NL1015906C1 - Contact-free measurement of high temperatures - Google Patents
Contact-free measurement of high temperatures Download PDFInfo
- Publication number
- NL1015906C1 NL1015906C1 NL1015906A NL1015906A NL1015906C1 NL 1015906 C1 NL1015906 C1 NL 1015906C1 NL 1015906 A NL1015906 A NL 1015906A NL 1015906 A NL1015906 A NL 1015906A NL 1015906 C1 NL1015906 C1 NL 1015906C1
- Authority
- NL
- Netherlands
- Prior art keywords
- temperature
- medium
- substrate
- measuring
- value
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01K7/00—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements
- G01K7/34—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using capacitative elements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01K1/00—Details of thermometers not specially adapted for particular types of thermometer
- G01K1/02—Means for indicating or recording specially adapted for thermometers
- G01K1/024—Means for indicating or recording specially adapted for thermometers for remote indication
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
Abstract
Description
DRAADLOZE TEMPERATUURMETING EN MEETELEMENT DAARVOORWIRELESS TEMPERATURE MEASUREMENT AND MEASUREMENT ELEMENT FOR THIS
De uitvinding betreft een werkwijze voor het contactloos, op afstand meten van de temperatuur van een medium, met behulp van ten minste één meetelement dat een 5 resonantiekring omvat waarin ten minste één elektrische condensator met een temperatuursafhankelijke capaciteitswaarde is opgenomen, en waarbij gebruik wordt gemaakt van een meettoestel met een zender/ontvanger-gedeelte en een zoekspoel. De uitvinding betreft verder een werkwijze voor de vervaardiging van een meetelement voor gebruik bij de bovengenoemde werkwijze.The invention relates to a method for contactless, remote measuring of the temperature of a medium, with the aid of at least one measuring element comprising a resonance circuit in which at least one electric capacitor with a temperature-dependent capacitance value is included, and wherein use is made of a measuring device with a transmitter / receiver section and a search coil. The invention further relates to a method for the manufacture of a measuring element for use in the above-mentioned method.
10 Bekend zijn de volgende basistypen van klassieke instrumenten voor temperatuurmeting: uitzettingsthermometers (gasthermometer, vloeistofthermometer, metasalthermometer); elektrische thermometers (weerstandsthermometer, thermo-element), en stralingsthermometers (pyrometer). In bepaalde gevallen voldoen deze klassieke thermometers niet of slecht, bijvoorbeeld bij de bepaling van het temperatuursverloop in 15 een medium zoals uithardende lijm of betonmortel, of bij de bepaling van de temperatuur op plaatsen die moeilijk of niet toegankelijk zijn zoals bij het meten van de temperatuursverdeling in isolatiemateriaal in bouwkundige constructies. Indien er geen fysiek contact met het te meten medium mogelijk is, zijn uitzettingsthermometers of elektrische thermometers niet bruikbaar. Als er geen zichtcontact is, kunnen ook geen 20 stralingsthermometers worden toegepast. In dergelijke gevallen kan men, in of op het te meten medium, een meetelement plaatsen met een temperatuursafhankelijke eigenschap en een daarmee samenhangende parameter op afstand ‘uitlezen’ met daarvoor geschikte apparatuur.10 The following basic types of classical instruments for temperature measurement are known: expansion thermometers (gas thermometer, liquid thermometer, metasal thermometer); electric thermometers (resistance thermometer, thermo-element), and radiation thermometers (pyrometer). In certain cases these conventional thermometers are not satisfactory or poor, for example when determining the temperature variation in a medium such as hardening glue or concrete mortar, or when determining the temperature in places that are difficult or inaccessible such as when measuring the temperature distribution in insulation material in structural constructions. If physical contact with the medium to be measured is not possible, expansion thermometers or electric thermometers cannot be used. If there is no visual contact, no radiation thermometers can be used either. In such cases, a measuring element with a temperature-dependent property and a related parameter can be "read out" in or on the medium to be measured with suitable equipment.
Bekend zijn elektronische meetelementen die een elektromagnetisch signaal, met 25 informatie over de plaatselijke temperatuur, uitzenden. Deze meetelementen bevatten een zender en een elektrische energiebron. Daarnaast zijn er zogenaamde ‘transponders’ die door een van buiten komend elektromagnetisch signaal worden geactiveerd en informatie uitwisselen met daartoe geschikte apparatuur.Electronic measuring elements are known which emit an electromagnetic signal with information about the local temperature. These measuring elements contain a transmitter and an electrical energy source. In addition, there are so-called "transponders" that are activated by an external electromagnetic signal and exchange information with suitable equipment.
‘Transponders’ en meetelementen met zenders zijn relatief duur, en daarom minder 30 geschikt voor toepassingen waarbij het meetelement ‘verloren’ is of in situaties waarbij een groot aantal meetelementen moet worden ingezet. Verder zijn ze niet bestand tegen temperaturen boven ongeveer 150°C, omdat ze actieve elektrische componenten bevatten"Transponders" and measuring elements with transmitters are relatively expensive, and therefore less suitable for applications where the measuring element is "lost" or in situations where a large number of measuring elements must be used. Furthermore, they are not resistant to temperatures above about 150 ° C, because they contain active electrical components
4 A4 A
' ; 2 waarvan de gebruikte halfgeleidermaterialen bij hogere temperaturen degraderen, en zij kunnen derhalve niet gebruikt worden bij temperaturen boven ongeveer 150°C."; 2 whose semiconductor materials used degrade at higher temperatures, and therefore cannot be used at temperatures above about 150 ° C.
Met deze uitvinding wordt beoogd een werkwijze te verschaffen voor het contactloos, op afstand meten van temperatuur, gebruik makend van één of meerdere 5 meetelementen die goedkoop, klein en onderhoudsvrij zijn en geschikt zijn voor gebruik bij hogere temperaturen.The object of the present invention is to provide a method for contactless, remote measuring of temperature, using one or more measuring elements that are inexpensive, small and maintenance-free and are suitable for use at higher temperatures.
De uitvinding verschaft daartoe een werkwijze voor het contactloos, op afstand meten van de temperatuur van een medium, met behulp van ten minste één meetelement dat een resonantiekring omvat waarin ten minste één elektrische condensator met een 10 temperatuursafhankelijke capaciteitswaarde is opgenomen, en waarbij gebruik wordt gemaakt van een meettoestel met een zender/ontvanger-gedeelte en een zoekspoel, omvattende de stappen: A. het in thermisch contact brengen van de elektrische condensator met het medium; B. het inductief laten wisselwerken van de zoekspoel met de resonantiekring; 15 C. het bepalen van een waarde van de resonantiefrequentie van de resonantiekring, en D. het afleiden van een waarde voor de temperatuur uit de in stap C bepaalde waarde. Voordeel van een dergelijke werkwijze is de mogelijkheid de temperatuur van een medium te bepalen ook als er geen fysiek contact of zichtcontact mogelijk is. Met medium wordt hier bedoeld een, al dan niet homogeen, vast lichaam of een vloeibaar of gasvormig 20 materiaal.To this end the invention provides a method for contactless, remote measuring of the temperature of a medium, with the aid of at least one measuring element comprising a resonance circuit in which at least one electric capacitor with a temperature-dependent capacitance value is included, and wherein use is made of of a measuring device with a transmitter / receiver portion and a search coil, comprising the steps of: A. bringing the electric capacitor into thermal contact with the medium; B. allowing the search coil to interact inductively with the resonant circuit; C. determining a value of the resonance frequency of the resonance circuit, and D. deriving a value for the temperature from the value determined in step C. The advantage of such a method is the possibility to determine the temperature of a medium even if no physical contact or visual contact is possible. With medium is here meant a, whether or not homogeneous, solid body or a liquid or gaseous material.
In een voorkeurswerkwijze geschiedt in stap A het in thermisch contact brengen van de elektrische condensator met het medium door de elektrische condensator integraal op te nemen in het medium. Bij het opnemen van meerdere meetelementen verdeeld over het medium, is het mogelijk een ruimtelijke temperatuursverdeling te bepalen.In a preferred method, in step A, the electrical capacitor is brought into thermal contact with the medium by integrating the electrical capacitor integrally into the medium. When recording several measuring elements distributed over the medium, it is possible to determine a spatial temperature distribution.
25 Daarbij kan de in stap D afgeleide waarde voor de temperatuur worden afgebeeld op een beeldscherm. Dit heeft als voordeel dat de temperatuur direct afgelezen kan worden.The temperature value derived in step D can then be displayed on a screen. This has the advantage that the temperature can be read directly.
Ook kan de in stap D afgeleide waarde voor de temperatuur worden gebruikt als invoerparameter voor een meet- en regelsysteem. Zo kan, bijvoorbeeld, door koppeling 30 met een verwarmingssysteem de temperatuur in het medium worden geregeld, en is het mogelijk een thermische historie vast te leggen.The temperature value derived in step D can also be used as an input parameter for a measurement and control system. For example, the temperature in the medium can be controlled by coupling 30 to a heating system, and it is possible to record a thermal history.
Bij voorkeur ligt de resonantiefrequentie van de resonantiekring tussen 5 en 10 MHz. Dit is meettechnisch een geschikt bereik, de resonantiefrequenties van de gebruikte *? 3 meetelementen kunnen in het algemeen goed daarbinnen gebracht worden, en dit bereik omvat wettelijk toegelaten frequenties.The resonant frequency of the resonant circuit is preferably between 5 and 10 MHz. This is a suitable range from a technical point of view, the resonance frequencies of the used *? 3 measuring elements can generally be brought within, and this range includes legally permitted frequencies.
De uitvinding verschaft tevens een werkwijze voor de vervaardiging van een meetelement voor het contactloos, op afstand meten van de temperatuur van een medium, 5 welk meetelement een resonantiekring omvat waarin ten minste één elektrische condensator met een temperatuursafhankelijke capaciteitswaarde is opgenomen, omvattende de stappen: X. het aanbrengen van de elektrische condensator op een substraat, en Y. het omhullen van het substraat met een beschermende laag.The invention also provides a method for the manufacture of a measuring element for contactless, remote measuring of the temperature of a medium, which measuring element comprises a resonance circuit in which at least one electric capacitor with a temperature-dependent capacitance value is included, comprising the steps of: X applying the electric capacitor to a substrate, and Y coating the substrate with a protective layer.
10 Zo kan een relatief goedkoop meetelement worden gemaakt, wat vooral een voordeel is bij toepassingen waarbij grote aantallen ‘verloren’ meetelementen worden gebruikt. Tevens kan een meetelement worden gemaakt met uitsluitend passieve elektrische componenten zonder zender of energiebron, waardoor het mogelijk is uitsluitend materialen te gebruiken die bestand zijn tegen hoge temperaturen, bijvoorbeeld tot 500°C. De omhulling zorgt voor 15 elektrische isolatie en mechanische bescherming.A relatively inexpensive measuring element can thus be made, which is especially an advantage in applications where large numbers of "lost" measuring elements are used. A measuring element can also be made with only passive electrical components without a transmitter or energy source, making it possible to use only materials that are resistant to high temperatures, for example up to 500 ° C. The enclosure provides electrical insulation and mechanical protection.
Bij voorkeur wordt in stap X de resonantiekring in zijn geheel aangebracht op het substraat. Dit is productietechnisch eenvoudiger en resulteert daardoor in een lagere kostprijs van het meetelement.Preferably, in step X, the resonant circuit is applied in its entirety to the substrate. This is simpler in terms of production and therefore results in a lower cost of the measuring element.
Daarbij kan in stap X het aanbrengen van de elektrische condensator op het 20 substraat geschieden middels dikke- of dunne-filmtechniek. Dit heeft als voordeel dat de afmetingen van het meetelement klein kunnen zijn. Dit is van belang bij toepassingen waarbij de ruimte beperkt is of in het geval dat een temperatuursverdeling met grote ruimtelijke resolutie moet worden bepaald.Thereby, in step X, the electrical capacitor can be applied to the substrate by thick or thin film technique. This has the advantage that the dimensions of the measuring element can be small. This is important in applications where space is limited or in the case that a temperature distribution with large spatial resolution must be determined.
Daarbij kan in stap X het aanbrengen van de resonantiekring op het substraat 25 geschieden middels dikke- of dunne-filmtechniek. Dit heeft als voordeel dat een verdere integratie bij de productie mogelijk is. Bij stijgende aantallen zal de kostprijs per meetelement relatief snel dalen.Thereby, in step X, the application of the resonant circuit to the substrate 25 can be done by thick or thin film technique. This has the advantage that further integration in production is possible. With increasing numbers, the cost price per measuring element will decrease relatively quickly.
Bij voorkeur wordt de beschermende laag in stap Y ten minste gedeeltelijk gevormd door siliconenrubber. Dit heeft als voordeel dat hiermee een goede elektrische 30 isolatie wordt verkregen.Preferably, the protective layer in step Y is at least partially formed by silicone rubber. This has the advantage that a good electrical insulation is hereby obtained.
Bij voorkeur wordt de beschermende laag in stap Y ten minste gedeeltelijk gevormd door polyurethaan. Dit heeft als voordeel dat hiermee een goede mechanische bescherming wordt verkregen.Preferably, the protective layer in step Y is at least partially formed by polyurethane. This has the advantage that a good mechanical protection is hereby obtained.
*' w ~ * Ü 6 4* w ~ * Ü 6 4
De uitvinding wordt in het volgende nader toegelicht aan de hand van de bijgaande figuren.The invention is further elucidated hereinbelow with reference to the accompanying figures.
Fig. 1 toont een blokschema van een meettoestel en een meetelement dat geheel is opgenomen in een medium.FIG. 1 shows a block diagram of a measuring device and a measuring element that is wholly included in a medium.
5 Fig. 2 toont een meetelement waarbij alleen de condensator is opgenomen in een medium.FIG. 2 shows a measuring element in which only the capacitor is included in a medium.
Fig. 1 toont een meetelement 1. Het meetelement 1 is in zijn geheel opgenomen in een medium 2, en neemt daarbij de plaatselijke temperatuur aan. Het meetelement 1 bevat een spoel 3 en een condensator 4 die samen een elektrische resonantiekring 5 vormen, 10 waarbinnen de spanning en stroom bij een bepaalde frequentie in resonantie komen. De condensator 4 heeft een temperatuursafhankelijke capaciteitswaarde, waardoor de resonantiefrequentie van de resonantiekring 5 varieert met de temperatuur.FIG. 1 shows a measuring element 1. The measuring element 1 is received in its entirety in a medium 2, and thereby assumes the local temperature. The measuring element 1 comprises a coil 3 and a capacitor 4 which together form an electrical resonance circuit 5, within which the voltage and current come into resonance at a certain frequency. The capacitor 4 has a temperature-dependent capacitance value, so that the resonant frequency of the resonant circuit 5 varies with the temperature.
Het meetelement 1 kan vervaardigd worden gebruik makend van commercieel verkrijgbare SMD-componenten. Als grotere aantallen nodig zijn is vervaardiging met 15 behulp van dikke-filmtechniek voordeliger. Bij nog grotere aantallen kan het gebruik van dunne-filmtechniek in combinatie met micromechanische etstechnieken de kostprijs nog verder verlagen.The measuring element 1 can be manufactured using commercially available SMD components. If larger numbers are required, manufacture using thick film technology is more advantageous. With even larger numbers, the use of thin film technology in combination with micromechanical etching techniques can further reduce the cost price.
Het meettoestel 6 omvat een zender 7, een ontvanger 8, en een zoekspoel 9 welke inductief kan wisselwerken met het meetelement 1. Een elektrisch signaal afkomstig van 20 een generator 10 gaat naar een elektronische verwerkingseenheid 11, en tevens via de zender 7 en een aanpassingsnetwerk 12 naar de zoekspoel 9. Er vindt een elektromagnetische wisselwerking tussen de zoekspoel 9 en het meetelement 1 plaats, en er gaat een signaal van de zoekspoel 9, via de ontvanger 8 naar de elektronische verwerkingseenheid 11. In de elektronische verwerkingseenheid 11 worden de signalen 25 afkomstig van de generator 10 en de ontvanger 8 verwerkt tot een waarde voor de resonantiefrequentie van de resonantiekring 5. Daaruit wordt een waarde voor de temperatuur afgeleid. Deze waarde voor de temperatuur kan afgebeeld worden op een beeldscherm 13 of gebruikt worden als invoerparameter voor een meet- en regelsysteem 14.The measuring device 6 comprises a transmitter 7, a receiver 8, and a search coil 9 which can interact inductively with the measuring element 1. An electrical signal from a generator 10 goes to an electronic processing unit 11, and also via the transmitter 7 and an adaptation network 12 to the search coil 9. An electromagnetic interaction takes place between the search coil 9 and the measuring element 1, and a signal passes from the search coil 9 via the receiver 8 to the electronic processing unit 11. In the electronic processing unit 11, the signals 25 originating from the generator 10 and the receiver 8 processed into a value for the resonance frequency of the resonance circuit 5. A value for the temperature is derived therefrom. This value for the temperature can be displayed on a screen 13 or used as an input parameter for a measuring and control system 14.
30 Het bepalen van de waarde van de resonantiefrequentie gebeurt volgens de zogenaamde scan-methode, waarbij het frequentiegebied waarin de resonantiefrequentie zich kan bevinden, periodiek wordt doorlopen. De generator 10 levert daartoe een, met een lage frequentie zwaaiend, hoogfrequent signaal. Wanneer de zoekspoel 9 in de buurt van 5 het meetelement 1 wordt gehouden, worden de zoekspoel 9 en de spoel 3 elektromagnetisch gekoppeld. Met behulp van het meettoestel 6 kan dan de impedantie van de resonantiekring 5 als functie van de frequentie worden bepaald, waarbij de resonantie zichtbaar is als piek. Uit de waarde van de resonantiefrequentie kan dan een waarde voor 5 de temperatuur worden afgeleid.The value of the resonance frequency is determined according to the so-called scanning method, whereby the frequency range in which the resonance frequency can be located is cycled periodically. The generator 10 supplies a high-frequency signal swinging at a low frequency. When the search coil 9 is kept in the vicinity of the measuring element 1, the search coil 9 and the coil 3 are electromagnetically coupled. With the aid of the measuring device 6, the impedance of the resonant circuit 5 can then be determined as a function of the frequency, the resonance being visible as a peak. A value for the temperature can then be derived from the value of the resonance frequency.
Door opnemen van een aantal meetelementen ruimtelijk verdeeld over een medium, kan de ruimtelijke temperatuursverdeling in dat medium worden bepaald. Door tijdsafhankelijk te meten, kan het temperatuursverloop worden bepaald en een thermische historie worden vastgelegd.By recording a number of measuring elements spatially distributed over a medium, the spatial temperature distribution in that medium can be determined. By measuring time-dependent, the temperature trend can be determined and a thermal history can be recorded.
10 Fig. 2 toont een alternatief waarbij alleen de temperatuursafhankelijke condensator 4 is opgenomen in het medium 2. De condensator neemt daarbij de plaatselijke temperatuur aan.FIG. 2 shows an alternative in which only the temperature-dependent capacitor 4 is included in the medium 2. The capacitor thereby assumes the local temperature.
Een werkwijze volgens uitvinding voor het contactloos, op afstand meten van de temperatuur van een medium, of een werkwijze volgens de uitvinding voor de 15 vervaardiging van een meetelement daarvoor, kan bijvoorbeeld toegepast worden voor het meten van de temperatuur in : - lucht in een thermisch-isolerende ruimte, bijvoorbeeld een spouw; - een thermisch-isolerend materiaal, bijvoorbeeld in een bouwkundige constructie; - een bouwmateriaal, bijvoorbeeld uithardende betonmortel; 20 - een chemische substantie, bijvoorbeeld uithardende lijm, of - een natuurlijk materiaal, bijvoorbeeld kweekgrond.A method according to the invention for contactless, remote measuring of the temperature of a medium, or a method according to the invention for the manufacture of a measuring element therefor, can for instance be used for measuring the temperature in: air in a thermal insulating space, for example a cavity; - a thermally insulating material, for example in an architectural construction; - a building material, for example hardening concrete mortar; - a chemical substance, for example hardening glue, or - a natural material, for example growing soil.
1 0 1 R o n «1 0 1 R o n «
Claims (13)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
NL1015906A NL1015906C1 (en) | 2000-08-10 | 2000-08-10 | Contact-free measurement of high temperatures |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
NL1015906A NL1015906C1 (en) | 2000-08-10 | 2000-08-10 | Contact-free measurement of high temperatures |
NL1015906 | 2000-08-10 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
NL1015906C1 true NL1015906C1 (en) | 2002-02-12 |
Family
ID=19771872
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
NL1015906A NL1015906C1 (en) | 2000-08-10 | 2000-08-10 | Contact-free measurement of high temperatures |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
NL (1) | NL1015906C1 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2623684C2 (en) * | 2013-05-03 | 2017-06-28 | 3М Инновейтив Пропертиз Компани | System for monitoring temperature of electrical conductors |
-
2000
- 2000-08-10 NL NL1015906A patent/NL1015906C1/en not_active IP Right Cessation
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2623684C2 (en) * | 2013-05-03 | 2017-06-28 | 3М Инновейтив Пропертиз Компани | System for monitoring temperature of electrical conductors |
US9885618B2 (en) | 2013-05-03 | 2018-02-06 | 3M Innovative Properties Company | System for monitoring temperature of electrical conductor |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8136988B2 (en) | Methods and systems for passive, wireless temperature monitoring | |
Yao et al. | Far-field interrogation of microstrip patch antenna for temperature sensing without electronics | |
US8568026B2 (en) | Wireless temperature measurement system and methods of making and using same | |
US6617963B1 (en) | Event-recording devices with identification codes | |
EP1155288B1 (en) | System, device and method for reporting a physical or chemical event or state | |
US7849752B2 (en) | Method and system for passive wireless strain gauge | |
US8636407B2 (en) | Wireless temperature sensor having no electrical connections and sensing method for use therewith | |
Tchafa et al. | Microstrip patch antenna for simultaneous strain and temperature sensing | |
CN102859889A (en) | Non-linear resonating sensor and a method | |
JP3442503B2 (en) | Humidity measurement method and structure for radiosonde meteorological observation | |
US7477050B2 (en) | Magnetic sensor having a coil around a permeable magnetic core | |
CN101971051A (en) | Wireless backscatter interrogation of passive, resonant sensor-lc-tags | |
Requena et al. | Combined temperature and humidity chipless RFID sensor | |
NL1015906C1 (en) | Contact-free measurement of high temperatures | |
Kim et al. | Toward real time monitoring of wafer temperature in plasma chamber through surface acoustic wave resonator and mu-negative metamaterial antenna | |
Wagih et al. | Toward the optimal antenna-based wireless sensing strategy: an ice sensing case study | |
Marioli et al. | Passive hybrid MEMS for high-temperature telemetric measurements | |
Leier et al. | A microwave stripline ring resonator sensor exploiting the thermal coefficient of dielectric constant for high-temperature sensing | |
Jiang et al. | Patch antenna based temperature sensor | |
JPH10227702A (en) | Temperature sensor and method for driving the same | |
EP1573484A2 (en) | System and method for manufacturing wireless devices | |
Requena | Design of robust RFID chipless tags for sensor application | |
Li et al. | Accuracy improvement of micro‐electro‐mechanical system microwave power sensor based on self‐reference algorithm | |
Huang et al. | Distributed Wireless Antenna Sensors for Boiler Condition Monitoring | |
US7199358B2 (en) | Antenna-coupled microbolometer |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
SD | Assignments of patents |
Owner name: REBIX |
|
VD1 | Lapsed due to non-payment of the annual fee |
Effective date: 20060301 |