LT7113B - PIEZOELECTRIC TRANSDUCER FOR HIGH POWER SLIDING MOVEMENT ACTUATORS - Google Patents
PIEZOELECTRIC TRANSDUCER FOR HIGH POWER SLIDING MOVEMENT ACTUATORS Download PDFInfo
- Publication number
- LT7113B LT7113B LT2024015A LT2024015A LT7113B LT 7113 B LT7113 B LT 7113B LT 2024015 A LT2024015 A LT 2024015A LT 2024015 A LT2024015 A LT 2024015A LT 7113 B LT7113 B LT 7113B
- Authority
- LT
- Lithuania
- Prior art keywords
- piezoelectric
- rectangular rod
- vibration mode
- transducer
- double
- Prior art date
Links
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
Description
IŠRADIMO SRITISFIELD OF THE INVENTION
Išradimas priskiriamas elektro-mechaninių, mechatroninių sistemų ir robototechnikos sritims. Keitiklio konstrukcija, jos sudarymo ir veikimo principas gali būti taikomi kuriant aukšto tikslumo ir didelės galios slenkamojo judesio pavaras, taikomas giroskopinėse, erdvinio ar plokštuminio pozicionavimo sistemose, skirtas valdyti objektų poziciją erdvėje ar plokštumoje. Giroskopinės ar kitos pozicionavimo sistemos, sukurtos naudojant šį keitiklį, taikytinos mažųjų žemės palydovų ar kitų objektų erdvinės ar plokštuminės pozicijos nustatymui ir valdymui dideliu tikslumu.The invention is attributed to the fields of electro-mechanical, mechatronic systems and robotics. The design of the converter, its composition and operating principle can be applied in the development of high-precision and high-power sliding motion drives used in gyroscopic, spatial or planar positioning systems designed to control the position of objects in space or in a plane. Gyroscopic or other positioning systems created using this converter are applicable to the determination and control of the spatial or planar position of small Earth satellites or other objects with high accuracy.
TECHNIKOS LYGISSTATE OF THE ART
Mažieji žemės palydovai vis plačiau taikomi komunikacijos, ryšių ir kitų tyrimų srityse, todėl iškyla poreikis ypač tiksliai valdyti, derinti ir palaikyti palydovų ar juose montuojamų įrenginių erdvinę ar plokštuminę pozicijas. Šiam tikslui pasiekti naudojamos aukšto patikimumo, tikslumo ir didelės galios pavaros bei keitikliai, kuriems, atsižvelgiant į jų taikymo sritį, keliami griežti masės ir užimamo tūrio reikalavimai. Siekiant įvykdyti keliamus reikalavimus, vis plačiau naudojamos pjezoelektrinės pavaros ir keitikliai. Šiuo metu yra žinomi keli techniniai sprendimai ir patentai, kuriuose siūlomos ir sprendžiamos šios techninės problemos.Small Earth satellites are increasingly used in communication, communications and other research areas, which creates a need for extremely precise control, adjustment and maintenance of the spatial or planar positions of satellites or devices installed on them. To achieve this goal, high-reliability, precision and high-power drives and converters are used, which, depending on their scope of application, have strict requirements for mass and volume. In order to meet the requirements, piezoelectric drives and converters are increasingly used. Currently, several technical solutions and patents are known that propose and solve these technical problems.
Patente CN216290731U aprašoma pjezoelekthnė slenkamojo judesio pavara, sudaryta iš dviejų Lanževeno tipo pjezoelekthnių keitiklių, per vientisą tvirtinimo plokštelę sujungtų į V formos konstrukciją. Tvirtinimo plokštelė sumontuojama taip, kad sutaptų su Lanževeno keitiklių išilginės virpesių modos mazginėmis zonomis ir atskirtų pjezoelekthnių elementų grupes, o laisvieji plokštelės galai būtų įtvirtinami nejudamai į pavaros korpusą. Lanževeno keitiklių viršūnės sujungtos ir suformuoja kontakto zoną. Slankiklis paspyruokliuotai prispaudžiamas prie kontakto zonos, o jo linijinis poslinkis gaunamas, kai pjezoelekthnių elementų grupės žadinamos keturiais nepriklausomais elektriniais signalais. Taip sužadinamos kontakto zonos elipsinės trajektorijos, kurios užtikrina galimybę valdyti kontakto zonos tangentinį poslinkį ko pasėkoje gali būti didinama arba mažinama pavaros sukuriama slenkamojo judesio jėga.Patent CN216290731U describes a piezoelectric sliding motion actuator consisting of two Langevin-type piezoelectric transducers connected in a V-shaped structure through a solid mounting plate. The mounting plate is mounted so as to coincide with the nodal zones of the longitudinal vibration mode of the Langevin transducers and separate the groups of piezoelectric elements, and the free ends of the plate are fixedly fixed to the actuator body. The tops of the Langevin transducers are connected and form a contact zone. The slider is pressed against the contact zone by a spring, and its linear displacement is obtained when the groups of piezoelectric elements are excited by four independent electrical signals. In this way, elliptical trajectories of the contact zone are excited, which ensure the possibility of controlling the tangential displacement of the contact zone, as a result of which the sliding motion force created by the actuator can be increased or decreased.
Patente KR100965433B1 aprašoma pjezoelekthnė dvikryptė slenkamojo judesio pavara, kurią sudaro Lanževeno tipo keitiklis, sudarytas iš dviejų žiedo formos pjezoelekthnių elementų, kūginio formos poslinkių koncentratohaus, atsvaro ir įvirtinimo žiedo, tarpusavyje sujungtų įtvirtinimo varžtu. Kūginiame poslinkių koncentratoriuje suformuotos įpjovos, kurių dėka padidinamos kontakto zonos poslinkių amplitudės. Pjezoelektrinių žiedo formos elementų elektrodai padalinti į keturias lygias dalis tam, kad žadinant rezonansinius keitiklio lenkimo virpesius, galima būtų sukurti įvairiakrypčius kontakto zonos virpesius, reikalingus slankiklio dvikrypčio judesio gavimui. Keitiklis per tvirtinimo žiedą paspyruokliuotai prispaudžiamas prie slankiklio ir taip suformuojama slenkamojo judesio dvikryptė pavara. Siekiant gauti slenkamąjį judesį, viena iš krypčių, Landževeno keitiklio elektrodų poros, esančios viena prieš kitą, paveikiamos dvejais harmoniniais elektriniais signalais, kurių dažnis lygus keitiklio antros lenkimo virpesių modos rezonansiniam dažniui, o fazių skirtumas yra π/2. Taip sukuriama elipsinė kontakto zonos virpesių trajektorija, kuri užtikrina galimybę sužadinti slankiklio linijinį judesį. Slankiklio judesio kryptis valdoma komutuojant elektrinius signalus tarp pjezoelektrinių elementų elektrodų.Patent KR100965433B1 describes a piezoelectric bidirectional sliding motion actuator, which consists of a Langevin-type transducer consisting of two ring-shaped piezoelectric elements, a conical displacement concentrator, a counterweight and a fixing ring, interconnected by a fixing screw. Notches are formed in the conical displacement concentrator, thanks to which the amplitudes of the displacements of the contact zone are increased. The electrodes of the piezoelectric ring-shaped elements are divided into four equal parts so that by exciting the resonant bending vibrations of the transducer, it is possible to create multidirectional vibrations of the contact zone, necessary for obtaining the bidirectional movement of the slider. The transducer is pressed against the slider in a spring-loaded manner through the fixing ring, and thus a bidirectional sliding motion actuator is formed. In order to obtain a sliding motion, in one of the directions, pairs of electrodes of the Langevin transducer, located one against the other, are affected by two harmonic electrical signals, the frequency of which is equal to the resonant frequency of the second bending vibration mode of the transducer, and the phase difference is π/2. This creates an elliptical vibration trajectory of the contact zone, which ensures the possibility of exciting the linear motion of the slider. The direction of the slider movement is controlled by commutating electrical signals between the electrodes of the piezoelectric elements.
Patente CN102025286B aprašoma pjezoelektrinė slenkamojo judesio pavara, sudaryta iš dviejų kvadrato formos skerspjūvio Lanževeno tipo keitiklių, strypo ir aktyviai valdomos kontakto zonos. Lanževeno tipo keitiklius sudaro kvadrato formos atsvarai, dvi pjezoelektrinės plokštelės ir tvirtinimo sistemos elementas, patalpintas tarp pjezoelektrinių plokštelių. Atsvarai, pjezoelektriniai elementai ir įtvirtinimo sistemos elementas, per varžtus, įtvirtinami kvadrato formos strypo galuose, taip prispaudžiant paketą prie strypo ir suformuojant pavaros statorių. Kvadrato formos strypo centre, ant vienos iš plokštumų, patalpinamas pjezoelektrinis elementas, ant kurio patalpinama kontakto zona, kuri standžiai prispaudžiama prie slankiklio, o įtvirtinimo sistemos laisvieji galai standžiai įtvirtinami. Taip suformuojama slenkamojo judesio pavarą. Siekiant gauti slenkamąjį slankiklio judesį, keitikliai esantys kvadratinio strypo galuose, paveikiami harmoniniais elektriniais signalais kurių fazių skirtumas yra -π/2 ir π/2 taip sukuriant išilginį harmoninį visos konstrukcijos poslinkį, o elektrinis harmoninis signalas su faze π paduodamas į aktyvią kontakto zoną. Taip užtikrinami išilginiai kontakto zonos poslinkiai, kurių kryptis statmena viso statohaus poslinkiams. Sinchronizuojant kontakto zonos ir visos pavaros konstrukcijos virpesius gaunama elipses formos kontakto zonos judesio trajektorija kuri užtikrina slankiklio slenkamąjį judesį.Patent CN102025286B describes a piezoelectric sliding motion actuator consisting of two square-shaped Langevin transducers, a rod and an actively controlled contact zone. The Langevin transducers consist of square-shaped counterweights, two piezoelectric plates and a fastening system element placed between the piezoelectric plates. The counterweights, piezoelectric elements and the fastening system element are fastened to the ends of the square-shaped rod by means of screws, thereby pressing the package to the rod and forming the actuator stator. In the center of the square-shaped rod, on one of the planes, a piezoelectric element is placed, on which a contact zone is placed, which is rigidly pressed against the slider, and the free ends of the fastening system are rigidly fixed. Thus, a sliding motion actuator is formed. In order to obtain the sliding motion of the slider, the transducers located at the ends of the square rod are affected by harmonic electrical signals with a phase difference of -π/2 and π/2, thus creating a longitudinal harmonic displacement of the entire structure, and the electrical harmonic signal with a phase of π is fed to the active contact zone. This ensures longitudinal displacements of the contact zone, the direction of which is perpendicular to the displacements of the entire statohaus. By synchronizing the vibrations of the contact zone and the entire drive structure, an elliptical trajectory of the contact zone movement is obtained, which ensures the sliding motion of the slider.
IŠRADIMO ESMĖESSENCE OF THE INVENTION
Šio išradimo esmė ir tikslas yra padidinti pjezoelektrinio keitiklio skirto sukurti slenkamąjį judesį jėgą, greitį, veikimo stabilumą ir patikimumą.The essence and purpose of this invention is to increase the force, speed, operational stability and reliability of a piezoelectric transducer designed to create a sliding motion.
Išradimo tikslas pasiekiamas tuo, kad pjezoelektriniame keitiklyje, kurį sudaro tamprus stačiakampio formos strypas ir ant jo viršutinio ir apatinio paviršiaus pritvirtintos pjezokeraminės plokštelės, strypo centre simetriškai iš abiejų strypo pusių, neišardomai patalpinami trapeciniai dantys taip suformuojant dvipusį trapecijos formos dantį. Pjezoelektrinių plokštelių poliarizacijų kryptys nukreiptos storio kryptimi ir yra priešingos lyginant su kaimyninėmis plokštelėmis, esančiomis toje pačioje plokštumoje arba žemiau po ja. Pjezoelektrinis keitiklis įtvirtinamas gembiškai vietose, sutampančiose su tampraus stačiakampio strypo antros išilginės virpesių modos mazginėmis zonomis.The object of the invention is achieved by the fact that in a piezoelectric transducer consisting of a flexible rectangular rod and piezoceramic plates mounted on its upper and lower surfaces, trapezoidal teeth are permanently placed in the center of the rod symmetrically on both sides of the rod, thus forming a double-sided trapezoidal tooth. The polarization directions of the piezoelectric plates are directed in the thickness direction and are opposite compared to neighboring plates located in the same plane or below it. The piezoelectric transducer is fixed cantilevered in places coinciding with the nodal zones of the second longitudinal vibration mode of the flexible rectangular rod.
Pjezoelektrinio keitiklio sukuriama mechaninė jėga padidinama, kai tampriame stačiakampiame strype sužadinamų išilginių rezonansinių virpesių dažnis sutampa su trapecinio danties pirmos lenkimo modos dažniu, o dantų viršūnėse suformuojamos kontaktinės zonos, kuriose neišardomai patalpinami frikciniai elementai, pagaminti iš trinčiai atsparios didelio standumo medžiagos, pavyzdžiui AI2O3.The mechanical force generated by a piezoelectric transducer is increased when the frequency of longitudinal resonant vibrations excited in an elastic rectangular rod coincides with the frequency of the first bending mode of the trapezoidal tooth, and contact zones are formed at the tips of the teeth, in which friction elements made of a friction-resistant, high-stiffness material, such as AI2O3, are permanently placed.
Kontaktinės zonos poslinkio greitis didinamas dėl įpjovos, kuri suformuojama dvipusiame trapeciniame dantyje. Išpjovos ilgis parenkamas taip, kad būtų ne didesnis negu 2/3 tampraus stačiakampio strypo pločio dėl ko padidinamos dvipusio trapecinio danties viršūnių virpesių amplitudės bei sumažinamas bendras dvipusio danties aukštis. Keitiklio veikimo stabilumas ir patikimumas didinamas naudojant dvipusį trapecijos formos dantį, kurio platesnis pagrindas neišardomai patalpinamas ant tampraus stačiakampio strypo ko pasėkoje sumažinamas danties klupdymas esant didelėms skersinėms keitiklio apkrovoms.The speed of displacement of the contact zone is increased due to the notch, which is formed in the double-sided trapezoidal tooth. The length of the notch is selected so that it is not more than 2/3 of the width of the elastic rectangular bar, which increases the amplitude of oscillations of the peaks of the double-sided trapezoidal tooth and reduces the total height of the double-sided tooth. The stability and reliability of the converter operation is increased by using a double-sided trapezoidal tooth, the wider base of which is permanently placed on the elastic rectangular bar, which reduces the tooth tripping under high transverse loads of the converter.
BRĖŽINIŲ APRAŠYMASDESCRIPTION OF DRAWINGS
Čia ir toliau pjezoelektrinis keitiklis aprašomas su nuorodomis į brėžinius, tačiau techninis keitiklio įgyvendinimas nėra ribojamas pateiktu būdu. Galimos įvairios įgyvendinimo būdo modifikacijos ir tobulinimai.Hereinafter, the piezoelectric transducer is described with reference to the drawings, but the technical implementation of the transducer is not limited to the method presented. Various modifications and improvements to the method of implementation are possible.
Pav. 1 Pjezoelektrinio keitiklio su slankikliais principinė schema;Fig. 1 Schematic diagram of a piezoelectric transducer with sliders;
Pav. 2 a, b Pjezoelektrinio keitiklio principinė schema:Fig. 2 a, b Schematic diagram of a piezoelectric transducer:
(a) - izometrinis pjezoelektrinio keitiklio vaizdas;(a) - isometric view of a piezoelectric transducer;
(b) - išskleistinis pjezoelektrinio keitiklio vaizdas;(b) - exploded view of the piezoelectric transducer;
Pav. 3 a, b Pjezoelektrinio keitiklio žadinimo schema;Fig. 3 a, b Piezoelectric transducer excitation scheme;
(a) - vaizdas iš viršaus;(a) - top view;
(b) - vaizdas iš apačios;(b) - bottom view;
Pav. 4 Pjezoelektrinio keitiklio virpesių moda.Fig. 4 Vibration mode of a piezoelectric transducer.
BRĖŽINIAI - pažymėtų objektų aprašymasDRAWINGS - description of marked objects
- pjezoelekthnis keitiklis;- piezoelectric transducer;
- standūs slankikliai;- rigid sliders;
- pjezoelekthnės plokštelės;- piezoelectric plates;
- tamprus stačiakampio formos strypas;- elastic rectangular rod;
- įtvirtinimo gembės;- anchoring brackets;
- dvipusis trapecinis dantis;- double-sided trapezoidal tooth;
- standus frikcinis elementas;- rigid friction element;
- įpjova;- notch;
- signalų generatorius;- signal generator;
- poliarizacijos kryptys;- polarization directions;
DETALUS IŠRADIMO APRAŠYMASDETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Čia ir toliau pjezoelekthnis keitiklis aprašomas su nuorodomis į brėžinius, tačiau techninis keitiklio įgyvendinimas nėra ribojamas pateiktais būdais. Galimos įvairios įgyvendinimo būdų modifikacijos ir tobulinimai.Hereinafter, the piezoelectric transducer is described with reference to the drawings, but the technical implementation of the transducer is not limited to the methods presented. Various modifications and improvements of the implementation methods are possible.
Detalus aprašymas. Pjezoelektrinis keitiklis (1) sudarytas iš tampraus stačiakampio formos strypo (4), kurio antros išilginės virpesių modos centriniame virpesių pūpsnyje neišardomai, patalpintas dvipusis trapecinis dantis (6), kurio aukštis parenkamas taip, kad būtų lygus dvipusio trapecinio danties (6) pirmos lenkimo virpesių modos bangos ilgiui, o dvipusio trapecinio danties (6) viršūnėse neišardomai patalpinamas standūs frikciniai elementai (7). Keitiklio įtvirtinimo gembės (5) neišardomai patalpinamos taip, kad jų išilginės ašinės simetrijos linijos sutaptų su tampraus stačiakampio formos strypo (4) antros išilginės virpesių modos mazginėmis zonomis. Kitas gembės galas įtvirtinamas standžiai keitiklio korpuse. Taikant tokį tvirtinimą sumažinamas pjezoelektrinio keitiklio (1) virpesių slopinimas ir didinama keitiklio galia. Keitiklyje suformuojama įpjova (8), kurios ilgis ne didesnis nei 2/3 tampraus stačiakampio formos strypo (4) pločio, suformuojama taip, kad jos išilginė simetrijos ašis sutaptų su tampraus stačiakampio formos strypo (4) antros išilginės virpesių modos pūpsnio zona ir taip užtikrinamas mažiausias galimas standumas. Pjezoelektrinės plokštelės (3), neišardomai, patalpinamos ant viršutinio ir apatinio tampraus stačiakampio formos strypo (4) paviršių, o šių plokštelių poliarizacijos kryptys (10) yra nukreiptos storio kryptimi ir suderintos taip, kad plokštelių poliarizacijos kryptys būtų priešingos viena kitai. Pjezoelektrinis keitiklis (1) paspyruokliuotai prispaudžiamas prie standžių frikcinių elementų (7) ir dėl trinties jėgos, atsiradusios tarp standžių slankiklių (2) ir standžių frikcinių elementų (7), slankiklis varomas pirmyn arba atgal.Detailed description. The piezoelectric transducer (1) consists of an elastic rectangular rod (4), in the central vibration cavity of which the second longitudinal vibration mode has a non-removable double-sided trapezoidal tooth (6), the height of which is selected so as to be equal to the wavelength of the first bending vibration mode of the double-sided trapezoidal tooth (6), and rigid friction elements (7) are non-removable placed at the tops of the double-sided trapezoidal tooth (6). The transducer mounting brackets (5) are non-removable placed so that their longitudinal axial symmetry lines coincide with the nodal zones of the second longitudinal vibration mode of the elastic rectangular rod (4). The other end of the bracket is rigidly fixed in the transducer housing. By applying such a fastening, the vibration damping of the piezoelectric transducer (1) is reduced and the transducer power is increased. A notch (8) is formed in the transducer, the length of which is not more than 2/3 of the width of the elastic rectangular rod (4), formed so that its longitudinal axis of symmetry coincides with the zone of the second longitudinal vibration mode of the elastic rectangular rod (4), thus ensuring the lowest possible stiffness. Piezoelectric plates (3) are permanently placed on the upper and lower surfaces of the elastic rectangular rod (4), and the polarization directions (10) of these plates are directed in the thickness direction and aligned so that the polarization directions of the plates are opposite to each other. The piezoelectric transducer (1) is pressed against the rigid friction elements (7) in a spring-loaded manner, and due to the friction force that arises between the rigid sliders (2) and the rigid friction elements (7), the slider is driven forward or backward.
Pavaros veikimo aprašymas: Siekiant gauti standžių slankiklių (2) slenkamąjį judesį, pjezoelektrinės plokštelės (3) per signalų generatorių (9) paveikiamos neharmonininiu pjūklo ar nesimetriniu stačiakampio formos elektriniu signalu, kurio dažnis lygus arba artimas tampraus stačiakampio formos strypo (4) antros išilginės virpesių modos dažniui, ko pasėkoje tampriame stačiakampio formos strype (4) sužadinami nesimetriniai išilginiai antros išilginės modos virpesiai. Žadinant tokiu būdu generuojami dvipusio trapecinio danties (6) nesimetriniai lenkimo virpesiai bei sukuriamos kreivalinijinės standžių frikcinių elementų (7) judesio trajektorijos, ko pasėkoje standūs frikciniai elementai (7) juda skirtingais greičiais pirmyn ir atgal taip sukuriant skirtingo dydžio trinties jėgas tarp standžių frikcinių elementų (7) bei standžių slankiklių (2). Taip gaunama inerciniu principu veikianti sistema, kuri užtikrina slenkamąjį standžių slankiklių (2) judesį. Siekiant gauti priešingos krypties standžių slankiklių (2) judesį, žadinimo signalo fazė keičiama 180 laipsnių.Description of the drive operation: In order to obtain the sliding movement of the rigid sliders (2), the piezoelectric plates (3) are affected by a non-harmonic sawtooth or asymmetric rectangular electrical signal through a signal generator (9), the frequency of which is equal to or close to the frequency of the second longitudinal vibration mode of the elastic rectangular rod (4), as a result of which asymmetric longitudinal vibrations of the second longitudinal mode are excited in the elastic rectangular rod (4). When excited in this way, asymmetric bending vibrations of the double-sided trapezoidal tooth (6) are generated and curvilinear motion trajectories of the rigid friction elements (7) are created, as a result of which the rigid friction elements (7) move back and forth at different speeds, thus creating friction forces of different magnitudes between the rigid friction elements (7) and the rigid sliders (2). This results in a system operating on the inertial principle, which ensures the sliding movement of the rigid sliders (2). In order to obtain the opposite direction of movement of the rigid sliders (2), the phase of the excitation signal is changed by 180 degrees.
Claims (6)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| LT2024015A LT7113B (en) | 2024-05-22 | 2024-05-22 | PIEZOELECTRIC TRANSDUCER FOR HIGH POWER SLIDING MOVEMENT ACTUATORS |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| LT2024015A LT7113B (en) | 2024-05-22 | 2024-05-22 | PIEZOELECTRIC TRANSDUCER FOR HIGH POWER SLIDING MOVEMENT ACTUATORS |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| LT2024015A LT2024015A (en) | 2024-11-11 |
| LT7113B true LT7113B (en) | 2024-12-10 |
Family
ID=93375934
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| LT2024015A LT7113B (en) | 2024-05-22 | 2024-05-22 | PIEZOELECTRIC TRANSDUCER FOR HIGH POWER SLIDING MOVEMENT ACTUATORS |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| LT (1) | LT7113B (en) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100965433B1 (en) | 2008-04-03 | 2010-06-24 | 한국과학기술연구원 | Omni-directional linear piezoelectric ultrasonic motor |
| CN102025286B (en) | 2010-11-25 | 2012-09-26 | 南京航空航天大学 | Alternating force based linear ultrasonic motor |
| CN216290731U (en) | 2021-11-10 | 2022-04-12 | 南通智能感知研究院 | V-shaped sandwich type linear motor stator |
-
2024
- 2024-05-22 LT LT2024015A patent/LT7113B/en unknown
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100965433B1 (en) | 2008-04-03 | 2010-06-24 | 한국과학기술연구원 | Omni-directional linear piezoelectric ultrasonic motor |
| CN102025286B (en) | 2010-11-25 | 2012-09-26 | 南京航空航天大学 | Alternating force based linear ultrasonic motor |
| CN216290731U (en) | 2021-11-10 | 2022-04-12 | 南通智能感知研究院 | V-shaped sandwich type linear motor stator |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| LT2024015A (en) | 2024-11-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4860862B2 (en) | Piezoelectric drive excited by longitudinal and flexural waves | |
| US5134334A (en) | Ultrasonic linear motor | |
| US5101132A (en) | Linear ultrasonic motor | |
| EP3089348B1 (en) | Piezoelectric motor | |
| US5852336A (en) | Vibration actuator which effectively transmits micro-amplitude vibrations | |
| CN108390587B (en) | Single-mode-driven dual-drive foot door-shaped linear ultrasonic motor and control method | |
| US5001382A (en) | Stepping motor and a method of driving the same | |
| KR930009211A (en) | Ultrasonic motor | |
| CN109314474A (en) | Ultrasonic motor | |
| LT7113B (en) | PIEZOELECTRIC TRANSDUCER FOR HIGH POWER SLIDING MOVEMENT ACTUATORS | |
| CN114679083A (en) | A macro-micro linear moving device driven by a piezoelectric double-acting plate and its operation method | |
| JPS62259485A (en) | Piezoelectric driving apparatus | |
| CN112713801A (en) | High-precision linear driving type piezoelectric actuator | |
| EP4531264A1 (en) | High power piezoelectric motor and drive | |
| KR20240089136A (en) | Mounting device for piezo motor elements | |
| JPH08242592A (en) | Ultrasonic actuator | |
| JP2538033B2 (en) | Planar ultrasonic actuator | |
| LT7111B (en) | High-power piezoelectric rotary drive | |
| JP2005020951A (en) | Ultrasonic motor and positioning apparatus equipped with ultrasonic motor | |
| LT6867B (en) | Piezoelectric rotary-sliding motion drive | |
| JP4032161B2 (en) | Actuator | |
| LT7104B (en) | Inertial four-degree-of-freedom piezoelectric actuator | |
| JP4128248B2 (en) | Ultrasonic motor | |
| LT6842B (en) | Piezoelectric rotory-sliding motion drive | |
| JPH0552137B2 (en) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| BB1A | Patent application published |
Effective date: 20241111 |
|
| FG9A | Patent granted |
Effective date: 20241210 |