KR980005976A - 반도체 제조공정 - Google Patents

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KR980005976A
KR980005976A KR1019960025925A KR19960025925A KR980005976A KR 980005976 A KR980005976 A KR 980005976A KR 1019960025925 A KR1019960025925 A KR 1019960025925A KR 19960025925 A KR19960025925 A KR 19960025925A KR 980005976 A KR980005976 A KR 980005976A
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KR
South Korea
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recipe
main process
semiconductor manufacturing
manufacturing process
main
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KR1019960025925A
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전승호
김성근
이상복
김병완
Original Assignee
김광호
삼성전자 주식회사
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Abstract

신규한 반도체 제조공정이 개시되어 있다. 전(前) 공정으로부터 포워드백된 데이터를 받아 그에 해당하는 레시피를 선정한다. 상기 선정된 레시피를 다운로딩하여 주공정을 진행한다. 상기 주공정을 진행한후 발생한 데이터를 피드백하여 상기 주공정의 진행여부를 결정하고 레시피를 조정한다. 전후(前後) 계측 데이터의 포워드백/피드백을 통해 주공정을 제어함으로써, 공정산포를 최소화할 수 있다.

Description

반도체 제조공정
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 의한 반도체 제조공정의 진행을 나타내는 플로우 차트.

Claims (1)

  1. 전(前) 공정으로부터 포워드백된 데이터를 받아, 그에 해당하는 레시피를 선정하는 단계; 상기 선정된 레시피를 다운로딩하여 주공정을 진행하는 단계; 및 상기 주공정을 진행한 후 발생한 데이터를 피드백하여 상기 주공정의 진행여부를 결정하고 레시피를 조정하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조공정.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960025925A 1996-06-29 1996-06-29 반도체 제조공정 KR980005976A (ko)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10629807B2 (en) 2017-10-16 2020-04-21 Samsung Electronics Co., Ltd. Process control method and process control system for manufacturing semiconductor device

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US10629807B2 (en) 2017-10-16 2020-04-21 Samsung Electronics Co., Ltd. Process control method and process control system for manufacturing semiconductor device

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