled to the active element and brought to a discrete position; - an electromagnetic signal coming from a light conductor connected to the device is conducted to the optical element, and - an electromagnetic signal coming from the optical element is coupled into a light conductor connected to the device. 11. Werkwijze voor het schakelen van elektromagnetische signalen middels een inrichting volgens conclusie 9, met het kenmerk, dat het passief element na gebracht te zijn naar een discrete positie, in die discrete positie wordt gehouden middels de plaatsbepalende middelen.A method for switching electromagnetic signals by means of a device according to claim 9, characterized in that the passive element, after being moved to a discrete position, is held in that discrete position by means of the locating means. 12. Werkwijze volgens conclusie 10 of 11, met het kenmerk, dat het actief element in mechanische resonantie wordt gebracht.Method according to claim 10 or 11, characterized in that the active element is brought into mechanical resonance. 13. Werkwijze voor het vervaardigen van een inrichting volgens één der conclusies 1-9, met het kenmerk, dat ten minste één mechanisch element wordt gevormd uit een substraat middels een micromechanische techniek.A method for manufacturing a device according to any one of claims 1-9, characterized in that at least one mechanical element is formed from a substrate by a micromechanical technique. 14. Werkwijze voor het vervaardigen van een inrichting volgens conclusie 6, met het kenmerk, dat de dunne laag wordt aangebracht middels een dunne-film techniek.A method for manufacturing a device according to claim 6, characterized in that the thin layer is applied by a thin film technique.
NL1016732A 2000-11-29 2000-11-29 Micromechanical optical switch, contains mechanically active component connectable to drive mechanism NL1016732C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL1016732A NL1016732C1 (en) 2000-11-29 2000-11-29 Micromechanical optical switch, contains mechanically active component connectable to drive mechanism

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL1016732 2000-11-29
NL1016732A NL1016732C1 (en) 2000-11-29 2000-11-29 Micromechanical optical switch, contains mechanically active component connectable to drive mechanism

Publications (1)

Publication Number Publication Date
NL1016732C1 true NL1016732C1 (en) 2002-05-31

Family

ID=19772482

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL1016732A NL1016732C1 (en) 2000-11-29 2000-11-29 Micromechanical optical switch, contains mechanically active component connectable to drive mechanism

Country Status (1)

Country Link
NL (1) NL1016732C1 (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6498870B1 (en) Micromachined optomechanical switches
US6535663B1 (en) Microelectromechanical device with moving element
US6859580B2 (en) Systems and methods for overcoming stiction using a lever
US7030537B2 (en) Movable MEMS-based noncontacting device
US6856068B2 (en) Systems and methods for overcoming stiction
Juan et al. High-aspect-ratio Si vertical micromirror arrays for optical switching
US6778304B1 (en) Bistable micromirror with contactless stops
US20030044106A1 (en) Mems element having perpendicular portion formed from substrate
US6614581B2 (en) Methods and apparatus for providing a multi-stop micromirror
Fujita et al. Optical mems
US20040022482A1 (en) Mem device
NL1016732C1 (en) Micromechanical optical switch, contains mechanically active component connectable to drive mechanism
Robinson MEMS technology-micromachines enabling the" all optical network"
US6771850B1 (en) Article comprising a MEMS device and method therefor
Biswas et al. MEMS‐based Optical Switches
US6788843B2 (en) Optical crossconnect and mirror systems
Fujita MEMS/MOEMS application to optical communication
JP2003523833A (en) Micro-electromechanical device with moving elements
Lee et al. Feasibility study of self-assembly mechanism for variable optical attenuator
Guerre et al. Fast 10-µs Microelectromechanical Optical Switch Inside a Planar Hollow Waveguide (PHW)
Neukermans MEMS devices for all optical networks
Wu et al. Free-space optical MEMS
Patterson et al. Recent advances in optical MEMS devices and systems
Toshiyoshi et al. Micro optical scanners of photoresist reflow lens on MEMS xy-stage

Legal Events

Date Code Title Description
VD1 Lapsed due to non-payment of the annual fee

Effective date: 20050601