MX9602526A - Metodo de fabricacion de cabeza de chorro de tinta. - Google Patents
Metodo de fabricacion de cabeza de chorro de tinta.Info
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Abstract
Un método de fabricacion para una cabeza de chorro de tinta que tiene un elemento de generacion de presion de eyeccion de tinta para generar energía para eyectar tinta, y un orificio de suministro de tinta para suministrar la tinta a la cabeza de chorro de tinta, que incluye los pasos de preparar un substrato de silicio; formar, sobre una superficie del substrato de silicio, el elemento de generacion de presion de eyeccion de tinta y una película de oxido de silicio o una película de nitruro de silicio; formar la máscara de anti-grabar para formar un orificio de suministro de tinta en el lado trasero del substrato de silicio; remover el silicio en el lado trasero del substrato de silicio en una posicion que corresponde a la porcion del orificio de suministro de tinta a través de grabado anisotropico; formar una porcion de eyeccion de tinta sobre una superficie del sustrato de silicio; y remover la película de oxido de silicio o la película de nitruro de silicio desde la superficie del sustrato de silicio de la porcion del orificio de suministro de tinta.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| MX9602526A MX9602526A (es) | 1996-06-28 | 1996-06-28 | Metodo de fabricacion de cabeza de chorro de tinta. |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7-165799 | 1995-06-30 | ||
| MX9602526A MX9602526A (es) | 1996-06-28 | 1996-06-28 | Metodo de fabricacion de cabeza de chorro de tinta. |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| MXPA96002526A MXPA96002526A (es) | 1998-01-01 |
| MX9602526A true MX9602526A (es) | 1998-01-31 |
Family
ID=39164787
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| MX9602526A MX9602526A (es) | 1996-06-28 | 1996-06-28 | Metodo de fabricacion de cabeza de chorro de tinta. |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| MX (1) | MX9602526A (es) |
-
1996
- 1996-06-28 MX MX9602526A patent/MX9602526A/es unknown
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