LT7025B - Method of manufacturing an electrochemical cell and an electrochemical cell - Google Patents
Method of manufacturing an electrochemical cell and an electrochemical cell Download PDFInfo
- Publication number
- LT7025B LT7025B LT2021576A LT2021576A LT7025B LT 7025 B LT7025 B LT 7025B LT 2021576 A LT2021576 A LT 2021576A LT 2021576 A LT2021576 A LT 2021576A LT 7025 B LT7025 B LT 7025B
- Authority
- LT
- Lithuania
- Prior art keywords
- electrode
- electrodes
- metal
- capacitor
- electrochemical
- Prior art date
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 10
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims abstract description 106
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 101
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 101
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 63
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 28
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims abstract description 26
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims abstract description 24
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 claims abstract description 17
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims abstract description 10
- 238000003556 assay Methods 0.000 claims abstract description 3
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 25
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 24
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 23
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 claims description 20
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 16
- 150000002739 metals Chemical group 0.000 claims description 15
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 14
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 13
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 13
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 12
- 239000011572 manganese Substances 0.000 claims description 12
- 239000011701 zinc Substances 0.000 claims description 12
- 230000004048 modification Effects 0.000 claims description 11
- 238000012986 modification Methods 0.000 claims description 11
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 8
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 7
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 7
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N Manganese Chemical compound [Mn] PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 6
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 6
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 claims description 6
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 6
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 claims description 6
- -1 poly(3,4-ethylenedioxythiophene) Polymers 0.000 claims description 6
- 229920000128 polypyrrole Polymers 0.000 claims description 6
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229920001940 conductive polymer Polymers 0.000 claims description 5
- 239000011244 liquid electrolyte Substances 0.000 claims description 4
- 229920001609 Poly(3,4-ethylenedioxythiophene) Polymers 0.000 claims description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 3
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 3
- 230000007774 longterm Effects 0.000 claims description 3
- 229920000767 polyaniline Polymers 0.000 claims description 3
- 229920000123 polythiophene Polymers 0.000 claims description 3
- 230000008054 signal transmission Effects 0.000 claims description 3
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 2
- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims description 2
- 230000003993 interaction Effects 0.000 claims 1
- 108090000790 Enzymes Proteins 0.000 abstract description 2
- 102000004190 Enzymes Human genes 0.000 abstract description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 abstract 1
- 239000002594 sorbent Substances 0.000 abstract 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 36
- HKZLPVFGJNLROG-UHFFFAOYSA-M silver monochloride Chemical compound [Cl-].[Ag+] HKZLPVFGJNLROG-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 18
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 16
- 238000002965 ELISA Methods 0.000 description 14
- 229910021607 Silver chloride Inorganic materials 0.000 description 12
- WQZGKKKJIJFFOK-GASJEMHNSA-N Glucose Natural products OC[C@H]1OC(O)[C@H](O)[C@@H](O)[C@@H]1O WQZGKKKJIJFFOK-GASJEMHNSA-N 0.000 description 8
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 8
- 239000008103 glucose Substances 0.000 description 8
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 8
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 7
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 6
- 239000003082 abrasive agent Substances 0.000 description 4
- 238000011161 development Methods 0.000 description 4
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 4
- 108010015776 Glucose oxidase Proteins 0.000 description 3
- 239000004366 Glucose oxidase Substances 0.000 description 3
- 229940116332 glucose oxidase Drugs 0.000 description 3
- 235000019420 glucose oxidase Nutrition 0.000 description 3
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 3
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 3
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 3
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 3
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 3
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000000499 gel Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 2
- 108090000623 proteins and genes Proteins 0.000 description 2
- 102000004169 proteins and genes Human genes 0.000 description 2
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 108010058683 Immobilized Proteins Proteins 0.000 description 1
- 239000013543 active substance Substances 0.000 description 1
- 239000002551 biofuel Substances 0.000 description 1
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 239000002322 conducting polymer Substances 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000002484 cyclic voltammetry Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000002848 electrochemical method Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 229940088598 enzyme Drugs 0.000 description 1
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 1
- 238000004868 gas analysis Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Substances [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 239000008055 phosphate buffer solution Substances 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000008439 repair process Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000013545 self-assembled monolayer Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 230000001953 sensory effect Effects 0.000 description 1
- 239000010944 silver (metal) Substances 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011135 tin Substances 0.000 description 1
- 150000003608 titanium Chemical class 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/28—Electrolytic cell components
- G01N27/30—Electrodes, e.g. test electrodes; Half-cells
- G01N27/327—Biochemical electrodes, e.g. electrical or mechanical details for in vitro measurements
- G01N27/3271—Amperometric enzyme electrodes for analytes in body fluids, e.g. glucose in blood
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/403—Cells and electrode assemblies
- G01N27/406—Cells and probes with solid electrolytes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/403—Cells and electrode assemblies
- G01N27/406—Cells and probes with solid electrolytes
- G01N27/407—Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases
- G01N27/4075—Composition or fabrication of the electrodes and coatings thereon, e.g. catalysts
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
- H01G4/002—Details
- H01G4/228—Terminals
- H01G4/232—Terminals electrically connecting two or more layers of a stacked or rolled capacitor
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
- H01G4/30—Stacked capacitors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
- H01G4/40—Structural combinations of fixed capacitors with other electric elements, the structure mainly consisting of a capacitor, e.g. RC combinations
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
- H01G4/002—Details
- H01G4/228—Terminals
- H01G4/232—Terminals electrically connecting two or more layers of a stacked or rolled capacitor
- H01G4/2325—Terminals electrically connecting two or more layers of a stacked or rolled capacitor characterised by the material of the terminals
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
- H01G4/38—Multiple capacitors, i.e. structural combinations of fixed capacitors
Landscapes
- Power Engineering (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Immunology (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Pathology (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Hematology (AREA)
- Electric Double-Layer Capacitors Or The Like (AREA)
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
Abstract
Description
TECHNIKOS SRITISTECHNICAL FIELD
Išradimas yra susijęs su miniatiūrizuotomis elektrocheminėmis sistemomis, tinkamomis bet kokio tipo elektrocheminėms celėms (gardelėms).The invention relates to miniaturized electrochemical systems suitable for any type of electrochemical cells (cells).
TECHNIKOS LYGISSTATE OF THE ART
Elektrocheminės celės taikomos įvairiose veiklos srityse. Jų konstrukcija skiriasi priklausomai nuo elektrocheminių sistemų tipo, poreikių ir taikymo sričių . Miniatiūrizuotos elektrocheminės celės yra taikomos jutikliuose ir biojutikliuose jau kurį laiką. Tačiau, šiuo metu tiek elektrodų, tiek ir elektrocheminių celių gamybai yra taikomi ilgai užtrunkantys gamybos procesai, kuriuos bent iš dalies atlieka žmogus arba mechanizuotos sistemos, pavyzdžiui elektrodai gali būti formuojami įlydant metalinius strypus arba vielas stikle; arba izoliuojant elektrai nelaidžia keramika ar plastiku; arba elektrodai yra suformuojami šilkografijos, arba fotolitografijos būdais. Tačiau šie metodai reikalauja gana daug laiko ir ne visada lengvai suderinami su automatizuotais metodais bei technine įranga, kuri yra taikoma naujausiuose mikroelektronikos konstravimo įrenginiuose. Todėl kuriant standartinės mikroelektronikos pagrindu integruojamus elektrocheminius įrenginius yra reikalingi nauji elektrodų ir (arba) ištisų elektrocheminių elementų (pvz.: elektrocheminių celių) formavimo principai. Kitas labai svarbus elektrocheminių sistemų technologinis parametras yra elektrodų matmenų sumažinimas, kuris įgalina sumažinti jutiklio foninį triukšmą ir tuo pačiu padidinti elektrocheminų jutiklių jautrumą ir/arba selektyvumą (atrankumą).Electrochemical cells are used in various fields of activity. Their design varies depending on the type of electrochemical systems, needs and areas of application. Miniaturized electrochemical cells have been applied in sensors and biosensors for some time. However, both electrodes and electrochemical cells are currently manufactured using time-consuming manufacturing processes that are at least partially performed by humans or mechanized systems, for example, electrodes can be formed by melting metal rods or wires in glass; or insulating with electrically non-conductive ceramics or plastic; or the electrodes are formed by screen printing or photolithography methods. However, these methods are quite time-consuming and are not always easily compatible with the automated methods and hardware that are used in the latest microelectronics construction devices. Therefore, in the development of integrated electrochemical devices based on standard microelectronics, new principles of formation of electrodes and/or entire electrochemical cells (eg: electrochemical cells) are required. Another very important technological parameter of electrochemical systems is the reduction of the dimensions of the electrodes, which makes it possible to reduce the background noise of the sensor and at the same time to increase the sensitivity and/or selectivity of electrochemical sensors.
Elektrocheminių celių kūrimui pastaruoju metu yra naudojamos įprastos technologijos ir metodai, kuriems yra būdingi šie trūkumai: metalinių vielų įlydymas stikle arba sandarus įmontavimas elektrai nelaidžioje keramikoje ar plastike yra gana ilga procedūra, kuri dažniausiai reikalauja gana daug technologinių žingsnių, kurie kartais atliekami žmogaus - „rankiniu būdu“; tokiais metodais sukurti elektrodai yra gana didelių matmenų; nors šilkografijos metodai taip pat gali būti taikomi minėtiems tikslams ir gali būti automatizuoti, bet jie nėra lengvai integruotini į elektroninių plokščių surinkimo įrenginius, be to, taikant šilkografines technologijas dažnai tenka naudoti kenksmingus tirpiklius ir tirpalus bei gana aukštą, virš 120°C temperatūrą, susiformuotoms struktūroms išdžiovinti; fotolitografija taip pat gali būti taikomi minėtiems tikslams, tačiau tai yra gana sudėtinga kelių žingsnių procedūra, kuri turi būti atliekama modifikuojant elektrinę plokštę prieš integruojant kitus mikroelektronikos komponentus.Conventional technologies and methods have recently been used for the development of electrochemical cells, which are characterized by the following disadvantages: fusing metal wires in glass or sealing them in electrically non-conductive ceramics or plastics is a rather long procedure, which usually requires quite a number of technological steps, which are sometimes performed by a person - "manually" way"; electrodes created by such methods have relatively large dimensions; although screen printing techniques can also be applied to the above purposes and can be automated, they are not easily integrated into electronic board assembly equipment, and screen printing techniques often require the use of harmful solvents and solutions and relatively high temperatures of over 120°C to form for drying structures; photolithography can also be applied for the above purposes, but it is a rather complex multi-step procedure that must be performed in the modification of the electrical board before the integration of other microelectronic components.
JAV patento paraiškoje Nr. US15/749,257 yra aprašytas daugiasluoksnis keramikos/metalo tipo dujų jutiklis ir jo gamybos būdas. Dujų jutiklio korpusas yra sudarytas iš daugiasluoksnės keramikos/metalo konstrukcijos su daugybe lygiagrečių sluoksninių struktūrų iš keraminės dielektrinės medžiagos ir metalo. Jutiklio korpusą sudaro bent viena tokia sluoksniuota struktūra, kurioje yra nuosekliai susluoksniuoti pirmasis vidinis elektrodas ir antrasis vidinis elektrodas, kurie yra atskirti keraminės dielektrinės medžiagos sluoksniu . Pirmasis vidinis elektrodas ir antrasis vidinis elektrodas yra dalinai atidengti. Pirmasis vidinis elektrodas yra elektriškai prijungtas prie pirmojo elektrodo gnybto, esančio pirmoje jutiklio korpuso pusėje, o antrasis vidinis elektrodas yra elektriškai prijungtas prie antrojo elektrodo gnybto, esančio antroje jutiklio korpuso pusėje, nukreiptoje į pirmąją pusę. Pirmasis ir antrasis vidiniai elektrodai yra atidengti taip, kad sudarytų darbinį paviršių bent vienoje jutiklio korpuso pusėje, išskyrus tą pusę, kurioje yra sumontuotas pirmasis ir antrasis elektrodo gnybtai. Dujoms jautrios medžiagos sluoksnis, skirtas dujoms aptikti, yra suformuotas ant dalies arba ant viso viršutinio jutiklio paviršiaus arba metalinės plėvelės, kurios kontaktinė varža su dujoms jautrios medžiagos sluoksniu yra mažesnė nei pirmojo, o antrasis vidinis elektrodas yra suformuotas ant viršutinės pirmojo ir antrojo vidinio elektrodo dalies, kuri yra atidengta, ir dujoms jautrios medžiagos sluoksnis, skirtas dujų aptikimui, yra suformuotas ant dalies arba visos viršutinės jutiklio paviršiaus dalies, kurioje susidaro metalinė plėvelė. Šis išradimas yra skirtas išimtinai tik dujų jutiklių gamybai ir tinkamas naudoti tik analizei dujinėje aplinkoje.In US patent application no. US15/749,257 describes a multilayer ceramic/metal type gas sensor and a method of manufacturing the same. The body of the gas sensor is composed of a multilayer ceramic/metal structure with multiple parallel layered structures of ceramic dielectric material and metal. The sensor body consists of at least one such layered structure, in which the first inner electrode and the second inner electrode are sequentially layered, which are separated by a layer of ceramic dielectric material. The first inner electrode and the second inner electrode are partially exposed. The first internal electrode is electrically connected to the first electrode terminal on the first side of the sensor housing, and the second internal electrode is electrically connected to the second electrode terminal on the second side of the sensor housing facing the first side. The first and second internal electrodes are exposed to form a working surface on at least one side of the sensor body other than the side where the first and second electrode terminals are mounted. A gas-sensitive material layer for gas detection is formed on part or all of the upper surface of the sensor or a metal film whose contact resistance with the gas-sensitive material layer is lower than that of the first layer, and the second internal electrode is formed on the upper part of the first and second internal electrodes , which is exposed, and a layer of gas-sensitive material for gas detection is formed on part or all of the upper part of the sensor surface where the metal film is formed. This invention is intended exclusively for the production of gas sensors and is suitable for use only in analysis in gaseous environments.
Elektrocheminių sistemų, kuriose yra skysčių ir/arba skystų elektrolitų, veikimas labai skiriasi nuo sistemų, veikiančių dujinėje aplinkoje. Todėl tokios elektrocheminės sistemos yra daug sudėtingesnės ir dėl šios priežasties elektrocheminių sistemų kūrimas yra daug sudėtingesnis, palyginus jį su dujų analizei skirtų analizinių sistemų kūrimu, kurios yra pagrįstos paprastu varžos pokyčio matavimu tarp dviejų elektrodų.The performance of electrochemical systems containing liquids and/or liquid electrolytes is very different from that of systems operating in a gaseous environment. Therefore, such electrochemical systems are much more complex, and for this reason, the development of electrochemical systems is much more complicated than the development of analytical systems for gas analysis, which are based on the simple measurement of the change in resistance between two electrodes.
Šioje paraiškoje aprašytas išradimas yra skirtas pašalinti aukščiau išvardintus trūkumus ir kuriant pasiekti papildomų pranašumų, lyginant su technikos lygiu, sudarant galimybę elektrocheminėse sistemose (elektrocheminėse celėse) pritaikyti bet kokio tipo komercinius daugiasluoksnius metalo-izoliatoriaus kondensatorius.The invention described in this application is intended to eliminate the above-mentioned disadvantages and to achieve additional advantages compared to the prior art, making it possible to apply any type of commercial multilayer metal-insulator capacitors in electrochemical systems (electrochemical cells).
IŠRADIMO ESMĖESSENCE OF THE INVENTION
Šis išradimas yra elektrocheminių celių (gardelių), apimančių bent vieną modifikuotą , daugiasluoksnį keramikos/metalo plokštelinį mikrokondensatorių su sujungtais elektrodais, sistemos formavimo būdas. Tokio dydžio daugiasluoksnio keramikos/metalo mikrokondensatoriaus laidžios elektrodų plokštės, priklausomai nuo modelio, yra nuo kelių šimtų nanometrų iki kelių šimtų mikrometrų storio. Keraminės dielektrinės medžiagos storis tarp minėtų elektrodų plokštelių taip pat yra kelių šimtų nanometrų storio ribose. Todėl toliau aprašytu būdu gali būti suprojektuotos ir tarpusavyje suspaustos ir įvairiai sujungtos labai plonų elektrodų sistemos, kas yra labai sunkiai pasiekiama kitais šiuo metu plačiai naudojamais technologiniais būdais. Būdas apima daugiasluoksnio keramikos/metalo kondensatoriaus pateikimą, kur minėtas kondensatorius apima sluoksniuotą struktūrą, sudarytą iš keraminės dielektrinės medžiagos (1), pirmojo vidinio elektrodo (2) ir antrojo vidinio elektrodo (3), kur sluoksniuota struktūra yra padengta dielektrine danga (4), ir dalinai pašalinant dielektrinę dangą (4). Būdas toliau apima dielektrinės dangos (4) dalinį pašalinimą ir atviros srities (5) suformavimą viename daugiasluoksnio keramikos/metalo kondensatoriaus šone tam, kad būtų atidengiami sluoksniuotos konstrukcijos keraminės dielektrinės medžiagos (1), pirmojo vidinio elektrodo (2) ir antrojo vidinio elektrodo (3), kur abu vidiniai elektrodai yra pritaikyti elektrocheminės celės konstrukcijai, šonai (2'', 3''). Atvira sritis (5) gali būti suformuota kondensatoriaus gamybos metu, paliekant šią keramikos/metalo kondensatoriaus dalį nepadengtą izoliaciniu sluoksniu, Atvira sritis (5) taip pat gali būti suformuota atidengiant jau po elektroizoliacinės dangos suformavimo, panaudojant abrazyvines medžiagas ir/arba šlifavimą, šlifavimo ir poliravimo įtaisais ir/arba pašalinus proceso pradžioje pritvirtintą nuimamą apsauginę juostelę. Po to, laidžios dalys (8‘, 8‘), pvz., laidai, izoliuotos vielos (8‘) ir/arba elektrai laidūs takeliai (8“), elektrinių komponentų montavimo plokštėje naudojami elektriniams kontaktams tarp elektrodų (2, 3) suformuoti ir elektrodų generuojamiems signalams perduoti, yra prijungiami prie elektrodų (2, 3) jungčių (6, 7). Vėliau atvira sritis (5) yra uždengiama lengvai pašalinamu apsauginės medžiagos sluoksniu (9), tokiu kaip apsauginė juosta ar kita lengvai pašalinama apsauginė medžiaga, apsauganti darbinį plotą nuo padengimo papildomu dielektrinės medžiagos sluoksniu. Dalis daugiasluoksnių metalinių elektrodų gnybtų (6, 7) ir dalis elektrodų (2, 3) yra padengiami vandeniui atsparia dielektrine medžiaga, siekiant apsaugoti kontaktus (6, 7) nuo tirpalų ir tirpiklių, naudojamų vykdant sekančias pirmojo ir antrojo elektrodų (2, 3) šonų (2'', 3'') modifikacijas. Po to, nuo atviros srities (5) yra pašalinamas lengvai nuimamas apsauginės medžiagos sluoksnis (9), o pirmojo ir antrojo elektrodų (2, 3) šonai (2'', 3'') yra vėl atidengiami tolesniems modifikavimo etapams. Po to daugiasluoksnis kondensatorius yra visiškai panardinamas į tirpalą, skirtą elektrocheminiam metalo ir (arba) kitų modifikuojančių medžiagų nusodinimui ant atvirų pirmojo elektrodo (2) šonų (2‘‘), kur elektrinis potencialas yra užduodamas pirmo vidinio elektrodo (2) kontaktui (6), apjungiančiam pirmojo vidinio elektrodo (2) plokšteles. Pirmasis kontaktas (6) yra prijungtas prie atitinkamo potenciostato/galvanostato įvado, o antrojo vidinio elektrodo (3) kontaktas (7) tuo metu yra atjungtas. Vėliau metalo ir (arba) kitų modifikuojančių medžiagų elektrocheminio nusodinimo tirpalas yra pakeičiamas ir atliekamas elektrocheminis metalo ir/ arba kitų modifikuojančių medžiagų nusodinimas ant atvirų antrojo elektrodo (3) šonų (3‘‘), užduodant atitinkamą elektrinį potencialą antrojo elektrodo (3) kontaktui (7), prijungiant antrąjį kontaktą (7) prie atitinkamo potenciostato/galvanostato įvado, o pirmojo elektrodo (2) kontaktas (6) tuo metu yra atjungtas. Paskutiniame etape, elektrodai (2, 3) yra bent dalinai panardinami į skystą elektrolito tirpalą, sudarant elektrocheminę celę.The present invention is a method of forming a system of electrochemical cells (cells) comprising at least one modified multilayer ceramic/metal plate microcapacitor with connected electrodes. The conductive electrode plates of a multilayer ceramic/metal microcapacitor of this size are several hundred nanometers to several hundred micrometers thick, depending on the design. The thickness of the ceramic dielectric material between the mentioned electrode plates is also in the range of several hundred nanometers. Therefore, in the way described below, very thin electrode systems can be designed and interconnected and variously connected, which is very difficult to achieve with other currently widely used technological methods. The method includes providing a multilayer ceramic/metal capacitor, wherein said capacitor comprises a layered structure composed of a ceramic dielectric material (1), a first internal electrode (2) and a second internal electrode (3), wherein the layered structure is coated with a dielectric coating (4). and partially removing the dielectric coating (4). The method further includes partially removing the dielectric coating (4) and forming an open region (5) on one side of the multilayer ceramic/metal capacitor to expose the layered ceramic dielectric material (1), the first internal electrode (2) and the second internal electrode (3 ), where both internal electrodes are adapted to the structure of the electrochemical cell, sides (2'', 3''). The open area (5) can be formed during the production of the capacitor, leaving this part of the ceramic/metal capacitor uncovered with an insulating layer, the open area (5) can also be formed by exposing already after the formation of the electro-insulating coating, using abrasive materials and/or grinding, grinding and polishing devices and/or removing the removable protective tape attached at the beginning of the process. After that, conductive parts (8', 8'), such as wires, insulated wires (8') and/or electrically conductive tracks (8"), are used on the electrical component mounting plate to form electrical contacts between the electrodes (2, 3) and to transmit the signals generated by the electrodes, are connected to the connections (6, 7) of the electrodes (2, 3). Later, the open area (5) is covered with an easily removable layer of protective material (9), such as protective tape or other easily removable protective material, which protects the working area from being covered with an additional layer of dielectric material. Part of the multi-layer metal electrode terminals (6, 7) and part of the electrodes (2, 3) are coated with a waterproof dielectric material in order to protect the contacts (6, 7) from solutions and solvents used in the following operations of the first and second electrodes (2, 3) side (2'', 3'') modifications. After that, the easily removable layer of protective material (9) is removed from the exposed area (5) and the sides (2'', 3'') of the first and second electrodes (2, 3) are exposed again for further modification steps. After that, the multilayer capacitor is completely immersed in a solution for the electrochemical deposition of metal and/or other modifying substances on the exposed sides (2'') of the first electrode (2), where an electric potential is applied to the contact (6) of the first internal electrode (2). , connecting the plates of the first internal electrode (2). The first contact (6) is connected to the corresponding input of the potentiostat/galvanostat, while the contact (7) of the second internal electrode (3) is disconnected at the time. Later, the solution for the electrochemical deposition of metal and/or other modifying substances is changed and electrochemical deposition of metal and/or other modifying substances is performed on the open sides (3'') of the second electrode (3) by applying an appropriate electrical potential to the contact of the second electrode (3) ( 7), connecting the second contact (7) to the corresponding input of the potentiostat/galvanostat, while the contact (6) of the first electrode (2) is disconnected at that time. In the last step, the electrodes (2, 3) are at least partially immersed in a liquid electrolyte solution, forming an electrochemical cell.
Tokiu būdu galima suformuoti ir daugiakanales elektrochemines celes, kurias galima naudoti integruojant jas su imuno-fermentinės analizinės sistemos (angl. k. enzyme-linked immunosorbent Assay (ELISA)) plokštelėmis arba panašiomis daugiakanalėmis analizinėmis sistemomis.In this way, it is also possible to form multi-channel electrochemical cells, which can be used by integrating them with enzyme-linked immunosorbent assay (ELISA) plates or similar multi-channel analytical systems.
Viename daugiasluoksniame keramikos/metalo pagrindo kondensatoriuje, dviejų atskirų elektrodų plokštės yra tarpusavyje elektriškai sujungtos, todėl po aprašyto modifikavimo susidaro ideali daugiasluoksnė sunertų elektrodų struktūra, tinkanti formuojant įvairias elektrochemines sistemas, kurias galima pritaikyti įvairiems elektrocheminiams prietaisams, įskaitant baterijas, įkraunamus akumuliatorius, elektrolitinius kondensatorius, elektrocheminius jutiklius, elektrocheminius biojutiklius, elektrocheminius kuro ir biokuro elementus.In one multilayer ceramic/metal-based capacitor, two separate electrode plates are electrically connected to each other, resulting in an ideal multilayer structure of sunken electrodes after the described modification, suitable for the formation of various electrochemical systems that can be applied to various electrochemical devices, including batteries, rechargeable batteries, electrolytic capacitors, electrochemical sensors, electrochemical biosensors, electrochemical fuel and biofuel cells.
Tokiu būdu suformuotose elektrocheminėse sistemose gali būti suformuoti du ir daugiau elektrodų, panaudojai bet vieną arba daugiau kondensatorių.In electrochemical systems formed in this way, two or more electrodes can be formed, using any one or more capacitors.
TRUMPAS BRĖŽINIŲ APRAŠYMASBRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS
Išradimo ypatybės, kurios yra naujos ir inovatyvios, yra detaliai atskleistos pridedamuose apibrėžties punktuose. Tačiau pats išradimas gali būti geriausiai suprantamas remiantis toliau pateiktu išsamiu šio išradimo aprašymu, kuriame pateikiami pavyzdiniai išradimo įgyvendinimo variantai, pateikti neribojančiais pavyzdžiais, kartu su pridedamais brėžiniais, kuriuose:The features of the invention which are new and innovative are disclosed in detail in the appended claims. However, the invention itself may be best understood by reference to the following detailed description of the present invention, in which exemplary embodiments of the invention are set forth by way of non-limiting examples, together with the accompanying drawings, in which:
pav. yra pavaizduotas komerciškai įgyjamas daugiasluoksnis keramikos/metalo kondensatorius, sudarytas iš dviejų elektrodų.Fig. shows a commercially available multilayer ceramic/metal capacitor consisting of two electrodes.
pav. yra pavaizduotas daugiasluoksnio keramikos/metalo kondensatoriaus išorinio izoliacinio sluoksnio pašalinimo žingsnis, siekiant atidengti keraminės dielektrinės medžiagos šonus ir pirmojo elektrodo plokščių šonus bei antrojo elektrodo plokščių šonus.Fig. shows the step of removing the outer insulating layer of a multilayer ceramic/metal capacitor to expose the sides of the ceramic dielectric material and the sides of the first electrode plates and the sides of the second electrode plates.
pav. yra pavaizduotas apsauginės juostos arba kitos lengvai pašalinamos dengiamosios medžiagos pritvirtinimo ant atviros srities ir vieno daugiasluoksnio kondensatoriaus pritvirtinimo ant montažinės plokštės žingsnis.Fig. shows the step of attaching protective tape or other easily removable covering material over the exposed area and attaching a single multilayer capacitor to the mounting plate.
pav. yra pavaizduotas apsauginės juostos arba kitos lengvai pašalinamos dengiamosios medžiagos pritvirtinimo ant dviejų daugiasluoksnių kondensatorių atvirų sričių ir dviejų kondensatorių pritvirtinimo ant montažinės plokštės žingsnis.Fig. shows the step of attaching protective tape or other easily removable covering material over the exposed areas of two multilayer capacitors and mounting the two capacitors on a mounting plate.
pav. yra pavaizduotas elektrodų kontaktų uždengimas apsaugine juosta arba kita lengvai nuimama apsaugine medžiaga, siekiant apsaugoti daugiasluoksnio kondensatoriaus elektrodų kontaktų dalis ir montažinės plokštės paviršių nuo padengimo papildomu izoliuojančios medžiagos sluoksniu, tolesnių modifikavimo žingsnių metu.Fig. shows covering the electrode contacts with protective tape or other easily removable protective material to protect the electrode contact parts of the multilayer capacitor and the surface of the mounting plate from being covered with an additional layer of insulating material during subsequent modification steps.
pav. yra pavaizduotas elektrodų kontaktų uždengimas apsaugine juosta arba kita lengvai nuimama apsaugine medžiaga, siekiant apsaugoti dviejų daugiasluoksnių kondensatorių elektrodų kontaktų dalis ir montažinės plokštės paviršių nuo padengimo papildomu izoliuojančios medžiagos sluoksniu, tolesnių modifikavimo žingsnių metu.Fig. is shown covering the electrode contacts with protective tape or other easily removable protective material to protect the electrode contact parts of the two multilayer capacitors and the surface of the mounting plate from being covered with an additional layer of insulating material during subsequent modification steps.
pav. yra pavaizduotas dielektrinio sluoksnio suformavimas ant kondensatoriaus elektrai laidžių dalių, kurios turi būti izoliuotos siekiant išvengti tiesioginio sąlyčio su tirpalu.Fig. shows the formation of a dielectric layer on the electrically conductive parts of the capacitor, which must be insulated to avoid direct contact with the solution.
pav. yra pavaizduotas dielektrinio sluoksnio suformavimas ant dviejų kondensatorių elektrai laidžiųjų dalių, kurios turi būti izoliuotos siekiant išvengti tiesioginio sąlyčio su tirpalu.Fig. shows the formation of a dielectric layer on the electrically conductive parts of two capacitors, which must be insulated to avoid direct contact with the solution.
pav. yra pavaizduotas izoliuojančios medžiagos pašalinimo nuo vieno kondensatoriaus atviros srities, žingsnis.Fig. shows the step of removing the insulating material from the exposed area of one capacitor.
pav. yra pavaizduotas izoliuojančios medžiagos pašalinimo nuo dviejų kondensatorių atvirų sričių, žingsnis.Fig. shows the step of removing the insulating material from the exposed areas of the two capacitors.
pav. pavaizduotas kondensatoriaus panardinimo į tirpalą, naudojamą elektrocheminiam metalo ir/arba kitų modifikuojančių medžiagų nusodinimui ant vieno kondensatoriaus elektrodų plokštelių šonų, etapas.Fig. shows the step of immersing a capacitor in a solution used for electrochemical deposition of metal and/or other modifying materials on the sides of one capacitor's electrode plates.
pav. pavaizduotas kondensatoriaus panardinimo į tirpalą, naudojamą elektrocheminiam metalo ir/arba kitų modifikuojančių medžiagų nusodinimui ant dviejų kondensatorių elektrodų plokštelių kraštų, etapas.Fig. shows the step of immersing a capacitor in a solution used for electrochemical deposition of metal and/or other modifying substances on the edges of two capacitor electrode plates.
pav. yra pavaizduotas kondensatoriaus panardinimo į tirpalą, naudojamą elektrocheminiam metalo ir/arba kitų modifikuojančių medžiagų nusodinimui ant vieno kondensatoriaus elektrodų plokštelių šono į ELISA sistemos duobutę, etapas. Tas pats paveikslas parodo elektrocheminės celės, pagrįstos ELISA sistema, galimą taikymą analiziniams tikslams.Fig. shows the step of immersing a capacitor in a solution used for electrochemical deposition of metal and/or other modifying materials on one side of the capacitor's electrode plates into a well of the ELISA system. The same figure shows the potential application of an electrochemical cell based on an ELISA system for analytical purposes.
pav. yra pavaizduotas elektrocheminės celės, kurią sudaro du daugiasluoksniai keramikos/metalo kondensatoriai keturių elektrodų sistemoje, elektrodų išdėstymas, kur kiekvienas kondensatorius susideda iš dviejų elektrodų: po vieną kiekvieno kondensatoriaus elektrodą sudaro darbinis elektrodas, bet kurio kondensatoriaus, iš minėtų dviejų kondensatorių, vienas iš likusių elektrodų yra palyginamasis elektrodas, o likęs elektrodas yra pagalbinis elektrodas.Fig. shows the electrode arrangement of an electrochemical cell consisting of two multilayer ceramic/metal capacitors in a four-electrode system, where each capacitor consists of two electrodes: one electrode of each capacitor is the working electrode, of any of the two capacitors, one of the remaining electrodes is the reference electrode and the remaining electrode is the auxiliary electrode.
pav. yra pavaizduotas elektrodų išdėstymas elektrocheminiame elemente, kurį sudaro du daugiasluoksniai keramikos/metalo kondensatoriai, trijų elektrodų sistemoje, kur kiekvienas kondensatorius susideda iš dviejų elektrodų: vieno kondensatoriaus elektrodas yra darbinis elektrodas, kitas to paties kondensatoriaus elektrodas yra palyginamasis elektrodas, o abu antrojo kondensatoriaus elektrodai yra pagalbiniai elektrodai.Fig. shows the arrangement of electrodes in an electrochemical cell consisting of two multilayer ceramic/metal capacitors in a three-electrode system, where each capacitor consists of two electrodes: the electrode of one capacitor is the working electrode, the other electrode of the same capacitor is the reference electrode, and both electrodes of the second capacitor are auxiliary electrodes.
pav. yra pavaizduotas elektrocheminės celės, kurioje naudojami du vieno daugiasluoksnio kondensatoriaus elektrodai dviejų elektrodų sistemoje, realizavimo variantas pagal išradimą.Fig. shows an embodiment of an electrochemical cell using two electrodes of a single multilayer capacitor in a two-electrode system according to the invention.
pav. yra pavaizduota elektrocheminės celės, kurią sudaro dviejų daugiasluoksnių kondensatorių keturi elektrodai, sistema. Tokia sistema yra tinkama tiek trijų, tiek ir keturių elektrodų elektrocheminės celės konfigūracijai.Fig. the system of an electrochemical cell consisting of two multilayer capacitors with four electrodes is shown. Such a system is suitable for both three- and four-electrode electrochemical cell configurations.
pav. yra pavaizduotas kelių elektrocheminių celių, esančių imunofermentinės analizės sistemos (angl. k. enzyme-linked immunosorbent Assay (ELISA)) plokštelėje. Tas pats paveikslas rodo kelių elektrocheminių celių, esančių ELISA plokštelėse su daugiasluoksnių keramikos/metalo kondensatorių elektrodais, galimą pritaikymą elektroanaliziniams tikslams.Fig. is shown of several electrochemical cells on an enzyme-linked immunosorbent assay (ELISA) plate. The same figure shows the potential application of several electrochemical cells in ELISA plates with multilayer ceramic/metal capacitor electrodes for electroanalytical purposes.
pav. yra pavaizduota elektrocheminės sistemos ciklinė voltamograma, registruota realizuojant 17 pav. atvaizduotą sistemą, kurioje naudojamas darbinis elektrodas yra iš gryno (nemodifikuoto) titano Ti; palyginamasis elektrodas yra sidabru dengtas elektrodas, elektrochemiškai suformuotas sidabro/sidabro chlorido Ag/AgCl elektrodas; pagalbinis elektrodas yra grįstas tarpusavyje sujungtų nemodifikuotų titano elektrodų rinkiniu. Tyrimas buvo atliktas 0,1 M fosfatinio buferio tirpale su 0,01 KCl.Fig. the cyclic voltammogram of the electrochemical system, recorded during the realization of Fig. 17, is shown. depicted system in which the working electrode used is made of pure (unmodified) titanium Ti; the reference electrode is a silver coated electrode, an electrochemically formed silver/silver chloride Ag/AgCl electrode; the auxiliary electrode is paved with a set of interconnected unmodified titanium electrodes. The assay was performed in 0.1 M phosphate buffer solution with 0.01 KCl.
pav. yra pavaizduotas elektrocheminės celės, susidedančios iš dviejų kondensatorių, veikiančios trijų elektrodų konfigūracijoje, kaip parodyta 15 pav., panaudojimo pavyzdys, pritaikymas amperometriniam gliukozės biologiniam jutikliui.Fig. an example application of an electrochemical cell consisting of two capacitors operating in a three-electrode configuration as shown in Fig. 15 for an amperometric glucose biosensor is depicted.
pav. yra pavaizduoti gliukozės biologinio jutiklio, suprojektuoto pagal 20 paveiksle pateiktą schemą, trijų elektrodų režime, amperometriniai atsakai į skirtingas gliukozės koncentracijas. Amperometrinis matavimas atliktas darbiniam elektrodui uždavus +800 mV potencialą, palyginamojo Ag/AgCl elektrodo atžvilgiu. Rodyklės rodo į tirpalą pridėtos gliukozės koncentraciją.Fig. amperometric responses to different glucose concentrations in the three-electrode mode of the glucose biosensor designed according to the scheme presented in Figure 20 are shown. The amperometric measurement was performed when the working electrode was set at a potential of +800 mV, relative to the reference Ag/AgCl electrode. Arrows indicate the concentration of glucose added to the solution.
pav. yra pavaizduoti amperometriškai išmatuoti gliukozės biologinio jutiklio atsakai, matavimus atliekant elektrocheminėje sistemoje sukonstruotoje pagal 20 paveiksle pateiktą schemą, trijų elektrodų režime, esant skirtingoms gliukozės koncentracijoms.Fig. are shown amperometrically measured responses of a glucose biosensor, measured in an electrochemical system constructed according to the scheme shown in Figure 20, in three-electrode mode, at different glucose concentrations.
pav. yra pavaizduoti amperometriškai išmatuoti elektrocheminės sistemos, sukonstruotos pagal 16 pav. pateiktą schemą, dviejų elektrodų režime, atsakai į skirtingas vandenilio peroksido (H2O2) koncentracijas.Fig. amperometrically measured electrochemical systems constructed according to Fig. 16 are shown. the presented scheme, in the two-electrode mode, responses to different concentrations of hydrogen peroxide (H2O2).
Pageidautini išradimo įgyvendinimo variantai yra aprašyti žemiau, su nuorodomis į atitinkamus brėžinius. Kiekviename paveiksle naudojama ta pati tų pačių arba lygiaverčių elementų numeracija.Preferred embodiments of the invention are described below with reference to the accompanying drawings. Each figure uses the same numbering of the same or equivalent elements.
IŠSAMUS IŠRADIMO ĮGYVENDINIMO BŪDŲ APRAŠYMASDETAILED DESCRIPTION OF METHODS FOR IMPLEMENTING THE INVENTION
Aprašyme yra pateikiama daug specifinių detalių, siekiant pateikti išsamų ir suprantamą išradimo įgyvendinimo aprašymą. Yra pateikiamas šios srities specialistams suprantamas aprašymas ir pažymėtina, kad pateikti pavyzdžiai apima ir išradimo taikymus, kurie gali būti realizuoti be čia pateikiamų konkrečių instrukcijų. Norint išvengti perteklinės informacijos pateikimo, gerai žinomi metodai, procedūros ir komponentai nėra plačiai aprašomi. Be to, šis aprašymas nėra laikomas apribojančiu išradimą tik čia pateiktais įgyvendinimo pavyzdžiais, o tik kaip vienas iš daugelio galimų išradimo įgyvendinimo būdų.The description contains many specific details in order to provide a complete and comprehensible description of the implementation of the invention. A description is provided for those skilled in the art, and it should be noted that the examples provided include applications of the invention that may be practiced without the specific instructions provided herein. To avoid redundant information, well-known methods, procedures, and components are not described in detail. Further, this description is not intended to limit the invention to the embodiments provided herein, but only as one of many possible embodiments of the invention.
Elektrocheminės celės gamybos būdas pagal išradimą apima bendros struktūros daugiasluoksnio keramikos/metalo kondensatoriaus (C), pavyzdžiui, daugiasluoksnio keramikos/metalo mikrokondensatoriaus (C), kaip parodyta 1 paveiksle, panaudojimą, kur daugiasluoksnis keramikos/metalo mikrokondensatoriaus (C) apima daug nuosekliai išdėstytų sluoksnių struktūrą, kaip parodyta 2 paveiksle, susidedančią iš pasikartojančių keraminės dielektrinės medžiagos (1) sluoksnių ir metalinių plokštelių (2', 3') ir izoliacinės dangos (4), skirtos kondensatoriaus (C) sluoksniuotajai struktūrai įkapsuliuoti ir izoliuoti nuo kitų elektrinės grandinės dalių. Pirmasis metalinių plokštelių (2') rinkinys susideda iš pirmojo vidinio elektrodo (2) plokštelių, o antrasis metalinių plokštelių rinkinys (3') susideda iš antrojo vidinio elektrodo (3) plokštelių, kur sluoksnių seka yra tokia, kad tarp kiekvienos metalinės plokštelės (2', 3') yra suformuotas keraminės dielektrinės medžiagos (1) sluoksnis. Kiekviena pirmoji metalinė plokštė (2') yra sujungta taip, kad sudarytų pirmąjį elektrodą (2), o kiekviena antroji metalinė plokštelė (3') yra sujungta, kad sudarytų antrąjį elektrodą (3).The manufacturing method of the electrochemical cell according to the invention includes the use of a multilayer ceramic/metal capacitor (C) with a general structure, for example, a multilayer ceramic/metal microcapacitor (C) as shown in Figure 1, where the multilayer ceramic/metal microcapacitor (C) includes many sequentially arranged layers a structure as shown in Figure 2, consisting of repeated layers of ceramic dielectric material (1) and metal plates (2', 3') and an insulating coating (4) to encapsulate and isolate the layered structure of the capacitor (C) from other parts of the electrical circuit. The first set of metal plates (2') consists of the plates of the first internal electrode (2), and the second set of metal plates (3') consists of the plates of the second internal electrode (3), where the sequence of layers is such that between each metal plate (2 ', 3') a layer of ceramic dielectric material (1) is formed. Each first metal plate (2') is connected to form a first electrode (2), and each second metal plate (3') is connected to form a second electrode (3).
Visuose šio išradimo įgyvendinimo variantuose elektrodai yra elektrai laidūs.In all embodiments of the present invention, the electrodes are electrically conductive.
Visuose įgyvendinimo variantuose, daugiasluoksnis keramikos/metalo mikrokondensatorius apima tarpusavyje sunertų plokštelių elektrodus. Todėl po išankstinio apdorojimo, aprašyto tolimesniuose modifikavimo etapuose, susidaro ideali tarpusavyje sunertų elektrodų struktūra, kuri yra tinkama įvairioms elektrocheminėms sistemoms.In all embodiments, the multilayer ceramic/metal microcapacitor includes electrodes of interlocking plates. Therefore, after the pretreatment described in the subsequent modification steps, an ideal structure of intercalated electrodes is formed, which is suitable for various electrochemical systems.
Atvira sritis (5) yra suformuojama bent vienoje daugiasluoksnio keramikos/metalo kondensatoriaus (C) pusėje, nuo sluoksniuotos konstrukcijos pusės pašalinus dalį izoliacinės dangos (4) ir atidengiant keramikinės dielektrinės medžiagos (1) sluoksnių šonus, pirmojo vidinio elektrodo (2) metalinių plokštelių (2') šonus (2'') ir antrojo vidinio elektrodo (3) metalinių plokštelių (3') šonus (3'').An open area (5) is formed on at least one side of the multilayer ceramic/metal capacitor (C) by removing part of the insulating coating (4) from the side of the layered structure and exposing the sides of the layers of the ceramic dielectric material (1), the metal plates of the first internal electrode (2) ( 2') sides (2'') and sides (3'') of the metal plates (3') of the second internal electrode (3).
Pirmojo ir antrojo elektrodų (2, 3) šonai (2‘‘, 3‘‘) yra atidengti, siekiant suformuoti darbinę zoną, pvz. jutiminę zoną. Atvira sritis (5) suformuojama gamybos proceso metu arba, jei naudojamas paruoštas keramikos/metalo kondensatorius (C), atidengta kondensatoriaus zona yra formuojama abrazyvinėmis medžiagomis ir/ arba šlifavimo priemonėmis, šlifavimo ar poliravimo įtaisu, siekiant pašalinti izoliacinę dangą (4) nuo pirmojo ir antrojo elektrodo (2, 3) šonų (2'', 3'') paviršiaus. Pašalinus elektro-izoliacinę dangą (4), pirmojo ir antrojo elektrodo (2, 3) šonai (2‘‘, 3‘‘), kartu su tarp jų esančios keramikinės dielektrinės medžiagos (1) sluoksnių šonais yra poliruojami naudojant smulkias abrazyvines medžiagas, tokias kaip AbOa, ir/arba šlifavimo ar poliravimo prietaisą.The sides (2'', 3'') of the first and second electrodes (2, 3) are exposed to form a working area, e.g. sensory area. The exposed area (5) is formed during the manufacturing process or, if a ready-made ceramic/metal capacitor (C) is used, the exposed area of the capacitor is formed with abrasives and/or abrasives, a grinding or polishing device to remove the insulating coating (4) from the first and the surface of the sides (2'', 3'') of the second electrode (2, 3). After removing the electro-insulating coating (4), the sides (2'', 3'') of the first and second electrodes (2, 3), together with the sides of the layers of ceramic dielectric material (1) between them, are polished using fine abrasive materials such as as AbOa, and/or a grinding or polishing device.
Kaip parodyta 3 paveiksle, vėliau, kondensatoriaus atvira sritis (5) yra padengiama lengvai nuimamu apsauginės medžiagos sluoksniu (9), kuris apsaugo darbinį paviršiaus plotą nuo padengimo ilgalaike izoliacine medžiaga. Lengvai nuimamas apsauginės medžiagos sluoksnis (9) suformuojamas taip, kad uždengtų ir apsaugotų atidengtus pirmojo ir antrojo elektrodo (2, 3) šonus (2'', 3'') bei tarp šių elektrodų esančios keraminės dielektrinės medžiagos (1) šonus.As shown in Figure 3, the open area (5) of the capacitor is then covered with an easily removable layer of protective material (9), which protects the working surface area from being covered with a long-term insulating material. The easily removable layer of protective material (9) is formed to cover and protect the exposed sides (2'', 3'') of the first and second electrodes (2, 3) and the sides of the ceramic dielectric material (1) between these electrodes.
Būdas apima pirmojo vidinio elektrodo (2) prijungimą prie elektrodo kontakto (6), esančio viename kondensatoriaus (C) gale, ir antrojo vidinio elektrodo (3) prijungimą prie elektrodo kontakto (7), esančio kondensatorius (C) antrame gale, priešais pirmąjį galą. Tas pats taikoma jeigu vietoje vieno yra naudojami du ar daugiau kondensatorių, kaip parodyta 4 pav.The method includes connecting the first internal electrode (2) to the electrode contact (6) located at one end of the capacitor (C) and connecting the second internal electrode (3) to the electrode contact (7) located at the second end of the capacitor (C) opposite the first end . The same applies if two or more capacitors are used instead of one, as shown in Figure 4.
Kaip parodyta 5 paveiksle, būdas papildomai apima elektrinių signalų perdavimo priemonių (8’, 8’’) prijungimą prie elektrodų (2, 3) kontaktų (6, 7), skirtų perduoti signalams iš darbinės zonos. Signalo perdavimo priemonės (8', 8) gali būti izoliuoti laidai (8') ir/arba elektrai laidūs takeliai (8), suformuoti elektronikos montavimo plokštėje, skirtoje daugiasluoksnio keramikos/metalo kondensatoriaus ir/arba tokių kondensatorių matricos įmontavimui. Tie patys principai yra taikomi, jei vietoje vieno yra naudojami du ar daugiau kondensatorių, kaip kad yra parodyta 6 paveiksle.As shown in Figure 5, the method additionally includes connecting the electrical signal transmission means (8', 8'') to the contacts (6, 7) of the electrodes (2, 3) for transmitting signals from the working area. Signal transmission means (8', 8) can be insulated wires (8') and/or electrically conductive tracks (8) formed in an electronics mounting plate for mounting a multilayer ceramic/metal capacitor and/or a matrix of such capacitors. The same principles apply if two or more capacitors are used instead of one, as shown in Figure 6.
Kaip parodyta 7 paveiksle, vėliau, elektrodų (2, 3) kontaktai (6, 7) yra padengiami nuolatine izoliacine medžiaga (11), kad apsaugoti kontaktus (6, 7) nuo sąlyčio su tirpalais, sekančių, pirmojo ir antrojo elektrodų (2, 3) šonų ( 2'', 3'') modifikavimo metu. Tie patys principai yra taikomi, jei vietoje vieno yra naudojami du ar daugiau daugiasluoksnių keramikos/metalo kondensatorių, kaip yra parodyta 8 paveiksle.As shown in Figure 7, later, the contacts (6, 7) of the electrodes (2, 3) are coated with a permanent insulating material (11) to protect the contacts (6, 7) from contact with the solutions of the following, first and second electrodes (2, 3) during modification of the sides (2'', 3''). The same principles apply if two or more multilayer ceramic/metal capacitors are used instead of one, as shown in Figure 8.
Kaip yra parodyta 9 paveiksle, nuo atviros srities (5) yra pašalinamas prieš tai suformuotas lengvai pašalinamos apsauginės medžiagos sluoksnis (9), atidengiant pirmojo ir antrojo elektrodo (2, 3) šonus (2'', 3'') tolimesniam jų modifikavimui. Tie patys principai yra taikomi, jei vietoj vieno yra naudojami du ar daugiau kondensatorių, kaip parodyta 10 paveiksle.As shown in Figure 9, the previously formed easily removable protective material layer (9) is removed from the exposed area (5), exposing the sides (2'', 3'') of the first and second electrodes (2, 3) for further modification. The same principles apply if two or more capacitors are used instead of one, as shown in Figure 10.
Po to daugiasluoksnis kondensatorius (C) yra visiškai panardinamas į tirpalą, skirtą elektrocheminiam metalo ir/arba kitų modifikuojančių medžiagų nusodinimui ant atvirų pirmojo elektrodo (2) šonų (2’’). Pirmojo vidinio elektrodo (2) kontaktui (6) yra užduodamas elektrinis potencialas. Pirmasis kontaktas (6) yra prijungiamas prie potenciostato/galvanostato, o antrojo vidinio elektrodo (3) kontaktas (7) tuo metu yra atjungtas. Tada pirmojo elektrodo (2) plokštelių (2') atviri šonai (2'') yra elektrochemiškai modifikuojami padengiant metaliniu ar kitos modifikuojančios medžiagos sluoksniu. Tie patys principai yra taikomi, jei vietoje vieno yra naudojami du ar daugiau kondensatorių.After that, the multilayer capacitor (C) is completely immersed in a solution for the electrochemical deposition of metal and/or other modifying substances on the exposed sides (2'') of the first electrode (2). An electrical potential is applied to the contact (6) of the first internal electrode (2). The first contact (6) is connected to the potentiostat/galvanostat, while the contact (7) of the second internal electrode (3) is disconnected. Then, the open sides (2'') of the plates (2') of the first electrode (2) are electrochemically modified by coating with a metal or other modifying material layer. The same principles apply if two or more capacitors are used instead of one.
Po metalo ir/arba kitų modifikuojančių medžiagų elektrocheminio nusodinimo tirpalas yra pakeičiamas elektrocheminio metalo ir/arba kitų modifikuojančių medžiagų nusodinimo tirpalu, skirtu atlikti nusodinimą ant atvirų antrojo elektrodo (3) šonų (3’’). Ant antrojo elektrodo (3) kontakto (7) yra užduodamas elektrinis potencialas. Antrasis kontaktas (7) yra prijungtas prie potenciostato/galvanostato, o pirmojo elektrodo (2) kontaktas (6) yra atjungtas. Taigi, antrojo elektrodo (3) plokštelių (3’) atviri šonai (3’’) yra elektrochemiškai modifikuojami, padengiant metaliniu sluoksniu. Tie patys principai yra taikomi, jei vietoj vieno yra naudojami du ar daugiau kondensatorių.After the electrochemical deposition of the metal and/or other modifying substances, the solution is replaced by the electrochemical deposition solution of the metal and/or other modifying substances for deposition on the exposed sides (3'') of the second electrode (3). An electrical potential is applied to the contact (7) of the second electrode (3). The second contact (7) is connected to the potentiostat/galvanostat, and the contact (6) of the first electrode (2) is disconnected. Thus, the open sides (3'') of the plates (3') of the second electrode (3) are electrochemically modified by coating with a metal layer. The same principles apply if two or more capacitors are used instead of one.
Atviri elektrodų (2, 3) plokštelių (2', 3') šonai (2'', 3'') yra elektrochemiškai padengiami metaliniu sluoksniu, sudarytu iš inertiškų ir/arba elektrochemiškai aktyvių metalų, tokių kaip auksas Au, platina Pt, paladis Pa, rutenis Ru, titanas Ti, varis Cu, manganas Mn, geležis Fe, kobaltas Co, aliuminis Al, cinkas Zn arba elektrochemiškai nusodintu lydiniu, suformuotu iš šių metalų ir/arba kitos elektrochemiškai nusodinamos medžiagos, pvz. elektrochemiškai suformuotų laiddžių polimerų, tokių kaip polipirolas, polianilinas, politiofenas, poli(3,4-etilendioksitiofenas. Nusodinimo sluoksnio medžiaga parenkama atsižvelgiant į elektrodų (2, 3) funkciją, konkrečioje elektrocheminėje sistemoje. Atviri elektrodų (2, 3) plokštelių (2', 3') šonai (2'', 3'') yra elektrochemiškai modifikuojami, siekiant užtikrinti didesnį stabilumą ir/arba elektrokatalizinį aktyvumą.The open sides (2'', 3'') of the plates (2', 3') of the electrodes (2, 3) are electrochemically coated with a metal layer consisting of inert and/or electrochemically active metals such as gold Au, platinum Pt, palladium Pa, ruthenium Ru, titanium Ti, copper Cu, manganese Mn, iron Fe, cobalt Co, aluminum Al, zinc Zn, or an electrodeposited alloy formed from these metals and/or another electrodepositable material, e.g. electrochemically formed conducting polymers such as polypyrrole, polyaniline, polythiophene, poly(3,4-ethylenedioxythiophene). The material of the deposition layer is selected taking into account the function of the electrodes (2, 3) in a specific electrochemical system. Open electrodes (2, 3) plates (2' , 3') sides (2'', 3'') are electrochemically modified to ensure greater stability and/or electrocatalytic activity.
Tuo atveju, kai daugiasluoksnis keramikos/metalo kondensatorius (C) turi daugiau nei du elektrodus, kur kiekvienas elektrodas turėtų atvirą šoną po izoliacinės dangos pašalinimo nuo tokio daugiasluoksnio keramikos/metalo kondensatoriaus pusės, atidengiančio visų elektrodų plokščių šonus, elektrocheminio elemento gamybos procedūra yra tokia pati, kaip aprašyta aukščiau. Tokiu atveju kiekvieno elektrodo plokščių atviri šonai būtų padengti aukščiau aprašytu būdu.In the case where the multilayer ceramic/metal capacitor (C) has more than two electrodes where each electrode would have an exposed side after removing the insulating coating from the side of such multilayer ceramic/metal capacitor exposing the sides of all the electrode plates, the manufacturing procedure of the electrochemical cell is the same , as described above. In this case, the exposed sides of each electrode plate would be coated in the manner described above.
Kaip parodyta 11 paveiksle, po elektrocheminio nusodinimo, pirmojo vidinio elektrodo (2) metalinių elektrodų plokštelių (2') šonai (2'') ir antrojo vidinio elektrodo (3) metalinių plokštelių (3) šonai (3''), esantys dangos (4) atviroje srityje (5) daugiasluoksnio keramikos/metalo kondensatoriaus (C) šone, panardinami į skysto elektrolito tirpalą (10).As shown in Figure 11, after electrochemical deposition, the sides (2'') of the metal electrode plates (2') of the first internal electrode (2) and the sides (3'') of the metal plates (3) of the second internal electrode (3) located in the coating ( 4) in the open area (5) on the side of the multilayer ceramic/metal capacitor (C), immersed in the liquid electrolyte solution (10).
Tuo pačiu būdu, kaip aprašyta aukščiau, du ir daugiau kondensatorių gali būti apdorojami vienu metu arba nuosekliai - vienas po kito, siekiant suformuoti elektrocheminę celę, susidedančią atitinkamai iš dviejų, kaip parodyta 12 paveiksle, arba daugiau kondensatorių, kurių kiekvienas turi po du elektrodus.In the same way as described above, two or more capacitors can be processed simultaneously or sequentially - one after the other, to form an electrochemical cell consisting of two, as shown in Figure 12, or more capacitors, each having two electrodes.
Gali būti suformuota elektrocheminių celių matrica, sudaryta iš atskirų elektrocheminių celių kurios, kiekviena iš jų, susideda iš dviejų ar daugiau daugiasluoksnių kondensatorių, taip galima suformuoti daugiakanales elektrochemines sistemas panaudojant daug analizės šulinėlių turinčioje imunofermentinės analizės sistemų (angl. enzyme-linked immunosorbent Assay (ELISA)) plokšteles arba panašias daug analizės kanalų turinčias sistemas, kaip kad yra parodyta 13 ir 18 paveiksluose.A matrix of electrochemical cells can be formed, consisting of individual electrochemical cells, each of which consists of two or more multilayer capacitors, thus it is possible to form multi-channel electrochemical systems using a multi-well enzyme-linked immunosorbent assay (ELISA) )) plates or similar systems with many analysis channels as shown in Figures 13 and 18.
Visuose išradimo įgyvendinimo variantuose, elektrocheminė celė turi bent vieną darbinį elektrodą, bent vieną palyginamąjį elektrodą ir bent vieną pagalbinį elektrodą, kur kiekvienas tokios celės elektrodas apima atidengtus kondensatorių plokštelių šonus.In all embodiments of the invention, the electrochemical cell includes at least one working electrode, at least one reference electrode, and at least one auxiliary electrode, wherein each electrode of such cell includes the exposed sides of the capacitor plates.
Visuose išradimo įgyvendinimo variantuose, elektrocheminė celė turi bent vieną darbinį elektrodą, bent vieną palyginamąjį elektrodą ir bent vieną pagalbinį elektrodą, kur kiekvienas tokios celės elektrodas apima atidengtus kondensatorių plokštelių šonus. Be to, visuose įgyvendinimo variantuose kiekvienas elektrodas, apima vieną arba daugiau tarpusavyje sujungtų kondesatoriaus plokštelių.In all embodiments of the invention, the electrochemical cell includes at least one working electrode, at least one reference electrode, and at least one auxiliary electrode, wherein each electrode of such cell includes the exposed sides of the capacitor plates. Additionally, in all embodiments, each electrode includes one or more interconnected capacitor plates.
Išradimo įgyvendinimo variantuose ir pagal 11 bei 16 paveiksluose pateiktus brėžinius, kai elektrocheminė celė susideda iš vieno daugiasluoksnio keramikos/metalo kondensatoriaus (C), apimančio du elektrodus (2, 3), kaip parodyta 2 paveiksle: vienas elektrodas yra darbinis elektrodas (2), o kitas elektrodas yra palyginamasis ir pagalbinis elektrodas (3).In embodiments of the invention and according to the drawings presented in Figures 11 and 16, when the electrochemical cell consists of one multilayer ceramic/metal capacitor (C) comprising two electrodes (2, 3), as shown in Figure 2: one electrode is the working electrode (2), and the other electrode is the reference and auxiliary electrode (3).
Išradimo įgyvendinimo variantuose, kai elektrocheminė celė susideda iš dviejų daugiasluoksnių keramikos/metalo kondensatorių (C), kurių kiekvienas apima po du elektrodus (2.1, 3.1; 2.2, 3.2), kaip parodyta 14 paveiksle, kiekvieno kondensatorius vienas elektrodas (2.1, 2.2) yra darbinis elektrodas, vienas iš kitų dviejų, bet kurio iš dviejų kondensatorių elektrodų (3.1) yra palyginamasis elektrodas, o dar vienas elektrodas (3.2) yra pagalbinis elektrodas.In embodiments of the invention, when the electrochemical cell consists of two multilayer ceramic/metal capacitors (C), each of which includes two electrodes (2.1, 3.1; 2.2, 3.2), as shown in Figure 14, one electrode of each capacitor (2.1, 2.2) is the working electrode, one of the other two electrodes (3.1) of any of the two capacitors is the reference electrode, and another electrode (3.2) is the auxiliary electrode.
Išradimo įgyvendinimo variantuose ir kaip yra parodyta 12, 17, 20 paveiksluose, kai elektrocheminė celė turi du daugiasluoksnius keramikos/metalo kondensatorius, kurių kiekvienas apima du elektrodus (2.1, 3.1; 2.2, 3.2): vieno kondensatoriaus vienas elektrodas yra darbinis elektrodas (2.1), kitas to paties kondensatoriaus elektrodas yra palyginamasis elektrodas (3.1), o abu antrojo kondensatoriaus elektrodai yra pagalbiniai elektrodai (2.2, 3.2), veikiantys kaip vienas pagalbinis elektrodas. Tokia elektrodų konfigūracija visuose įgyvendinimo variantuose vadinama trijų elektrodų konfigūracija, kaip yra parodyta 15 paveiksle.In the embodiments of the invention and as shown in Figures 12, 17, 20, when the electrochemical cell has two multilayer ceramic/metal capacitors, each of which includes two electrodes (2.1, 3.1; 2.2, 3.2): one electrode of one capacitor is the working electrode (2.1) , the other electrode of the same capacitor is the reference electrode (3.1), and both electrodes of the second capacitor are auxiliary electrodes (2.2, 3.2) acting as one auxiliary electrode. Such an electrode configuration is referred to in all embodiments as a three-electrode configuration, as shown in Figure 15 .
Trijų elektrodų celėje elektrodai (2.1, 3.1; 2.2, 3.2) gali būti elektrochemiškai padengti: darbinis elektrodas (2.1) gali būti elektrochemiškai padengiamas inertiškais ir/arba elektrochemiškai aktyviais metalais , tokiais kaip auksas Au, platina Pt, paladis Pa, rutenis Ru, titanas Ti, varis Cu, manganas Mn, geležis Fe, kobaltas Co, aliuminis Al, cinkas Zn arba šių metalų lydiniais. Elektrocheminiu būdu nusodinti lydiniai, kurių pagrindą sudaro šie ir/arba kiti metalai, taip pat gali būti pritaikyti identiškai panaudoti elektrocheminiam palyginamojo elektrodo (3.1) padengimui, pvz. sidabras Ag iš dalies elektrochemiškai paverčiamas AgCl druska, sudarant Ag/AgCl struktūrą, kuri įgalina Ag/AgCl struktūrą taikyti kaip palyginamąjį elektrodą ir naudoti jį trijų elektrodų režime. Pagalbinis elektrodas (2.2, 3.2) gali būti naudojamas nedengtas, ypač jei jis yra pagamintas iš titano, kadangi titanas yra gana inertiškas. Jei kokiems nors taisymams reikia geresnių elektrocheminių savybių, esant reikalui šis pagalbinis elektrodas (2.2, 3.2) gali būti padengtas inertiniais ir/arba elektrochemiškai aktyviais metalais, tokiais kaip auksas Au, platina Pt, paladis Pa, rutenis Ru, titanas Ti, varis Cu, manganas Mn, geležis Fe, kobaltas Co, aliuminis Al, cinkas Zn arba elektrochemiškai nusodintais šių metalų lydiniais.In a three-electrode cell, the electrodes (2.1, 3.1; 2.2, 3.2) can be electrochemically coated: the working electrode (2.1) can be electrochemically coated with inert and/or electrochemically active metals, such as gold Au, platinum Pt, palladium Pa, ruthenium Ru, titanium Ti, copper Cu, manganese Mn, iron Fe, cobalt Co, aluminum Al, zinc Zn or alloys of these metals. Electrochemically deposited alloys based on these and/or other metals can also be adapted for identical use in the electrochemical coating of the reference electrode (3.1), e.g. silver Ag is partially electrochemically converted to AgCl salt, forming an Ag/AgCl structure, which enables the Ag/AgCl structure to be applied as a reference electrode and used in three-electrode mode. The auxiliary electrode (2.2, 3.2) can be used uncoated, especially if it is made of titanium, since titanium is relatively inert. If some repairs require better electrochemical properties, this auxiliary electrode (2.2, 3.2) can be coated with inert and/or electrochemically active metals, such as gold Au, platinum Pt, palladium Pa, ruthenium Ru, titanium Ti, copper Cu, manganese Mn, iron Fe, cobalt Co, aluminum Al, zinc Zn or electrochemically deposited alloys of these metals.
Siekiant padidinti elektrocheminių celių selektyvumą, gali būti taikoma pažangesnė elektrodų (2.1, 3.1; 2.2, 3.2) elektrocheminė modifikacija, naudojant įvairias funkcionalizuotas dangas (21), tokias kaip elektrai laidūs polimerai arba elektrai laidžių polimerų pagrindu pagaminti kompozitai, zoliai-geliai arba įvairiai funkcionalizuoti zoliai-geliai, baltymais modifikuoti silanizuoti sluoksniai, DNR, RNR, padengti savitvarkiais monosluoksniais arba savitvarkiais monosluoksniais modifikuotais baltymais, DNR, RNR, kryžminiais ryšiais susietais (angl.: crosslinked), adsorbuotais ar kitu būdu imobilizuotais baltymų sluoksniais.In order to increase the selectivity of electrochemical cells, more advanced electrochemical modification of electrodes (2.1, 3.1; 2.2, 3.2) can be applied using various functionalized coatings (21), such as electrically conductive polymers or composites based on electrically conductive polymers, sol-gels or variously functionalized sol-gels, protein-modified silanized layers, DNA, RNA, covered with self-assembled monolayers or self-assembled monolayer-modified proteins, DNA, RNA, crosslinked, adsorbed or otherwise immobilized protein layers.
Daugumos daugiasluoksnių keramikos/metalo kondensatorių elektrodų plokštės yra pagamintos iš titano.The electrode plates of most multilayer ceramic/metal capacitors are made of titanium.
Konkrečiu atveju, kai elektrocheminė celė turi tris elektrodus, palyginamasis elektrodas yra pagamintas iš sidabro, elektrochemiškai padengto sidabro chloridu Ag/AgCl arba kitu metalu, padengtu Ag/AgCl sluoksniais. Pagalbinis elektrodas susideda iš bet kokiu elektrocheminiu būdu nusodintų inertinių metalų, pvz., Au, Pt, Ti, Ag, Cr, Ni, Sn, arba elektrocheminiu būdu nusodinto lydinio ir/arba sluoksniuotos struktūros, susidedančios iš šių ir/arba kitų metalų.In the particular case where the electrochemical cell has three electrodes, the reference electrode is made of silver electrochemically coated with silver chloride Ag/AgCl or another metal coated with layers of Ag/AgCl. The auxiliary electrode consists of any electrodeposited inert metals such as Au, Pt, Ti, Ag, Cr, Ni, Sn, or an electrodeposited alloy and/or a layered structure consisting of these and/or other metals.
Pagal vieną išradimo įgyvendinimo variantą ir kaip parodyta 16 ir 17 paveiksluose, elektrocheminė celė yra pratekama elektrocheminė celė, papildomai pagal 11 ir 12 paveiksluose pavaizduotus įgyvendinimo variantus, atitinkamai apima pratekančio skysčio sistemą su skysčių įleidimo (13) ir išleidimo (14) vamzdeliais, jungiamais prie išorinės skysčių pompavimo/siurbimo sistemos. Tokia elektrocheminė celė gali apimti vieną daugiasluoksnį kondensatorių, apimantį du elektrodus (2, 3), kur vienas iš šių elektrodų yra darbinis elektrodas (2), o kitas elektrodas yra pagalbinis ir palyginamasis elektrodas (3); du kondensatorius, kurių kiekvienas apima po du elektrodus, panaudojamus bet kokioje šių elektrodų (2.1, 3.1; 2.2, 3.2) veikimo konfigūracijoje kaip darbinius, palyginamuosius ar pagalbinius elektrodus; arba panaudojant daugiau nei du kondensatorius, kurių kiekvienas turi po du elektrodus, kurie panaudojami bet kokioje konfigūracijoje, kai šie elektrodai naudojami kaip darbiniai, palyginamieji ir pagalbiniai elektrodai.According to one embodiment of the invention and as shown in Figures 16 and 17 , the electrochemical cell is a flow-through electrochemical cell, additionally according to the embodiments shown in Figures 11 and 12 , respectively, it includes a fluid flow system with fluid inlet (13) and outlet (14) tubes connected to external fluid pumping/suction systems. Such an electrochemical cell may include one multilayer capacitor comprising two electrodes (2, 3), where one of these electrodes is a working electrode (2) and the other electrode is an auxiliary and reference electrode (3); two capacitors, each of which includes two electrodes, used in any operating configuration of these electrodes (2.1, 3.1; 2.2, 3.2) as working, comparative or auxiliary electrodes; or by using more than two capacitors, each having two electrodes, which are used in any configuration where these electrodes are used as working, reference and auxiliary electrodes.
Naudojant ELISA plokštelėmis pagrįstą sistemą, kiekvienas elektrocheminis nusodinimo etapas gali būti atliktas ir ELISA plokštelės šulinėliuose (12), kur kiekvienas šulinėlis (12) yra skirtas vienam daugiasluoksniam keramikos/metalo kondensatoriui (C) modifikuoti arba keliems daugiasluoksniams keramikos/metalo kondensatoriams (C) modifikuoti. Kiekvieną imuno-fermentinės analizės sistemos (ELISA) plokštelės šulinėlį (12) galima užpildyti skirtingu elektrocheminio nusodinimo tirpalu, skirtu modifikuoti daugiasluoksnį keramikos/metalo kondensatorių (C) arba kelis kondensatorius (C), panardintus į šiuos šulinėlius. ELISA plokštės pagrindu sukurta sistema gali būti taikoma tiek elektrocheminiam metalo ir/arba kitų modifikuojančių medžiagų nusodinimui ant kelių kondensatorių elektrodų plokštelių šonų, formuojant elektrocheminę celę, tiek ir elektrocheminiams matavimams,.Using the ELISA plate-based system, each electrochemical deposition step can also be performed in the wells (12) of the ELISA plate, where each well (12) is designed to modify one multilayer ceramic/metal capacitor (C) or to modify several multilayer ceramic/metal capacitors (C) . Each well (12) of an enzyme-linked immunosorbent assay (ELISA) plate can be filled with a different electrochemical deposition solution to modify a multilayer ceramic/metal capacitor (C) or multiple capacitors (C) immersed in these wells. The system based on the ELISA plate can be applied both for the electrochemical deposition of metal and/or other modifying substances on the sides of several capacitor electrode plates, forming an electrochemical cell, and for electrochemical measurements.
Pavyzdys, kaip medžiagos naudojamos elektrocheminiam nusodinimui ant elektrodų (2.1, 3.1; 2.2, 3.2) trijų elektrodų elektrocheminės celės konfigūracijoje susidedančioje iš dviejų daugiasluoksnių keramikos/metalo kondensatorių (C) bus aptartas toliau. Elektrocheminės celės struktūra yra tokia pati, kaip parodyta 12 ir 17 paveiksluose, o elektrodų išdėstymas yra toks pat, kaip parodyta 15 paveiksle.An example of how materials are used for electrochemical deposition on electrodes (2.1, 3.1; 2.2, 3.2) in a three-electrode electrochemical cell configuration consisting of two multilayer ceramic/metal capacitors (C) will be discussed below. The structure of the electrochemical cell is the same as shown in Figures 12 and 17, and the electrode arrangement is the same as shown in Figure 15.
Darbinis elektrodas (2.1) yra padengiamas taip: atviri darbinio elektrodo (2.1) plokštelių šonai yra papildomai elektrochemiškai padengiami metalų sluoksniu, suformuotu iš inertiškų ir/arba elektrochemiškai aktyvių metalų, tokių kaip auksas Au, platina Pt, paladis Pa , rutenis Ru, titanas Ti, varis Cu, manganas Mn, geležis Fe, kobaltas Co, aliuminis Al, cinkas Zn arba elektrocheminiu būdu nusodintais lydiniais, sudarytais iš šių metalų, ir/arba kitos elektrochemiškai nusodinamos medžiagos, tokios kaip elektrochemiškai nusodinti elektrai laidūs polimerai, pvz. : polipirolas, polianilinas, politiofenas, poli(3,4-etilendioksitiofenas).The working electrode (2.1) is coated as follows: the open sides of the plates of the working electrode (2.1) are additionally electrochemically coated with a metal layer formed from inert and/or electrochemically active metals, such as gold Au, platinum Pt, palladium Pa, ruthenium Ru, titanium Ti , copper Cu, manganese Mn, iron Fe, cobalt Co, aluminum Al, zinc Zn or electrodeposited alloys composed of these metals and/or other electrodepositable materials such as electrodeposited electrically conductive polymers, e.g. : polypyrrole, polyaniline, polythiophene, poly(3,4-ethylenedioxythiophene).
Palyginamasis elektrodas (3.1) padengiamas sidabro chlorido Ag/AgCl struktūra arba kitu metalu, padengtu Ag/AgCl sluoksniais. Atidengti palyginamojo elektrodo (3.1) plokštelių šonai yra elektrochemiškai padengti sidabru (Ag), kuris, esant Cl-jonams tirpale, elektrochemiškai iš dalies paverčiamas Ag/AgCl struktūra, įgalina panaudoti susidariusią Ag/AgCl struktūra kaip palyginamąjį elektrodą (3.1).The reference electrode (3.1) is coated with a silver chloride Ag/AgCl structure or another metal coated with Ag/AgCl layers. The exposed sides of the plates of the reference electrode (3.1) are electrochemically coated with silver (Ag), which, in the presence of Cl- ions in the solution, is electrochemically partially transformed into the Ag/AgCl structure, enabling the use of the formed Ag/AgCl structure as the reference electrode (3.1).
Pagalbinis elektrodas (2.2, 3.2), sudarytas iš dviejų elektrodų (2.2, 3.2), kurie naudojami nedengti, nes pagaminti iš titano, kuris yra gana inertiškas. Be to, jei reikia kitokių elektrocheminių savybių, pagalbinis elektrodas (2.2, 3.2) gali būti padengtas inertiniais ir/arba elektrochemiškai aktyviais metalais, tokiais kaip auksas Au, platina Pt, paladis Pa, rutenis Ru, titanas Ti, varis Cu, manganas Mn, geležis Fe, kobaltas Co, aliuminio Al, cinkas Zn arba elektrochemiškai nusodintais jų lydiniais.The auxiliary electrode (2.2, 3.2) consists of two electrodes (2.2, 3.2) which are used without coating because they are made of titanium, which is relatively inert. In addition, if different electrochemical properties are required, the auxiliary electrode (2.2, 3.2) can be coated with inert and/or electrochemically active metals such as gold Au, platinum Pt, palladium Pa, ruthenium Ru, titanium Ti, copper Cu, manganese Mn, iron Fe, cobalt Co, aluminum Al, zinc Zn or their alloys deposited electrochemically.
Laidai (8’) jungia darbinį elektrodą, palyginamąjį elektrodą ir pagalbinį elektrodą su atitinkamomis potenciostato/galvanostato jungtimis.Wires (8') connect the working electrode, the reference electrode and the auxiliary electrode to the respective potentiostat/galvanostat connections.
Papildomos dangos (21), membranos, gali būti panaudotos darbinėje zonoje, apribotoje atvira sritimi (5), daugiasluoksnių keramikos/metalo kondensatorių izoliacinėje dangoje (4). Tokios papildomos membranos padidina projektuojamos elektrocheminės celės selektyvumą, tam gali būti naudojama polikarbonatinė membrana, polipirolio sluoksnis, ir kt., kurie mažina kai kurių jonų pralaidumą, arba katalizatoriai, pvz. fermentai, tokie kaip gliukozės oksidazė, formuojantys sluoksnį/membraną.Additional coatings (21), membranes, can be used in the working zone limited by the open area (5), in the insulating coating of multilayer ceramic/metal capacitors (4). Such additional membranes increase the selectivity of the designed electrochemical cell, such as polycarbonate membrane, polypyrrole layer, etc., which reduce the permeability of some ions, or catalysts, e.g. enzymes such as glucose oxidase that form the layer/membrane.
Toliau yra aptariamas trijų elektrodų elektrocheminės celės elektrodų (2.1, 3.1; 2.2, 3.2) elektrocheminio padengimo pavyzdys, kai amperometrinį gliukozės biologinį jutiklį, sudaro du daugiasluoksniai keramikos/metalo kondensatoriai (C). Elektrocheminės celės struktūra yra tokia pati, kaip parodyta 12 ir 17 paveiksluose, o elektrodų išdėstymas yra toks pat, kaip parodyta 15 paveiksle.An example of electrochemical coating of the electrodes (2.1, 3.1; 2.2, 3.2) of a three-electrode electrochemical cell is discussed below, where the amperometric glucose biosensor consists of two multilayer ceramic/metal capacitors (C). The structure of the electrochemical cell is the same as shown in Figures 12 and 17, and the electrode arrangement is the same as shown in Figure 15.
Darbinis elektrodas (2.1) suformuotas iš tarpusavyje sujungtų elektrodo (2.1) plokštelių, elektrocheminiu būdu padengtų platina (Pt) ir po to polipirolo sluoksniu su įterpta gliukozės oksidaze.The working electrode (2.1) is formed from interconnected plates of the electrode (2.1), electrochemically coated with platinum (Pt) and then a layer of polypyrrole with embedded glucose oxidase.
Palyginamasis elektrodas (3.1) suformuotas iš elektrodo (3.1) tarpusavyje sujungtų plokštelių, elektrochemiškai padengtų sidabru ir vėliau modifikuotų sidabro chloridu (Ag/AgCl).The comparative electrode (3.1) is formed from the interconnected plates of the electrode (3.1), electrochemically coated with silver and later modified with silver chloride (Ag/AgCl).
Pagalbinis elektrodas (2.2, 3.2) suformuotas iš tarpusavyje sujungtų elektrodų (2.2, 3.2) plokštelių, pagamintu iš gryno titano (Ti).The auxiliary electrode (2.2, 3.2) is formed from interconnected plates of electrodes (2.2, 3.2) made of pure titanium (Ti).
Izoliuoti laidai (8’) jungia darbinį elektrodą, palyginamąjį elektrodą ir palyginamąjį elektrodą su atitinkamomis potenciostato/galvanostato jungtimis.Insulated wires (8') connect the working electrode, the reference electrode and the reference electrode to the respective potentiostat/galvanostat connections.
Papildoma danga, sudaryta iš polimerinės, pvz.: polikarbonatinės, membranos, skirtos apsaugoti darbinių ir palyginamųjų elektrodų paviršius, yra panaudojamos padengti darbinę zoną, apribotą atidengtomis kondensatoriaus zonomis (5) daugiasluoksnių keramikos/metalo kondensatorių dangoje (4).An additional coating consisting of a polymeric, e.g., polycarbonate, membrane to protect the surfaces of the working and reference electrodes is used to cover the working zone limited by the exposed capacitor areas (5) in the multilayer ceramic/metal capacitor coating (4).
Išradimo elektrocheminio elemento panaudojimo amperometriniam gliukozės biologiniam jutikliui konstruoti pavyzdys yra pateiktas 20 paveiksle ir aptartas toliau. Biologinis jutiklis apima elektrocheminę celę, apimančią du daugiasluoksnius keramikos/metalo kondensatorius (C), trijų elektrodų konfigūracijoje, pagal išradimą. Darbinis elektrodas (2.1) yra elektrodas, sudarytas iš tarpusavyje sujungtų plokštelių, elektrochemiškai padengtų platina Pt ir polipirolu su įterpta gliukozės oksidaze. Palyginamasis elektrodas (3.1) yra elektrodas, sudarytas iš tarpusavyje sujungtų plokštelių, padengtų sidabru, elektrochemiškai padengtu sidabro chloridu Ag/AgCl. Pagalbinis elektrodas (2.2, 3.2) yra elektrodas, sudarytas iš tarpusavyje sujungtų plokštelių, pagamintų iš gryno titano Ti. Izoliuotas laidas (8.1) jungia darbinį elektrodą (2.1) su atitinkama potenciostato/galvanostato jungtimi. Izoliuotas laidas (8.2) jungia palyginamąjį elektrodą (3.1) su atitinkama potenciostato/galvanostato jungtimi. Izoliuotas laidas (8.3) jungia pagalbinį elektrodą (2.2, 3.2) su atitinkamą potenciostato/galvanostato jungtimi. Papildoma polikarbonatinė membranų danga (21), naudojama darbinių (2.1), palyginamųjų (3.1) ir pagalbinių (2.2, 3.2) elektrodų paviršiaus apsaugai nuo elektrochemiškai aktyvių medžiagų ir/arba užteršimo baltymais ir/arba kitomis trukdančiomis medžiagomis.An example of the use of an electrochemical cell of the invention to construct an amperometric glucose biosensor is shown in Figure 20 and discussed below. The biosensor comprises an electrochemical cell comprising two multilayer ceramic/metal capacitors (C) in a three-electrode configuration according to the invention. The working electrode (2.1) is an electrode consisting of interconnected plates electrochemically coated with platinum Pt and polypyrrole with embedded glucose oxidase. The reference electrode (3.1) is an electrode consisting of interconnected plates coated with silver, electrochemically coated with silver chloride Ag/AgCl. The auxiliary electrode (2.2, 3.2) is an electrode consisting of interconnected plates made of pure titanium Ti. An insulated wire (8.1) connects the working electrode (2.1) to the corresponding potentiostat/galvanostat connector. An insulated wire (8.2) connects the reference electrode (3.1) to the corresponding potentiostat/galvanostat connection. An insulated wire (8.3) connects the auxiliary electrode (2.2, 3.2) to the corresponding potentiostat/galvanostat connection. Additional polycarbonate membrane coating (21) used for surface protection of working (2.1), reference (3.1) and auxiliary (2.2, 3.2) electrodes against electrochemically active substances and/or contamination with proteins and/or other interfering substances.
Nors šiame išradimo aprašyme yra išvardyta daugybė parametrų ir pranašumų kartu su struktūrinėmis detalėmis ir ypatumais, aprašymas pateikiamas kaip išradimo įgyvendinimo pavyzdys. Nenukrypstant nuo išradimo principų, detalės gali būti keičiamos, ypač jų forma, dydis ir išdėstymas, atsižvelgiant į plačiai suprantamas apibrėžtyje vartojamų sąvokų ir apibrėžimų reikšmes.Although this description of the invention enumerates numerous parameters and advantages along with structural details and features, the description is presented as an exemplary embodiment of the invention. Without deviating from the principles of the invention, the details may be varied, in particular their shape, size and arrangement, taking into account the widely understood meanings of the terms and definitions used in the definition.
Claims (9)
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
LT2021576A LT7025B (en) | 2021-12-23 | 2021-12-23 | Method of manufacturing an electrochemical cell and an electrochemical cell |
EP21217822.2A EP4202429A1 (en) | 2021-12-23 | 2021-12-27 | Method of manufacturing an electrochemical cell and an electrochemical cell |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
LT2021576A LT7025B (en) | 2021-12-23 | 2021-12-23 | Method of manufacturing an electrochemical cell and an electrochemical cell |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
LT2021576A LT2021576A (en) | 2023-06-26 |
LT7025B true LT7025B (en) | 2023-09-25 |
Family
ID=79170871
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
LT2021576A LT7025B (en) | 2021-12-23 | 2021-12-23 | Method of manufacturing an electrochemical cell and an electrochemical cell |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP4202429A1 (en) |
LT (1) | LT7025B (en) |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5173162A (en) * | 1989-07-05 | 1992-12-22 | Mitsui Toatsu Chemicals, Inc. | Multi-layered electrostrictive effect element |
US6202471B1 (en) * | 1997-10-10 | 2001-03-20 | Nanomaterials Research Corporation | Low-cost multilaminate sensors |
WO2012128593A2 (en) * | 2011-03-24 | 2012-09-27 | 조인셋 주식회사 | Sensor having an embedded electrode, and method for manufacturing same |
WO2017022992A1 (en) * | 2015-07-31 | 2017-02-09 | 한양대학교 에리카산학협력단 | Multi-layer ceramic/metal gas sensor and manufacturing method therefor |
-
2021
- 2021-12-23 LT LT2021576A patent/LT7025B/en unknown
- 2021-12-27 EP EP21217822.2A patent/EP4202429A1/en active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
LT2021576A (en) | 2023-06-26 |
EP4202429A1 (en) | 2023-06-28 |
EP4202429A8 (en) | 2024-02-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0186286B1 (en) | Apparatus for use in electrical, e.g. electrochemical, measurement procedures, and its production and use and composite assemblies incorporating the apparatus | |
EP0871874B1 (en) | Gas sensor | |
US4874500A (en) | Microelectrochemical sensor and sensor array | |
KR940008082B1 (en) | Solid state ph sensor | |
US8266795B2 (en) | Methods of making an electrochemical gas sensor | |
JPS61108953A (en) | Electrical connecting terminal of sensor element using ceramics | |
TWI631329B (en) | Planar dissolved oxygen sensing electrode and manufacturing method thereof | |
EP0325562A2 (en) | Dry ion-selective electrodes for the determination of ionic species in aqueous media | |
CN109997034A (en) | Method and apparatus for the electrolyte concentration measurement in electrochemical sensor | |
KR900005221B1 (en) | Sheet type electrode for use in measurement of ions | |
CN111094962A (en) | Glass electrochemical sensor with wafer level stack and Through Glass Via (TGV) interconnect | |
US6613205B1 (en) | Electrochemical sensor | |
CN103119428B (en) | Miniature reference electrode | |
LT7025B (en) | Method of manufacturing an electrochemical cell and an electrochemical cell | |
DE102012111811A1 (en) | Electrochemical sensor for detecting analyte concentration in measuring medium, has connecting line which is designed as circuit board, where reference electrode is designed as material layer system formed on circuit board | |
EP0230572B1 (en) | A method of manufacturing ion-selective electrodes for analyzing selected ions in solution | |
JP2970534B2 (en) | Manufacturing method of reference electrode | |
JPH0370782B2 (en) | ||
WO2017118490A1 (en) | Mems electrochemical gas sensor | |
JPH0446205Y2 (en) | ||
EP0230573B1 (en) | Selectively ion-permeable dry electrodes for analyzing selected ions in aqueous solution | |
DE102010054019A1 (en) | Planar chemical measuring electrode for pH-determination, has functional layer for pH-measurement, where functional layer is placed on non-conductive substrate | |
US6066244A (en) | Apparatus for use in electrical, e.g. electrochemical, measurement procedures, and its production and use, and composite assemblies incorporating the apparatus | |
KR920003086B1 (en) | On sensor | |
CN213957224U (en) | Structure of miniature electrochemical sensor based on miniature three-dimensional electrode |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
BB1A | Patent application published |
Effective date: 20230626 |
|
FG9A | Patent granted |
Effective date: 20230925 |