KR980008168U - 진공증착기용 지그 - Google Patents

Abstract

본 고안은 내부의 투시가 가능하며 피가공물의 설치 및 제작이 용이한 새로운 구조의 진공중착기용 지그에 관한 것이다.

본 고안에 따르면, 투명한 플라스틱재질로 성형되며 단면이 라운드된 부분원통체형상의 라운드판(21)과, 상기 라운드판(21)의 내주면 에 상하좌우의 종횡으로 배열되어 돌출된 다수의 짧은 돌출관체(22)와, 상기 돌출관체(22)의 내경부 또는 외경 부에 끼워지는 설치핀(23) 또는 설치관(24)으로 이루어진 것을 특징으로 하는 진공증착기용 지그(20)가 제공된다

Description

진공증착기용 지그

본 고안은 진공중착기용 지그에 관한 것으로서, 좀 더 상세히는 내부의 투시가 가능하며 피가공물의 설치 및 제작이 용이한 새로운 구조의 진공증착기용 지그에 관한 것이다.

진공증착이란 진공상태에서 알루미늄 등의 금속 편을 증발시켜서 금속, 유리등의 표면에 금속박막을 형성하는 방법으로서, 반도체소자의 박막이나 거울의 반사막 등의 제조에 사용된다 제1도는 이러한 진공증착기의 한 예를 보여주는 것으로서, 도시된 바와 같이, 가이드레일(1) 상에 왕복 가능한 저면판(2)을 설치하고, 이 저면판(2)에는 진공흡입구(6)와 포스트형상의 전극(4)이 형성되며, 이 전극(4)에는 텅스텐 필라멘트(5)가 설치된다. 이 필라멘트(5)에는 증발시킬 금속편(15)이 걸리게 된다. 전극(4)의 주위에는 다수의 통공(12)이 형성된 지그(11)가 배치된다. 이 지그(11)의 통공(12)에는 금속박막을 코팅할 기판인 피가공물(14)의 형상에 따라 적절한 부위에 설치핀(14)을 볼트 결합시켜서 이 설치핀(14) 사이에 피가공물(14)을 끼워서 거치시킨다.

한편, 전술한 저면판(2) 위에는 대체로 스텐레스로 제작되며 종형상의 케이싱으로 된 벨자(bell-jar)(7)가 와이어(10)에 의해 승강가능하게 설치된다. 이 벨자(7)는 내부를 감시할 수 있는 투시창(8)이 형성된 이중벽체로 구성되며, 벨자(7)의 저면에는 밀봉링(9)이 형성되어 전극(4)과 지그(11)를 덮어서 저면판(2)과 밀봉적으로 결합됨으로써 내부에 증착실(3)을 형성하게 된다.

이러한 진공증착기용 지그(11)는 벨자(7)의 내주면에 부합되도록 단면이 라운드된 금속판으로 구성되고, 다수의 통공(12)중 적절한 부위에 설치핀(13)을 끼워서 피가공물(14)을 거치하게 되는데, 이러한 지그(11)는 불투명한 금속판재로 제작되므로 외부에서 피가공물(14)의 증착상태를 육안으로 확인할 수 없다는 문제점이 있었다.

또한, 전극(4) 쪽에서 증발된 금속입자가 설치핀(13)이 끼워지지 않은 통공(12a)을 통해 통과하여 벨자(7)의 내벽에 부착되므로 벨자(7)를 자주 세척해야 하고, 지그(11)의 통공(12)이나 설치핀(13)과의 틈새에 이물질 등이 끼어서 지그(11)의 세척이나 유지보수가 번거롭게 된다.

또한, 이러한 지그를 제작하기 위해서는 다수의 통공(12)에 대한 구멍가공이 필요하며, 설치핀(13)을 일일이 볼트 체결해야 하므로 제작이 상대적으로 불편한 반면, 통공(12)의 간격이나 설치핀(13)의 크기가 일정하게 정해져 있기 때문에 피가공물(14)의 규격이 달라지면 안정되게 거치되지 않는 문제점이 있었다. 아울러, 종래의 지그는 중량이 무거워서 작업중 운반에 힘이 들게 된다.

본 고안은 진술한 바와 같은 종래의 진공중착기용 지그의 문제점에 착안하여 제안된 것으로서, 내부의 투시성이 양호하여 증착상태를 확인하기 용이하며, 제작이 간편하면서도 피가공물의 규격이 달라지더라도 이에 손쉽게 적응하여 피가공물을 안정 되게 거치 할 수 있는 새로운 구조의 진공증착기용 지그를 제공하고자 하는 것이다.

제1도는 종래의 진공증착기의 예시도.

제2도는 본 고안의 실시 예에 따른 진공증착기용 지그의 구성도.

제3도는 본 고안에 따른 진공중착기의 구성도.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

1 : 가이드레일 2 : 저면판 3 : 증착실

4 : 전극 5 : 필라멘트 6 : 진공흡입구

7 : 벨자 8 : 투시창 9 : 밀봉링

10: 와이어 11: 지그 12: 통공

13: 설치핀 14: 피가공물 20: 지그

21: 라운드판 22: 돌출관체 23: 설치핀

24: 설치관 25: 보강부재

본 고안에 따르면, 투명한 플라스틱재질로 성형되며 단면이 라운드된 부분원통체형상의 라운드판(21)과, 상기 라운드판(21)의 내주면에 상하좌우의 종횡으로 배열되어 돌출된 다수의 짧은 돌출관체(22)와, 상기 돌출관체(22)의 내경부 또는 외경부에 끼워지는 설치핀(23) 또는 설치관(24)으로 이루미진 것을 특징으로 하는 진공증착기용 지그(20)가 제공된다.

이하에서 도면을 참조하여 본 고안의 바람직한 실시 예를 설명한다. 제2도는 본 고안의 실시예의 진공증착기용 지그(20)이고, 제3도는 이를 이용한 진공증착기를 보여주는데, 도시된 바와 같이, 단면이 라운드된 부분원통체 형상의 라운드판(21)과, 이 라운드판(21)의 상하 단에 걸쳐지는 보강부재(25)로 구성된다. 이 라운드판(21)의 내주면 에는 상하좌우방향으로 짧은 원형의 돌출관체(22)가 종횡으로 배열된다. 그리고, 이 돌출관체(22)의 내경부에는 설치핀(23)이 착탈가능하게 끼워지도록 구성되며, 이 돌출관체(22)의 외경 부에는 상기 설치핀(23) 보다 상대적으로 직경이 큰설치관(24)이 끼워지도록 구성된다.

이와 같이, 라운드판(21)의 돌출관체(22)에 서로 다른 외경의 설치핀(23)과 설치관(24)이 선택적으로 끼워질 수 있으므로, 이들 설치핀(23) 또는 설치관(24) 사이의 간격이 적절히 조정될 수 있다. 따라서, 이들 설치핀(23) 또는 설치관(24) 사이에 거치 되는 피가공물(14), 도시된 실시예에서는 자동차 사이드미러의 거울의 규격이 달라지더라도 이들 설치핀(23) 또는 설치관(24) 사이에 안정되게 삽입되어 안정되게 위치 설정될 수 있다.

한편, 본 고안의 지그(20)는 투명한 재질의 내열성 합성수지로 제작되므로 증착실(3) 내의 피가공물(14)이 외부에서도 투시 가능하므로 증착상태를 용이하게 파악할 수 있다. 그리고, 지그(20)가 원통형을 3등분한 부분원통체로 기밀 하게 결합될 수 있고, 지그(20) 자체에 통공이 형성되지 않아서, 증착성분이 지그(20)를 통과하여 벨자(7)의 내벽에 부착되지 않으며, 통공이나 기타의 틈새에 증착성분이 끼이지 않으므로 재료의 낭비가 줄어들고 벨자나 지그의 세척과 유지보수가 간편해진다. 그 외에도 지그(20)의 중량이 가벼워서 운반이 용이하여 작업성이 개선되며, 지그(20)의 재질이 플라스틱이므로 피가공물과의 접촉 시에 기스가 생기지 않아서 불량률이 낮아지게 된다.

이상에서 설명한 본 고안에 따르면, 진공증착기용 지그를 투명한 재질의 내열성 합성수지로 라운드판(21)과 돌출관체(22)를 일체적으로 성형 제작함으로써, 제작이 간편하면서도 피가공물(14)의 투시가 가능하여 증착 과정을 효과적으로 감시 파악할 수 있으며, 돌출관체 (22)에 서로 다른 규격의 설치핀(23) 또는 설치관(24)을 선택적으로 삽입함으로써 피가공물의 규격이 달라지더라도 안정되고 효과적으로 피가공물을 유지할 수 있게 된다. 그리고, 벨자(7)와 지그(20)의 세척이나 유지보수가 용이해 진다.

Claims (1)

1. 본 고안은 투명한 플라스틱재질로 성형되며 단면이 라운드된 부분원통체형상의 라운드판(21)과, 상기 라운드판(21)의 내주면 에 상하좌우의 종횡으로 배열되어 돌출 된 다수의 짧은 돌출관체(22)와, 상기 돌출관체(22)의 내경부 또는 외경 부에 끼워지는 설치핀(23) 또는 설치관(24)으로 이루어진 것을 특징으로 하는 진공 증착기용 지그(20) .

   ※참고사항:최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.