KR980011632A - Cathode structure and electron gun for cathode ray tube using same - Google Patents
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Abstract
음극구조체와 이 음극구조체를 이용한 전자총을 개시한다. 이 음극구조체를 이용한 전자총은 삼극부를 이루는 음극구조체, 제어전극 및 스크린전극과, 보조렌즈 및 주렌즈를 이루는 복수개의 포코스전극과 최종가속전극을 포함하여 된 것으로, 상기 음극구조체가 림형상의 전극부재와, 상기 전극부재에 삽입되며 관통된 지지공이 형성된 절연부재와, 상기 절연부재에 몰입 고정되며 그 단부가 상기 절연부재의 상면으로부터 돌출되어 지지공측으로 절곡된 접촉부를 가지는 복수개의 핀과, 상기 지지공에 삽입되며 그 가장자리에 마련된 단자가 상기 핀의 접촉부에 밀착되는 전계방출소자 유니트와, 상기 림전극부재에 고정되어 상기 관통공에 삽입된 전계방출소자 유니트를 상기 접촉부 측으로 가압하는 지지부재를 포함하여 된 것에 그 특징이 있으며 이는 구조적강도를 향상시킬 수 있다.A cathode structure and an electron gun using the cathode structure are disclosed. The electron gun using the cathode structure includes a cathode structure constituting a triode portion, a control electrode and a screen electrode, a plurality of focussing electrodes constituting an auxiliary lens and a main lens, and a final accelerating electrode. The cathode structure includes a rim- And a plurality of fins each having an end portion protruding from the upper surface of the insulating member and bent toward the support hole, the plurality of fins being fixed to the insulating member, And a support member which is fixed to the rim electrode member and presses the field emission device unit inserted into the through hole toward the contact portion, the field emission device unit comprising: And it can improve the structural strength.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음Since this is a trivial issue, I did not include the contents of the text.
본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로, 구조적으로 안정되며, 제조가 간단하여 생산성의 향상을 도모할 수 있는 음극구조체와 이를 이용한 칼라 음극선관용 전자총을 제공함에 그 목적이 있다.It is an object of the present invention to provide a negative electrode structure which is structurally stable and can be easily manufactured due to its simple manufacturing process and an electron gun for a color cathode ray tube using the same.
제 1도는 일반적인 음극선관의 단면도.Figure 1 is a cross-sectional view of a typical cathode ray tube.
제 2도는 종래 전자총의 단면도.FIG. 2 is a sectional view of a conventional electron gun. FIG.
제 3도는 종래 음극구조체의 단면도.FIG. 3 is a cross-sectional view of a conventional negative electrode structure. FIG.
제 4도는 종래 음극구조체의 다른 실시예를 도시한 사시도.FIG. 4 is a perspective view showing another embodiment of a conventional negative electrode structure. FIG.
제 5도는 전계방출소자 유니트의 단면도.FIG. 5 is a cross-sectional view of a field emission device unit. FIG.
제 6도는 본 발명에 따른 전자총의 단면도.6 is a sectional view of an electron gun according to the present invention;
제 7도는 본 발명에 따른 음극구조체의 분리 사시도.FIG. 7 is an exploded perspective view of a cathode structure according to the present invention; FIG.
제 8도는 도 7에 도시된 음극구조체의 단면도.FIG. 8 is a cross-sectional view of the cathode structure shown in FIG. 7; FIG.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명DESCRIPTION OF THE REFERENCE NUMERALS
70 : 음극구조체 71 :전극부재70: cathode structure 71: electrode member
72 : 절연부재 73 :핀72: insulating member 73: pin
75 : 전계방출소자 유니트 76 : 지지부재75: Field emission device unit 76: Support member
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은,According to an aspect of the present invention,
림형상의 전극부재와,A rim-shaped electrode member,
상기 전극부재에 삽입되며 관통된 지지공이 형성된 절연부재와, 상기 절연부재에 몰입 고정되며 그 단부가 상기 절연부재의 상면으로부터 돌출되어 지지공측으로 절곡된 접촉부를 가지는 복수개의 핀과, 상기 지지공에 삽입되며 그 가장자리에 마련된 단자가 상기 핀의 접촉부에 밀착되는 전계방출소자 유니트와, 상기 림전극부재에 고정되어 상기 관통공에 삽입된 전계방출소자 유니트를 상기 접촉부 측으로 가압하는 지지부재를 포함하여 된 것을 그 특징으로 한다.A plurality of fins having a contact portion which is fixedly inserted in the insulating member and has an end protruding from the upper surface of the insulating member and bent toward the support hole, And a support member which is fixed to the rim electrode member and presses the field emission device unit inserted into the through hole toward the contact portion side, the field emission device unit being inserted into the through hole and being in contact with the contact portion of the pin, .
본 발명의 칼라 음극선관용 전자총은,In the electron gun for a color cathode ray tube of the present invention,
삼극부를 이루는 음극구조체, 제어전극 및 스크린전극과, 보조렌즈 및 주렌즈를 이루는 복수개의 포커스전극과 최종가속전극을 포함하여 된 것에 있어서, 상기 음극구조체가 림형상의 전극부재와, 상기 전극부재에 삽입되며 관통된 지지공이 형성된 절연부재와, 상기 절연부재에 몰입 고정되며 그 단부가 상기 절연부재의 상면으로부터 돌출되어 지지공측으로 절곡된 접촉부를 가지는 복수개의 핀과,Wherein the negative electrode structure comprises a rim-shaped electrode member, and a plurality of focus electrodes constituting the auxiliary lens and the main lens, wherein the negative electrode structure includes a rim-shaped electrode member, A plurality of fins having a contact portion that is fixedly inserted into the insulating member and has an end protruding from the upper surface of the insulating member and bent toward the support hole,
상기 지지공에 삽입되며 그 가장자리에 마련된 단자가 상기 핀의 접촉부의 밀착되는 전계방출소자 유니트와, 상기 림전극부재에 고정되어 상기 관통공에 삽입된 전계방출소자 유니트를 상기 접촉부 측으로 가압하는 지지부재를 포함한다.A support member for supporting the field emission device unit fixed to the rim electrode member and inserted into the through hole to the contact portion side, the field emission device unit being inserted into the support hole, .
본 발명에 따른 음극구조체가 장착된 음극선관용 전자총이 도 6 및 도 7에 도시되어 있다.An electron gun for a cathode ray tube equipped with a cathode structure according to the present invention is shown in Figs. 6 and 7. Fig.
이 전자총은 삼극부를 이루는 것으로, 음극구조체(70)와, 제어전극(81) 및 스크린전극(82)과, 이 스크린전극(82)로부터 순차적으로 설치되어 전자렌즈를 이루는 포커스전극(83)과, 최종가속전극(84)을 구비하여 구성된다. 상기 포커스 전극(83)은 복수개 설치하여 전자빔을 집속 및 가속하기 위한 전자렌즈를 복수개로 할 수도 있다. 상기 전자총에 있어서, 음극구조체(70)는 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이 상면이 개구된 캔형상의 림상의 전극부재(71)의 내부에 그 상면이 상기 개구로 노출되고 삽입되고 후술하는 전계방출소자 유니트가 삽입되는 지지공(72a)이 형성된 절연부재(72)가 설치된다. 이 절연부재(72)에는 복수개이 핀(73)이 몰입되는데, 이 핀(73)의 의 상단은 상기 절연부재(73)의 상면으로 돌출되어 지지공(72a)측으로 절곡된 접촉부(73a)가 형성되고, 핀(73)의 하단은 상기 절연부재()의 하면으로 돌출된다. 그리고 상기 절연부재(72)의 지지공(72a)에는 전계방출소자 유니트(75)가 설치되고, 상기 림전극부재(71)에는 지지부재(76)가 삽입고정되어 상기 지지공(72a)에 삽입된 전계방출소자 유니트(75)를 상기 핀(73)의 접촉부(73a) 측으로 가압하게 된다. 상기 지지부재(76)는 절연부재(72)에 삽입되어 전계방출소자 유니트(75)와 접촉되는 가압부(76a)와 상기 가압부(76a)로부터 연장되어 전극부재의 내측면에 고정되는 고정부(76b)를 포함한다.The electron gun constitutes a triode portion and includes a cathode structure 70, a control electrode 81 and a screen electrode 82, a focus electrode 83 sequentially formed from the screen electrode 82 and constituting an electron lens, And a final accelerating electrode (84). A plurality of the focus electrodes 83 may be provided to constitute a plurality of electron lenses for converging and accelerating the electron beams. 7 and 8, the upper surface of the cathode structure 70 is exposed and inserted into the inside of the can-shaped rim-shaped electrode member 71 having the upper surface opened, There is provided an insulating member 72 having a support hole 72a into which the field emission device unit is inserted. A plurality of pins 73 are immersed in the insulating member 72. An upper end of the pin 73 protrudes from the upper surface of the insulating member 73 to form a contact portion 73a bent toward the support hole 72a And the lower end of the pin 73 protrudes to the lower surface of the insulating member. A field emission device unit 75 is installed in the support hole 72a of the insulating member 72 and a supporting member 76 is inserted into the rim electrode member 71 to be inserted into the support hole 72a. To the contact portion 73a side of the pin 73. The contact portion 73a of the field emission device unit 75 is pressed against the contact portion 73a. The support member 76 includes a pressing portion 76a inserted into the insulating member 72 and in contact with the field emission device unit 75 and a fixing portion 76b extending from the pressing portion 76a and fixed to the inner surface of the electrode member. (76b).
한편 상기 전계방출소자 유니트(75)는 기판에 소정의 간격으로 세 개의 전계방출부(75a)가 설치되고, 상기 기판의 상면 가장자리에는 상기 각 전계방출소자에 소정의 전위를 인가하기 위한 단자(75b)가 설치된다. 여기에서 전자방출부는 도면에 도시되어 있지않으나 상기 기판은 실리콘 등으로 이루어지고, 이 기판에는 몰리브덴을 주성분으로 하는 다수개의 금속팁이 형성된다. 그리고 상기 금속팁의 주위에는로 이루어진 절연층이 형성된다. 여기에서 상기 금속팁은 주위에 절연층이 형성되므로 외부로 노출된다. 상기 금속팁이 노출되도록 성치된 절연층의 상면에는 금속팁과 대향되는 부위에 게이트(GATE)가 마련된 메탈층이 형성된다. 상기 배면기판상에 설치된 한 개의 금속팁 당 전류가 50nA 내지 100nA 정도 이므로 금속팁이 적어도 10,000개 이상이면 1mA 이상을 얻을 수 있으므로 음극선과의 형광막을 여기시키기 위한 충분한 전류가 된다. 현재의 기술로서는 1 ㎠ 당 1억개의 금속팁 소자 직접이 가능하다. 그러므로 상기 제어전극에 형성된 전자빔 통과공과 일한 면적에 형성활 수 있는 금속팁의 수는 약 삼천 삼백만개 정도이므로 전자총의 음극으로도 사용할 수 있는 충분한 용량을 가진다.On the other hand, the field emission device unit 75 is provided with three field emission units 75a at predetermined intervals on the substrate, and a terminal 75b for applying a predetermined potential to the field emission devices Is installed. Here, the electron emitting portion is not shown in the drawing, but the substrate is made of silicon or the like, and a plurality of metal tips mainly composed of molybdenum are formed on the substrate. And around the metal tip Is formed. Here, the metal tip is exposed to the outside because an insulating layer is formed around the metal tip. A metal layer having a gate is formed on an upper surface of the insulating layer that is exposed to expose the metal tip. Since the current per one metal tip provided on the rear substrate is about 50 nA to 100 nA, if the metal tip is at least 10,000 or more, 1 mA or more can be obtained, so that sufficient current is generated to excite the fluorescent film with the cathode ray. With current technology, 100 million metal tip devices per 1 cm 2 are possible directly. Therefore, the number of the metal tips formed in the same area as the electron beam passing holes formed in the control electrode is about 3,000 to 3,000,000, which is enough to be used as the cathode of the electron gun.
상술한 바와 같이 구성된 발명에 따른 음극구조체와, 이를 이용한 칼라 음극선관용 전자총의 작용을 설명하면 다음과 같다.The cathode structure according to the invention constructed as described above and the electron gun for a color cathode ray tube using the cathode structure will now be described.
이와같이 구성된 본 발명에 따른 음극구조체와 이를 이용한 음극 선관용 전자총의 작용을 설명하면 다음과 같다.The cathode structure according to the present invention and the cathode ray tube using the cathode structure will be described as follows.
본 발명에 따른 음극 구조체를 갖는 전자총은 음극선관의 펀넬 네크부에 장착된 상태에서 상기 전자총을 이루는 각 전극 즉, 스크린 전극(82)과 포커스전극(83) 및 최종각속 전극(84)에 소정의 전위가 인가되면, 각 전극들의 사이에는 전자렌즈가 형성된다. 그리고 상기 음극구조체(70)의 전계방출소자 유니트에 상기 팁을 통하여 소정의 전위가 인가되고, 스크린 전극(82)이 전계가 작용되면 상기 금속팁로부터 전자빔이 방출된다. 상기와 같이 방출된 전자빔은 상술한 각 전극들의 사이에 형성된 전자렌즈를 통과하면서 집속 및 가속된 후 편향요오크에 의해 편향되어 형광막의 형광점에 랜딩되어 형광막을 여기시키게 된다.The electron gun having the cathode structure according to the present invention is mounted on the funnel neck portion of the cathode ray tube and has a predetermined structure in which the electrodes, that is, the screen electrode 82, the focus electrode 83 and the final angular velocity electrode 84, When a potential is applied, an electron lens is formed between the electrodes. A predetermined potential is applied to the field emission device unit of the cathode structure 70 through the tip, and an electron beam is emitted from the metal tip when an electric field is applied to the screen electrode 82. The electron beam emitted as described above is converged and accelerated while passing through the electron lens formed between the above-described electrodes, deflected by the deflection yoke, and landed on the fluorescent spot of the fluorescent film to excite the fluorescent film.
상술한 바와 같이 작동되는 음극구조체와 이를 갖는 전자총은 다음과 같은 작용효과를 갖는다.The cathode structure to be operated as described above and the electron gun having the cathode structure have the following operational effects.
첫째; 전자총의 스크린 전극에 소정의 전위를 인가함과 동시에 음극 구조체의 금속팁으로부터 열전자가 방출되므로 음극구조체로부터 정상적인 열전자 방출이 이루어지기 까지의 시간을 단축할 수 있다. 이 시간의 단축은 음극선관의 초기 화면 출화시간이 단축된다.first; Since the predetermined potential is applied to the screen electrode of the electron gun and the thermoelectrons are emitted from the metal tip of the cathode structure, the time from the cathode structure to the normal thermoelectron emission can be shortened. The shortening of this time shortens the initial display time of the cathode ray tube.
둘째; 상기 음극구조체의 절연부재에 지지공이 형성되고, 이 지지공에 전계장출소자가 삽입되어 핀의 접촉부에 그 단자가 밀착되므로 종래와 같이 핀과 전계방출소자를 전기적으로 연결하기 위한 와이어 본딩공정을 없앨수 있다.second; A supporting hole is formed in the insulating member of the cathode structure and the exiting device is inserted into the supporting hole so that the terminal is brought into close contact with the contact portion of the pin so that the wire bonding process for electrically connecting the pin and the field emission device is eliminated have.
셋째; 상기 전계방출소자 유니트의 기판 가장자리에 형성된 단자와 접촉부가 직접적으로 접촉되므로 외부로부터 가하여지는 충격이나 고전류 영역에서 이들이 달락되는 것을 방지할 수 있다.third; Since the terminal formed on the edge of the substrate of the field emission device unit and the contact portion are directly in contact with each other, it is possible to prevent the external impact from being applied to the field emission device unit or the falling of the field emission device in a high current region.
넷째; 구조적 강조가 향상되어 구조적으로 안정되어 있다. 다섯째; 종래와 같이 음극구조체의 가열에 따라 음극구조체를 구성하는 부품이 열팽창됨으로써 전자빔이 이동되는 서어멀 드리프트 현상을 방지할 수 있다. 이상에서 설명한 바와 같이 본 발명 음극구조체와 이를 이를 이용한 전자총은 상기한 실시예에 의해 한정되지 않고 당업자에 의해 본원 발명의 기술적 범위내에서 변형 가능함은 물론이다.fourth; Structural emphasis is improved and structurally stable. fifth; The components constituting the cathode structure are thermally expanded according to the heating of the cathode structure as in the prior art, thereby preventing the shear drift phenomenon in which the electron beams are moved. As described above, the cathode structure of the present invention and the electron gun using the cathode structure of the present invention are not limited to the above-described embodiments, but can be modified by those skilled in the art within the technical scope of the present invention.
본 발명은 전자의 방출원인 음극구조체와 이 음극구조체를 이용한 음극선관용 전자총에 관한 것이다. 일반적인 음극선관은 도 1에 도시된 바와 같이 내면에 형광막이 형성된 패널(10)과, 이 패널(10)과 봉착되는 것으로 그 네크부(21)와 콘부(22)에 각각 전자총(30)과 편향요오크(23)가 설치도니 펀넬(20)을 구비하여 구성된다. 이와 같이 구성된 음극선관은 상기 전자총(30)으로부터 방출된 전자빔이 편향요오크(23)에 의해 편향되어 형광막에 주사됨으로써 형광막을 여기시켜 화상을 형성하게 된다.The present invention relates to a cathode structure for emitting electrons and an electron gun for a cathode ray tube using the cathode structure. 1, a conventional cathode ray tube comprises a panel 10 on which a fluorescent film is formed on an inner surface thereof, and an electron gun 30 and a deflection plate 22 which are sealed to the panel 10 and which are connected to the neck portion 21 and the cone portion 22, And a yoke (23) is provided with a furnace funnel (20). In the cathode ray tube thus configured, the electron beam emitted from the electron gun 30 is deflected by the deflection yoke 23 and is scanned into the fluorescent film, thereby exciting the fluorescent film to form an image.
도 2에는 상기 펀넬의 네크부에 장착되어 열전자를 방출하는 전자총의 일 실시예를 나타내 보였다.FIG. 2 shows an embodiment of an electron gun mounted on a neck portion of the funnel to emit thermoelectrons.
이 전자총은 삼극부를 이루는 음극구조체(40), 제어전극(32) 및 스크린전극(33)과, 상기 스크린전극(33)으로부터 순차적으로 설치되어 전자렌즈를 형성하는 포커스 전극(34)과 최종가속 전극(35)를 구비하여 구성된다. 이와 같이 구성된 상기 전자총(30)은 음극구조체와 각각의 전극에 소정의 전압이 인가됨으로써 상기 음극구조체(40)로부터 열전자가 방출됨과 아울러 상기 각 전극들(32-35)사이에 전자렌즈가 형성된다. 따라서 상기 음극구조체(40)로부터 방출된 전자빔은 각 전극사이에 형성된 전자렌즈를 통과하면서 집속 및 가속된다.The electron gun includes a cathode structure 40, a control electrode 32 and a screen electrode 33 constituting a triode portion, a focus electrode 34 sequentially formed from the screen electrode 33 to form an electron lens, (35). The electron gun 30 configured as described above emits thermoelectrons from the cathode structure 40 by applying a predetermined voltage to the cathode structure and the electrodes, and an electron lens is formed between the electrodes 32-35 . Therefore, the electron beam emitted from the cathode structure 40 is converged and accelerated while passing through the electron lens formed between the respective electrodes.
상기 전자총으로부터 방출된 전자빔의 빔 전류밀도와 정상적으로 전자빔의 방출되기 까지의 시간은 상기 음극구조체(40)에 의해 좌우된다. 그러므로 상기 전자총에 있어서, 전자의 방출원인 음극구조체(40)가 무엇보다 중요하다 할 것이다.The beam current density of the electron beam emitted from the electron gun and the time until the electron beam is normally emitted is dominated by the cathode structure 40. Therefore, in the electron gun, the cathode structure 40, which is the source of electrons, will be most important.
도 3은 상술한 종래 음극구조체를 발췌하여 도시한 단면도이다.FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating the above-described conventional negative electrode structure.
이 음극구조체(40)는 원통형의 슬리이브(41)와, 이 슬리이브(41)의 단부에 고정된 캡부재(42)와, 상기 캡부재(42)의 상면에 도포된 전자방사물질층(43)과, 상기 원통형 슬리이브(41)의 내부에 삽입되는 히이터(44)와, 상기 슬리이브(41)를 하부에서 지지하는 홀더(45)를 구비하여 구성된다.The cathode structure 40 includes a cylindrical sleeve 41, a cap member 42 fixed to the end of the sleeve 41, and an electron emissive material layer (not shown) coated on the upper surface of the cap member 42 A heater 43 inserted into the cylindrical sleeve 41 and a holder 45 supporting the sleeve 41 from below.
상기와 같이 구성된 종래 음극구조체(40)는 상기 히이터(44)에 소정의 전위가 인가됨에 따라 히이터(44)가 발열된다. 이 히이터(44)로부터 발생되는 열은 상기 캡부재(42)와 슬리이브(41) 및 홀더(45)에 전달됨으로써 이들이 가열되고, 상기 캡부재(42)가 800도 정도로 가열되면 이의 상면에 도포된 열전자 방사물질층(34)이 가열됨으로써 열전자가 방출된다.In the conventional cathode structure 40 constructed as described above, the heater 44 generates heat when a predetermined electric potential is applied to the heater 44. The heat generated from the heater 44 is transferred to the cap member 42, the sleeve 41 and the holder 45 so that they are heated. When the cap member 42 is heated to about 800 degrees, The heated thermionic emissive material layer 34 is heated so that the thermoelectrons are emitted.
상기와 같이 열전자를 방출하는 음극구조체는 다음과 같은 문제점이 내재되어 있다.As described above, the cathode structure that emits thermions has the following problems.
첫째; 히이터로부터 발생된 열에 의해 캡부재와 슬리이브가 가열된 후 열전자 방사물질이 가열되므로 열전자가 정상적으로 발생될 때까지의 시간이 길다. 이 시간은 음극선관에 장착시 화면의 출화시간이 길어지는 것을 의미한다.(통상 8 내지 9 sec의 시간이 소요됨)first; Since the cap member and the sleeve are heated by the heat generated from the heater and the thermionic emission material is heated, the time until the thermon-electron is normally generated is long. This time means that the launch time of the screen is increased when it is attached to the cathode ray tube (normally, it takes 8 to 9 sec.).
둘째; 음극구조체의 캡부재, 슬리이드 등의 열팽창에 의한 서어멀드리프트(thermal drift) 현상 및 콘버어전스 드리프트(convergence drift) 현상이 발생하므로 전자총의 에이징 공정후 전자빔의 궤도를 수정하여 한다.second; The thermal drift phenomenon and the convergence drift phenomenon due to the thermal expansion of the cap member and the slit of the cathode structure occur, and thus the trajectory of the electron beam is corrected after the aging process of the electron gun.
셋째; 상기 열전자방사물질층을 가열하기 위한 소비전력(2 내지 4 watts)이 필요하다.third; The power consumption (2 to 4 watts) for heating the thermionic emissive material layer is required.
넷째; 칼라 음극선관의 경우 세 개의 적, 청, 녹색의 형광체를 각각 여기시키기 위한 각 전자총의 음극구조체를 이루는 구성요소 즉, 캡부재, 슬리이브, 제어전극과 스크린 전극 등의 초기 열팽창의 시간적이 차이에 의해 화이트 밸런스 ( white balance; 백색 균형도)의 안정화 시간이 길다. 이와 같은 문제점을 해결하기 위하여 종래에는 전계방출소자(field emission arry)를 이용한 음극구조체가 개발되었다. 이 음극구조체는 도 4에 도시된 바와 같이 림형 전극부재(51)와, 상기 림형 전극부재(51)에 삽입되는 절연부재(52)와, 상기 절연부재에 몰입고정되며 상단부가 상기 절연부재(52)의 상면으로 노출된 복수개의 핀(53)과, 상기 절연부재(52)의 상면에 본딩 등에 의해 고정되는 전계방출소자 유니트(60)와, 상기 전계장출소자 유니트(60)에 전위를 공급하기 위해 상기 핀(53)과 전계방출소자 유니트의 단자(61)와 연결되는 와이어(54)를 포함한다.fourth; In the case of a color cathode-ray tube, the time difference between the initial thermal expansion of the components constituting the cathode structure of each electron gun, that is, the cap member, the sleeve, the control electrode, and the screen electrode, for exciting three red, The white balance (white balance degree) stabilization time is long. In order to solve such a problem, a cathode structure using a field emission array has been developed. 4, the negative electrode structure includes a rim-shaped electrode member 51, an insulating member 52 inserted into the rim-shaped electrode member 51, and an upper end fixedly connected to the insulating member 52 A field emission device unit 60 fixed to the upper surface of the insulating member 52 by bonding or the like and a plurality of fins 53 exposed on the upper surface of the electric field extinguisher unit 60, And a wire 54 connected to the pin 53 and the terminal 61 of the field emission device unit.
상기 상기 전계장출소자 유니트(60)는 기판상에 전계방출부가 인라인 상으로 세 개가 설치되는데, 상기 전계방출부는 도 5에 도시도니 바와 같이 베이스부재(62)와, 상기 베이스부재(62)의 상면에 형성된 캐소오드 전극층(63)과, 이 캐소오드 전극층(63)의 상면에 형성된 다수개의 금속팁(64)과, 상기 금속팁(64)이 노출되도록 상기 베이스 부재(62) 상에 형성된 절연층(65)과, 절연층(65)의 상면에 금속팁(64)이 노출되도록 케이트(66a)를 갖는 메탈층(66)를 구비한다.The field emission unit is provided with three field emission units on an in-line basis on a substrate. The field emission unit includes a base member 62 as shown in FIG. 5, A plurality of metal tips 64 formed on the upper surface of the cathode electrode layer 63 and an insulating layer 63 formed on the base member 62 such that the metal tip 64 is exposed, And a metal layer 66 having a gate 66a to expose the metal tip 64 on the upper surface of the insulating layer 65. The metal layer 64 is formed on the metal layer 64,
상술한 바와 같이 구성된 음극구조체는 상기 핀(53)을 통하여 소정의 전위가 공급되면 상기 금속팁(64)으로부터 전계전자가 방출된다.In the cathode structure constructed as described above, when a predetermined potential is supplied through the fin (53), electric field electrons are emitted from the metal tip (64).
그러나 상술한 바와 같이 구성된 전계방출소자를 이용한 음극구조체(60)는 절연부재에 고정된 전계방출소자 뉴니트의 단자(61)와 핀(53)의 단부가 와이어(54)에 의해 연결되어 있으므로 구조적으로 취약하다. 즉, 상기 와이어(54)에 고전압이 인가되거나 외부로부터 충격이 가하여지면 쉽게 파손되는 문제점이 있다. 또한 상기 와이어(54)는 그 직경이 1mil(1mil=0.0254) 정도이므로 핀(53)과 전계방출소자 유니트의 단바와 연결하는데, 반도체 제조공정에 이용되는 와이어 본딩 공정을 이용하게 된다. 따라서 작업공정이 상대적으로 복잡하여 생산성의 향상을 도모할 수 없다.However, in the cathode structure 60 using the field emission device constructed as described above, since the terminal 61 of the field emission device network and the end of the pin 53 fixed to the insulating member are connected by the wire 54, . That is, if a high voltage is applied to the wire 54 or an impact is applied from the outside, there is a problem that the wire 54 is easily broken. Since the diameter of the wire 54 is about 1 mil (1 mil = 0.0254), the wire 53 is connected to the end bar of the field emission device unit through the wire bonding process used in the semiconductor manufacturing process. Therefore, the work process is relatively complicated and productivity can not be improved.
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