NL1010267C2 - Modified porous metal surfaces. - Google Patents

Modified porous metal surfaces. Download PDF

Info

Publication number
NL1010267C2
NL1010267C2 NL1010267A NL1010267A NL1010267C2 NL 1010267 C2 NL1010267 C2 NL 1010267C2 NL 1010267 A NL1010267 A NL 1010267A NL 1010267 A NL1010267 A NL 1010267A NL 1010267 C2 NL1010267 C2 NL 1010267C2
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
porous
layer
particles
metal
pores
Prior art date
Application number
NL1010267A
Other languages
Dutch (nl)
Inventor
John Wilhelm Geus
Adrianus Gijsbert Kock
Adrianus Jacobus Van Dillen
Maria Johanna Henric Kerkhoffs
Original Assignee
Univ Utrecht
U Cat B V
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Univ Utrecht, U Cat B V filed Critical Univ Utrecht
Priority to NL1010267A priority Critical patent/NL1010267C2/en
Priority to PCT/NL1999/000623 priority patent/WO2000020106A2/en
Priority to EP99949464A priority patent/EP1128900A2/en
Priority to AU62331/99A priority patent/AU6233199A/en
Priority to JP2000573460A priority patent/JP2002526239A/en
Application granted granted Critical
Publication of NL1010267C2 publication Critical patent/NL1010267C2/en

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D69/00Semi-permeable membranes for separation processes or apparatus characterised by their form, structure or properties; Manufacturing processes specially adapted therefor
    • B01D69/10Supported membranes; Membrane supports
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D39/00Filtering material for liquid or gaseous fluids
    • B01D39/14Other self-supporting filtering material ; Other filtering material
    • B01D39/20Other self-supporting filtering material ; Other filtering material of inorganic material, e.g. asbestos paper, metallic filtering material of non-woven wires
    • B01D39/2027Metallic material
    • B01D39/2031Metallic material the material being particulate
    • B01D39/2034Metallic material the material being particulate sintered or bonded by inorganic agents
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D67/00Processes specially adapted for manufacturing semi-permeable membranes for separation processes or apparatus
    • B01D67/0081After-treatment of organic or inorganic membranes
    • B01D67/0088Physical treatment with compounds, e.g. swelling, coating or impregnation
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D71/00Semi-permeable membranes for separation processes or apparatus characterised by the material; Manufacturing processes specially adapted therefor
    • B01D71/02Inorganic material
    • B01D71/022Metals
    • B01D71/0223Group 8, 9 or 10 metals
    • B01D71/02231Palladium
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D71/00Semi-permeable membranes for separation processes or apparatus characterised by the material; Manufacturing processes specially adapted therefor
    • B01D71/02Inorganic material
    • B01D71/024Oxides
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D71/00Semi-permeable membranes for separation processes or apparatus characterised by the material; Manufacturing processes specially adapted therefor
    • B01D71/02Inorganic material
    • B01D71/024Oxides
    • B01D71/027Silicium oxide
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22FWORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F7/00Manufacture of composite layers, workpieces, or articles, comprising metallic powder, by sintering the powder, with or without compacting wherein at least one part is obtained by sintering or compression
    • B22F7/002Manufacture of composite layers, workpieces, or articles, comprising metallic powder, by sintering the powder, with or without compacting wherein at least one part is obtained by sintering or compression of porous nature
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B13/00Oxygen; Ozone; Oxides or hydroxides in general
    • C01B13/02Preparation of oxygen
    • C01B13/0229Purification or separation processes
    • C01B13/0248Physical processing only
    • C01B13/0251Physical processing only by making use of membranes
    • C01B13/0255Physical processing only by making use of membranes characterised by the type of membrane
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B3/00Hydrogen; Gaseous mixtures containing hydrogen; Separation of hydrogen from mixtures containing it; Purification of hydrogen
    • C01B3/50Separation of hydrogen or hydrogen containing gases from gaseous mixtures, e.g. purification
    • C01B3/501Separation of hydrogen or hydrogen containing gases from gaseous mixtures, e.g. purification by diffusion
    • C01B3/503Separation of hydrogen or hydrogen containing gases from gaseous mixtures, e.g. purification by diffusion characterised by the membrane
    • C01B3/505Membranes containing palladium
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C30/00Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D2323/00Details relating to membrane preparation
    • B01D2323/08Specific temperatures applied
    • B01D2323/081Heating
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D2323/00Details relating to membrane preparation
    • B01D2323/08Specific temperatures applied
    • B01D2323/082Cooling
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22FWORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F2998/00Supplementary information concerning processes or compositions relating to powder metallurgy

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Composite Materials (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Geology (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Powder Metallurgy (AREA)
  • Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
  • Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)

Description

Titel: Gemodificeerde Poreuze Metaal OppervlakkenTitle: Modified Porous Metal Surfaces

De uitvinding heeft betrekking op poreuze metalen structuren, zoals buizen of platen, waarvan de diameter van de poriën in de oppervlaktelaag binnen relatief nauwe grenzen is in te stellen alsmede op poreuze metalen onderlagen 5 waarvan het oppervlak zodanig is gemodificeerd dat het geschikt is voor het aanbrengen van hetzij keramische membranen hetzij al dan niet poreuze metalen membranen.The invention relates to porous metal structures, such as pipes or plates, the diameter of the pores in the surface layer of which can be adjusted within relatively narrow limits, and to porous metal substrates 5 whose surface has been modified in such a way that it is suitable for application of either ceramic membranes or porous or non-porous metal membranes.

Volgens de bekende stand van de techniek past men in veel gevallen poreuze metalen structuren, platen of buizen, 10 toe bij werkwijzen waarbij men fijn verdeelde vaste stoffen van vloeistoffen scheidt. Ook voor de scheiding van vaste stof deeltjes uit gasstromen gebruikt men vaak poreuze metalen structuren. In het algemeen kan men deeltjes met afmetingen tot ongeveer 3 μπι goed uit gassen of vloeistoffen 15 afscheiden. Hoewel er grote behoefte bestaat aan het afscheiden van kleinere vaste deeltjes, zijn hiervoor geen geschikte mechanisch sterke en relatief goedkope poreuze materialen beschikbaar. Voor het afscheiden van deeltjes uit vloeistoffen is het voorts aantrekkelijk om te kunnen be-20 schikken over filtermaterialen met fijne poriën die tegen alkalische vloeistoffen bestand zijn. In dat geval past men bij voorkeur membraanlagen toe die geheel uit metalen of legeringen zijn opgebouwd. Echter kan men ook filterelementen vervaardigd uit oxidische materialen, zoals 25 titaandioxide of zirkoondioxide, gebruiken.In the prior art, in many cases, porous metal structures, plates or tubes are used in processes in which finely divided solids are separated from liquids. Porous metal structures are also often used for the separation of solid particles from gas flows. In general, particles with dimensions up to about 3 µm can be separated well from gases or liquids. Although there is a great need to separate smaller solid particles, suitable mechanical strong and relatively inexpensive porous materials are not available for this. For separating particles from liquids, it is further attractive to have fine pore filter materials that are resistant to alkaline liquids. In that case, it is preferable to use membrane layers which are built entirely of metals or alloys. However, filter elements made from oxidic materials, such as titanium dioxide or zirconium dioxide, can also be used.

Grosso modo vervaardigt men poreuze metalen structuren technisch op twee verschillende manieren. Bij de eerste procedure gaat men uit van metalen die een relatief laag smeltpunt hebben en daardoor bij relatief lage temperaturen 30 sinteren. Men vult een mal van de gewenste vorm en afmetingen met bij voorkeur bolletjes van het metaal waaruit de poreuze structuur moet bestaan. In het algemeen krijgt 1010267 2 men goede resultaten met mallen van grafiet, hoewel men in principe ook andere materialen kan toepassen. Door de gevulde mal te verhitten op een temperatuur waarbij de metaaldeeltjes sinteren, verkrijgt men de gewenste poreuze 5 structuur. Het gewicht van de metaaldeeltjes is voldoende om de elementaire metaaldeeltjes zodanig met elkaar in contact te brengen dat de deeltjes samen sinteren. De atmosfeer waarin het sinteren plaats moet vinden, hangt sterk van het te sinteren metaal af. Metalen en legeringen als koper, 10 zilver, nikkel en brons, die bij lage temperaturen, bijvoorbeeld 600°C, volledig zijn te reduceren, zal men het verhitten in een reducerende gasstroom. De oxide laag aan het oppervlak van de metaal- of legeringsdeeltjes zal door reductie worden verwijderd, waardoor een sterke metallisch 15 binding tussen de deeltjes ontstaat. Met een lastig te reduceren, maar laag smeltend metaal als aluminium kan me^i de laag oxide die aan het oppervlak aanwezig is, niet met waterstof reduceren. Voor het sinteren van aluminium tot poreuze structuren moet men daarom in een zeer goed vacuüm 20 verhitten. Naast een extreem lage restdruk van zuurstof is ook een zeer lage restdruk van waterdamp essentieel voor het sinteren van zeer onedele metalen als aluminium. Door het gewicht van de aluminium bolletjes wordt de dunne oxidelaag die op het oppervlak van het aluminium aanwezig is bij 25 verhoogde temperatuur, waarbij het metallische aluminium vervolgt, üfe^gedrukt en kan het metallisch aluminium van elkaar rakende deeltjes in contact komen. Het metallische alumihiSÉt sintert vlot. Men kan ook in een inert gas werken Opt exöteem lage gèhelten aan zuurstof, kooldioxide en wa-30 terdamp.Broadly speaking, porous metal structures are technically manufactured in two different ways. The first procedure is based on metals that have a relatively low melting point and therefore sinter at relatively low temperatures. A mold of the desired shape and dimensions is filled with preferably spheres of the metal from which the porous structure must consist. In general, good results are obtained with graphite molds, although in principle other materials can also be used. By heating the filled mold at a temperature at which the metal particles sinter, the desired porous structure is obtained. The weight of the metal particles is sufficient to contact the elemental metal particles such that the particles sinter together. The atmosphere in which the sintering must take place depends strongly on the metal to be sintered. Metals and alloys such as copper, silver, nickel and bronze, which can be completely reduced at low temperatures, for example 600 ° C, will be heated in a reducing gas flow. The oxide layer on the surface of the metal or alloy particles will be removed by reduction, thereby creating a strong metallic bond between the particles. With a layer that is difficult to reduce, but low-melting metal such as aluminum, the layer of oxide present on the surface cannot reduce with hydrogen. For the sintering of aluminum to porous structures, it is therefore necessary to heat in a very good vacuum. In addition to an extremely low residual pressure of oxygen, a very low residual pressure of water vapor is also essential for sintering very base metals such as aluminum. Due to the weight of the aluminum spheres, the thin oxide layer present on the surface of the aluminum is elevated at an elevated temperature at which the metallic aluminum continues, and the metallic aluminum can come into contact with particles touching each other. The metallic alumihiSÉt sintered smoothly. One can also work in an inert gas Opt exotically low levels of oxygen, carbon dioxide and water vapor.

Bij llöog smeltende metalen of legeringen die lastig zijn te reduceren moet men op een andere wijze te werk gaan. In dat geval übet men een veel hogere druk toepassen om de oxidelaag van ïtfct metaal of de legering op de contactvlakken 35 tussen elkaar rakende deeltjes weg te drukken. Men moet daarom kleine betaal- of legeringsdeeltjes in een mal van de 1010267 3 gewenste vorm en afmetingen persen. Bij grotere vormen kan men met voordeel van bijvoorbeeld een rubber mal en hydrostatisch persen gebruik maken. Na het persen verhit men het 'groene' vormstuk enige tijd in een reducerende 5 gasstroom bij een sterk verhoogde temperatuur. Hierbij groeien de nekvormige contactplaatsen tussen de elementaire metaaldeeltjes uit.In the case of low melting metals or alloys that are difficult to reduce, one has to proceed in a different way. In that case, use a much higher pressure to push out the oxide layer of metal or alloy on the contact surfaces 35 between contacting particles. Small payment or alloy particles must therefore be pressed into a mold of the desired shape and dimensions. Larger shapes can advantageously use, for example, a rubber mold and hydrostatic pressing. After pressing, the 'green' molding is heated for some time in a reducing gas stream at a strongly elevated temperature. The neck-shaped contact sites grow between the elementary metal particles.

Volgens de huidige stand van de techniek is het niet goed mogelijk poreuze metalen met uitsluitend poriën kleiner 10 dan 2 μπι te vervaardigen. Nu zijn dergelijke poreuze metalen filterelementen technisch ook minder aantrekkelijk, wegens de grote transportweerstand. Men kan namelijk de dikte van het poreuze element niet zeer gering maken, zonder afbreuk te doen aan de mechanische sterkte van het onderdeel. Bij 15 een fijn-poreus materiaal met een dikte van bijvoorbeeld 3 mm, is de transportweerstand hoog. Technisch is het daarom veel gunstiger om op een grof-poreuze onderlaag een dunne laag met veel nauwere poriën aan te brengen.According to the current state of the art, it is not quite possible to produce porous metals with only pores smaller than 2 μπι. Such porous metal filter elements are now also less attractive from a technical point of view, due to the high transport resistance. Namely, the thickness of the porous element cannot be made very small without detracting from the mechanical strength of the part. With a fine-porous material with a thickness of, for example, 3 mm, the transport resistance is high. Technically it is therefore much more favorable to apply a thin layer with much narrower pores on a coarsely porous substrate.

Doel van de onderhavige uitvinding is derhalve het 20 verschaffen van een grof-poreus metaal met een dunne oppervlaktelaag die poriën met afmetingen van ongeveer 2 tot 0,01 μπι bevat en totaal geen wijdere poriën. Onder dun wordt in dit verband verstaan een laagdikte van 1 tot minder dan 30 μπι. Tot het doel van de uitvinding behoort ook een grof-25 poreuze metalen onderlaag waarbij in of op de poriemonden een dunne poreuze laag met poriën van 2 tot 0,01 μπι is aangebracht.The object of the present invention is therefore to provide a coarsely porous metal with a thin surface layer that contains pores with dimensions of about 2 to 0.01 µm and no wider pores at all. In this context thin is understood to mean a layer thickness of 1 to less than 30 μπι. The object of the invention also includes a coarse-porous metal bottom layer in which a thin porous layer with pores of 2 to 0.01 µm is applied in or on the pore mouths.

Afhankelijk van de toepassing van de poreuze metalen met een fijn-poreuze oppervlaktelaag zal men voor volledig 30 metallische lagen of voor een keramische laag op of in de poriemonden van de grof-poreuze metalen onderlaag kiezen. Een speciale toepassing van poreuze lagen is het verhogen van de selectiviteit van chemische reacties. In de techniek is het gewenst chemische reacties kunnen toepassen tussen 35 twee verbindingen die bij reactie· met zichzelf aanleiding 1010267 4 geven tot ongewenste producten. Een voorbeeld is de aldolcondensatie van twee verschillende aldehyden. Omdat de aldehyden ook met elkaar kunnen reageren, verkrijgt men hier drie verschillende verbindingen, waarvan er maar één gewenst 5 is. Wanneer men nu een katalysator voor de gewenste reactie in het oppervlak van een membraan met nauwe poriën aanbrengt, de ene reactant door het membraan aanvoert en de andere reactant langs die zijde van het membraan voert waar de katalysator aanwezig is, dan vergroot men de kans op 10 reactie tussen de verschillende aldehyden.Depending on the application of the porous metals with a fine-porous surface layer, one will opt for completely metallic layers or for a ceramic layer on or in the pore mouths of the coarsely porous metal bottom layer. A special application of porous layers is to increase the selectivity of chemical reactions. It is desirable in the art to be able to use chemical reactions between two compounds which, in reaction with themselves, give rise to undesired products. An example is the aldol condensation of two different aldehydes. Since the aldehydes can also react with each other, three different compounds are obtained here, only one of which is desirable. If one now applies a catalyst for the desired reaction to the surface of a narrow-pore membrane, one reactant is passed through the membrane and the other reactant is passed along that side of the membrane where the catalyst is present, then the chance of 10 reaction between the different aldehydes.

Volgens de uitvinding brengt men deeltjes met afmetingen van 2 tot 0,01 μπι van metalen of legeringen, van tot metalen of legeringen te reduceren verbindingen of van keramische materialen in de poriemonden van een grof-poreuze 15 metalen onderlaag aan. In het algemeen zal men voor het aanbrengen van de kleine deeltjes in de poriemonden van het grof-poreuze metaal uitgaan van een suspensie van de kleine deeltjes in een geschikte vloeistof. De opgave is daarbij de suspensie met een redelijk uniforme dikte over de onderlaag 20 te laten uitvloeien waarbij wordt voorkomen dat de suspensie locaal diep in de grove poriën van de onderlaag dringt, terwijl andere delen van het oppervlak van de grof-poreuze onderlaag niet met de suspensie in contact komen. Volgens de onderhavige uitvinding zijn er twee procedures om dit 25 bezwaar te ontgaan.According to the invention, particles with dimensions of 2 to 0.01 µm of metals or alloys, of compounds to be reduced to metals or alloys or of ceramic materials are introduced into the pore mouths of a coarsely porous metal substrate. Generally, for the application of the small particles in the pore mouths of the coarsely porous metal, a suspension of the small particles in a suitable liquid will be started from. The task is to allow the suspension to flow over the bottom layer 20 with a fairly uniform thickness, while preventing the suspension from penetrating locally deep into the coarse pores of the bottom layer, while other parts of the surface of the coarsely porous bottom layer do not suspension come into contact. According to the present invention, there are two procedures to avoid this drawback.

Volgens de eerste van de bovengeduide twee werkwijzen volgens de uitvinding kan men om een uniforme verdeling van de suspensie over de grof-poreuze onderlaag te verkrijgen, uitgaan van een suspensie van de aan te brengen deeltjes 30 waarvan men de viscositeit door toevoegen van overigens volgens de stand van de techniek bekende middelen, zoals hydroxymethylcellulose of polyvinylalcohol instelt. De viscositeit van de suspensie wordt zodanig ingesteld dat de suspensie niet snel in de grove poriën van de onderlaag 35 dringt. Volgens de uitvinding leidt een dergelijke 'dipcoating' van de grof-poreuze metalen onderlaag met een 1010267 5 suspensie van de aan te brengen fijne deeltjes tot het vullen van de poriemonden met de kleine deeltjes.According to the first of the above two methods according to the invention, in order to obtain a uniform distribution of the suspension over the coarsely porous substrate, it is possible to start from a suspension of the particles to be applied, the viscosity of which is otherwise added according to the means known in the art, such as hydroxymethyl cellulose or polyvinyl alcohol. The viscosity of the suspension is adjusted so that the suspension does not quickly penetrate into the coarse pores of the bottom layer 35. According to the invention, such a dip coating of the coarsely porous metal bottom layer with a suspension of the fine particles to be applied leads to the filling of the pore nozzles with the small particles.

Volgens de tweede van de boven aangeduide werkwijzen volgens de uitvinding kan men de poriën van het grof-poreuze 5 metaal nagenoeg volledig vullen met een vloeistof of met een wasachtig materiaal met een laag smeltpunt. Men kan dan een suspensie van de aan te brengen kleine deeltjes over de gevulde metalen onderlaag laten uitvloeien. Volgens een voorkeursvorm van de werkwijze volgens de uitvinding vult 10 men de poriën met een niet met de vloeistof van de suspensie van de aan te brengen deeltjes mengbare vloeistof, die een hogere dichtheid heeft dan die van de suspensie. Na drogen verwijdert men de vloeistof of het wasachtige materiaal. Bij buizen zal men bij voorkeur een wasachtig materiaal 15 gebruiken en de horizontaal opgestelde buis ronddraaien om zijn as. Na het uitvloeien van de suspensie zet men het ronddraaien voort totdat de vloeistof van de aangebrachte laag is verdampt. Tot de uitvinding behoort ook het 'spincoaten' van een met een wasachtig materiaal gevuld 20 poreus vlak metalen lichaam. Hierbij laat men het te behandelen poreuze metalen lichaam ronddraaien en brengt men de suspensie der aan te brengen deeltjes in het midden op het oppervlak van het poreuze lichaam. Door de centrifugaal kracht wordt de suspensie als een dunne laag over het 25 oppervlak van het poreuze lichaam uitgespreid.According to the second of the above-mentioned processes according to the invention, the pores of the coarsely porous metal can be filled almost completely with a liquid or with a waxy material with a low melting point. A suspension of the small particles to be applied can then be allowed to flow over the filled metal substrate. According to a preferred form of the method according to the invention, the pores are filled with a liquid which is immiscible with the liquid of the suspension of the particles to be applied and which has a higher density than that of the suspension. After drying, the liquid or waxy material is removed. Tubes preferably use a waxy material and rotate the horizontally disposed tube about its axis. After the slurry flows out, the rotation is continued until the liquid of the applied layer has evaporated. The invention also includes "spin coating" a porous flat metal body filled with a waxy material. The porous metal body to be treated is thereby rotated and the suspension of the particles to be applied is placed centrally on the surface of the porous body. Due to the centrifugal force, the suspension is spread as a thin layer over the surface of the porous body.

Voor het verkrijgen van poriën van 2 tot 0,01 μπι heeft men deeltjes met een diameter van ongeveer dezelfde afmetingen nodig. Het vervaardigen van metaal- of legerings- deeltjes met bovengenoemde afmetingen is voor een aantal 30 metalen of legeringen technisch bekend. Zo kan men door ontleding van metaalcarbonylen in een gasstroom en het opvangen van de deeltjes in olie kleine ijzer-, nikkel-, of cobaltdeeltjes bereiden. Langs magnetische weg kan men deze deeltjes uit de olie afscheiden. Een grote reeks metaal- en 35 legeringsdeeltjes kan men ook bereiden door op een drager, zoals fijn verdeeld siliciumdioxide of aluminiumoxide, een < 1010267 6 geschikte precursor van het metaal of de legering fijn verdeeld aan te brengen en deze precursor bij verhoogde temperatuur in een daarvoor geschikte gasstroom te reduceren. De afmetingen van de metaal- of legeringsdeeltjes 5 kan men beheersen door de belading van de drager in te stellen. Sinteren van het metaal of de legering wordt door de drager voorkomen. Na reductie kan men de drager in loog oplossen, waarna men een suspensie van uiterst kleine metaal- of legeringsdeeltjes overhoudt, die bij 10 ferromagnetische metalen of legeringen langs magnetische weg vlot van de vloeistof zijn te scheiden.In order to obtain pores of 2 to 0.01 µm, particles with a diameter of approximately the same dimensions are required. The manufacture of metal or alloy particles of the above dimensions is technically known for a number of metals or alloys. For example, by decomposing metal carbonyls in a gas stream and collecting the particles in oil, it is possible to prepare small iron, nickel or cobalt particles. These particles can be separated from the oil by magnetic means. A wide range of metal and alloy particles can also be prepared by depositing on a support such as finely divided silica or alumina a suitable precursor of the metal or alloy and finely distributing this precursor at an elevated temperature reduce appropriate gas flow. The dimensions of the metal or alloy particles 5 can be controlled by adjusting the loading of the carrier. Sintering of the metal or alloy is prevented by the support. After reduction, the carrier can be dissolved in caustic solution, leaving a suspension of extremely small metal or alloy particles, which can be easily separated from the liquid by magnetic means in the case of ferromagnetic metals or alloys.

Voor niet-ferromagnetische metalen kan men dezelfde procedure met een inerte thermostabiele drager toepassen. Omdat het afscheiden van de metaaldeeltjes van de vloeistof 15 na het oplossen van de drager nu niet langs magnetisch weg kan gescheiden, zal men de kleine deeltjes nu bij voorkeur laten uitvlokken. Hierna kan men de deeltjes afscheiden en de onzuiverheden door wassen verwijderen. Na opnieuw suspenderen van het gewassen materiaal verkrijgt men 20 clusters van kleine deeltjes waarvan men de afmetingen in de op het grof-poreuze metaal aan te brengen suspensie volgens de bekende stand van de techniek kan aanpassen aan de afmetingen van de poriën van het grof-poreuze metaal. Volgens de stand van de techniek kan men ultrasone behandeling 25 toepassen, een vloeistofstroming met een grote snelheidsgradiënt of een vloeistofstroom waarin men cavitatie opwekt. Ook kan men werken met een colloïdmolen of een ultraturrax. Tenslotte kan men volgens de onderhavige uitvinding kleine ferromagnetische deeltjes met een laag van 30 een ander metaal, zoals koper of zilver, bedekken.For non-ferromagnetic metals, the same procedure can be applied with an inert thermostable support. Since the separation of the metal particles from the liquid 15 after dissolution of the carrier cannot now be separated magnetically, the small particles will now preferably be flocculated. The particles can then be separated and the impurities removed by washing. After resuspending the washed material, 20 clusters of small particles are obtained, the dimensions of which in the suspension to be applied to the coarsely porous metal can be adapted to the dimensions of the pores of the coarsely porous according to the prior art. metal. According to the prior art, it is possible to use ultrasonic treatment, a liquid flow with a high velocity gradient or a liquid flow in which cavitation is generated. One can also work with a colloid mill or an ultraturrax. Finally, according to the present invention, one can coat small ferromagnetic particles with a layer of another metal, such as copper or silver.

Volgens een voor keurs vorm van de werkwijze volgens de uitvinding brengt men voor het bereiden van kleine legeringsdeeltjes complexe cyaniden met twee legeringscomponenten op een in loog oplosbare drager aan. Zo 35 kan men bijvoorbeeld voor ijzer-nikkel legeringen Ni2Fe(CN)6 op bijvoorbeeld aluminiumoxide aanbrengen. Op deze wijze 1010267 7 wordt een atomaire menging van de legeringscomponenten in de precursor tot stand gebracht.According to a preferred form of the method according to the invention, complex cyanides with two alloying components are applied to a solution soluble in lye to prepare small alloy particles. For example, for iron-nickel alloys, Ni2Fe (CN) 6 can be applied to, for example, aluminum oxide. In this way, an atomic mixing of the alloy components in the precursor is accomplished.

Een andere mogelijkheid om kleine metaaldeeltjes te bereiden is uit te gaan van een fijn verdeelde precursor 5 zonder drager en de precursor tot het metaal te laten reageren. Bij voorkeur gaat men hierbij uit van een precursor die bij een relatief lage temperatuur het metaal oplevert, omdat bij sterk verhoogde temperatuur of bij langdurige thermische behandeling de kleine metaaldeeltjes 10 tezamen sinteren. Volgens de uitvinding gaat men bij voorkeur uit van oxalaten van koper, zilver, of nikkel en ontleedt men die in een inerte of een reducerende gasstroom. Ook andere zouten van organische zuren kunnen op deze wijze kleine metaaldeeltjes opleveren. Op deze wijze verkrijgt men 15 kleine metaaldeeltjes die niet sterk samenhangen en bijvoorbeeld door ultrasoon trillen uitstekend zijn te dispergeren.Another possibility to prepare small metal particles is to start from a finely divided precursor 5 without support and to react the precursor to the metal. Preferably, a precursor is used here, which yields the metal at a relatively low temperature, because the small metal particles 10 sinter together at a strongly elevated temperature or during a prolonged thermal treatment. According to the invention, oxalates of copper, silver or nickel are preferably started from and decomposed in an inert or reducing gas stream. Other salts of organic acids can also yield small metal particles in this way. In this way, 15 small metal particles are obtained which are not strongly related and which can be dispersed excellently, for example by ultrasonic vibration.

Het is van groot belang de aanwezigheid van grotere clusters van kleine metaaldeeltjes in de suspensie te 20 voorkomen. Daartoe wordt volgens de onderhavige uitvinding de suspensie alvorens te worden aangebracht op het oppervlak van het grof-poreuze metaal over een fijn filter gefiltreerd.It is very important to prevent the presence of larger clusters of small metal particles in the suspension. To this end, according to the present invention, the suspension is filtered through a fine filter before being applied to the surface of the coarse porous metal.

Een voordeel van het uitgaan van metaaldeeltjes is dat 25 er geen sterke krimp optreedt, wat bij uitgaan van tot metalen of legeringen te reduceren deeltjes wel het geval is. Desalniettemin kan het voordelen bieden kleine reduceerbare deeltjes in de monden van de poriën van een grof-poreus metalen structuur aan te brengen. Na verhitten 30 in een inert of oxiderend gas, kan men vervolgens de aangebrachte en in de poriemonden gefixeerde deeltjes tot de overeenkomstige metalen reduceren. Dit gaat uitstekend met de oxiden van zilver, koper en nikkel, die relatief vlot zijn te reduceren. Voor zilveroxide is verhitten aan de 35 lucht zelfs reeds voldoende om reactie tot het metaal te bewerkstelligen. Volgens de uitvinding brengt men dan ook 1010267 8 tot het gewenste metaal te reduceren deeltjes met afmetingen van 2 tot 0,01 μπι in de poriemonden aan, waarna zonodig na een thermische voorbehandeling in een niet reducerende gasstroom, het materiaal wordt gereduceerd.An advantage of starting out from metal particles is that there is no strong shrinkage, which is the case when starting out from particles to be reduced to metals or alloys. Nevertheless, it can be advantageous to introduce small reducible particles into the mouths of the pores of a coarsely porous metal structure. After heating in an inert or oxidizing gas, the particles applied and fixed in the pore mouths can then be reduced to the corresponding metals. This is excellent with the oxides of silver, copper and nickel, which are relatively easy to reduce. For silver oxide, heating to the air is even sufficient to effect reaction to the metal. According to the invention, 1010267 8 particles to be reduced to the desired metal are then placed in the pore mouths with dimensions of 2 to 0.01 µm, after which the material is reduced if necessary after a thermal pretreatment in a non-reducing gas flow.

5 Volgens de uitvinding kan men ook niet tot metalen te reduceren deeltjes in de poriemonden van het grof-poreuze metaal aanbrengen, in het algemeen kan men de afmetingen van de poriën die men verkrijgt met niet tot metalen te reduceren deeltjes beter beheersen. Als de afmetingen van de 10 poriën nauwkeurig moeten worden ingesteld, zal men daarom bij voorkeur niet reduceerbare deeltjes toepassen of de deeltjes niet tot de overeenkomstige metalen reduceren. Voor het werken in alkalische vloeistoffen zal men oxiden als titaandioxide of zirkoondioxide toepassen die tegen 15 alkalische vloeistoffen bestand zijn. Niet reduceerbare oxiden, zoals bijvoorbeeld siliciumdioxide, aluminiumoxide, titaandioxide of zirkoondioxide, zijn zeer aantrekkelijk als men scheidingen bij hogere temperaturen in reducerende gasstromen wil uitvoeren. Kleine metaaldeeltjes sinteren 20 onder dergelijke omstandigheden, waardoor hetzij grote poriën ontstaan, hetzij de poriemonden volledig verstoppen.According to the invention it is also possible to place particles which cannot be reduced to metal in the pore mouths of the coarsely porous metal, in general the dimensions of the pores obtained with particles which cannot be reduced to metals can be better controlled. Therefore, if the dimensions of the 10 pores need to be accurately set, it is preferable to use non-reducible particles or to reduce the particles to the corresponding metals. For working in alkaline liquids, oxides such as titanium dioxide or zirconium dioxide will be used which are resistant to alkaline liquids. Non-reducible oxides, such as, for example, silicon dioxide, aluminum oxide, titanium dioxide or zirconium dioxide, are very attractive if one wants to carry out separations at higher temperatures in reducing gas flows. Small metal particles sinter under such conditions, either creating large pores or completely clogging the pore mouths.

In de meeste gevallen kan men kleine metaaldeeltjes goed aan de wanden van de poriën van het grof-poreuze metaal hechten. Onder reducerende omstandigheden kan zich een in-25 termetallische binding vormen. Bij voorhitten op hoge temperaturen onder niet reducerende omstandigheden kunnen oxidische materialen met het geoxideerde oppervlak van metalen ook hechte bindingen vormen. Er zijn echter een aantal technisch belangrijke gevallen waarin men geen goede 30 hechting kan bewerkstelligen.In most cases, small metal particles can be adhered well to the walls of the pores of the coarsely porous metal. An in-termetallic bond can form under reducing conditions. When preheated at high temperatures under non-reducing conditions, oxidic materials with the oxidized metal surface can also form tight bonds. However, there are a number of technically important cases where good adhesion cannot be achieved.

Vaak is het dus lastig vaste deeltjes sterk te binden op het oppervlak van metalen. Uiteraard kan men metaaldeeltjes of deeltjes van tot metalen reduceerbare oxiden in de poriemonden van het poreuze metaal aanbrengen 35 en vervolgens een thermische behandeling in een reducerende gasstroom uitvoeren. Als de temperatuur en de gasatmosfeer 1010267 9 zodanig kunnen worden ingesteld dat het oppervlak van het poreuze metaal en van de aangebrachte kleine metaaldeeltjes wordt gereduceerd, kan een metallische binding tussen het oppervlak van het poreuze metaal en de metaaldeeltjes worden 5 gerealiseerd. Dit geldt ook voor het geval dat men reduceerbare oxiden in de poriemonden aanbrengt. Het is evenwel gebleken dat de binding tussen de metaaldeeltjes en de wand van de poriën van het metaal zo sterk is dat er vaak grote scheuren in de metaallaag ontstaan. Bovendien is het 10 erg lastig bij het reduceren sterk sinteren van de metaaldeeltjes te voorkomen. Sterk sinteren leidt tot een ruw oppervlak met relatief wijde poriën. Voor het reduceren van het oppervlak van veel metalen zijn hoge temperaturen nodig, waarbij sterk sinteren van de metaaldeeltjes 15 onvermijdelijk is. Het oppervlak van roestvrij staal, een voor veel toepassingen zeer aantrekkelijk materiaal, is heel lastig te reduceren. Hiervoor zijn zeer hoge temperaturen vereist. Aan de andere kant is sterk sinteren bij metalen die vlot zijn te reduceren, zoals koper, niet goed te 20 vermijden.It is therefore often difficult to strongly bind solid particles on the surface of metals. Of course, metal particles or particles of metal-reducible oxides can be introduced into the pore mouths of the porous metal and then heat-treated in a reducing gas stream. If the temperature and the gas atmosphere 1010267 9 can be adjusted to reduce the surface area of the porous metal and the applied small metal particles, a metallic bond can be realized between the surface area of the porous metal and the metal particles. This also applies in the case that reducible oxides are introduced into the pore mouths. However, it has been found that the bond between the metal particles and the wall of the pores of the metal is so strong that large cracks often arise in the metal layer. Moreover, it is very difficult to prevent strong sintering of the metal particles when reducing. Strong sintering leads to a rough surface with relatively wide pores. High temperatures are required to reduce the surface area of many metals, whereby strong sintering of the metal particles 15 is unavoidable. The surface of stainless steel, a very attractive material for many applications, is very difficult to reduce. Very high temperatures are required for this. On the other hand, strong sintering with metals that are easy to reduce, such as copper, is not easy to avoid.

Verrassenderwijs is nu gevonden dat het bedekken van het oppervlak van de wanden van de poriemonden van de poreuze metaalstructuur met een al dan niet poreuze laag van een oxide dat sterk hecht op de poriewand en op de aan te 25 brengen metaal- of oxidedeeltjes het mogelijk maakt de kleine deeltjes in de poriemonden te verankeren. Figuur 1 geeft een schematisch beeld van de metaal structuur. Volgens de uitvinding past men daarom een grof-poreus metalen structuur toe waarvan de wanden van de poriemonden zijn 30 bedekt met een dunne al dan niet poreuze laag van een oxide dat zowel op de poriewand als op het aan te brengen metaal, de legering of het oxide sterk hecht. Onder dun wordt in dit verband verstaan een dikte van minder dan 3 μπι. In het algemeen zijn emaillevormende oxidische verbindingen zeer 35 geschikt als hechtlaag. Oxiden als siliciumdioxide of titaandioxide blijken zowel metaaldeeltjes als oxidische 1010267 10 deeltjes zeer hecht aan het oppervlak van de poriewanden te verankeren. Volgens een voorkeursvorm van de uitvinding past men daarom poreuze metaal structuren toe waarbij een dunne laag siliciumdioxide of titaandioxide of een andere 5 emaillevormende verbinding op de wand van de poriemonden is aangebracht.Surprisingly, it has now been found that covering the surface of the walls of the pore mouths of the porous metal structure with a porous or non-porous layer of an oxide which adheres strongly to the pore wall and to the metal or oxide particles to be applied anchor the small particles in the pore mouths. Figure 1 gives a schematic view of the metal structure. According to the invention, therefore, a coarsely porous metal structure is used, the walls of the pore mouths of which are covered with a thin or non-porous layer of an oxide which is applied to the pore wall as well as to the metal to be applied, the alloy or the oxide strongly adheres. Thin in this context means a thickness of less than 3 μπι. In general, enamel-forming oxidic compounds are very suitable as an adhesive layer. Oxides such as silicon dioxide or titanium dioxide have been found to anchor both metal particles and oxidic particles very tightly to the surface of the pore walls. According to a preferred form of the invention, therefore, porous metal structures are used in which a thin layer of silicon dioxide or titanium dioxide or another enamel-forming compound is applied to the wall of the pore mouths.

Volgens een voorkeursvorm van de werkwijze volgens de uitvinding brengt men een dunne laag siliciumdioxide op de wanden van de poriemonden aan door een laag siliconenrubber 10 op de wand van de poriemonden aan te brengen. Pyrolyse van de gedroogde laag siliconenrubber leidt tot een siliciumdioxidelaag, die na verhitten op hoge temperatuur niet poreus en op lagere temperatuur (bijvoorbeeld 600°C) wel poreus is. Op analoge wijze kan men volgens een 15 voorkeursvorm van de werkwijze volgens de uitvinding titaandioxide sterk gehecht op de wanden van de poriemonden aanbrengen door een laag van het titaan equivalent van siliconenrubber te pyrolyseren. Ook een op de wand van de poriemonden aangebrachte laag waterglas leidt tot een sterke 20 interactie met metaal-, legerings- en oxidedeeltjes.According to a preferred form of the method according to the invention, a thin layer of silicon dioxide is applied to the walls of the pore nozzles by applying a layer of silicone rubber 10 to the wall of the pore nozzles. Pyrolysis of the dried layer of silicone rubber results in a silicon dioxide layer, which is non-porous after heating at a high temperature and is porous at a lower temperature (for example 600 ° C). Analogously, according to a preferred form of the method according to the invention, titanium dioxide can be strongly adhered to the walls of the pore mouths by pyrolysing a layer of the titanium equivalent of silicone rubber. A layer of water glass applied to the wall of the pore mouths also leads to a strong interaction with metal, alloy and oxide particles.

Volgens de uitvinding wordt derhalve het oppervlak van poreuze metalen structuren gemodificeerd door een dunne hechtende oxidelaag op de wand van de poriën aan te brengen waarna via 'dipcoating' de poriën in het oppervlak worden 25 gevuld met een dunne, poreuze laag samenhangende vaste deeltjes waarvan de diameter kleiner is dan de diameter van de poriën in het oppervlak van het metaal.According to the invention, the surface of porous metal structures is therefore modified by applying a thin adhesive oxide layer to the wall of the pores, after which the pores in the surface are filled via 'dip coating' with a thin, porous layer of cohesive solid particles of which the diameter is smaller than the diameter of the pores in the surface of the metal.

De vaste oxide deeltjes met afmetingen van ongeveer 2 tot 0,01 μπι die op deze wijze door 'dipcoating'in de mond 30 van de poriën van het metaal worden aangebracht kunnen volgens de bekende stand van de techniek worden verkregen. Zeer geschikt is een bereiding van kleine deeltjes door de ontleding in stromende lucht of in een oxiderende gasstroom van metaaloxalaten, zoals nikkeloxalaat of zinkoxalaat, of 35 mengoxalaten van twee of meer metaalionen, zoals nikkel-magnesiumoxalaat. Door ontleding van oxalaten aan de lucht 1010267 11 verkrijgt men de overeenkomstige (meng)oxiden. Ook door vlamhydrolyse van bijvoorbeeld chloriden kan men oxidedeeltjes bereiden die uitstekend voor fabricage van volgens de huidige werkwijze gemodificeerde 5 metaaloppervlakken geschikt zijn. Voor de bereiding van siliciumdioxide door vlamhydrolyse is de reactieThe solid oxide particles with dimensions of about 2 to 0.01 µm which are applied in this manner by dip coating in the mouth 30 of the pores of the metal can be obtained according to the known art. Very suitable is a preparation of small particles by the decomposition in flowing air or in an oxidizing gas stream of metal oxalates, such as nickel oxalate or zinc oxalate, or mixed oxalates of two or more metal ions, such as nickel-magnesium oxalate. The corresponding (mixed) oxides are obtained by decomposition of oxalates in air. Oxide particles can also be prepared by flame hydrolysis of, for example, chlorides, which are excellent for manufacturing metal surfaces modified according to the present method. The reaction is for the preparation of silicon dioxide by flame hydrolysis

SiCl, + 2H20 = Si02 + 4HC1SiCl, + 2H 2 O = SiO 2 + 4HCl

Op analoge wijze produceert men op industriële schaal veel andere metaaloxiden, zoals aluminiumoxide en titaandioxide.In an analogous way, many other metal oxides are produced on an industrial scale, such as aluminum oxide and titanium dioxide.

10 Het 'dipcoaten' wordt volgens de uitvinding uitgevoerd door van gangbare technieken gebruik te maken. Men bereidt een suspensie van de aan te brengen oxidedeelt jes in bijvoorbeeld een water of een water/ethanol mengsel waaraan ter instelling van de viscositeit bijvoorbeeld methylcellu-15 lose is toegevoegd. De aanwezigheid van grotere conglomeraten in de suspsensie waarmee het 'dipcoaten' wordt uitgevoerd moet worden vermeden. Grotere conglomeren leiden tot een ruwer oppervlak. Volgens de uitvinding wordt de suspensie vooraf gefiltreerd over een filter met poriën van 20 25 μπι of met kleinere poriën.According to the invention, the "dip coating" is carried out using conventional techniques. A suspension of the oxide particles to be applied is prepared in, for example, a water or a water / ethanol mixture to which, for example, methyl cellulose has been added to adjust the viscosity. The presence of larger conglomerates in the suspension with which the 'dip coating' is carried out should be avoided. Larger conglomerations lead to a rougher surface. According to the invention, the suspension is pre-filtered through a filter with pores of 20 µm or smaller pores.

Wanneer het 'dipcoaten' wordt uitgevoerd met deeltjes van titaandioxide of zirkoondioxide met een gemiddelde afmeting van 0,05 μπι, wordt een membraan verkregen dat uitstekend geschikt is voor microfiltratie, waarbij men 25 gebruik maakt van poriën van 0,05 tot 10 μπι.. Zowel het metaal als de oxidedeeltjes zijn tegen een alkalisch milieu bestand. Volgens een voorkeursvorm van de werkwijze volgens de uitvinding wordt derhalve het 'dipcoaten' uitgevoerd met een suspensie van titaandioxide of zirkoondioxide.When the "dip coating" is carried out with particles of titanium dioxide or zirconium dioxide with an average size of 0.05 μπι, a membrane is obtained which is excellent for microfiltration, using pores of 0.05 to 10 μπι .. Both the metal and the oxide particles are resistant to an alkaline environment. According to a preferred form of the method according to the invention, the "dip coating" is therefore carried out with a suspension of titanium dioxide or zirconium dioxide.

30 In de techniek kan men met veel voordeel membranen met veel nauwere poriën dan voorkomend in poreuze metalen of legeringen en veel nauwer dan de bovengenoemde poriën van 2 tot 0,05 μπι toepassen. In dit geval gaat het om poriën van 10 tot 0,5 nm. Men kan met behulp van dergelijke membranen 35 opgeloste verbindingen uit vloeistoffen afscheiden en men f 1010267 12 kan gasmoleculen met een verschillend moleculair gewicht of met verschillende afmetingen scheiden. Het voordeel van dergelijke poreuze materialen is reeds lang onderkend en technisch heeft men verschillende materialen die dergelijke 5 scheidingen kunnen uitvoeren voorgesteld.Membranes with much narrower pores than those found in porous metals or alloys and much narrower than the aforementioned pores of 2 to 0.05 µm can be used to great advantage in the art. In this case it concerns pores from 10 to 0.5 nm. Dissolved compounds can be separated from liquids by means of such membranes and gas molecules of different molecular weight or dimensions can be separated. The advantage of such porous materials has long been recognized and various materials that can perform such separations have been proposed technically.

Volgens de stand van de techniek past men in het algemeen voor de scheiding van verschillende gasmoleculen membranen bestaande uit polymeren toe. Een bezwaar van polymeer membranen is het feit dat men dergelijke membranen niet 10 gemakkelijk kan reinigen door de membranen op hoge temperaturen te verhitten. Ook een groot drukverschil kan men in het algemeen niet gemakkelijk over polymeer membranen aanleggen. Tenslotte kan men polymeer membranen niet goed bij verhoogde temperaturen toepassen. Met name als men het 15 thermodynamisch evenwicht door selectief verwijderen van een bepaalde component wil verschuiven, moet men in het algemeen bij verhoogde temperaturen werken. Als men membranen bij hogere temperaturen en grotere drukverschillen wil toepassen, moet men de membranen vervaardigen uit metalen of 20 keramische materialen.In the prior art, membranes consisting of polymers are generally used for the separation of various gas molecules. A drawback of polymer membranes is the fact that such membranes cannot be easily cleaned by heating the membranes at high temperatures. It is also generally not easy to apply a large pressure difference over polymer membranes. Finally, polymer membranes cannot be used well at elevated temperatures. In particular, if one wants to shift the thermodynamic equilibrium by selectively removing a certain component, one generally has to work at elevated temperatures. If one wishes to use membranes at higher temperatures and greater pressure differences, the membranes must be manufactured from metal or ceramic materials.

Voor technische toepassingen zijn de mechanische eigenschappen van metalen in het algemeen veel aantrekkelijker dan de eigenschappen van keramische materialen. Het is evenwel buitengewoon moeilijk om grof-poreuze metalen platen of 25 buizen te produceren met op het oppervlak een dunne laag met poriën met afmetingen van 10 nm tot minder dan 1 nm. In de techniek maakt men daarom meestal gebruik van membraanmodules die geheel van keramisch materiaal zijn vervaardigd. Volgens de stand van de techniek brengt men een 30 dunne keramische laag met zeer fijne poriën aan op een keramische laag met grovere poriën, vaak brengt men nog één of meer keramische tussenlagen aan, waarbij men de afmeting van de poriën gaande naar de toplaag met de nauwste poriën in stappen laat afnemen. Een bezwaar van dergelijke volledig 35 keramische membranen is dat het inklemmen in technische apparatuur lastig is, zeker als het inklemmen bij lage j 1010267 13 temperatuur geschiedt en het membraan later bij verhoogde temperatuur moet worden gebruikt.For technical applications, the mechanical properties of metals are generally much more attractive than the properties of ceramic materials. However, it is extremely difficult to produce coarsely porous metal plates or tubes having a thin layer on the surface with pores of dimensions from 10 nm to less than 1 nm. In the art, therefore, membrane modules are usually used, which are made entirely of ceramic material. According to the prior art, a thin ceramic layer with very fine pores is applied to a ceramic layer with coarser pores, often one or more ceramic intermediate layers are applied, the size of the pores going to the top layer with the narrows pores in steps. A drawback of such fully ceramic membranes is that clamping in technical equipment is difficult, especially if clamping takes place at a low temperature and the membrane must later be used at an elevated temperature.

In de techniek past men, zoals boven opgemerkt, veelvuldig grof-poreuze metalen buizen of platen toe. Men 5 kan de afmeting van de poriën in dergelijke materialen variëren tot een mininale afmeting van ongeveer 5 μπι. Eerder is daarom voorgesteld in de octrooiaanvragen International Patent Application WO 91/12879 en WO 92/13637 een dunne fijn-poreuze keramische laag op het oppervlak van grof-10 poreuze metalen aan te brengen. De dunne poreuze keramische laag sluit de grove poriën van het metaal af. Van belang is het verschil in uitzettingscoëfficiënt van het metaal en de keramische laag. Van keramische materialen, zoals aluminiumoxide, is de uitzettingscoëfficiënt ongeveer 7xl0'6 15 per °C, terwijl die van metalen, zoals ijzer en koper, ongeveer 15xl0‘6 per °C is. Door dit verschil in thermische uitzettingscoëfficiënt kan men alleen dunne keramische lagen toepassen. In verband met de permeabiliteit van de membraanlaag tracht men met een zo dun mogelijke laag 20 keramisch materiaal een lekvrij membraan te realiseren. Het gebruik van een dunne keramische laag is dus geen bezwaar.As noted above, the art frequently uses coarsely porous metal pipes or plates. The size of the pores in such materials can be varied to a minimum size of about 5 µm. It has therefore previously been proposed in the patent applications International Patent Application WO 91/12879 and WO 92/13637 to apply a thin fine-porous ceramic layer to the surface of coarse-porous metals. The thin porous ceramic layer seals the coarse pores of the metal. The difference in the expansion coefficient of the metal and the ceramic layer is important. The expansion coefficient of ceramics, such as aluminum oxide, is about 7x106 per ° C, while that of metals, such as iron and copper, is about 15x106 per ° C. Due to this difference in thermal expansion coefficient, only thin ceramic layers can be used. In connection with the permeability of the membrane layer, an attempt is made to create a leak-free membrane with the thinnest possible layer of ceramic material. The use of a thin ceramic layer is therefore no problem.

In de bovengenoemde octrooiaanvrage WO 91/12879 is voorgesteld de poriën van het poreuze metaal te vullen met een vloeistof met een hogere dichtheid dan water. Ook is het 25 mogelijk deze poriën te vullen met een materiaal met een relatief laag smeltpunt, zoals een was of kaarsvet. Vervolgens laat men een sol van een geschikt materiaal, zoals siliciumdioxide, aluminiumoxide of titaandioxide, over het oppervlak van het poreuze metaal uitvloeien, waarna men 30 de sol laat drogen nadat men de sol eventueel heeft laten geleren. Om te voorkomen dat er scheuren in de gedroogde laag ontstaan, moet men het drogen zeer zorgvuldig uitvoeren. Nadat de sol of de gel gedroogd is, verwijdert men de vloeistof of het wasachtige materiaal, waarna men 35 door verhitting op een temperatuur van bijvoorbeeld 450 tot 650°C de fijn-poreuze keramische laag stabiliseert.In the above-mentioned patent application WO 91/12879 it has been proposed to fill the pores of the porous metal with a liquid of a higher density than water. It is also possible to fill these pores with a material with a relatively low melting point, such as a wax or candle grease. Then, a sol of a suitable material, such as silicon dioxide, alumina or titanium dioxide, is allowed to flow out over the surface of the porous metal, and the sol is allowed to dry after the sol has been allowed to gel. To avoid cracks in the dried layer, drying should be done very carefully. After the sol or gel has dried, the liquid or waxy material is removed and the fine-porous ceramic layer is stabilized by heating to a temperature of, for example, 450 to 650 ° C.

1010267 141010267 14

Hoewel deze procedure belangwekkende membraancomposieten oplevert, is het drogen van de al dan niet gegeleerde sol een zeer kritische operatie. In WO 92/13637 stelt men daarom voor een oplossing van een 5 materiaal als siliconenrubber of the titaan equivalent van siliconenrubber over een poreus metaal waarvan de poriën gevuld zijn met een zware vloeistof of een wasachtig materiaal uit te laten vloeien en het oplosmiddel door verdamping te verwijderen. Hieruit resulteert een zeer dunne 10 laag siliconenrubber, die zeer sterk aan het metaaloppervlak hecht, vervolgens verwijdert men de zware vloeistof of het wasachtige materiaal, waarna men de organische bestanddelen van het siliconenrubber door verhitting aan de lucht of in een zuurstof bevattende gasstroom verwijdert. Het resultaat 15 is een zeer dunne laag, hoog-poreus siliciumdioxide, die zeer sterk aan het metaal is gehecht. Het siliciumdioxide bevat poriën van 0,8 en 1,2 nm. Het is van belang dat de fijn-poreuze keramische membraanlaag bij hoge temperaturen wordt gevormd. Bij afkoelen komt de laag onder drukspanning 20 te staan; keramische materialen kunnen een drukspanning veel beter opnemen dan een trekspanning.While this procedure yields interesting membrane composites, drying the gelled sol or not is a very critical operation. In WO 92/13637 it is therefore proposed to dissolve a solution of a material such as silicone rubber or the titanium equivalent of silicone rubber over a porous metal whose pores are filled with a heavy liquid or a waxy material and the solvent to be evaporated by evaporation. remove. This results in a very thin layer of silicone rubber, which adheres very strongly to the metal surface, then the heavy liquid or the waxy material is removed, after which the organic components of the silicone rubber are removed by heating in the air or in an oxygen-containing gas stream. The result is a very thin layer of high porosity silica, which is very strongly adhered to the metal. The silicon dioxide contains pores of 0.8 and 1.2 nm. It is important that the fine-porous ceramic membrane layer is formed at high temperatures. On cooling, the layer is placed under compressive stress 20; ceramic materials can absorb a compressive stress much better than a tensile stress.

Hoewel de laatst besproken werkwijze zeer goede membranen oplevert, is de kwaliteit van de poreuze metalen onderlagen een zeer groot probleem. In het algemeen is het 25 oppervlak van op de boven besproken wijzen commercieel geproduceerde poreuze metalen buizen en platen relatief ruw, terwijl er ook (in geringe mate) poriënriën van 15 tot 20 μπι in het oppervlak voorkomen. Uit onderzoek met een raster-electronen microscoop is gebleken dat het oppervlak van 30 commerciële poreuze roestvrij stalen structuren een aantal grote poriën met diameters tot 20 μπι bevat. In kwalitatieve goed structuren komen weinig, relatief grote poriën in het oppervlak voor. Om poriën met dergelijke afmetingen te kunnen overbruggen, zijn betrekkelijk dikke keramische mem-35 braanlagen vereist. Hierdoor leidt de aanwezigheid van een 1010267 15 betrekkelijk kleine fractie grote poriën tot een aanmerkelijk lagere permeabiliteit van de membraanlaag. Het is derhalve technisch van groot belang poreuze metalen onderlagen te verschaffen die geen poriën met afmetingen groter dan on- 5 geveer 10 μπι bevatten.Although the last method discussed provides very good membranes, the quality of the porous metal substrates is a very big problem. In general, the surface of porous metal pipes and plates commercially produced in the manner discussed above is relatively rough, while there are also (to a small extent) pores of 15 to 20 µm in the surface. Research with a scanning electron microscope has shown that the surface of 30 commercial porous stainless steel structures contains a number of large pores with diameters up to 20 μπι. In qualitative good structures few, relatively large pores occur in the surface. In order to bridge pores of such dimensions, relatively thick ceramic membrane layers are required. As a result, the presence of a relatively small fraction of large pores leads to a considerably lower permeability of the membrane layer. It is therefore technically of great importance to provide porous metal substrates that do not contain pores with dimensions larger than about 10 µm.

Volgens de bekende stand van de techniek heeft men getracht door het aanbrengen van een netwerk van zeer dunne draden (bijvoorbeeld met een diameter van 5 tot 10 μπι) het oppervlak van commerciële poreuze metalen gladder te maken 10 en poriën met grotere afmetingen te elimineren. In de praktijk blijkt dit evenwel een kostbare procedure te zijn, terwijl het resultaat vaak te wensen overlaat. Onderzoek van een groot aantal commerciële structuren in de rasterelectronenmicroscoop liet zien dat ook in dit geval 15 men de grote poriën niet genoegzaam kan verwijderen. Ook heeft men wel getracht door het besproeien met kleine metaaldeeltjes de kwaliteit van het oppervlak te verbeteren. Met deze werkwijze blijkt men wel de grove poriën te elimineren, maar dit gaat ten koste van een grotere ruwheid 20 van het oppervlak. Hierdoor is het oppervlak lastig met een afsluitende dunne laag van een fijn-poreus keramisch materiaal te bedekken. Ook weefsels van dunne metaaldraden leveren niet een oppervlak dat geschikt is voor het aanbrengen van dunne poreuze keramische lagen.The prior art has attempted to smooth the surface of commercial porous metals and eliminate larger sized pores by applying a network of very thin threads (for example, 5 to 10 microns in diameter). In practice, however, this appears to be an expensive procedure, while the result often leaves something to be desired. Examination of a large number of commercial structures in the scanning electron microscope showed that in this case too the large pores cannot be sufficiently removed. Attempts have also been made to improve the quality of the surface by spraying with small metal particles. This method has been found to eliminate the coarse pores, but this is at the expense of a greater surface roughness. This makes it difficult to cover the surface with a sealing thin layer of a fine-porous ceramic material. Also thin metal wire fabrics do not provide a surface suitable for applying thin porous ceramic layers.

25 Een tweede hoofddoelstelling van de onderhavige uitvinding is derhalve het verschaffen van een grof-poreus metaal met een zodanig oppervlak dat een dunne poreuze laag van een keramisch materiaal voldoende is om alle grove poriën af te sluiten. Een dergelijk gemodificeerd oppervlak 30 van een poreus metaal heeft bij voorkeur poriën van 2 tot 0,1 μπι.A second main object of the present invention is therefore to provide a coarsely porous metal with a surface such that a thin porous layer of a ceramic material is sufficient to close all coarse pores. Such a modified porous metal surface 30 preferably has pores from 2 to 0.1 µm.

Een verder doel van de onderhavige uitvinding is het verschaffen van poreuze metalen met een oppervlak waarvan de poriën geheel of nagenoeg geheel gesloten zijn met dunne la- 1010267 16 gen van metalen of legeringen die selectief bepaalde gasmoleculen doorlaten.A further object of the present invention is to provide porous metals with a surface whose pores are wholly or substantially closed with thin layers of metals or alloys that selectively allow passage of certain gas molecules.

Op een aldus gemodificeerd poreus metaaloppervlak kan men relatief vlot uitgaande van siliconenrubber een poreuze 5 laag siliciumdioxide met poriën van 0,8 en 1,2 nm aanbrengen. Figuur 2 geeft een schematisch beeld van de metaal structuur. Op deze wijze verkrijgt men een membraan met zodanig kleine poriën dat men een aantal gasmoleculen kan scheiden door gebruik te maken van een verschil in transport 10 bij Knudsen diffusie. Om een volledig dichte laag te krijgen, zal men in het algemeen meer dan één laag siliciumdioxide via siliconenrubber aanbrengen. Bijzonder aantrekkelijk is ook het aanbrengen van één of meer lagen siliciumdioxide via sol-gel methodieken volgens de bekende 15 stand van de techniek. Tot de uitvinding behoort ook een eerste laag aangebracht door pyrolyse van een laag siliconenrubber gevolgd door één of meer lagen volgens een sol-gel werkwijze. Het is bekend dat men door gebruik te maken van sol-gel technieken lagen kan verkrijgen met poriën 20 die slechts waterstof doorlaten.On a thus modified porous metal surface, a porous layer of silicon dioxide with pores of 0.8 and 1.2 nm can be applied relatively quickly, starting from silicone rubber. Figure 2 gives a schematic view of the metal structure. In this way a membrane with such small pores is obtained that one can separate a number of gas molecules by making use of a difference in transport 10 at Knudsen diffusion. In general, to obtain a completely dense layer, more than one layer of silicon dioxide will be applied via silicone rubber. It is also particularly attractive to apply one or more layers of silicon dioxide via sol-gel methods according to the known prior art. The invention also includes a first layer applied by pyrolysis of a layer of silicone rubber followed by one or more layers by a sol-gel method. It is known that by using sol-gel techniques one can obtain layers with pores that only allow hydrogen to pass through.

In een aantal gevallen kan men voor het scheiden van gassen met voordeel gebruikt maken van het feit dat bepaalde metalen selectief bepaalde gasmoleculen oplossen. Een voorbeeld is zilver waarin selectief zuurstof oplost, 25 terwijl waterstof selectief in palladium of palladium legeringen oplost. Om rekristallisatie te vermijden past men bij voorkeur een palladium-zilver legering toe. Volgens de onderhavige uitvinding brengt men een dichte laag van een metaal (het membraanmetaal) in de poriën van een met vaste 30 deeltjes gemodificeerd poreus metaal aan door het 'dipcoaten' uit te voeren met een colloïdale suspensie van het gewenste metaal. Ook is het mogelijk de poriën van het gemodificeerde poreuze metaal met een zware vloeistof te vullen en een sol van het gewenste metaal over het 35 gemodificeerde te laten spreiden. Na een thermische behandeling in een zonodig reducerende gasstroom sinteren de * 1010267 17 kleine metaaldeeltjes samen tot een dicht propje dat de poriemond volledig afsluit. Door de sterke interactie met de dunne op de wand van de poriemond aangebrachte hecht laag, heeft het membraanmetaal geen neiging los te komen van het 5 oppervlak van de poriewand.In a number of cases, for the separation of gases, advantage can be taken of the fact that certain metals selectively dissolve certain gas molecules. An example is silver in which selectively dissolves oxygen, while hydrogen selectively dissolves in palladium or palladium alloys. To avoid recrystallization, a palladium-silver alloy is preferably used. According to the present invention, a dense layer of a metal (the membrane metal) is deposited in the pores of a solid particle-modified porous metal by "dip coating" with a colloidal suspension of the desired metal. It is also possible to fill the pores of the modified porous metal with a heavy liquid and to spread a sol of the desired metal over the modified. After heat treatment in a reducing gas stream, if necessary, the * 1010267 17 small metal particles sinter together to form a tight plug that completely seals the pore mouth. Due to the strong interaction with the thin adhesive layer applied to the wall of the pore mouth, the membrane metal has no tendency to detach from the surface of the pore wall.

Volgens een voorkeursvorm van de werkwijze volgens de uitvinding wordt een zilversol gebruikt bereid volgens een door Carey Lea gepubliceerde methode (Carey Lea, Am.J.Sci.In a preferred form of the method of the invention, a silver sol is used prepared according to a method published by Carey Lea (Carey Lea, Am. J. Sci.

(3) 37 (1889) 476). Deze bereidingswijze leidt tot een zeer 10 geconcentreerd zilversol. Verrassenderwijs is gebleken dat de zilverdeelt jes bij voorkeur in de poriën van het gemodificeerde grof-poreuze metaal dringen.(3) 37 (1889) 476). This method of preparation leads to a highly concentrated silver sol. Surprisingly, it has been found that the silver particles preferably penetrate into the pores of the modified coarsely porous metal.

De gemodificeerde poreuze metalen oppervlakken volgens de onderhavige uitvinding zijn ook bij uitstek geschikt voor 15 het aanbrengen van zuurstofionengeleiders. Als men uitsluitend transport van zuurstof beoogt, is een electronische geleider uitstekend geschikt. Een tegengestelde electronenstroom neutraliseert dan de stroom zuurstofionen door de laag. Wanneer men daarentegen 20 toepassing in een 'solid oxide fuel cell' nastreeft, moet men een electronische isolator gebruiken. Nu zal men de oxidische laag bij voorkeur op de poriemonden aanbrengen, waarbij men op de oxidische laag weer een metalen geleider die het oppervlak niet volledig bedekt aanbrengt.The modified porous metal surfaces of the present invention are also ideally suited for the application of oxygen ion conductors. If only transport of oxygen is intended, an electronic conductor is ideally suited. An opposite electron flow then neutralizes the flow of oxygen ions through the layer. If, on the other hand, one strives for application in a 'solid oxide fuel cell', one must use an electronic insulator. The oxidic layer will now preferably be applied to the pore mouths, with a metal conductor again applied to the oxidic layer, which does not completely cover the surface.

25 Voorbeeld25 Example

Vervaardiging van een siliciumdioxide membraan met zeer nauwe poriënManufacture of a silicon dioxide membrane with very narrow pores

In dit voorbeeld zijn roestvrij staal filters vervaardigd door de firma Krebsöge, Radevormwald, Duitsland gebruikt. De 30 filters bestonden uit gesinterd AISI 316L staal (Cr 16,5%, Ni 13,5%, Mo 2,5%, Si 0,7%, C <0,02%, Mn <0,2% en ijzer). De membraanlagen werden aangebracht op schijven met een diameter van precies 24,0 mm en een dikte van 2 mm. De porositeit van het filter was ongeveer 40%. Om de schijven 35 lekvrij te kunnen inklemmen voor meting van het transport f 1010267 18 werden de schijven aangebracht in een niet poreuze roestvast stalen schijf met een diameter van 48 mm en een dikte van 5 mm waarin een cylindrisch gat van precies 24,0 mm was aangebracht. De poreuze schijven werden gebracht in het 5 cylindrische gat van de verhitte niet-poreuze schijf. Na afkoeling bleek de poreuze schijf lekvrij in de niet-poreuze ring te zijn gekrompen.In this example, stainless steel filters manufactured by Krebsöge, Radevormwald, Germany are used. The 30 filters consisted of sintered AISI 316L steel (Cr 16.5%, Ni 13.5%, Mo 2.5%, Si 0.7%, C <0.02%, Mn <0.2% and iron) . The membrane layers were applied to discs with a diameter of exactly 24.0 mm and a thickness of 2 mm. The porosity of the filter was about 40%. In order to be able to clamp the discs 35 leak-free for measurement of the transport f 1010267 18, the discs were placed in a non-porous stainless steel disc with a diameter of 48 mm and a thickness of 5 mm in which a cylindrical hole of exactly 24.0 mm was fitted. The porous discs were placed in the 5 cylindrical hole of the heated non-porous disc. After cooling, the porous disc was found to have shrunk leak-free in the non-porous ring.

De aldus verkregen roestvast stalen structuur werd grondig gereinigd door ultrasoon trillen in aceton en 10 vervolgens door dompelen in een kokende oplossing van 1,5 molair ammonia met 0,1 wt.% Triton-X in water gedurende tenminste één uur. De schijven werden tweemaal gespoeld met kokend gedemineraliseerd water en bewaard onder ethanol.The stainless steel structure thus obtained was thoroughly cleaned by ultrasonic vibration in acetone and then by dipping in a boiling solution of 1.5 molar ammonia with 0.1 wt.% Triton-X in water for at least one hour. The discs were rinsed twice with boiling demineralized water and stored under ethanol.

Om een goede adhesie tussen de hierna aan te brengen 15 nikkeloxide deeltjes en de wand van de poriën van het roestvrij staal te verkrijgen, werd een siliciumdioxide laag op de wand van de poriën aangebracht. Dit geschiedde door 30 tot 60 μΐ van een oplossing van RTV siliconenrubber (Bison,In order to obtain a good adhesion between the nickel oxide particles to be applied below and the wall of the pores of the stainless steel, a silicon dioxide layer was applied to the wall of the pores. This was done by 30 to 60 μΐ of a solution of RTV silicone rubber (Bison,

Perfecta Int. Nederland) 4,8gew.% in ethylacetaat (Merck) of 20 diethylether (Merck) op de poreuze metalen schijven te brengen. De na drogen resulterende laag siliconenrubber werd gepyrolyseerd tot siliciumdioxide in lucht bij 723 K.Perfecta Int. Netherlands) 4.8% by weight in ethyl acetate (Merck) or diethyl ether (Merck) on the porous metal discs. The layer of silicone rubber resulting after drying was pyrolyzed to silica in air at 723 K.

Nikkeloxalaatdihydraat werd bereid door oplossingen van oxaalzuur en nikkelnitraat te mengen. Een oplossing van 25 nikkelnitraathexahydraat werd snel toegevoegd aan een oplossing van oxaalzuurdihydraat. De volumina van beide oplossingen waren gelijk; de uiteindelijke concentratie van de reactanten was 1,0 molair. Het precipitatievat werd op een vaste temperatuur van 293 K gehouden. Na 30 min werd het 30 neerslag afgefiltreerd en gewassen met gedemineraliseerd water en ethanol. De filterkoek werd gedroogd gedurende 24 uur bij 353 K in stationaire lucht. Het resulterende materiaal werd in een kogelmolen met ethanol gemalen gedurende 4 uur, waarna de alcohol verdampt werd bij 393 K 35 gedurende minstens 16 uur.Nickel oxalate dihydrate was prepared by mixing solutions of oxalic acid and nickel nitrate. A solution of nickel nitrate hexahydrate was quickly added to a solution of oxalic acid dihydrate. The volumes of both solutions were equal; the final concentration of the reactants was 1.0 molar. The precipitation vessel was kept at a fixed temperature of 293 K. After 30 min, the precipitate was filtered off and washed with demineralized water and ethanol. The filter cake was dried at 353 K in stationary air for 24 hours. The resulting material was ball milled with ethanol for 4 hours, after which the alcohol was evaporated at 393 K for at least 16 hours.

1010267 191010267 19

Nikkeloxide deeltjes werden verkregen door het aldus bereide nikkeloxalaat in een roterende oven op te warmen met een snelheid van 1 K/min naar 723 K in een 100 ml/min 02/A (20/80) stroom. Nadat het monster gedurende 5 uur op 723 K 5 was gehouden, werd het afgekoeld naar kamertemperatuur. De deeltjesgrootte van de nikkeloxide deeltjes werd bepaald met rasterelectronenmicroscopie en met een optische deeltjesteller, Accusizer 770 Optical Partiele Sizer met een detectielimiet van 1 μπι. Het laatste instrument gaf een 10 gemiddelde clusterafmeting van 1,5 μπι met een kleine fractie groter dan 2 μπι aan. Het BET oppervlak varieerde van 10 tot 17 m2 per gram. Dit correspondeert met elementaire nikkeloxide deeltjes van 0,08 tot 0,03 μπι.Nickel oxide particles were obtained by heating the nickel oxalate thus prepared in a rotary oven at a rate of 1 K / min to 723 K in a 100 ml / min 02 / A (20/80) stream. After the sample was kept at 723 K 5 for 5 hours, it was cooled to room temperature. The particle size of the nickel oxide particles was determined by scanning electron microscopy and with an optical particle counter, Accusizer 770 Optical Partial Sizer with a detection limit of 1 μπι. The last instrument indicated a mean cluster size of 1.5 μπι with a small fraction greater than 2 μπι. The BET surface varied from 10 to 17 m2 per gram. This corresponds to elemental nickel oxide particles from 0.08 to 0.03 μπι.

Rasterelectronenmicroscopie gaf aan dat de afmeting van de 15 individuele nikkeloxide deeltjes aanmerkelijk kleiner was dan 1 μπι.Scanning electron microscopy indicated that the size of the 15 individual nickel oxide particles was significantly smaller than 1 μπι.

Het nikkeloxide poeder werd gesuspendeerd in alcohol gedurende tenminste 4 uur in een kogelmolen gemalen. De resulterende pasta werd verdund met ethanol en gefiltreerd 20 over een 17 μπι filter (Haver & Boecker). Het gehalte aan vaste stof van de gefiltreerde suspensie werd gebracht op 10 tot 12 gew.%. Hierna werd de suspensie gebracht in een geroerd vat met keerschotten en methylcellulose (Genfarma) werd toegevoegd tot een hoeveelheid van 2 gew. %. De 25 suspensie werd onder roeren verwarmd tot 328 K, juist boven het geleringspunt. Vervolgens werd een gelijk volume water onder heftig roeren toegevoegd, wat leidde tot een dramatische toeneming van de viscositeit. De suspensie werd gedurende 10 min geroerd en daarna gefilterd door een 25 μπι 30 gaas onder 2 tot 4 bar druk. De suspensie werd tenslotte afgekoeld naar kamertemperatuur.The nickel oxide powder was suspended in alcohol milled in a ball mill for at least 4 hours. The resulting paste was diluted with ethanol and filtered through a 17 μl filter (Haver & Boecker). The solids content of the filtered suspension was adjusted to 10 to 12% by weight. After this, the suspension was placed in a stirred vessel with baffles and methyl cellulose (Genfarma) was added to an amount of 2 wt. %. The suspension was heated to 328 K with stirring just above the gelation point. An equal volume of water was then added with vigorous stirring, which led to a dramatic increase in viscosity. The suspension was stirred for 10 min and then filtered through a 25 µg mesh under 2 to 4 bar pressure. The suspension was finally cooled to room temperature.

De zorgvuldig gereinigde roestvast stalen schijven werden verticaal gemonteerd in een dipcoat apparaat. Een 1010267 20 snelheid van 1 en van 3 mm/min werd gebruikt. Na het dipcoaten werd de schijf gedurende 5 uur verhit in een luchtstroom van 100 ml/min op 723 K, na opwarmen met een snelheid van 1 K/min in een speciale kwartsoven. Na afkoelen 5 bleek het nikkeloxide zeer sterk in de poriemonden van het roestvast staal te zijn gebonden. De gemiddelde diameter van de poriën was 2 μπι. Om een totale bedekking van alle grove poriën van het roestvaste staal te verkrijgen, moest in het algemeen driemaal een laag nikkeloxide met dipcoaten worden 10 aangebracht. De uiteindelijke dikte van de nikkeloxidelaag was dan 15 tot 20 μπι.The carefully cleaned stainless steel discs were mounted vertically in a dip-coating device. A 1010267 speed of 1 and of 3 mm / min was used. After dip coating, the disk was heated in an air flow of 100 ml / min at 723 K for 5 hours, after heating at a rate of 1 K / min in a special quartz oven. After cooling, the nickel oxide was found to be very strongly bound in the pore mouths of the stainless steel. The mean pore diameter was 2 μπι. In general, in order to obtain a total coverage of all the coarse pores of the stainless steel, a layer of nickel oxide with dip coating had to be applied three times. The final thickness of the nickel oxide layer was then 15 to 20 µm.

De poriën van het roestvast staal werden tijdelijk gevuld met 1,1,1-trichloorethaan (Aldrich), waarna men een oplossing van siliconenrubber (Bison, Perfecta Int.The pores of the stainless steel were temporarily filled with 1,1,1-trichloroethane (Aldrich), after which a solution of silicone rubber (Bison, Perfecta Int.

15 Nederland) van 8 tot 10 gew.% in diethylether (Jansen) over het oppervlak van de roestvast stalen schijf liet vloeien.The Netherlands) flowed from 8 to 10% by weight in diethyl ether (Jansen) over the surface of the stainless steel disc.

Nadat het oplosmiddel was verdampt, werd de siliconenrubberfilm gedurende tenminste één uur aan de lucht gedroogd. Na verwijdering van het 1,1,1-trichloorethaan werdAfter the solvent had evaporated, the silicone rubber film was air dried for at least one hour. After removal of the 1,1,1-trichloroethane

20 de bedekte roestvast stalen schijf gedurende 5 uur bij 723 K20 the covered stainless steel disc at 723 K for 5 hours

in een stroom lucht gehouden en daarna afgekoeld. De opwarming en afkoeling geschiedde met 1 K/min. Na het aanbrengen van 1 tot 5 siliciumdioxidelagen was de permeantie van de resulterende membraansystemen 7 tot 12 x 25 10 _5 mol/(m2secPa). uit de variatie van de permeantie met het drukverschil over het membraansysteem bleek nog enige bijdrage van laminaire stroming aanwezig te zijn. Bij een groter aan siliciumdioxidelagen was een bijdrage van laminaire stroming nagenoeg afwezig. Om de 30 reproduceerbaarheid van de vervaardiging van membraansystemen volgens de uitvinding na te gaan werden vier verschillende membraansystemen op dezelfde wijze bereid. Als er geen merkbare bijdrage was van laminaire stroming varieerde de permeantie van 1,2 tot 5,4 x 10"6 35 mol/(m2secPa). Hieruit blijkt dat membraansystemen met een < 1010267 21 dergelijke hoge permeantie reproduceerbaar zijn te vervaardigen.kept in a stream of air and then cooled. Heating and cooling were done at 1 K / min. After the application of 1 to 5 silicon dioxide layers, the permeance of the resulting membrane systems was 7 to 12 x 25 10-5 mol / (m2secPa). The variation of the permeance with the differential pressure across the membrane system showed that some contribution from laminar flow was still present. With a larger silicon dioxide layer, a contribution of laminar flow was virtually absent. In order to check the reproducibility of the manufacture of membrane systems according to the invention, four different membrane systems were prepared in the same manner. If there was no noticeable contribution from laminar flow, the permeance varied from 1.2 to 5.4 x 10 6 6 mol / (m2secPa). This shows that membrane systems with such a high permeance can be reproducibly manufactured.

10102671010267

Claims (24)

1. Grof-poreuze metalen structuren met het kenmerk dat een dunne oppervlaktelaag die uitsluitend poriën met afmetingen van ongeveer 2 tot 0,01 μπι bevat op de metalen structuur is aangebracht.1. Coarsely porous metal structures characterized in that a thin surface layer containing only pores with dimensions of about 2 to 0.01 μπι is applied to the metal structure. 52. Werkwijze voor het vervaardigen van grof-poreuze metalen werkstukken volgens conclusie 1 met het kenmerk dat men deeltjes met afmetingen van 2 tot 0,05 μπι van metalen of legeringen, van tot metalen of legeringen te reduceren verbindingen of van keramische materialen aanbrengt in de 10 poriemonden van de grof-poreuze metalen onderlaag.52. Method for manufacturing coarsely porous metal workpieces according to claim 1, characterized in that particles with dimensions of 2 to 0.05 µm of metals or alloys, of compounds to be reduced to metals or alloys or of ceramic materials are introduced into the 10 pore mouths of the coarsely porous metal substrate. 3. Werkwijze volgens conclusie 2 met het kenmerk dat men de deeltjes door 'dipcoaten' met een suspensie van deeltjes van 2 tot 0,05 μπι aanbrengt.3. Process according to claim 2, characterized in that the particles are applied by dip coating with a suspension of particles of 2 to 0.05 µm. 4. Werkwijze volgens conclusie 2 met het kenmerk dat men de 15 deeltjes door uitvloeien van een suspensie van deeltjes van 2 tot 0,05 μπι over het grof-poreuze metaal aanbrengt waarbij de poriën van het metaal grotendeels met een vloeistof zijn gevuld.4. Process according to claim 2, characterized in that the particles are applied by flowing a suspension of particles of 2 to 0.05 µm over the coarsely porous metal, the pores of the metal being largely filled with a liquid. 5. Werkwijze volgens conclusies 3 en 4 met het kenmerk dat 20 men de suspensie voor het aanbrengen op het grof-poreuze metaal filtreert over een filter met openingen van maximaal 17 μπι.5. A method according to claims 3 and 4, characterized in that the suspension is filtered before application to the coarsely porous metal through a filter with openings of maximum 17 µm. 6. Werkwijze volgens conclusie 4 met het kenmerk dat de poriën van de metaal structuur grotendeels met een vloeistof 25 niet mengbaar met de vloeistof van de suspensie van kleine deeltjes en een grotere dichtheid dan de vloeistof van de suspensie zijn gevuld.6. Method according to claim 4, characterized in that the pores of the metal structure are filled to a large extent with a liquid immiscible with the liquid of the suspension of small particles and of a greater density than the liquid of the suspension. 7. Werkwijze volgens conclusie 4 met het kenmerk dat de poriën van de metaal structuur grotendeels met een wasachtig 30 materiaal met een smeltpunt beneden ongeveer 120°C zijn gevuld. i 10102677. Method according to claim 4, characterized in that the pores of the metal structure are largely filled with a waxy material with a melting point below about 120 ° C. i 1010267 8. Werkwijze volgens conclusie 6 met het kenmerk dat men 'spincoating' voor het aanbrengen van de suspensie van kleine deeltjes toepast.8. Process according to claim 6, characterized in that 'spin coating' is used for applying the suspension of small particles. 9. Werkwijze waarbij men kleine metaal- of 5 legeringsdeeltjes bereid door een geschikte precursor van het metaal of de legering fijn verdeeld aan te brengen op een thermostabiel in loog oplosbare drager, deze precursor vervolgens bij verhoogde temperatuur in een daarvoor geschikte gasstroom te reduceren en vervolgens na afkoelen 10 tot kamertemperatuur de drager in loog op te lossen, waarna men de kleine metaaldeeltjes, zonodig na uitvlokken, van de vloeistof scheidt en door wassen de verontreinigingen verwijdert.9. A method in which small metal or alloy particles are prepared by applying a suitable precursor of the metal or alloy finely divided to a thermostable, caustic-soluble carrier, then reducing this precursor at an elevated temperature in a suitable gas stream and subsequently after cooling to room temperature, the carrier is dissolved in lye, after which the small metal particles, if necessary after flocculation, are separated from the liquid and the impurities are removed by washing. 10. Werkwijze volgens conclusie 9 waarbij men als precursor 15 voor legeringsdeeltjes onoplosbare complexe cyaniden op een geschikt dragemateriaal aanbrengt.10. Process according to claim 9, wherein insoluble complex cyanides are applied as precursor 15 to alloy particles on a suitable support material. 11. Grof-poreuze metaal structuur met het kenmerk dat de wanden van de poriemonden met een al dan niet poreuze laag van een oxide zijn bedekt dat zowel op het metaal van de 20 grof-poreuze metaal structuur als op dat van de aan te brengen kleine metaaldeeltjes goed hecht, waarna volgens één of meerderen der conclusies 2 tot en met 8 metallische of niet-metallische deeltjes met afmetingen van 2 tot 0,05 μπι in de poriemonden worden aangebracht.11. Coarse-porous metal structure, characterized in that the walls of the pore mouths are covered with a porous or non-porous layer of an oxide, which covers both the metal of the coarse-porous metal structure and that of the small to be applied metal particles adhere well, after which according to one or more of claims 2 to 8, metallic or non-metallic particles with dimensions of 2 to 0.05 µm are applied in the pore mouths. 12. Grof-poreuze metaal structuur volgens conclusie 11 met het kenmerk dat op de wand van de poriemonden een dunne laag van een emaille vormend oxide is aangebracht.Coarse-porous metal structure according to claim 11, characterized in that a thin layer of an enamel-forming oxide is applied to the wall of the pore mouths. 13. Grof-poreuze metaal structuur volgens conclusie 11 met het kenmerk dat op de wand van de poriemonden een dunne laag 30 siliciumdioxide of titaandioxide is aangebracht.Coarse-porous metal structure according to claim 11, characterized in that a thin layer of silicon dioxide or titanium dioxide is applied to the wall of the pore nozzles. 14. Werkwijze voor het aanbrengen van een dunne oxidelaag volgens conclusie 13 met het kenmerk dat men een dunne laag siliconenrubber of het titaan equivalent daarvan op de wand van de poriemonden van de metaal structuur aanbrengt en na 35 drogen van de laag de organische bestanddelen door oxidatie bij een temperatuur van ongeveer 400 tot 700°C verwijdert. 1010267Method for applying a thin oxide layer according to claim 13, characterized in that a thin layer of silicone rubber or the titanium equivalent thereof is applied to the wall of the pore mouths of the metal structure and after drying of the layer the organic components by oxidation at a temperature of about 400 to 700 ° C. 1010267 15. Grof-poreuze metaal structuur volgens conclusie 11 met het kenmerk dat niet goed reduceerbare oxiden, zoals siliciumdioxide, titaandioxide, of zirkoondioxide, in de poriemonden zijn aangebracht.Coarse-porous metal structure according to claim 11, characterized in that irreducible oxides, such as silicon dioxide, titanium dioxide, or zirconium dioxide, are provided in the pore mouths. 16. Grof-poreuze metalen structuur volgens conclusies 1, 9 of 10 met het kenmerk dat in of op de gemodificeerde poriemonden een dunne laag met poriën met diameters van 5 tot 0,5 nm is aangebracht.Coarsely porous metal structure according to claims 1, 9 or 10, characterized in that a thin layer with pores with diameters from 5 to 0.5 nm is applied in or on the modified pore mouths. 17. Grof-poreuze metaal structuur volgens conclusies 11 met 10 het kenmerk dat de dunne poreuze laag met poriën van 5 tot 0,5 nm bestaat uit siliciumdioxide of titaandioxide.Coarse-porous metal structure according to claim 11, characterized in that the thin porous layer with pores of 5 to 0.5 nm consists of silicon dioxide or titanium dioxide. 18. Werkwijze voor het aanbrengen van een fijn-poreuze laag met poriën van 5 tot 0,5 nm op een volgens conclusies 1, 9 en 10 gemodificeerd poreus metaaloppervlak door een dunne 15 laag siliconenrubber op het oppervlak aan te brengen en deze laag vervolgens te pyrolyseren.18. Method for applying a fine-porous layer with pores of 5 to 0.5 nm on a porous metal surface modified according to claims 1, 9 and 10 by applying a thin layer of silicone rubber to the surface and subsequently applying this layer pyrolysis. 19. Werkwijze voor het aanbrengen van een fijn-poreuze laag met poriën van 5 tot 0,5 nm op een volgens conclusies 1, 9 en 10 gemodificeerd poreus metaaloppervlak door een dunne 20 laag van het titaan equivalent van siliconenrubber op het oppervlak aan te brengen en deze laag vervolgens te pyrolyseren.19. Method for applying a fine-porous layer with pores of 5 to 0.5 nm on a porous metal surface modified according to claims 1, 9 and 10 by applying a thin layer of the titanium equivalent of silicone rubber to the surface and then pyrolyze this layer. 20. Grof-poreuze metaal structuur volgens conclusies 1, 9 of 10 met het kenmerk dat in of op de gemodificeerde 25 poriemonden een dunne niet-poreuze laag van een metaal dat selectief bepaalde gasmoleculen doorlaat is aangebracht.Coarse-porous metal structure according to claims 1, 9 or 10, characterized in that a thin non-porous layer of a metal which selectively allows certain gas molecules to pass is disposed in or on the modified pore mouths. 21. Grof-poreuze metaal structuur volgens conclusie 20 met het kenmerk dat in of op de gemodificeerde poriemonden een dunne niet-poreuze laag zilver of een zuurstof-doorlatende 30 zilver legering is aangebracht.Coarse-porous metal structure according to claim 20, characterized in that a thin non-porous layer of silver or an oxygen-permeable silver alloy is applied in or on the modified pore mouths. 22. Grof-poreuze metaal structuur volgens conclusie 20 met het kenmerk dat in of op de gemodificeerde poriemonden een dunne niet-poreuze laag palladium of een waterstof-doorlatende palladium legering is aangebracht.Coarse-porous metal structure according to claim 20, characterized in that a thin non-porous layer of palladium or a hydrogen-permeable palladium alloy is applied in or on the modified pore mouths. 23. Grof-poreuze metaal structuur volgens conclusie 20 met het kenmerk dat in of op de gemodificeerde poriemonden een 1010267 dunne niet-poreuze laag van een electronisch geleidend oxide of mengoxide is aangebracht dat selectief zuurstof doorlaat.Coarse-porous metal structure according to claim 20, characterized in that a 1010267 thin non-porous layer of an electronically conductive oxide or mixed oxide which selectively transmits oxygen is provided in or on the modified pore mouths. 24. Grof-poreuze metaal structuur volgens conclusie 20 met 5 het kenmerk dat op de gemodificeerde poriemonden een dunne niet-poreuze laag van een niet electronisch geleidend oxide of mengoxide is aangebracht dat selectief zuurstof doorlaat. 1010267Coarse-porous metal structure according to claim 20, characterized in that a thin non-porous layer of a non-electronically conductive oxide or mixed oxide which selectively permits oxygen is applied to the modified pore mouths. 1010267
NL1010267A 1998-10-07 1998-10-07 Modified porous metal surfaces. NL1010267C2 (en)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL1010267A NL1010267C2 (en) 1998-10-07 1998-10-07 Modified porous metal surfaces.
PCT/NL1999/000623 WO2000020106A2 (en) 1998-10-07 1999-10-07 Modified porous metal surfaces
EP99949464A EP1128900A2 (en) 1998-10-07 1999-10-07 Modified porous metal surfaces
AU62331/99A AU6233199A (en) 1998-10-07 1999-10-07 Modified porous metal surfaces
JP2000573460A JP2002526239A (en) 1998-10-07 1999-10-07 Modified porous metal surface

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL1010267 1998-10-07
NL1010267A NL1010267C2 (en) 1998-10-07 1998-10-07 Modified porous metal surfaces.

Publications (1)

Publication Number Publication Date
NL1010267C2 true NL1010267C2 (en) 2000-04-10

Family

ID=19767934

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL1010267A NL1010267C2 (en) 1998-10-07 1998-10-07 Modified porous metal surfaces.

Country Status (5)

Country Link
EP (1) EP1128900A2 (en)
JP (1) JP2002526239A (en)
AU (1) AU6233199A (en)
NL (1) NL1010267C2 (en)
WO (1) WO2000020106A2 (en)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005030376A1 (en) * 2003-09-23 2005-04-07 Lilliputian Systems, Inc. Stressed thin-film membrane islands
US9149750B2 (en) 2006-09-29 2015-10-06 Mott Corporation Sinter bonded porous metallic coatings
US9583778B2 (en) 2007-08-03 2017-02-28 Robert Bosch Gmbh Chemically sintered composite electrodes and manufacturing processes
EP2228122B1 (en) 2009-02-25 2012-08-15 K.M.W.E. Management B.V. Process and reactor for removingVOC from gas flows
EP2228340B1 (en) 2009-02-25 2012-05-30 K.M.W.E. Management B.V. Process for producing hydrogen from methanol
US20210205803A1 (en) * 2020-01-06 2021-07-08 Metalmark Innovations, Inc Functional porous particles embedded/immobilized within porous structures, formation & uses thereof
US11786625B2 (en) 2021-06-30 2023-10-17 Metalmark Innovations PBC Air decontamination and self-renewing purification system utilizing a filter

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0344961A1 (en) * 1988-05-24 1989-12-06 Ceramesh Limited Composite membranes
EP0381812A1 (en) * 1989-02-10 1990-08-16 E.I. Du Pont De Nemours And Company Sintered coating for porous metallic filter surfaces
FR2642984A3 (en) * 1988-12-14 1990-08-17 Metafram Alliages Frittes Filter product with a porous ceramic membrane
WO1991012879A1 (en) * 1990-02-21 1991-09-05 Nederlandse Organisatie Voor Toegepast-Natuurwetenschappelijk Onderzoek Tno Inorganic membranes and a process for making inorganic membranes
EP0481659A1 (en) * 1990-10-19 1992-04-22 The British Petroleum Company P.L.C. Deposition process
WO1992013637A1 (en) * 1991-02-06 1992-08-20 Gastec N.V. Catalyst or membrane precursor systems, catalyst or membrane systems, and method of preparing such systems
EP0537943A1 (en) * 1991-10-10 1993-04-21 Exxon Research And Engineering Company Composite membranes and their fabrication
US5308494A (en) * 1993-03-24 1994-05-03 E. I. Du Pont De Nemours And Company Method for improving filter efficiency
US5364586A (en) * 1993-08-17 1994-11-15 Ultram International L.L.C. Process for the production of porous membranes

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0344961A1 (en) * 1988-05-24 1989-12-06 Ceramesh Limited Composite membranes
FR2642984A3 (en) * 1988-12-14 1990-08-17 Metafram Alliages Frittes Filter product with a porous ceramic membrane
EP0381812A1 (en) * 1989-02-10 1990-08-16 E.I. Du Pont De Nemours And Company Sintered coating for porous metallic filter surfaces
WO1991012879A1 (en) * 1990-02-21 1991-09-05 Nederlandse Organisatie Voor Toegepast-Natuurwetenschappelijk Onderzoek Tno Inorganic membranes and a process for making inorganic membranes
EP0481659A1 (en) * 1990-10-19 1992-04-22 The British Petroleum Company P.L.C. Deposition process
WO1992013637A1 (en) * 1991-02-06 1992-08-20 Gastec N.V. Catalyst or membrane precursor systems, catalyst or membrane systems, and method of preparing such systems
EP0537943A1 (en) * 1991-10-10 1993-04-21 Exxon Research And Engineering Company Composite membranes and their fabrication
US5308494A (en) * 1993-03-24 1994-05-03 E. I. Du Pont De Nemours And Company Method for improving filter efficiency
US5364586A (en) * 1993-08-17 1994-11-15 Ultram International L.L.C. Process for the production of porous membranes

Also Published As

Publication number Publication date
WO2000020106A2 (en) 2000-04-13
JP2002526239A (en) 2002-08-20
AU6233199A (en) 2000-04-26
WO2000020106A3 (en) 2000-07-20
EP1128900A2 (en) 2001-09-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6723265B2 (en) Carbon-containing membranes for water and gas separation
KR101444969B1 (en) A gas separation membrane system and method of making thereof using nanoscale metal material
US7919025B2 (en) Membrane structure and method of making
Wu et al. An improved synthesis of ultrafiltration zirconia membranes via the sol–gel route using alkoxide precursor
US6027796A (en) Mesoporous ceramic film with one dimensional through channels and process for its production
EP0571508A1 (en) Catalyst or membrane precursor systems, catalyst or membrane systems, and method of preparing such systems.
JPH05192545A (en) Supported porous ceramic membrane
KR20090087869A (en) Sinter bonded porous metallic coatings
NL1010267C2 (en) Modified porous metal surfaces.
JP2013049053A (en) Systems and methods for using boehmite bond-coat with polyimide membranes for gas separation
CN110860213B (en) Thin metal/ceramic hybrid membrane and filter
Meng et al. Porous and dense Ni hollow fibre membranes
EP0515491B1 (en) Inorganic membranes and a process for making inorganic membranes
JP2005503261A (en) Novel inorganic nanofiltration membrane
KR100526098B1 (en) Filters with a graduated structure and a method for producing the same
Maier et al. Microporous inorganic membranes: preparation, characterization and separation properties
JP2008514387A (en) Gas separation system and method of manufacturing the system
Zhou et al. Preparation of titania microfiltration membranes supported on porous Ti–Al alloys
JPH05285357A (en) Membrane for separation of hydrogen
Ahmad et al. Tailoring of a γ‐Alumina Membrane with a Bimodal Pore Size Distribution for Improved Permeability
Ke et al. Metal oxide nanofibres membranes assembled by spin-coating method
JP6199700B2 (en) Organic-inorganic composite and structure
NL1006638C2 (en) Thin ceramic coatings.
Santos et al. Formation of SnO 2 supported porous membranes
JP2005246340A (en) Manufacturing method of inorganic filter having one-dimensional through nanopore membrane

Legal Events

Date Code Title Description
PD2B A search report has been drawn up
VD1 Lapsed due to non-payment of the annual fee

Effective date: 20040501