KR970052697A - 케미컬 베스 - Google Patents

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KR970052697A
KR970052697A KR1019950065804A KR19950065804A KR970052697A KR 970052697 A KR970052697 A KR 970052697A KR 1019950065804 A KR1019950065804 A KR 1019950065804A KR 19950065804 A KR19950065804 A KR 19950065804A KR 970052697 A KR970052697 A KR 970052697A
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KR
South Korea
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bath
chemical bath
chemical
present
sensor
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KR1019950065804A
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Inventor
정재덕
Original Assignee
김광호
삼성전자 주식회사
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Abstract

본 발명은 케미컬 베스에 관한 것으로서, 본 발명은 케미컬 베스의 센서 배치를 개선하여 약품의 유무를 정확하게 확인할 수 있는 케미컬 베스를 제공하는 데 그 목적이 있다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명은 복수개의 센서가 장착된 아웃터 베스와, 히터가 장착된 이너 베스로 구성된 케미컬 베스에 있어서, 상기 이너베스는 그 내부에 센서가 구비됨을 특징으로 한다.

Description

케미컬 베스
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 의한 케미컬 베스를 개략적으로 도시한 사시도.

Claims (2)

  1. 복수개의 센서가 장착된 아웃터 베스와, 히터가 장착된 이너 베스로 구성된 케미컬 베스에 있어서, 상기이너 베스는 그 내부에 센서가 구비됨을 특징으로 하는 케미컬 베스.
  2. 제1항에 있어서, 상기 이너 베스는 그 내부에 엠프티 센서의 질소 라인을 구비함을 특징으로 하는 케미컬 베스.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950065804A 1995-12-29 1995-12-29 케미컬 베스 KR970052697A (ko)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19990039393A (ko) * 1997-11-12 1999-06-05 윤종용 반도체 케미컬 보관함

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR19990039393A (ko) * 1997-11-12 1999-06-05 윤종용 반도체 케미컬 보관함

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